JP2008241732A - 光導波路デバイスおよび光導波路デバイスの製造方法 - Google Patents
光導波路デバイスおよび光導波路デバイスの製造方法 Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】基板11上に形成された導波路コア13を備えた光導波路部15とこの光導波路部15に対応して基板11上に装着された光素子18(LD)とを基板11上で双方を光端面接続しハイブリッド実装して成る光導波路デバイスであって、前記光素子18の活性ライン25の両側にLD側アライメントマーカ18A,18Bを設け、対応する基板11上に前記光素子18を実装した場合に当該光素子側のマーカ18A,18Bと中心点が一致する位置に、それぞれ基板側アライメントマーカ21A,21Bを設け、更に前記基板11上の導波路コア13との相対的位置関係が一定となるように基準マーカ24A,24Bを設け、これにより、位置ずれ量を検出すること。
【選択図】図1
Description
(発明の目的)
す。図3(A)は、中を反射面とした反射面の形状を示し、図3(B)は外形が四角形で中央部が幾何学形状をした打ち抜き型の種々の例を示す。
α=(dXa,dYa)、β=(dXb,dYb)
と特定される。
dX=(dXa+dXb)/2
dY=(dYa+dYb)/2
dθ= arctan〔(dYb−dYa)/(dXb−dXa)〕
本実施形態では、これらdX,dY,dθは、何れも主制御手段34内で演算され、前述した光素子18に対応する上記基板11の位置ずれ量として特定され、光素子18を正規の位置に搭載し且つ導波路コア13の中心線上に前述した光素子18の活性層25の中心線を合致させるという本実施形態における高精度実装に際しては、上述した主制御手段34による移送テーブル機構部33Aおよび上下方向移送手段36に対する動作制御量として、後述するように有効に活用される。その詳細は後述する。
11 基板
121 ベース層
122 下部クラッド層
13 光導波路コア
14 上部クラッド層
15 光導波路部
16 光導波路形成部
17 光素子搭載部
18 光素子
18A LD側アライメントマーカ
18B LD側アライメントマーカ
19 台座ブロック
20 マーカ台
21A 基板側アライメントマーカ
21B 基板側アライメントマーカ
22 クロム層
24 基準マーカ台
24A 基準マーカ
24B 基準マーカ
25 LD活性層
31 撮像手段
31A 赤外線光源
31B CCDカメラ
32 画像表示手段
32A モニタ
33 LD移送設置機構
33A 移送テーブル機構部
33B 支持台
33C 支柱部
34 主制御手段
34A マーカ位置検出部
34B 位置ずれ量算出部
34C 移送先補正制御部
34D 記憶部
35 片持ち梁
36 上下方向移送手段
36A 保持アーム
36B 上下方向移動停止機構
36C 回転駆動機構
40 入力部
50 光導波路デバイス
51 基板
52 カメラ
521 ベース層
522 下部クラッド層
53 光導波路コア
54 上部クラッド層
55 光導波路部
56 光導波路形成部
57 光素子搭載領域
58 光素子
58A 活性層
58a 光素子側アライメントマーカ
59 台座ブロック
60 マーカ台
61 クロム膜
62 基板側アライメントマーカ
dX,dY,dθ 補正量(位置ずれ量)
Claims (6)
- 基板上に、光導波路コアを有する光導波路部が形成され、さらに同じ基板上に光素子部が前記光導波路部と光学的に結合した状態で実装されたハイブリッド型の光導波路デバイスにおいて、
前記光導波路部には、前記光素子部を前記光導波路コアに対応した位置に装着するための基準マーカが形成され、かつ該基準マーカと前記光導波路コアとは、一括して位置決めが行われた上で形成されていることを特徴とする光導波路デバイス。 - 基準マーカが、光導波路コアを挟んだ左右両側にそれぞれ一つ以上形成されていることを特徴とする、請求項1記載の光導波路デバイス。
- 光素子部には光素子部側アライメントマーカが形成され、基板上には前記光素子部側アライメントマーカに対応する基板側アライメントマーカが形成されていることを特徴とする、請求項1または2に記載の光導波路デバイス。
- 光素子部側アライメントマーカが、光素子部の活性層を挟んだ左右両側にそれぞれ一つ以上形成されていることを特徴とする、請求項1乃至3のいずれかに記載の光導波路デバイス。
- 請求項1乃至4のいずれかに記載した光導波路デバイスにおける、光素子部を基板上に実装する際、
光導波路部に形成された基準マーカの位置を基準として、前記光素子部を実装するべき位置を決定し、前記基板上に装着することを特徴とする光導波路デバイスの製造方法。 - 請求項3または4に記載した光導波路デバイスにおける、光素子部を基板上に実装する際、
光導波路部に形成された基準マーカの位置を基準として、基板側アライメントマーカが本来存在するべき位置と実際に存在している位置との差分を決定し、該差分に基づき、前記基板側アライメントマーカと光素子部側アライメントマーカとの位置関係を補正することにより、前記光素子部を前記基板上の実装するべき位置に装着することを特徴とする光導波路デバイスの製造方法。
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