JP2009236996A - 光変調器 - Google Patents
光変調器 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2009236996A JP2009236996A JP2008079666A JP2008079666A JP2009236996A JP 2009236996 A JP2009236996 A JP 2009236996A JP 2008079666 A JP2008079666 A JP 2008079666A JP 2008079666 A JP2008079666 A JP 2008079666A JP 2009236996 A JP2009236996 A JP 2009236996A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- optical
- groove
- substrate
- gap
- connecting portion
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
Images
Landscapes
- Optical Modulation, Optical Deflection, Nonlinear Optics, Optical Demodulation, Optical Logic Elements (AREA)
Abstract
【課題】光変調器のマイクロ波の速度整合をはかり、光変調器の金属電極による伝搬光の吸収による光損失を防止するとともに、駆動電圧を低減する。
【解決手段】光変調器は、電気光学単結晶のX板またはオフセットX板からなり、厚さ30μm以下の基板1、基板1の一方の主面1a上に設けられた信号電極2および接地電極3A、3B、信号電極と接地電極とのギャップに形成されており、基板の主面1aから凹んだギャップ内溝8およびギャップ内溝の底部に設けられたチャンネル型光導波路からなる変調部6A、6Bを備えている。信号電極と接地電極に変調電圧を印加することによって、変調部を伝搬する光を変調する。
【選択図】 図1
【解決手段】光変調器は、電気光学単結晶のX板またはオフセットX板からなり、厚さ30μm以下の基板1、基板1の一方の主面1a上に設けられた信号電極2および接地電極3A、3B、信号電極と接地電極とのギャップに形成されており、基板の主面1aから凹んだギャップ内溝8およびギャップ内溝の底部に設けられたチャンネル型光導波路からなる変調部6A、6Bを備えている。信号電極と接地電極に変調電圧を印加することによって、変調部を伝搬する光を変調する。
【選択図】 図1
Description
本発明は光変調器に関するものである。
マルチメディアの発展に伴い、通信のブロードバンド化の需要が高まり、10Gb/sを超える光伝送システムが実用化され、さらに高速化が期待されている。10Gb/s以上の電気信号(マイクロ波信号)を光に変調するデバイスとしてLN光変調器が使用されている。
特許文献1においては、平板状の保持基体と厚さ10μm以下の薄い光導波路基板とを接着した光導波路デバイスを開示した。
WO 03/ 042749
光変調器の駆動電圧を低減するためには、信号電極と接地電極との電極間ギャップを狭くすることが必要である。しかし、電極ギャップを狭くすると、金属製の電極と光導波路とが接近し、金属電極による光の吸収が顕著となり、光の損失が悪化するという問題がある。
非特許文献1に記載のマッハツェンダー型光変調器によれば、ニオブ酸リチウムのX板の表面に信号電極と接地電極とを設け、電極ギャップに溝を堀り、溝の底面に光導波路を形成している。これによって、マイクロ波の実効屈折率を下げ、マイクロ波の速度整合を図っている。この方法によれば、電極と光導波路とを溝の分だけ離すことができるので、金属電極による光の吸収防止にも有効である。
1991年電子情報通信学会秋季大会 C−164 「溝型導波路を用いたX板Ti:LiNbO3変調器」 中沢忠雄 清野 實
1991年電子情報通信学会秋季大会 C−164 「溝型導波路を用いたX板Ti:LiNbO3変調器」 中沢忠雄 清野 實
非特許文献1記載の光変調器では、溝を形成して溝の底面に光導波路を形成することによって、前述のように広帯域化には成功している。しかし、非特許文献1の図4に示すように、光導波路のところに溝を形成すると、溝が深くなるのにつれて半波長電圧が大きくなることが記載されている。例えば、溝がない場合に半波長電圧が6V・cmである場合に、深さ4μmの溝を設けると、半波長電圧が10V・cm以上に著しく上昇している。現在、光変調器の駆動電圧の低減は重要な要求であるので、非特許文献1記載の光変調器では実用に向かないと考えられる。
本発明の課題は、光変調器のマイクロ波の速度整合をはかり、光変調器の金属電極による伝搬光の吸収による光損失を防止するとともに、駆動電圧を低減することである。
本発明は、電気光学単結晶において電気光学定数が最も大きい軸を水平方向に配した基板からなり、厚さ30μm以下の光導波路基板、
光導波路基板の一方の主面上に設けられた信号電極および接地電極、
信号電極と接地電極とのギャップに形成されており、基板の主面から凹んだギャップ内溝、および
このギャップ内溝の底部に設けられたチャンネル型光導波路からなる変調部
を備えており、信号電極と接地電極に変調電圧を印加することによって、変調部を伝搬する光を変調することを特徴とする。
光導波路基板の一方の主面上に設けられた信号電極および接地電極、
信号電極と接地電極とのギャップに形成されており、基板の主面から凹んだギャップ内溝、および
このギャップ内溝の底部に設けられたチャンネル型光導波路からなる変調部
を備えており、信号電極と接地電極に変調電圧を印加することによって、変調部を伝搬する光を変調することを特徴とする。
本発明によれば、厚さ30μm以下の基板に更にギャップ内溝を形成し、その底面に拡散光導波路を形成する。これによって、マイクロ波の速度整合をはかることができる。そして、光導波路をギャップ内溝の底部に形成することから、金属電極による伝搬光の吸収が少なく、これによる光損失を防止できる。
その上で、本発明では、光変調器の駆動に必要な半波長電圧を、ギャップ内溝を形成しない場合に比べて低減することに成功した。非特許文献1記載の光変調器では、実際にニオブ酸リチウムのX板にギャップ内溝を形成しているが、溝を深くすれば深くするほど、駆動に必要な半波長電圧は著しく上昇している。これは、非特許文献1では、X板が厚いために、本発明の対象としているX板の薄板とは挙動が正反対になっていることを意味する。本発明において、このように非特許文献1とは正反対の挙動が得られた理由は明らかではない。
図1は、本発明の一実施形態に係る光変調器の変調領域を示す横断面図である。図2は、図1の光変調器と光ファイバーとの接続部分を模式的に示す平面図である。図3は、図2の光変調器と光ファイバーとの接続部分を模式的に示す斜視図である。図4は、本発明を適用可能な進行波形光変調器を模式的に示す平面図である。
図1に示すように、光導波路基板1の底面1cが接着層14を介して支持基板15に対して接着されている。支持基板1の厚さTsub(図5参照)は30μm以下である。基板1の上面1aには、所定の信号電極2および接地電極3A、3Bが形成されている。信号電極2と接地電極3Aとのギャップ4、信号電極2と接地電極3Bとのギャップ4には、それぞれ、ギャップ内溝8A、8Bが形成されている。
図2、図3に示すように、信号電極2と接地電極3A(3B)とのギャップ4にギャップ内溝8が形成されており、この溝8の底部に光導波路が形成されている。一方、光ファイバーとの接続部7においては、溝は存在せず、基板2の主面2aに光導波路5の接続部7が形成されている。また、基板2の端面と対向するように光ファイバー保持部材9が設置されており、その円柱形状の保持具10の中央に光ファイバー11が保持されている。光ファイバー11の端面11aを光導波路5の接続部7の端面5aに対して突き合わせ、光を入射または出射させる。
また、本例では、光導波路5の変調部6A(6B)と接続部7との間に連結部15を設けており、連結部15は連結部用溝19の底部に形成している。ここで、連結部用溝19の幅は、ギャップ内溝8の幅よりも小さく、接続部7へと向かって徐々に小さくなっている。また、連結部用溝19の深さは、ギャップ内溝8の深さよりも小さく,接続部7へと向かって徐々に浅くなっている。
本例では、各溝8の底部にプロトン交換または金属イオン拡散領域が形成されており、これによって各チャンネル型光導波路6A、6Bが形成されている。各光導波路6A、6Bは、それぞれ、伝搬光の変調部として機能する。
本例によれば、厚さ30μm以下の基板1に更にギャップ内溝8を形成し、ギャップ内溝8の底面に拡散光導波路の変調部6A、6Bを形成する。光導波路をギャップ内溝の底部に形成することから、図1に示すように、金属電極2、3A、3Bから変調部6A、6Bが離れており、従って金属電極による伝搬光の吸収が少なく、これによる光損失を防止できる。
その上で、本例では、光変調器の駆動に必要な半波長電圧を、ギャップ内溝8を形成しない場合に比べて低減できる。このように非特許文献1とは正反対の挙動が得られた理由は明らかではない。図1に示すように、電気力線Aが変調部6A、6Bへと向かって広がる様子を考慮すると、まず電極から縦方向(深さ方向)へと向かって変調部が離れることから、変調部を通過する電気力線は少なくなり、電界は小さくなるはずである。非特許文献1において、駆動に必要な半波長電圧が溝によって顕著に増大した理由は、これによるものと思われる。一方、基板1を薄くしていくと、変調部6A、6Bに水平方向に加わる電気力線は、薄い基板への集中によって増大する可能性がある。しかし、このような効果が、非特許文献1に記載したような電界強度低下という効果に比べて、どの程度大きなものであるかは、本発明者以前には研究されておらず、手がかりが存在しなかった。
本発明において、変調部における基板1の厚さTsub(図5)は30μm以下とする必要があり、これによって本発明の作用効果を得ることができる。この観点からは、Tsubは、15μm以下であることが好ましく、10μm以下であることがいっそう好ましい。一方、Tsubが小さくなると、ギャップ内溝を形成したときに、光の伝搬損失が大きくなりやすいので、この観点からは、Tsubは3μm以上であることが好ましく、5μm以上であることが更に好ましい。
ギャップ内溝の深さDgは、本発明の作用効果の観点からは、基板厚さTsubの5%以上とすることが好ましい。また、ギャップ内溝の深さDgは、基板厚さTsubの80%以下とすることが好ましい。表2に示す様にDgを基板厚の5%以上とすることで、電極による吸収損失を大きく抑制することが可能となる。また、Dgを基板厚の80%以下とすることで、光導波路がカットオフ状態になるおそれが少なくなる。
また、キャップ内溝の深さDgは、本発明の作用効果の観点からは、0.5μm以上とすることが好ましく、1μm以上とすることが更に好ましい。
ギャップ内溝8A、8Bにおける基板の厚さToは、本発明の作用効果の観点からは、8μm以下であることが好ましく、5μm以下であることが更に好ましい。一方、Toが小さくなりすぎると、変調部の伝搬する光の損失が大きくなるので、Toは3μm以上が好ましい。
電極ギャップGは、駆動電圧を低減するという観点からは、30μm以下が好ましく、25μm以下が更に好ましい。ただし、ギャップGを小さくすると、電極による光吸収が生ずるが、本発明ではギャップ内溝8を形成することによって、電極による光の吸収を抑制することができる。
電極厚さTeは、電極損失の低減という観点からは、3μm以上とすることが好ましく、5μm以上とすることが更に好ましい。しかし、電極厚さTeを大きくすると、電極による光吸収が生ずるが、本発明ではギャップ内溝8を形成することによって、電極による光の吸収を抑制することができる。
好適な実施形態においては、基板の一方の主面上に形成されているチャンネル型光導波路からなる光接続部を備えており、この光接続部と変調部とが連結されている。これによって、ギャップ内溝における基板厚さToを例えば10μm以下とした場合であっても、光接続部における基板厚さ(Tsub)は大きくできる。これによって、光ファイバーのモードフィールド形状とのミスマックに起因する伝搬損失を低減することができる。
好適な実施形態においては、光接続部と変調部との間に、チャンネル型光導波路からなる連結部を備えており、この連結部が、前記一方の主面から凹んだ連結部用溝の底部に金属イオン拡散法またはプロトン交換法で形成されており、連結部用溝がギャップ内溝とつながっている。
この実施形態において特に好ましくは、連結部用溝の深さが、変調部から光接続部へと向かって減少する。また、連結部用溝の幅が、変調部から光接続部へと向かって減少する。このように、連結部用溝の幅および/または深さに対してテーパを設けることによって、変調部と光接続部との境界におけるモードフィールド形状のミスマッチに起因する伝搬損失をいっそう低減できる。
本発明の光変調器は、光の特性に変調を加えるものであれば限定されず、光強度変調器、光位相変調器であってよい。光強度変調器は、マッハツェンダー型光導波路を利用した光振幅変調器であってよい。光位相変調器とは、入射光に対して位相変調を加え、出射光から位相変調信号を取り出すものを意味する。その種類は特に限定されず、DQPSK、SSB等の各種位相変調方式を利用できる。
一実施形態においては、光位相変調器が、複数の光位相変調部を備えている。この実施形態においては、好ましくは、一つの光位相変調部の第一の接地電極または第二の接地電極が、隣接する光位相変調部の第一の接地電極または第二の接地電極と共通接地電極を構成している。このような共通接地電極を形成することによって、光変調部に必要な寸法を小さくし、チップの小型化に資することができる。
複数の位相変調部を用いた場合の位相変調方式は特に限定されず、DQPSK(Differential Quadrature Phase Shift Keying)、SSB(Single Side Band amplitude modulation)、DPSK「Differential
Phase Shift Keying:差動位相偏移変調」など、種々の位相変調方式を採用できる。各変調方式それ自体は公知である。
Phase Shift Keying:差動位相偏移変調」など、種々の位相変調方式を採用できる。各変調方式それ自体は公知である。
例えば図4に示す光変調器では、マッハツェンダー型光導波路20を利用して伝搬光の変調を行う。即ち、入射部20aから光を入射させ、分波点20bで分岐し、分岐導波路20c、変調部20d、20eを通過して変調を受け、合波部20fで合波し、出射部20gから変調光を出射させる。
ここで、本発明に従い、信号電極2と接地電極3A、3Bとの間にギャップ内溝8を形成し、この中に変調部6A、6Bを形成する。また、ギャップ内溝8の両側にそれぞれ連結部用溝19を形成し、各連結部用溝19内にそれぞれ連結部を形成する。各連結部15は、主面1a上に溝なしで形成された光接続部7に向かって接続されている。
光導波路基板を構成する電気光学単結晶は、光の変調が可能であれば特に限定されないが、ニオブ酸リチウム、タンタル酸リチウム、ニオブ酸リチウム−タンタル酸リチウム固溶体、ニオブ酸カリウムリチウム、KTP、GaAs及び水晶などを例示することができる。
光導波路基板は、例えば単結晶のX板またはY板を使用することができる。
電極の材質は、低抵抗でインピーダンス特性に優れる材料であれば特に限定されるものではなく、金、銀、銅などの材料から構成することができる。
光導波路は、プロトン交換法または金属イオン拡散法(例えばチタン内拡散法)によってギャップ内溝の底部に形成する。この方法は常法によることができる。
例えば図1において、光導波路基板1と支持基体15とを接着する接着剤14の種類は特に限定されないが、厚さ300μm以下が適当である。接着剤としては、ガラス系接着剤、エポキシ系接着剤、半導体製造用層間絶縁体、ポリイミド樹脂を例示できる。
(実施例1)
図1〜図5を参照しつつ説明した光変調器を作製した。
具体的には、ニオブ酸リチウム基板の3インチウエハーを準備した。この基板の厚さは1mmとし、かつX板を使用した。反応性イオンエッチングによってギャップ内溝8を形成した。そして、この基板の主面1aに、図4に示すようなマッハツェンダー型光導波路20をチタン拡散法によって形成した。ただし、熱処理前のチタン線幅は、光接続部7では3.6μmとし、変調部では8.0μmとした。
図1〜図5を参照しつつ説明した光変調器を作製した。
具体的には、ニオブ酸リチウム基板の3インチウエハーを準備した。この基板の厚さは1mmとし、かつX板を使用した。反応性イオンエッチングによってギャップ内溝8を形成した。そして、この基板の主面1aに、図4に示すようなマッハツェンダー型光導波路20をチタン拡散法によって形成した。ただし、熱処理前のチタン線幅は、光接続部7では3.6μmとし、変調部では8.0μmとした。
次いで、信号電極2および接地電極3A、3Bを金めっきによって形成した。次いで、ニオブ酸リチウム基板の薄板加工を実施した。まずニオブ酸リチウム基板の電極形成面にワックスを塗布し、厚さ1mmのダミー基板(ニオブ酸リチウム製)に対して貼り付けた。この状態で、ニオブ酸リチウム基板の裏面を研磨加工し、厚さ10μmとした。次いで、加工済みのニオブ酸リチウム基板の裏面に、厚さ50μmのシート樹脂14を介して支持基板15(ニオブ酸リチウム製)を貼り付けた。次いでダミー基板を取り外した。こうして得られたウエハーに切断および端面研磨加工を施し、光変調器チップを得た。
変調部における電極ギャップGは、25、20、15、10μmに変化させた。ギャップ用溝の深さDgは5μmとし、溝での基板厚さToは5μmとし、電極厚さTeは6μmとし、信号電極幅Wは30μmとした。
偏波面保持光ファイバー11をフェルール10によって保持し、チップの入力側端面に対して光学接着剤で接着した。また、シングルモードファイバー11をフェルール10によって保持し、チップの出力側端面に対して光学接着剤で接着した。電極をプロービングし、電圧を印加できるようにした。この結果、光ファイバーとの結合損失を含めて、チップ全体の損失は−5dB以下となった。また、直流での駆動電圧は、電極ギャップ25、20、15、10μmに対して、それぞれ7.5V/cm、6V/cm、4.7V/cm、3.3V/cmとなった。
(実施例2)
実施例1と同様にして光変調器を作製した。ただし、電極ギャップGを 13.5 μmとし、Tsubおよび溝の深さDgを、表1に示すように変更した。そして、駆動電圧Vπ・Lの変化を測定し、表1に示した。
実施例1と同様にして光変調器を作製した。ただし、電極ギャップGを 13.5 μmとし、Tsubおよび溝の深さDgを、表1に示すように変更した。そして、駆動電圧Vπ・Lの変化を測定し、表1に示した。
この結果からわかるように、変調部における基板厚さを30μm以下とすると、溝の形成によって駆動電圧が低下する。しかし、変調部における基板厚さが30μmを超えると駆動電圧低下の効果がなくなる。基板厚さが500μmになると、溝の形成によって駆動電圧が顕著に上昇する。
(実施例3)
実施例1と同様にして光変調器を作製した。ただし、電極ギャップGを10μmとし、変調部における基板の厚さを9μmとし、溝の深さDgを、表2に示すように変更した。そして、伝搬光の電極吸収損を測定した。この結果を表2に示す。
実施例1と同様にして光変調器を作製した。ただし、電極ギャップGを10μmとし、変調部における基板の厚さを9μmとし、溝の深さDgを、表2に示すように変更した。そして、伝搬光の電極吸収損を測定した。この結果を表2に示す。
この結果からわかるように、ギャップ内溝の底部に光導波路の変調部を形成することによって、電極吸収損を著しく低減できる。
1 光導波路基板 1a 基板1の一方の主面 2 信号電極 3A、3B 接地電極 6A、6B 変調部 7 光接続部 8 ギャップ内溝 11 光ファイバー 15 連結部 19 連結部用溝
Claims (5)
- 電気光学単結晶において電気光学定数が最も大きい軸を水平方向に配した基板からなり、厚さ30μm以下の光導波路基板、
前記光導波路基板の一方の主面上に設けられた信号電極および接地電極、
前記信号電極と前記接地電極とのギャップに形成されており、前記基板の前記主面から凹んだギャップ内溝、および
このギャップ内溝の底部に設けられたチャンネル型光導波路からなる変調部
を備えており、前記信号電極と前記接地電極に変調電圧を印加することによって、前記変調部を伝搬する光を変調することを特徴とする、光変調器。 - 前記基板の前記一方の主面上に形成されているチャンネル型光導波路からなる光接続部を備えており、この光接続部と前記変調部とが連結されていることを特徴とする、請求項1記載の光変調器。
- 前記光接続部と前記変調部との間に、チャンネル型光導波路からなる連結部を備えており、この連結部が、前記一方の主面から凹んだ連結部用溝の底部に金属イオン拡散法またはプロトン交換法で形成されており、前記連結部用溝が前記ギャップ内溝とつながっていることを特徴とする、請求項1または2記載の光変調器。
- 前記連結部用溝の深さが、前記変調部から前記光接続部へと向かって減少することを特徴とする、請求項3記載の光変調器。
- 前記連結部用溝の幅が、前記変調部から前記光接続部へと向かって減少することを特徴とする、請求項3または4記載の光変調器。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008079666A JP2009236996A (ja) | 2008-03-26 | 2008-03-26 | 光変調器 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008079666A JP2009236996A (ja) | 2008-03-26 | 2008-03-26 | 光変調器 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009236996A true JP2009236996A (ja) | 2009-10-15 |
Family
ID=41251064
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008079666A Withdrawn JP2009236996A (ja) | 2008-03-26 | 2008-03-26 | 光変調器 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2009236996A (ja) |
-
2008
- 2008-03-26 JP JP2008079666A patent/JP2009236996A/ja not_active Withdrawn
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US7447389B2 (en) | Optical modulator | |
EP2116889B1 (en) | Optical phase modulator | |
JP5007629B2 (ja) | 光導波路素子 | |
JP6661913B2 (ja) | 光モジュール、及びこれを用いた光送信機 | |
US20070147722A1 (en) | Optical waveguide devices and travelling wave type optical modulators | |
US7319800B2 (en) | Optical waveguide device | |
JPWO2006090863A1 (ja) | 光変調器 | |
US20220163827A1 (en) | Optical device, optical communication apparatus, and manufacturing method of the optical device | |
JP2012098744A (ja) | 光導波路素子 | |
JP2010008751A (ja) | 光導波路デバイスおよびその製造方法 | |
JP5198996B2 (ja) | 光変調器 | |
JP5729075B2 (ja) | 光導波路素子 | |
JP5166450B2 (ja) | 光導波路デバイス | |
JP4691428B2 (ja) | 光変調器 | |
JP5229378B2 (ja) | 光導波路素子 | |
US6768570B2 (en) | Optical modulator | |
JP5254855B2 (ja) | 進行波型光変調器 | |
JP7052477B2 (ja) | 光導波路素子 | |
JP2010230741A (ja) | 光変調器 | |
JP2009236996A (ja) | 光変調器 | |
JP2015102686A (ja) | 光変調器 | |
JP2021026090A (ja) | 光デバイス | |
JP2005274793A (ja) | 光導波路および光導波路デバイス | |
JP2010032690A (ja) | 光変調器 | |
JP2010044197A (ja) | 光変調器 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20110607 |