JP2012163840A - 光変調器 - Google Patents
光変調器 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2012163840A JP2012163840A JP2011025226A JP2011025226A JP2012163840A JP 2012163840 A JP2012163840 A JP 2012163840A JP 2011025226 A JP2011025226 A JP 2011025226A JP 2011025226 A JP2011025226 A JP 2011025226A JP 2012163840 A JP2012163840 A JP 2012163840A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- conductor
- optical modulator
- optical
- conductors
- modulator according
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Optical Integrated Circuits (AREA)
- Optical Modulation, Optical Deflection, Nonlinear Optics, Optical Demodulation, Optical Logic Elements (AREA)
Abstract
【解決手段】電気光学効果を有する基板と、基板に形成された光を導波するためのマッハツェンダ光導波路を含んでなる光導波路と、基板の一方の面側に形成され、光を変調する高周波電気信号を印加するための高周波電気信号用として複数の中心導体及び複数の接地導体からなる進行波電極を具備する光変調器において、複数の中心導体のうちの隣接する中心導体に挟まれた接地導体の高さが等価的に高くなるように、前記接地導体の上面に導体が立設されている。
【選択図】図1
Description
特許文献1に開示されたゼロチャープを実現するための概念を、DQPSK型LN光変調器に適用した例を第1の従来技術の概略上面図として図15に示す。図16は、進行波電極を省略して光導波路構造のみ示している。DQPSK型の構造は、ペアレントマッハツェンダ光導波路の分岐光導波路上にチャイルドマッハツェンダ光導波路が形成されたネスト型の構造となっている。
図1に本発明の第1の実施形態に関する概略上面図を示す。ここで、10は金ワイヤーである。図からわかるように、本実施形態では金ワイヤー10を接地導体の長さ方向(光の進行方向)に張っている。図1のB−B´における断面図を図2に示す。
図4に本発明の第2の実施形態に関する概略上面図を示す。ここで、13と14は金ワイヤーである。図4のC−C´における断面図を図5に示す。この図4と5からわかるように、本実施形態では、金ワイヤー13と14の高さを異ならしめて構成している。このように構成することにより、中心導体4aから中心導体4bに飛ぼうとする電気力線15と16、および中心導体4bから中心導体4aに飛ぼうとする電気力線17と18をより確実に金ワイヤー13と14にトラップすることができ、第1の実施形態よりも電気的クロストーク抑圧の効率が高い。
図6に本発明の第3の実施形態に関する概略上面図を示す。ここで、19と20は金ワイヤーである。図6のD−D´における断面図を図7に示す。この図6と7からわかるように、本実施形態では、金ワイヤー19と20を、中心導体4aと中心導体4bの間にある接地導体5bのエッジ付近に、光の進行方向に沿って並んで張って構成しており、中心導体4aから発せられる電気力線21と中心導体4bから発せられる電気力線22を、いち早くかつ効率的に金ワイヤー19と20でトラップしている。そのため、本実施形態も第1の実施形態よりも電気的クロストーク抑圧の効果が高いと言うことができる。
図8に本発明の第4の実施形態に関する概略上面図を示す。ここで、30は金ワイヤーである。図8のE−E´における断面図を図9に示す。この図8と9からわかるように、本実施形態では、金ワイヤー30を光の進行方向と交わる方向に張り、それを光の進行方向に並べて構成している。これにより、中心導体4aから発せられる電気力線31と中心導体4bから発せられる電気力線32を効率よく金ワイヤー30にトラップしている。本実施形態では金ワイヤー30を光の進行方向に密に張る(密に並べる)ことができるので、より効果的に電気的クロストークを抑圧できる。なお、図8においては金ワイヤー30が光の進行方向に対して直交して構成しているが、直交でない角度で構成してもよいことは言うまでも無い。
図10に本発明の第5の実施形態に関する概略上面図を示す。ここで、40は金リボンである。本実施形態では複数の金リボン40を接地導体5bの上に固定している。
図12に本発明の第6の実施形態に関する概略上面図を示す。本実施形態は1本の金リボン43を接地導体の上に固定した構造である。電気力線41と42の向きは第5の実施形態と同様である。複数の金リボン40を用いる第5の実施形態と比較すると、温度ドリフトの観点からやや不利ではあるが、1本の金リボン43を接地導体5bに固定すれば良いので、製作性の面で優れる構造であると言える。
図13は本発明の第7の実施形態に関する概略断面図である。本実施形態では金リボン44、45を接地導体5bの上に積層して固定している。2枚の金リボン44、45を重ねて固定することにより、導体としての高さがより高くなるので、電気力線46、47をトラップする効率が極めて高くなる。
以上の説明において、金ワイヤー、もしくは金リボンを使用するとして説明してきたが、複数の中心導体の間にある接地導体に導体を付加することによりその高さが等価的に高くなるように構成し、電気的クロストークを抑圧するのが本発明の思想であるので、金ワイヤーの代わりに金リボン、あるいは金リボンの代わりに金ワイヤーを用いても良い。そしてさらに、ブロック状の導体など、その他の形状の導体を用いても良いことはいうまでもない。接地導体の上に形成する導体の材料としてはアルミニウムや銅、鉄、タングステンなど、導体であれば何でも良い。
2:SiO2バッファ層
3:マッハツェンダ光導波路(光導波路)
3a、3b、3c、3d:相互作用光導波路
4:進行波電極(電極)
4a、4b:高周波電気信号用進行波電極の中心導体
5a、5b、5c:高周波電気信号用進行波電極の接地導体
6a、6b、6c、6d、6e、6c´、6c´´、6e´、6e´´:リッジ部
7a、7b、7c、7d、7c´、7d´:凹部
8a、8b、9、11、12、15、16、17、18、21、22、31、32、41、42,46,47:電気力線
10、13、14、19,20、30:金ワイヤー
40、43、44、45:金リボン
20a、20b、20c、20d:チャイルドマッハツェンダ光導波路のバイアス電極
21a、21b:ペアレントマッハツェンダ光導波路のバイアス電極
I:非分極反転領域
II:分極反転領域
Claims (7)
- 電気光学効果を有する基板と、該基板に形成された光を導波するためのマッハツェンダ光導波路を含んでなる光導波路と、前記基板の一方の面側に形成され、前記光を変調する高周波電気信号を印加するための高周波電気信号用として複数の中心導体及び複数の接地導体からなる進行波電極を具備する光変調器において、
前記複数の中心導体のうちの隣接する中心導体に挟まれた前記接地導体の高さが等価的に高くなるように、前記接地導体の上面に導体が立設されていることを特徴とする光変調器。 - 前記導体が線状体でなり、前記光の導波方向に形成されていることを特徴とする請求項1に記載の光変調器。
- 前記導体が線状体でなり、前記光の導波方向に交わる方向に形成されていることを特徴とする請求項1に記載の光変調器。
- 前記導体が少なくとも2つでなり、前記接地導体の上面に積層されていることを特徴とする請求項2または3に記載の光変調器。
- 前記導体の材料が金、銅、アルミの少なくとも一つからなるワイヤーであることを特徴とする請求項2乃至4のいずれか一項に記載の光変調器。
- 前記導体の材料が金、銅、アルミの少なくとも一つからなるリボンであることを特徴とする請求項2乃至4のいずれか一項に記載の光変調器。
- 前記光導波路は、ペアレントマッハツェンダ光導波路の分岐光導波路上にチャイルドマッハツェンダ光導波路をそれぞれ有するネスト型光導波路であることを特徴とする請求項1乃至6のいずれか一項に記載の光変調器。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011025226A JP5271369B2 (ja) | 2011-02-08 | 2011-02-08 | 光変調器 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011025226A JP5271369B2 (ja) | 2011-02-08 | 2011-02-08 | 光変調器 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2012163840A true JP2012163840A (ja) | 2012-08-30 |
JP5271369B2 JP5271369B2 (ja) | 2013-08-21 |
Family
ID=46843263
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2011025226A Expired - Fee Related JP5271369B2 (ja) | 2011-02-08 | 2011-02-08 | 光変調器 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5271369B2 (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2016194537A (ja) * | 2015-03-31 | 2016-11-17 | 住友大阪セメント株式会社 | 導波路型光素子 |
CN108780236A (zh) * | 2016-03-18 | 2018-11-09 | 日本电信电话株式会社 | 光调制器 |
JP2020166163A (ja) * | 2019-03-29 | 2020-10-08 | 住友大阪セメント株式会社 | 光変調器 |
WO2020218434A1 (ja) * | 2019-04-25 | 2020-10-29 | 住友大阪セメント株式会社 | 光変調器及びそれを用いた光送信装置 |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6597698B2 (ja) | 2017-03-31 | 2019-10-30 | 住友大阪セメント株式会社 | 光変調器 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH11266105A (ja) * | 1998-03-16 | 1999-09-28 | Oki Electric Ind Co Ltd | 信号伝送基板 |
WO2008114349A1 (ja) * | 2007-03-16 | 2008-09-25 | Fujitsu Limited | 光導波路デバイス |
JP2010152306A (ja) * | 2008-11-19 | 2010-07-08 | Anritsu Corp | 光変調器 |
-
2011
- 2011-02-08 JP JP2011025226A patent/JP5271369B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH11266105A (ja) * | 1998-03-16 | 1999-09-28 | Oki Electric Ind Co Ltd | 信号伝送基板 |
WO2008114349A1 (ja) * | 2007-03-16 | 2008-09-25 | Fujitsu Limited | 光導波路デバイス |
JP2010152306A (ja) * | 2008-11-19 | 2010-07-08 | Anritsu Corp | 光変調器 |
Cited By (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2016194537A (ja) * | 2015-03-31 | 2016-11-17 | 住友大阪セメント株式会社 | 導波路型光素子 |
CN108780236A (zh) * | 2016-03-18 | 2018-11-09 | 日本电信电话株式会社 | 光调制器 |
CN108780236B (zh) * | 2016-03-18 | 2021-07-23 | 日本电信电话株式会社 | 光调制器 |
JP2020166163A (ja) * | 2019-03-29 | 2020-10-08 | 住友大阪セメント株式会社 | 光変調器 |
WO2020202596A1 (ja) * | 2019-03-29 | 2020-10-08 | 住友大阪セメント株式会社 | 光変調器 |
JP7259486B2 (ja) | 2019-03-29 | 2023-04-18 | 住友大阪セメント株式会社 | 光変調器 |
WO2020218434A1 (ja) * | 2019-04-25 | 2020-10-29 | 住友大阪セメント株式会社 | 光変調器及びそれを用いた光送信装置 |
JP2020181078A (ja) * | 2019-04-25 | 2020-11-05 | 住友大阪セメント株式会社 | 光変調器及びそれを用いた光送信装置 |
JP7263901B2 (ja) | 2019-04-25 | 2023-04-25 | 住友大阪セメント株式会社 | 光変調器及びそれを用いた光送信装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP5271369B2 (ja) | 2013-08-21 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US8135242B2 (en) | Optical modulator | |
JP6586223B2 (ja) | 光変調器 | |
JP4151798B2 (ja) | 光変調器 | |
JP6107869B2 (ja) | 光変調器 | |
US11425847B2 (en) | Electro-optic modulator | |
JP5271369B2 (ja) | 光変調器 | |
US9523872B2 (en) | Optical device | |
US8903202B1 (en) | Mach-Zehnder optical modulator having a travelling wave electrode with a distributed ground bridging structure | |
JP5276681B2 (ja) | 光変調器 | |
JP5285719B2 (ja) | 高周波接続配線基板、およびこれを備えた光変調器モジュール | |
US6646776B1 (en) | Suppression of high frequency resonance in an electro-optical modulator | |
US11947237B2 (en) | Semiconductor Mach Zehnder optical modulator | |
US20100310206A1 (en) | Optical modulator | |
JP5074431B2 (ja) | 光変調器 | |
US6885780B2 (en) | Suppression of high frequency resonance in an electro-optical modulator | |
US20230258967A1 (en) | Optical waveguide device, optical modulator, optical modulation module, and optical transmission apparatus | |
US11442329B2 (en) | Optical waveguide element, optical modulator, optical modulation module, and optical transmission apparatus | |
WO2022042229A1 (zh) | 一种行波电极调制器及光子集成芯片 | |
JP7224368B2 (ja) | マッハツェンダ型光変調器 | |
JP2011232583A (ja) | 光変調器モジュール | |
JP2017181851A (ja) | 光変調器 | |
JP5075055B2 (ja) | 光変調器 | |
JP2007093742A (ja) | 光変調器 | |
JP4754608B2 (ja) | 光変調器 | |
JP2013238785A (ja) | 光変調器 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20130205 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20130219 |
|
RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422 Effective date: 20130306 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20130411 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20130430 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20130510 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |