JP2007048835A - レーザ加工装置及びそれを用いた太陽電池基板のパターニング方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 太陽電池基板41上にレーザ光を照射することにより、当該太陽電池基板41の透明電極層に複数の第1加工ライン43を形成する。その後、複数の加工ライン43が形成された透明電極層上に太陽電池層を成膜した後、透明電極層の第1加工ライン43を撮像してその位置を測定しながら、前工程で形成された透明電極層の第1加工ライン43を基準として次工程でペアとして形成される太陽電池層の第2加工ライン44の予定位置を求め、この第2加工ライン44の予定位置に基づいて、第2加工ライン44をその対応する第1加工ライン43に沿う形で形成する。
【選択図】 図3
Description
11 レーザ発振器
12 加工光学系
13、14 反射ミラー
15 集光レンズ
16 画像処理ユニット
17 制御装置
20 載置テーブル
21 Xステージ
22 Yステージ
41 太陽電池基板(被加工物)
42 基準マーク
43 (透明電極層に形成された)第1加工ライン
44 (太陽電池層に形成された)第2加工ライン
51 基材
52 透明電極層
53 太陽電池層
54 裏面電極層
Claims (9)
- 被加工物である太陽電池基板を構成する複数の層のそれぞれに複数の加工ラインを形成するレーザ加工装置において、
被加工物を載置する載置テーブルと、
レーザ光を出射するレーザ発振器と、
前記レーザ発振器から出射されたレーザ光を前記被加工物へ導く加工光学系と、
前記加工光学系により導かれたレーザ光と前記被加工物との相対的な位置関係を変化させる相対移動機構と、
前記加工光学系により導かれたレーザ光が前記被加工物上の所望の位置に照射されるように前記相対移動機構を制御する制御装置と、
前記被加工物に形成された加工ラインの位置を測定する加工ライン測定装置とを備え、
前記制御装置は、被加工物である太陽電池基板を構成する第1層に複数の第1加工ラインが形成されるように前記相対移動機構を制御するとともに、前記加工ライン測定装置により前記第1層の複数の第1加工ラインの位置を順次測定し、この測定された各第1加工ラインの位置に基づいて、前記第1層上に積層される第2層に、当該各第1加工ラインに対応する第2加工ラインが当該各第1加工ラインに沿う形で形成されるように、前記相対移動機構を制御することを特徴とするレーザ加工装置。 - 前記載置テーブルは、前記相対移動機構として、前記加工光学系に対して前記被加工物を相対的に移動させる移動機構を有し、前記制御装置は、前記移動機構による前記被加工物の移動を制御することにより前記被加工物上での前記レーザ光の照射位置を制御することを特徴とする、請求項1に記載のレーザ加工装置。
- 前記加工光学系は、前記相対移動機構として、前記載置テーブル上に載置された前記被加工物上にてレーザ光を走査する走査機構を有し、前記制御装置は、前記走査機構による前記レーザ光の走査を制御することにより前記被加工物上での前記レーザ光の照射位置を制御することを特徴とする、請求項1に記載のレーザ加工装置。
- 前記加工ライン測定装置は、前記各第1加工ラインを撮像して当該各第1加工ラインの位置を画像処理により認識する画像処理ユニットを有することを特徴とする、請求項1乃至3のいずれか一項に記載のレーザ加工装置。
- 前記被加工物の前記第1層は透明電極層であり、前記第2層は太陽電池層であることを特徴とする、請求項1乃至4のいずれか一項に記載のレーザ加工装置。
- 前記被加工物の前記第1層は太陽電池層であり、前記第2層は裏面電極層であることを特徴とする、請求項1乃至4のいずれか一項に記載のレーザ加工装置。
- 被加工物である太陽電池基板を構成する複数の層のそれぞれに複数の加工ラインを形成する、太陽電池基板のパターニング方法において、
第1層が積層された基材を被加工物として位置決めする第1ステップと、
位置決めされた前記被加工物の前記第1層にレーザ光を照射することにより、当該第1層に複数の第1加工ラインを形成する第2ステップと、
前記複数の第1加工ラインが形成された前記第1層上に第2層を積層する第3ステップと、
前記第1層に形成された複数の第1加工ラインのうちの所定の第1加工ラインの位置を測定する第4ステップと、
この測定された第1加工ラインの位置に基づいて、当該第1加工ラインに対応する第2加工ラインのための予定位置を取得する第5ステップと、
取得された前記予定位置に基づいて前記第2層にレーザ光を照射することにより、前記第2層に、前記第2加工ラインをその対応する第1加工ラインに沿う形で形成する第6ステップとを含み、
前記複数の第1加工ラインに対応する所定数の第2加工ラインが前記第2層に形成されるまで前記第4ステップ、第5ステップ及び第6ステップを繰り返すことを特徴とする、太陽電池基板のパターニング方法。 - 前記被加工物の前記第1層は透明電極層であり、前記第2層は太陽電池層であることを特徴とする、請求項7に記載の方法。
- 前記被加工物の前記第1層は太陽電池層であり、前記第2層は裏面電極層であることを特徴とする、請求項7に記載の方法。
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