JP2012212028A - 進行波型光変調素子 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】電気光学効果を有する基板1と、基板に形成されたマッハツェンダー型光導波路を含む光導波路2と、光導波路を伝搬する光波を変調するための変調電極とを備える。変調電極は、マッハツェンダー型光導波路の2つの分岐導波路21,22に対して、別々の変調信号を印加する第1の信号電極31と第2の信号電極32とを有し、各信号電極は、基板の同じ側面側に変調信号入力部T1,T2を有する。信号電極の変調信号入力部T1、T2から作用部Sまでの少なくとも一部の領域では、第1の信号電極31と第2の信号電極32との間に配置された接地電極が、第1の信号電極に沿う第1の接地電極41と第2の信号電極に沿う第2の接地電極42に分離されている。
【選択図】図1
Description
図1は、本発明の進行波型光変調素子の第1の実施例を示す。
本発明は、電気光学効果を有する基板1と、該基板に形成されたマッハツェンダー型光導波路を含む光導波路2と、該光導波路を伝搬する光波を変調するための変調電極とを備え、該変調電極は、該マッハツェンダー型光導波路の2つの分岐導波路(21,22)に対して、別々の変調信号を印加する第1の信号電極31と第2の信号電極32とを有し、かつ、該第1の信号電極と該第2の信号電極とは、該基板の同じ側面側に変調信号入力部(T1,T2)を有する進行波型光変調素子において、各信号電極の該変調信号入力部(T1,T2)から、該変調信号が該分岐導波路に印加される作用部Sまでの少なくとも一部の領域では、該第1の信号電極31と該第2の信号電極32との間に配置された接地電極が、該第1の信号電極に沿う第1の接地電極41と該第2の信号電極に沿う第2の接地電極42に分離されていることを特徴とする。
2 光導波路
21,22 分岐導波路
31 第1の信号電極
32 第2の信号電極
41 第1の接地電極
42 第2の接地電極
5 電気的抵抗体
6 溝
Claims (5)
- 電気光学効果を有する基板と、
該基板に形成されたマッハツェンダー型光導波路を含む光導波路と、
該光導波路を伝搬する光波を変調するための変調電極とを備え、
該変調電極は、該マッハツェンダー型光導波路の2つの分岐導波路に対して、別々の変調信号を印加する第1の信号電極と第2の信号電極とを有し、かつ、該第1の信号電極と該第2の信号電極とは、該基板の同じ側面側に変調信号入力部を有する進行波型光変調素子において、
各信号電極の該変調信号入力部から、該変調信号が該分岐導波路に印加される作用部までの少なくとも一部の領域では、該第1の信号電極と該第2の信号電極との間に配置された接地電極が、該第1の信号電極に沿う第1の接地電極と該第2の信号電極に沿う第2の接地電極に分離されていることを特徴とする進行波型光変調素子。 - 請求項1に記載の進行波型光変調素子において、該第1の信号電極と該第2の信号電極との間に配置された接地電極が、該作用部においても該第1の接地電極と該第2の接地電極に分離されていることを特徴とする進行波型光変調素子。
- 電気光学効果を有する基板と、
該基板に形成されたマッハツェンダー型光導波路を含む光導波路と、
該光導波路を伝搬する光波を変調するための変調電極とを備え、
該変調電極は、該マッハツェンダー型光導波路の2つの分岐導波路に対して、別々の変調信号を印加する第1の信号電極と第2の信号電極とを有し、かつ、該第1の信号電極と該第2の信号電極とは、該基板の同じ側面側に変調信号入力部を有する進行波型光変調素子において、
各信号電極の該変調信号入力部から、変調信号出力部までの領域で、該第1の信号電極と該第2の信号電極との間に配置された接地電極が、該第1の信号電極に沿う第1の接地電極と該第2の信号電極に沿う第2の接地電極に分離されていることを特徴とする進行波型光変調素子。 - 請求項1乃至3のいずれかに記載の進行波型光変調素子において、該第1の接地電極の幅は、該第1の信号電極の幅の2倍以上10倍以下、又は、該第2の接地電極の幅は、該第2信号電極の幅の2倍以上10倍以下であることを特徴とする進行波型光変調素子。
- 請求項1乃至4のいずれかに記載の進行波型光変調素子において、該第1の接地電極と該第2の接地電極との間には電気的抵抗体又は溝が配置されていることを特徴とする進行波型光変調素子。
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