JP2009053444A - 光導波路素子 - Google Patents
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Abstract
ネスト型光導波路のように、光導波路が複数の光導波路部分を有し、該光導波路部分が互いに平行配置される光導波路素子において、光導波路部分が近接して配置される場合でも、各光導波路に印加される変調信号のクロストークを効果的に抑制することが可能な光導波路素子を提供すること。
【解決方法】
電気光学効果を有する基板と、該基板上に形成された光導波路と、該光導波路内を導波する光波を変調するための変調用電極とを有する光導波路素子において、該光導波路は、複数の光導波路部分が互いに平行配置され、少なくとも一つの該光導波路部分には該変調用電極による電界が印加される構成を有し、該光導波路部分間の距離が300μm以下であり、かつ該光導波路部分間には溝が形成されていることを特徴とする。
【選択図】図2
Description
図1は本発明が適用可能なネスト型光導波路を示す平面図である。また、図2は、図1の一点鎖線Xにおける断面図を示している。なお、図1においては、光導波路の形状を説明するため、変調用電極を省略している。
なお、特に図示してないが、基板1と変調用電極との間にはバッファ層を形成することもできる。これによって、光導波路を伝搬する光波が、変調用電極により吸収又は散乱されることを効果的に防止することができる。また、前記変調用電極から印加される変調信号と、前記光導波路内を導波する光波との速度整合をも向上させることができる。
計算結果を、図3に示す。なお、Lは300μmとし、Wは1〜101μm、Hは10〜500μmの範囲で変化させた。また、計算結果は、溝が無い場合に形成される電界の強さを1として計算している。
2−0〜2−9 光導波路
3−1,3−2 信号電極
4−1〜4−4 接地電極
10 溝
Claims (5)
- 電気光学効果を有する基板と、
該基板上に形成された光導波路と、
該光導波路内を導波する光波を変調するための変調用電極とを有する光導波路素子において、
該光導波路は、複数の光導波路部分が互いに平行配置され、少なくとも一つの該光導波路部分には該変調用電極による電界が印加される構成を有し、
該光導波路部分間の距離が300μm以下であり、かつ該光導波路部分間には溝が形成されていることを特徴とする光導波路素子。 - 請求項1に記載の光導波路素子において、該溝の幅は50μm以上であることを特徴とする光導波路素子。
- 請求項1又は2に記載の光導波路素子において、該溝の深さは450μm以上であることを特徴とする光導波路素子。
- 請求項1乃至3のいずれかに記載の光導波路素子において、該光導波路部分は、ネスト型光導波路のサブマッハツェンダ導波路であり、該溝は異なるサブマッハツェンダ導波路間に形成されていることを特徴とする光導波路素子。
- 請求項1乃至4のいずれかに記載の光導波路素子において、該溝の内側には、導電性材料が充填又は付着されていることを特徴とする光導波路素子。
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