JP2004114066A - レーザ加工装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】大型ディスプレイ用のガラス基板にレーザ直接描画またはレーザ直接加工によりアライメントマークなどを加工するために、高い位置決め精度のレーザ加工装置用ステージ機構を実現する。
【解決手段】加工対象であるガラス基板Bと重なる位置に必要な箇所にのみ事前に位置参照用マークQを書込んだ位置参照用ガラス基板Aを配置する。加工ヘッド7内部に設けたCCDカメラ12によりガラス基板Bを透過してガラス基板Aの位置参照マークQを検出し、これをX軸ステージおよびY軸ステージにフィードバックして必要な場所で精密な位置決め行ない、レーザビーム5の照射により位置検出マークPと重なる位置Pにアライメントマークを加工する。
【選択図】 図3
【解決手段】加工対象であるガラス基板Bと重なる位置に必要な箇所にのみ事前に位置参照用マークQを書込んだ位置参照用ガラス基板Aを配置する。加工ヘッド7内部に設けたCCDカメラ12によりガラス基板Bを透過してガラス基板Aの位置参照マークQを検出し、これをX軸ステージおよびY軸ステージにフィードバックして必要な場所で精密な位置決め行ない、レーザビーム5の照射により位置検出マークPと重なる位置Pにアライメントマークを加工する。
【選択図】 図3
Description
【0001】
【発明が属する技術分野】
本発明はレーザー加工装置に係り、特に液晶ディスプレイやプラズマディスプレイ用の大型ガラス基板に高精度のレーザマーキングを行なう装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
従来、大型の液晶ディスプレイやプラズマディスプレイの生産においては巾1mを越す大型のガラス基板が用いられることが多く、これに色表示のためのカラーフィルタや画像表示のための電極構造を薄膜で積層形成させる構造となっている。
これらの工程に先立ち、ガラス基板材料の所定の場所に位置姿勢を検出調整するためのアライメントマークの書込みが必要である。
【0003】
従来アライメントマークを書き込む方法としてマスク露光方式が用いられてきた。これは高精度のマスクを用いて基板に塗布したフォトレジストを露光し,その後ガラス基板の化学エッチングを組み合わせる方式である。
【0004】
基板ガラスに吸収されるUVレーザ光を走査して直接アライメントマークを書き込むレーザ光直接加工方式については,加工位置の位置決めを行なう場合の精度が問題になり,精度を確保する為に各種方法が用いられる。
【0005】
ステージ精度を確保する手法の一つとして補正を行なう方法がある。本発明に関連した公知例として、特開平05−023877がある。YAGレーザを用いてステージによる走査機構でレーザ直接加工を行なうものである。高精度ステージで一旦位置決めした後,CCDカメラを用いて加工した穴位置を観測し、これにより加工時の位置補正を行なう例について述べたものである。
【0006】
またステージ精度を確保する為,レーザ測長器を用いて位置管理を行なう場合もある。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】
従来精度の観点からアライメントマークの作成はマスク露光方式が用いられてきた。しかし基板の大型化に伴い露光用マスクも大きくなり,その製作が限界にきている,かつ露光後に現像と化学処理の工程が必要で,大型基板の採用に伴い設備が大型になるという問題点があった。
【0008】
またレーザ直接加工方式は露光方式に比べて工程が単純で設備も小さく,また大型基板対応が可能であるという利点があるが,従来のステージ技術で1m以上の長さで数μmの精度の位置決め精度を確保しようとすると装置が極めて高価になるという問題点があった。
【0009】
本発明は上記の従来技術の問題点を解消するためになされたもので,安価で高精度の大型ディスプレイ用ガラス基板上のアライメントマークのレーザ直接加工装置を提供することを目的とする。
【0010】
【課題を解決するための手段】
本発明に係るレーザ加工装置においては,ガラス板などの光学的に透明な被加工物とこれに照射するレーザビームとを平面上で任意の位置に相対的に位置決めしつつ当該被加工物を加工するレーザ加工装置であって、前記レーザビームと被加工物を相対的に位置決めするためのステージ機構と、前記レーザビームと被加工物との相対位置を検出するための位置検出手段を有し、当該位置検出手段は、前記被加工物の一方の面に平行に設置した位置参照マーク表示手段と、当該被加工物のもう一方の面側から被加工物を光学的に透過して前記位置参照マークを検出する位置参照マーク読取手段とによって構成し、当該位置参照マーク読取手段によって検出した位置検出情報を上記位置決め手段にフィードバックしてレーザビームの相対位置を補正しながら加工を行なうものである。
【0011】
また,加工用レーザビームとしてガラスなどの透明な被加工物に対して吸収されやすい波長266nmの紫外線レーザを用いる物である。
【0012】
また位置決め手段は位置決めの基準となるベース部材と、これに対して相対的に位置可変のステージ部材とからなる少なくとも一自由度の位置決めステージまたはロボットであり、前記位置検出手段の位置参照マーク表示手段を前記ベース部材に、位置参照マーク読取手段を前記ステージ部材に夫々設置してベース部材とステージ部材との相対的な位置を検出するようにし、位置参照マーク表示部材には前記ステージ部材がベース部材に対して動きうる全域でなく前記被加工物を加工するのに必要な限定した領域のみに位置参照マークを表示するものである。
【0013】
位置参照マーク検出手段として固体撮像素子を用いた観察用カメラ・レンズなどの光学的検出手段を設けるとともに、上記レーザビームを整形・導光するための導光光学系を設け、被加工物に向けて照射する射出口にて両者の光軸が一致するようにするものである。
【0014】
位置参照マーク表示部材に被加工物と同じかまたは線膨張係数の等しい材料を用いるものである。
【0015】
【作用】
多くの場合、アライメントマークは大面積のガラス基板上の最も離れた対角点近傍に2個または3箇所程度書き込まれ、相互の間隔や配置の精度は間隔が1mを越す場合でも絶対誤差で10〜20μm以下を要求される。これは精度で表すと例えば1mの間隔で要求誤差10μm以下の場合0.01mm/1000mm = 0.00001であり、機械的な位置決めを高精度で達成するのは極めて困難な領域である。
レーザ加工機はレーザビームの位置決めのため例えばX−Yステージを用いており、ステージの位置決めは高精度に目盛加工されたガラスのリニアスケールを光学的に検出しながら行うのが一般的である。この方法ではX−Yの2次元平面上で一辺1mを越す大きな領域ををカバーできる高精度なリニアスケールを製作する必要があり、広い領域の離れたわずか何ヶ所かにアライメントマークを書込むためにだけ高価なリニアスケールを製作することが価格的に得策ではなかった。
【0016】
上記の目的を達成するために、本発明ではステージの位置検出方法を改善した。特に加工の対象がガラス基板という光学的に透明な材料であることに着目し、加工対象であるガラス基板Bの例えば下側にあらかじめ位置検出マークを書込んだ別のガラス基板Aを配置し、加工対象であるガラス基板Bのもう一方の面側から加工対象であるガラス基板Bを透かしてこれをCCDカメラなどで読取る。そして読取った位置検出マークを画像処理によって位置情報に変換し、これによってX−Yステージの制御を行なうことにした。
【0017】
このようにしてガラス基板Bをレーザビームの照射点に位置決めした後にレーザビームを照射し目的の加工を行なう。この方法の利点は位置検出マークと実際の加工部位とがレーザビームの射出側の真上からみて完全に重なった状態で加工できるので位置ずれがほとんど発生しないことである。
【0018】
これを実現するにあたり、位置検出マークを読取るためのCCDカメラやこれに取付ける拡大レンズを含む検出光学系の光軸を射出されるレーザビームの光軸と一致させておくことが望ましい。レーザビームを射出する導光光学系と位置検出マークを読取る検出光学系を一体構造のフレームに固定して設けておけば、フレーム構造自身の倒れや位置ずれなどの機械的誤差要因のほとんどを相殺することができるためである。
【0019】
上記のようにしてある箇所の位置検出マークと丁度一致した場所に第一のアライメントマークを書込んだ後、つぎにガラス基板B上の離れた箇所に移動して同じ動作を行なう必要がある。このとき先に述べた位置検出用のもうひとつのガラス基板Aには次に加工すべき位置にもあらかじめ位置検出マークが書込んであり、第一と第二の位置検出マークは例えば1.5mの間隔があったとしても絶対的に10μm以下の高い精度で配置されている。
【0020】
X−Yステージの位置決めはステージ本体が持っている別のリニアスケールに従って行なわれる。このようにしてレーザビームの射出口が第二の位置検出マークのある箇所の近傍まで移動すると位置検出用のCCDカメラの視野内に第二の位置検出マークが入り、これを参照としたさらに精密な位置決めが可能となる。第二の位置検出マークによってレーザビームの射出位置を位置決めした後にガラス基板Bにレーザビームを照射して第二のアライメントマークを書込む。
【0021】
このようにして書込まれた第一と第二のアライメントマークは夫々位置決めの基準となった第一と第二の位置検出マークと重なり合った位置にあるので相互の間隔精度も同じ程度の10μm以下が得られている。
【0022】
このようにして大きなストロークであっても2点間のマーク間隔または3点以上のマーク配置は高い精度で確保することが可能である。特に位置検出用に加工対象であるガラス基板Bと同じ材質または同じ線膨張係数を有するガラス基板Aを用いることで温度の変化にともなう位置のずれを実質的に相殺することができる。
【0023】
ここで、ガラス基板の加工に注目すると、YAG4倍波レーザの波長266nmはガラスに対する吸収効率が高く、一方位置検出に用いるCCD素子の感度波長である可視光線の波長はガラスに対する透過率が高いので上記のような使い方には非常に好都合である。
【0024】
位置参照用のガラス基板Aにあらかじめ書込む位置検出マークはレーザビームの射出口が加工対象であるガラス基板B上のすべての位置に移動できるようになっていたとしても、実際にアライメントマークの加工のためにレーザビームを射出する位置近傍にのみ書込まれていれば良く、可動範囲全部をカバーできるように目盛られている必要がない。従ってこれを製作することは2次元平面全域をカバーするような大ストロークのリニアスケールを製作することに比べ、きわめて容易である。
【0025】
【実施例】
以下、本発明の実施例につき図1、図2に従って説明する。
図1は本発明の一実施例の全体構成図である。加工対象であるガラス基板Bはラインに沿ってローラガイド1によって送られ、所定の位置に静止する。ガラス基板Bを挟んで両側に2個のX軸ステージ2と2’が配置されX軸ステージのスライダ2−1と2’−1上にガラス基板BをまたぐようにY軸ステージ3のガイドレール3−1の両端がが固定してある。
【0026】
X軸ステージ2、2’とY軸ステージ3は、リニアモータによる位置決めステージであり、内部に設けられたリニアスケールの位置信号をフィードバックして夫々方向Xまたは方向Yにスライダ2−1、2’−1および3−1の位置決めが可能である。ふたつのX軸ステージ2と2’は常に同じ方向に同時に同じ距離だけ夫々のスライダ2−1と2’−1を移動するように制御される。
【0027】
X軸ステージ2’のスライダ2’−1上にはYAGレーザ発振器4から射出された波長266nmのレーザビーム5を45度の角度で折り返す第一の折返しミラー6が取付けてあり、X軸ステージ2と2’のスライダ2−1と2’−1がどの位置にあってもレーザビーム5を必ずY軸ステージ3の移動する方向Yに平行に反射するようになっている。
【0028】
Y軸ステージ3のスライダ3−1には第一の折返しミラー6によって反射されたレーザ発振器4からのレーザビーム5を再度45度の角度で折返し、同じくスライダ3−1上に固定された加工ヘッド7の内部に導くように第二の折返しミラー9が設けられている。このような構成により、加工ヘッド7はガラス基板Bの上面で方向Xおよび方向Yのいずれの位置にでも簡易的に位置決め可能になっている。
【0029】
図2は図1の構造を方向8の側面から見た断面模式図である。図1にも示したガラス基板Bの下側に、これと平行にガラス基板Aが配置されている。ガラス基板Aもガラス基板Bと同じくローラガイド1により所定の位置に位置決めされており、両者は上下に一定の間隔をおいて重なり合うように配置される。
【0030】
図3に加工ヘッド7の内部構造を示す。第二の折返しミラー9にて折り返されたレーザビーム5は加工ヘッド7の内部へ導かれ、精密2軸ステージ10に保持される集光レンズ11の中心を通る。精密2軸ステージ10の中心部はレーザビーム5が通過するための穴が設けてある。
【0031】
レーザビーム5は集光レンズ11にて集光されつつ第三の折返しミラー14によって45度の角度に反射され、ガラス基板Bに垂直に照射される。集光レンズ10は丁度レーザビーム5がガラス基板Bの表面で焦点を結ぶように焦点距離を決めたものである。ここで第一の折返しミラー6と第二の折返しミラー9は、ともにレーザビーム5の波長266nmに対して高い反射率を得るように誘電体多層コートがほどこされている。一方 第三の折返しミラー14はレーザビーム5の266nmの波長に対して高い反射率を持つとともに可視光である波長670nm近辺の光を透過するように先の2個の折り返しミラーとは別の誘電体多層コートがほどこされたものを使用している。したがって第三の折り返しミラー14の背面からガラス基板AおよびBに向けて配置したCCDカメラ12により第三の折り返しミラー14とガラス基板Bを透過してガラス基板Aの表面を観察することができる。
【0032】
CCDカメラ12には丁度ガラス基板Aの表面にピントを合わせて観察できるように拡大レンズ15が取付けてあり、ガラス基板Aの表面にあらかじめ書込んである位置参照マークQを検出することができる。拡大レンズ15にはガラス基板Aを観察する際の参照光を照射する目的で同軸落射式の照明13を備えており、照明13から照射される波長670nmの赤色光が第三の折り返しミラー14を透過して一部がガラス基板Bにより反射され、残りはガラス基板上の位置参照マークQを照らし出すようになっている。
【0033】
ここでガラス基板Aはレーザビーム5を加工対象であるガラス基板Bに照射すべき位置Pに位置決めするための参照用に用いられる。すなわちCCDカメラ12によって照明13により照らし出された位置参照マークQを検出し、画像処理により位置参照マークQの位置情報を得る。これを先のX軸ステージ2および2’とY軸ステージ3のコントローラにフィードバックすることで加工ヘッド7を方向Xおよび方向Yについて位置補正する。このようにして加工ヘッド7はCCDカメラ12の丁度中心に位置参照マークQのイメージを検出する位置まで位置修正され、そこで保持される。
【0034】
図4は加工ヘッド7の断面を示した模式図である。加工ヘッド7の内部の配置は、レーザビーム5の光軸16とCCDカメラ12および拡大レンズ15の成す光軸17とが第三の折り返しミラー14を経てレーザビーム5の射出口18以降のパスで一致するように調整してあり、CCDカメラ12の位置情報に基づく加工ヘッド7の位置修正が完了した後にレーザビーム5が照射される。
【0035】
この時精密2軸ステージ10を方向xまたはyに任意に動かすと、レーザビーム5の光軸16はCCDカメラ12の光軸17から外れて移動し、ガラス基板Bの表面に沿って動く。このようにすれば例えば液晶ディスプレイのアライメントマークとして使用される十文字のマークを加工することができる。精密2軸ステージ10の各軸の原点位置はCCDカメラ12の光軸17の位置と一致しているのでガラス基板Bの表面にはCCDカメラ12から見て丁度ガラス基板A表面の位置参照マークQと重なったガラス基板A表面の点Pで交差するような十文字のアライメントマークが描かれることになる。
【0036】
以上の手順を繰り返してあらかじめ位置参照用のガラス基板Aに書込まれている位置参照マークの位置と正確に一致する任意の場所にアライメントマークを書込むことができ、書込まれたアライメントマークの位置精度はガラス基板Aに事前に書込まれる置参照マークの位置が正確でありさえすれば、その位置精度を再現する配置となる。
【0037】
ここで一つの点でアライメントマークを書き終った後に次の場所に移動する際にはX軸ステージ2および2’とY軸ステージ3に通常設けてあるリニアスケールまたはリニアエンコーダなどの位置検出機能を用いる。このような粗い精度の位置決めを行なっても、次の加工点付近に近づいたところでCCDカメラ12の視野範囲内に次の位置参照マークを捕らえることができるので、この位置参照マークにより精密な位置補正を行なうことが可能となる。
【0038】
本実施例では特にガラス基板のアライメントマーク加工に注目した例を述べた。ガラス基板に吸収されやすいYAG4倍高調波である波長266nm紫外線レーザを加工用に用いたとともに位置参照マークの検出用にガラス基板に対する透過性の高い670nmの赤色可視光を用いることで2枚のガラス基板を重ねた状態でも位置決めと加工の両方を行なうことができ好都合である。しかしその他の場合、ガラスのように透明でない材料を加工する場合でも、本発明を応用した装置構成で近い効果を得ることは可能である。
【0039】
本実施例で述べたガラス基板Aに相当する位置参照用の部材に同じように位置参照マークを書き込んでおき、これを被加工物の上方に配置する。そしてレーザビームの射出方向とは正反対の上向きにCCDカメラを向けて位置参照マークを読取ることが可能である。このようにするとガラス基板を重ねた方法と比較して精度は低下するものの加工対象を選ばないという利点がある。
【0040】
また、レーザ加工装置以外の用途、例えば検査装置などの位置決めに本発明と同様の構成の位置決め装置を応用することも容易である。
【0041】
また本発明のほかの実施例として,YAGレーザの4次高調波である355nmのレーザ光を使う事もできる。
【0042】
本実施例によれば安価な汎用のステージを使った高精度なガラス基板用アライメントマーク加工用レーザ加工機を得ることができる。また多種多用のガラス基板に対応するように1個の位置参照用ガラス基板Aに多数の位置参照マークを書きこんでおけば位置参照用ガラス基板を交換することなく多品種に対応することが可能である。加えて集光レンズ11を位置決めする精密ステージ10の制御ソフトを変更するだけでハードウェアの変更無しにさまざまな加工パターンに対応可能となる。
【0043】
【発明の効果】
本発明により、低価格でかつ高精度な大型ディスプレイ用ガラス基板のアライメントマーク加工用レーザ加工装置を実現することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の1実施例であり、レーザ加工装置の上面模式図である。
【図2】同じく図1に示した装置の側面模式図である。
【図3】図1に示したレーザ加工装置の加工ヘッドの内部構成を示している。
【図4】図3の加工ヘッドの内部の光学配置を説明する断面模式図である。
【記号の説明】
1:ローラガイド
2、2’:X軸ステージ
2−1、2’−1:X軸ステージのスライダ
2−2、2’−2:X軸ステージのガイドレール
3:Y軸ステージ
3−1:Y軸ステージのスライダ
3−2:Y軸ステージのガイドレール
4:レーザ発振器
5:レーザビーム
6:第一の折り返しミラー
7:加工ヘッド
8:側面図(図2)の視点方向
9:第二の折り返しミラー
10:精密2軸ステージ
11:集光レンズ
12:CCDカメラ
13:照明
14:第三の折り返しミラー
15:拡大レンズ
16:レーザビームの光軸
17:CCDカメラの光軸
18:レーザビームの射出口
A:参照用ガラス基板
B:加工対象ガラス基板
P:アライメントマーク加工点
Q:位置参照マーク
X、Y、x、y:移動方向
【発明が属する技術分野】
本発明はレーザー加工装置に係り、特に液晶ディスプレイやプラズマディスプレイ用の大型ガラス基板に高精度のレーザマーキングを行なう装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
従来、大型の液晶ディスプレイやプラズマディスプレイの生産においては巾1mを越す大型のガラス基板が用いられることが多く、これに色表示のためのカラーフィルタや画像表示のための電極構造を薄膜で積層形成させる構造となっている。
これらの工程に先立ち、ガラス基板材料の所定の場所に位置姿勢を検出調整するためのアライメントマークの書込みが必要である。
【0003】
従来アライメントマークを書き込む方法としてマスク露光方式が用いられてきた。これは高精度のマスクを用いて基板に塗布したフォトレジストを露光し,その後ガラス基板の化学エッチングを組み合わせる方式である。
【0004】
基板ガラスに吸収されるUVレーザ光を走査して直接アライメントマークを書き込むレーザ光直接加工方式については,加工位置の位置決めを行なう場合の精度が問題になり,精度を確保する為に各種方法が用いられる。
【0005】
ステージ精度を確保する手法の一つとして補正を行なう方法がある。本発明に関連した公知例として、特開平05−023877がある。YAGレーザを用いてステージによる走査機構でレーザ直接加工を行なうものである。高精度ステージで一旦位置決めした後,CCDカメラを用いて加工した穴位置を観測し、これにより加工時の位置補正を行なう例について述べたものである。
【0006】
またステージ精度を確保する為,レーザ測長器を用いて位置管理を行なう場合もある。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】
従来精度の観点からアライメントマークの作成はマスク露光方式が用いられてきた。しかし基板の大型化に伴い露光用マスクも大きくなり,その製作が限界にきている,かつ露光後に現像と化学処理の工程が必要で,大型基板の採用に伴い設備が大型になるという問題点があった。
【0008】
またレーザ直接加工方式は露光方式に比べて工程が単純で設備も小さく,また大型基板対応が可能であるという利点があるが,従来のステージ技術で1m以上の長さで数μmの精度の位置決め精度を確保しようとすると装置が極めて高価になるという問題点があった。
【0009】
本発明は上記の従来技術の問題点を解消するためになされたもので,安価で高精度の大型ディスプレイ用ガラス基板上のアライメントマークのレーザ直接加工装置を提供することを目的とする。
【0010】
【課題を解決するための手段】
本発明に係るレーザ加工装置においては,ガラス板などの光学的に透明な被加工物とこれに照射するレーザビームとを平面上で任意の位置に相対的に位置決めしつつ当該被加工物を加工するレーザ加工装置であって、前記レーザビームと被加工物を相対的に位置決めするためのステージ機構と、前記レーザビームと被加工物との相対位置を検出するための位置検出手段を有し、当該位置検出手段は、前記被加工物の一方の面に平行に設置した位置参照マーク表示手段と、当該被加工物のもう一方の面側から被加工物を光学的に透過して前記位置参照マークを検出する位置参照マーク読取手段とによって構成し、当該位置参照マーク読取手段によって検出した位置検出情報を上記位置決め手段にフィードバックしてレーザビームの相対位置を補正しながら加工を行なうものである。
【0011】
また,加工用レーザビームとしてガラスなどの透明な被加工物に対して吸収されやすい波長266nmの紫外線レーザを用いる物である。
【0012】
また位置決め手段は位置決めの基準となるベース部材と、これに対して相対的に位置可変のステージ部材とからなる少なくとも一自由度の位置決めステージまたはロボットであり、前記位置検出手段の位置参照マーク表示手段を前記ベース部材に、位置参照マーク読取手段を前記ステージ部材に夫々設置してベース部材とステージ部材との相対的な位置を検出するようにし、位置参照マーク表示部材には前記ステージ部材がベース部材に対して動きうる全域でなく前記被加工物を加工するのに必要な限定した領域のみに位置参照マークを表示するものである。
【0013】
位置参照マーク検出手段として固体撮像素子を用いた観察用カメラ・レンズなどの光学的検出手段を設けるとともに、上記レーザビームを整形・導光するための導光光学系を設け、被加工物に向けて照射する射出口にて両者の光軸が一致するようにするものである。
【0014】
位置参照マーク表示部材に被加工物と同じかまたは線膨張係数の等しい材料を用いるものである。
【0015】
【作用】
多くの場合、アライメントマークは大面積のガラス基板上の最も離れた対角点近傍に2個または3箇所程度書き込まれ、相互の間隔や配置の精度は間隔が1mを越す場合でも絶対誤差で10〜20μm以下を要求される。これは精度で表すと例えば1mの間隔で要求誤差10μm以下の場合0.01mm/1000mm = 0.00001であり、機械的な位置決めを高精度で達成するのは極めて困難な領域である。
レーザ加工機はレーザビームの位置決めのため例えばX−Yステージを用いており、ステージの位置決めは高精度に目盛加工されたガラスのリニアスケールを光学的に検出しながら行うのが一般的である。この方法ではX−Yの2次元平面上で一辺1mを越す大きな領域ををカバーできる高精度なリニアスケールを製作する必要があり、広い領域の離れたわずか何ヶ所かにアライメントマークを書込むためにだけ高価なリニアスケールを製作することが価格的に得策ではなかった。
【0016】
上記の目的を達成するために、本発明ではステージの位置検出方法を改善した。特に加工の対象がガラス基板という光学的に透明な材料であることに着目し、加工対象であるガラス基板Bの例えば下側にあらかじめ位置検出マークを書込んだ別のガラス基板Aを配置し、加工対象であるガラス基板Bのもう一方の面側から加工対象であるガラス基板Bを透かしてこれをCCDカメラなどで読取る。そして読取った位置検出マークを画像処理によって位置情報に変換し、これによってX−Yステージの制御を行なうことにした。
【0017】
このようにしてガラス基板Bをレーザビームの照射点に位置決めした後にレーザビームを照射し目的の加工を行なう。この方法の利点は位置検出マークと実際の加工部位とがレーザビームの射出側の真上からみて完全に重なった状態で加工できるので位置ずれがほとんど発生しないことである。
【0018】
これを実現するにあたり、位置検出マークを読取るためのCCDカメラやこれに取付ける拡大レンズを含む検出光学系の光軸を射出されるレーザビームの光軸と一致させておくことが望ましい。レーザビームを射出する導光光学系と位置検出マークを読取る検出光学系を一体構造のフレームに固定して設けておけば、フレーム構造自身の倒れや位置ずれなどの機械的誤差要因のほとんどを相殺することができるためである。
【0019】
上記のようにしてある箇所の位置検出マークと丁度一致した場所に第一のアライメントマークを書込んだ後、つぎにガラス基板B上の離れた箇所に移動して同じ動作を行なう必要がある。このとき先に述べた位置検出用のもうひとつのガラス基板Aには次に加工すべき位置にもあらかじめ位置検出マークが書込んであり、第一と第二の位置検出マークは例えば1.5mの間隔があったとしても絶対的に10μm以下の高い精度で配置されている。
【0020】
X−Yステージの位置決めはステージ本体が持っている別のリニアスケールに従って行なわれる。このようにしてレーザビームの射出口が第二の位置検出マークのある箇所の近傍まで移動すると位置検出用のCCDカメラの視野内に第二の位置検出マークが入り、これを参照としたさらに精密な位置決めが可能となる。第二の位置検出マークによってレーザビームの射出位置を位置決めした後にガラス基板Bにレーザビームを照射して第二のアライメントマークを書込む。
【0021】
このようにして書込まれた第一と第二のアライメントマークは夫々位置決めの基準となった第一と第二の位置検出マークと重なり合った位置にあるので相互の間隔精度も同じ程度の10μm以下が得られている。
【0022】
このようにして大きなストロークであっても2点間のマーク間隔または3点以上のマーク配置は高い精度で確保することが可能である。特に位置検出用に加工対象であるガラス基板Bと同じ材質または同じ線膨張係数を有するガラス基板Aを用いることで温度の変化にともなう位置のずれを実質的に相殺することができる。
【0023】
ここで、ガラス基板の加工に注目すると、YAG4倍波レーザの波長266nmはガラスに対する吸収効率が高く、一方位置検出に用いるCCD素子の感度波長である可視光線の波長はガラスに対する透過率が高いので上記のような使い方には非常に好都合である。
【0024】
位置参照用のガラス基板Aにあらかじめ書込む位置検出マークはレーザビームの射出口が加工対象であるガラス基板B上のすべての位置に移動できるようになっていたとしても、実際にアライメントマークの加工のためにレーザビームを射出する位置近傍にのみ書込まれていれば良く、可動範囲全部をカバーできるように目盛られている必要がない。従ってこれを製作することは2次元平面全域をカバーするような大ストロークのリニアスケールを製作することに比べ、きわめて容易である。
【0025】
【実施例】
以下、本発明の実施例につき図1、図2に従って説明する。
図1は本発明の一実施例の全体構成図である。加工対象であるガラス基板Bはラインに沿ってローラガイド1によって送られ、所定の位置に静止する。ガラス基板Bを挟んで両側に2個のX軸ステージ2と2’が配置されX軸ステージのスライダ2−1と2’−1上にガラス基板BをまたぐようにY軸ステージ3のガイドレール3−1の両端がが固定してある。
【0026】
X軸ステージ2、2’とY軸ステージ3は、リニアモータによる位置決めステージであり、内部に設けられたリニアスケールの位置信号をフィードバックして夫々方向Xまたは方向Yにスライダ2−1、2’−1および3−1の位置決めが可能である。ふたつのX軸ステージ2と2’は常に同じ方向に同時に同じ距離だけ夫々のスライダ2−1と2’−1を移動するように制御される。
【0027】
X軸ステージ2’のスライダ2’−1上にはYAGレーザ発振器4から射出された波長266nmのレーザビーム5を45度の角度で折り返す第一の折返しミラー6が取付けてあり、X軸ステージ2と2’のスライダ2−1と2’−1がどの位置にあってもレーザビーム5を必ずY軸ステージ3の移動する方向Yに平行に反射するようになっている。
【0028】
Y軸ステージ3のスライダ3−1には第一の折返しミラー6によって反射されたレーザ発振器4からのレーザビーム5を再度45度の角度で折返し、同じくスライダ3−1上に固定された加工ヘッド7の内部に導くように第二の折返しミラー9が設けられている。このような構成により、加工ヘッド7はガラス基板Bの上面で方向Xおよび方向Yのいずれの位置にでも簡易的に位置決め可能になっている。
【0029】
図2は図1の構造を方向8の側面から見た断面模式図である。図1にも示したガラス基板Bの下側に、これと平行にガラス基板Aが配置されている。ガラス基板Aもガラス基板Bと同じくローラガイド1により所定の位置に位置決めされており、両者は上下に一定の間隔をおいて重なり合うように配置される。
【0030】
図3に加工ヘッド7の内部構造を示す。第二の折返しミラー9にて折り返されたレーザビーム5は加工ヘッド7の内部へ導かれ、精密2軸ステージ10に保持される集光レンズ11の中心を通る。精密2軸ステージ10の中心部はレーザビーム5が通過するための穴が設けてある。
【0031】
レーザビーム5は集光レンズ11にて集光されつつ第三の折返しミラー14によって45度の角度に反射され、ガラス基板Bに垂直に照射される。集光レンズ10は丁度レーザビーム5がガラス基板Bの表面で焦点を結ぶように焦点距離を決めたものである。ここで第一の折返しミラー6と第二の折返しミラー9は、ともにレーザビーム5の波長266nmに対して高い反射率を得るように誘電体多層コートがほどこされている。一方 第三の折返しミラー14はレーザビーム5の266nmの波長に対して高い反射率を持つとともに可視光である波長670nm近辺の光を透過するように先の2個の折り返しミラーとは別の誘電体多層コートがほどこされたものを使用している。したがって第三の折り返しミラー14の背面からガラス基板AおよびBに向けて配置したCCDカメラ12により第三の折り返しミラー14とガラス基板Bを透過してガラス基板Aの表面を観察することができる。
【0032】
CCDカメラ12には丁度ガラス基板Aの表面にピントを合わせて観察できるように拡大レンズ15が取付けてあり、ガラス基板Aの表面にあらかじめ書込んである位置参照マークQを検出することができる。拡大レンズ15にはガラス基板Aを観察する際の参照光を照射する目的で同軸落射式の照明13を備えており、照明13から照射される波長670nmの赤色光が第三の折り返しミラー14を透過して一部がガラス基板Bにより反射され、残りはガラス基板上の位置参照マークQを照らし出すようになっている。
【0033】
ここでガラス基板Aはレーザビーム5を加工対象であるガラス基板Bに照射すべき位置Pに位置決めするための参照用に用いられる。すなわちCCDカメラ12によって照明13により照らし出された位置参照マークQを検出し、画像処理により位置参照マークQの位置情報を得る。これを先のX軸ステージ2および2’とY軸ステージ3のコントローラにフィードバックすることで加工ヘッド7を方向Xおよび方向Yについて位置補正する。このようにして加工ヘッド7はCCDカメラ12の丁度中心に位置参照マークQのイメージを検出する位置まで位置修正され、そこで保持される。
【0034】
図4は加工ヘッド7の断面を示した模式図である。加工ヘッド7の内部の配置は、レーザビーム5の光軸16とCCDカメラ12および拡大レンズ15の成す光軸17とが第三の折り返しミラー14を経てレーザビーム5の射出口18以降のパスで一致するように調整してあり、CCDカメラ12の位置情報に基づく加工ヘッド7の位置修正が完了した後にレーザビーム5が照射される。
【0035】
この時精密2軸ステージ10を方向xまたはyに任意に動かすと、レーザビーム5の光軸16はCCDカメラ12の光軸17から外れて移動し、ガラス基板Bの表面に沿って動く。このようにすれば例えば液晶ディスプレイのアライメントマークとして使用される十文字のマークを加工することができる。精密2軸ステージ10の各軸の原点位置はCCDカメラ12の光軸17の位置と一致しているのでガラス基板Bの表面にはCCDカメラ12から見て丁度ガラス基板A表面の位置参照マークQと重なったガラス基板A表面の点Pで交差するような十文字のアライメントマークが描かれることになる。
【0036】
以上の手順を繰り返してあらかじめ位置参照用のガラス基板Aに書込まれている位置参照マークの位置と正確に一致する任意の場所にアライメントマークを書込むことができ、書込まれたアライメントマークの位置精度はガラス基板Aに事前に書込まれる置参照マークの位置が正確でありさえすれば、その位置精度を再現する配置となる。
【0037】
ここで一つの点でアライメントマークを書き終った後に次の場所に移動する際にはX軸ステージ2および2’とY軸ステージ3に通常設けてあるリニアスケールまたはリニアエンコーダなどの位置検出機能を用いる。このような粗い精度の位置決めを行なっても、次の加工点付近に近づいたところでCCDカメラ12の視野範囲内に次の位置参照マークを捕らえることができるので、この位置参照マークにより精密な位置補正を行なうことが可能となる。
【0038】
本実施例では特にガラス基板のアライメントマーク加工に注目した例を述べた。ガラス基板に吸収されやすいYAG4倍高調波である波長266nm紫外線レーザを加工用に用いたとともに位置参照マークの検出用にガラス基板に対する透過性の高い670nmの赤色可視光を用いることで2枚のガラス基板を重ねた状態でも位置決めと加工の両方を行なうことができ好都合である。しかしその他の場合、ガラスのように透明でない材料を加工する場合でも、本発明を応用した装置構成で近い効果を得ることは可能である。
【0039】
本実施例で述べたガラス基板Aに相当する位置参照用の部材に同じように位置参照マークを書き込んでおき、これを被加工物の上方に配置する。そしてレーザビームの射出方向とは正反対の上向きにCCDカメラを向けて位置参照マークを読取ることが可能である。このようにするとガラス基板を重ねた方法と比較して精度は低下するものの加工対象を選ばないという利点がある。
【0040】
また、レーザ加工装置以外の用途、例えば検査装置などの位置決めに本発明と同様の構成の位置決め装置を応用することも容易である。
【0041】
また本発明のほかの実施例として,YAGレーザの4次高調波である355nmのレーザ光を使う事もできる。
【0042】
本実施例によれば安価な汎用のステージを使った高精度なガラス基板用アライメントマーク加工用レーザ加工機を得ることができる。また多種多用のガラス基板に対応するように1個の位置参照用ガラス基板Aに多数の位置参照マークを書きこんでおけば位置参照用ガラス基板を交換することなく多品種に対応することが可能である。加えて集光レンズ11を位置決めする精密ステージ10の制御ソフトを変更するだけでハードウェアの変更無しにさまざまな加工パターンに対応可能となる。
【0043】
【発明の効果】
本発明により、低価格でかつ高精度な大型ディスプレイ用ガラス基板のアライメントマーク加工用レーザ加工装置を実現することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の1実施例であり、レーザ加工装置の上面模式図である。
【図2】同じく図1に示した装置の側面模式図である。
【図3】図1に示したレーザ加工装置の加工ヘッドの内部構成を示している。
【図4】図3の加工ヘッドの内部の光学配置を説明する断面模式図である。
【記号の説明】
1:ローラガイド
2、2’:X軸ステージ
2−1、2’−1:X軸ステージのスライダ
2−2、2’−2:X軸ステージのガイドレール
3:Y軸ステージ
3−1:Y軸ステージのスライダ
3−2:Y軸ステージのガイドレール
4:レーザ発振器
5:レーザビーム
6:第一の折り返しミラー
7:加工ヘッド
8:側面図(図2)の視点方向
9:第二の折り返しミラー
10:精密2軸ステージ
11:集光レンズ
12:CCDカメラ
13:照明
14:第三の折り返しミラー
15:拡大レンズ
16:レーザビームの光軸
17:CCDカメラの光軸
18:レーザビームの射出口
A:参照用ガラス基板
B:加工対象ガラス基板
P:アライメントマーク加工点
Q:位置参照マーク
X、Y、x、y:移動方向
Claims (5)
- ガラス板などの光学的に透明な被加工物とこれに照射するレーザビームとを平面上で任意の位置に相対的に位置決めしつつ当該被加工物を加工するレーザ加工装置であって、前記レーザビームと被加工物を相対的に位置決めするためのステージ機構と、前記レーザビームと被加工物との相対位置を検出するための位置検出手段を有し、当該位置検出手段は、前記被加工物の一方の面に平行に設置した位置参照マーク表示手段と、当該被加工物のもう一方の面側から被加工物を光学的に透過して前記位置参照マークを検出する位置参照マーク読取手段とによって構成し、当該位置参照マーク読取手段によって検出した位置検出情報を上記位置決め手段にフィードバックしてレーザビームの相対位置を補正しながら加工を行なうことを特徴としたレーザ加工装置。
- 上記レーザビームに上記ガラスなどの透明な被加工物に対して吸収されやすい波長266nmの紫外線レーザを用いたことを特徴とする特許請求項1に記載のレーザ加工装置。
- 上記位置決め手段は位置決めの基準となるベース部材と、これに対して相対的に位置可変のステージ部材とからなる少なくとも一自由度の位置決めステージまたはロボットであり、上記位置検出手段の位置参照マーク表示手段を前記ベース部材に、位置参照マーク読取手段を前記ステージ部材に夫々設置してベース部材とステージ部材との相対的な位置を検出するようにし、位置参照マーク表示部材には前記ステージ部材がベース部材に対して動きうる全域でなく前記被加工物を加工するのに必要な限定した領域のみに位置参照マークを表示したことを特徴とする特許請求項1または2に記載のレーザ加工装置。
- 上記ステージ部材に、請求項3に記載の位置参照マーク検出手段として固体撮像素子を用いた観察用カメラ・レンズなどの光学的検出手段を設けるとともに、上記レーザビームを整形・導光するための導光光学系を設け、被加工物に向けて照射する射出口にて両者の光軸が一致するようにしたことを特徴とする特許請求項3に記載のレーザ加工装置。
- 上記位置参照マーク表示部材に前記被加工物と同じかまたは線膨張係数の等しい材料を用いたことを特徴とする特許請求項3または4に記載のレーザ加工装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002278255A JP2004114066A (ja) | 2002-09-25 | 2002-09-25 | レーザ加工装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002278255A JP2004114066A (ja) | 2002-09-25 | 2002-09-25 | レーザ加工装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2004114066A true JP2004114066A (ja) | 2004-04-15 |
Family
ID=32273571
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2002278255A Pending JP2004114066A (ja) | 2002-09-25 | 2002-09-25 | レーザ加工装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP2004114066A (ja) |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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-
2002
- 2002-09-25 JP JP2002278255A patent/JP2004114066A/ja active Pending
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