JP2011167724A - レーザ加工装置 - Google Patents
レーザ加工装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2011167724A JP2011167724A JP2010033793A JP2010033793A JP2011167724A JP 2011167724 A JP2011167724 A JP 2011167724A JP 2010033793 A JP2010033793 A JP 2010033793A JP 2010033793 A JP2010033793 A JP 2010033793A JP 2011167724 A JP2011167724 A JP 2011167724A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- optical fiber
- face
- unit
- processed
- information
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Classifications
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02E—REDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
- Y02E10/00—Energy generation through renewable energy sources
- Y02E10/50—Photovoltaic [PV] energy
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
- Y02P70/00—Climate change mitigation technologies in the production process for final industrial or consumer products
- Y02P70/50—Manufacturing or production processes characterised by the final manufactured product
Abstract
【解決手段】レーザ加工装置は、基板と、基板に配置された薄膜とを有する太陽電池に用いられる被加工基板60を加工する。レーザ加工装置は、被加工基板60を保持する保持部1と、レーザ光Lを発振するレーザ発振器21と、レーザ発振器21から発振されるレーザ光Lを案内するとともに当該レーザ光Lを端面から外部に照射する複数の光ファイバ25と、保持部1および光ファイバ25の端面のうちの少なくとも一方を加工進行方向PDに沿って移動させる加工移動部35と、を備えている。レーザ加工装置は、光ファイバ25の端面の薄膜に対する位置情報を検知する検知部と、複数の光ファイバ25のうちの少なくとも一つに連結され、検知部からの情報に基づいて、光ファイバ25の端面を加工進行方向に直交する成分を含む方向に移動させるファイバ移動部も備えている。
【選択図】図1
Description
基板と、該基板に配置された薄膜とを有する太陽電池に用いられる被加工基板を加工するレーザ加工装置であって、
前記被加工基板を保持する保持部と、
レーザ光を発振するレーザ発振器と、
前記レーザ発振器から発振されるレーザ光を案内するとともに当該レーザ光を端面から外部に照射する複数の光ファイバと、
前記保持部および前記光ファイバの端面のうちの少なくとも一方を加工進行方向に沿って移動させる加工移動部と、
前記光ファイバの端面の前記薄膜に対する位置情報を検知する検知部と、
前記複数の光ファイバのうちの少なくとも一つに連結され、前記検知部からの情報に基づいて、該光ファイバの端面を前記加工進行方向に直交する成分を含む方向に移動させるファイバ移動部と、
を備えている。
前記位置情報は、既に加工された加工済み線に基づいて得られ、
前記検知部は、各光ファイバの端面に対応する加工済み線の位置を検知し、
前記ファイバ移動部は、各光ファイバの端面を、該光ファイバの端面に対応する前記加工済み線の位置に基づいて移動させてもよい。
前記位置情報は、既に加工された加工済み線に基づいて得られ、
前記検知部は、前記光ファイバのうちの少なくとも一つの端面に対応する加工済み線の位置を検知し、
前記ファイバ移動部は、各光ファイバの端面を、前記加工済み線の位置情報に基づいて移動させてもよい。
前記検知部は、前記薄膜に関する情報を取得するデータ取得部を有し、
前記データ取得部は、前記光ファイバの端面に対して前記加工進行方向に沿った一方側に位置する第一データ取得部と、前記光ファイバの端面に対して前記加工進行方向に沿った他方側に位置する第二データ取得部とを有してもよい。
前記検知部は、前記薄膜に関する情報を取得するデータ取得部を有し、
前記データ取得部は、前記光ファイバの端面に対して前記加工進行方向に沿った一方側に配置され、
前記データ取得部と前記光ファイバの端面の位置関係が、反転可能となっていてもよい。
前記検知部は、前記薄膜に関する情報を取得するデータ取得部と、該データ取得部で取得された該薄膜に関する情報を処理する情報処理部と、該情報処理部によって処理された情報に基づいて前記光ファイバの端面の前記薄膜に対する位置を判断する判断部と、を有してもよい。
前記検知部は、前記被加工基板上の障害物に関する情報も検知し、
前記ファイバ移動部は、前記検知部によって検知された情報に基づいて前記障害物を回避するよう前記光ファイバの端面を移動させてもよい。
以下、本発明に係るレーザ加工装置の第1の実施の形態について、図面を参照して説明する。ここで、図1乃至図7は本発明の第1の実施の形態を示す図である。
次に、本発明の第2の実施の形態について説明する。第1の実施の形態は、検知部が各光ファイバ25の端面に対応するTCOスクライブライン(加工済み線)62TやSiスクライブライン(加工済み線)63Sの位置を検知し、アクチュエータ10が各光ファイバ25の端面を当該光ファイバ25の端面に対応する加工済み線の位置に基づいて移動させる態様であった。これに対して、第2の実施の形態は、検知部が光ファイバ25の一つの端面に対応する加工済み線の位置を検知し、アクチュエータ10が各光ファイバ25の端面を検知した加工済み線の位置情報に基づいて移動させる態様からなっている。その他の構成は、第1の実施の形態と略同一である。
10 ファイバ移動部(アクチュエータ)
21 レーザ発振器
25 光ファイバ
35 加工移動部
41 撮影部(データ取得部)
41a 第一撮影部(第一データ取得部)
41b 第二撮影部(第二データ取得部)
42 画像処理部(情報処理部)
43 判断部
60 被加工基板
61 ガラス基板(基板)
62 透明電極膜(薄膜)
62T TCOスクライブライン(加工済み線)
63 光電変換層(薄膜)
63S Siスクライブライン(加工済み線)
64 裏面金属電極膜(薄膜)
64M メタルスクライブライン(加工済み線)
L レーザ光
Claims (7)
- 基板と、該基板に配置された薄膜とを有する太陽電池に用いられる被加工基板を加工するレーザ加工装置において、
前記被加工基板を保持する保持部と、
レーザ光を発振するレーザ発振器と、
前記レーザ発振器から発振されるレーザ光を案内するとともに当該レーザ光を端面から外部に照射する複数の光ファイバと、
前記保持部および前記光ファイバの端面のうちの少なくとも一方を加工進行方向に沿って移動させる加工移動部と、
前記光ファイバの端面の前記薄膜に対する位置情報を検知する検知部と、
前記複数の光ファイバのうちの少なくとも一つに連結され、前記検知部からの情報に基づいて、該光ファイバの端面を前記加工進行方向に直交する成分を含む方向に移動させるファイバ移動部と、
を備えたことを特徴とするレーザ加工装置。 - 前記位置情報は、既に加工された加工済み線に基づいて得られ、
前記検知部は、各光ファイバの端面に対応する加工済み線の位置を検知し、
前記ファイバ移動部は、各光ファイバの端面を、該光ファイバの端面に対応する前記加工済み線の位置に基づいて移動させることを特徴とする請求項1に記載のレーザ加工装置。 - 前記位置情報は、既に加工された加工済み線に基づいて得られ、
前記検知部は、前記光ファイバのうちの少なくとも一つの端面に対応する加工済み線の位置を検知し、
前記ファイバ移動部は、各光ファイバの端面を、前記加工済み線の位置情報に基づいて移動させることを特徴とする請求項1に記載のレーザ加工装置。 - 前記検知部は、前記薄膜に関する情報を取得するデータ取得部を有し、
前記データ取得部は、前記光ファイバの端面に対して前記加工進行方向に沿った一方側に位置する第一データ取得部と、前記光ファイバの端面に対して前記加工進行方向に沿った他方側に位置する第二データ取得部とを有することを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載のレーザ加工装置。 - 前記検知部は、前記薄膜に関する情報を取得するデータ取得部を有し、
前記データ取得部は、前記光ファイバの端面に対して前記加工進行方向に沿った一方側に配置され、
前記データ取得部と前記光ファイバの端面の位置関係が、反転可能となっていることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載のレーザ加工装置。 - 前記検知部は、前記薄膜に関する情報を取得するデータ取得部と、該データ取得部で取得された該薄膜に関する情報を処理する情報処理部と、該情報処理部によって処理された情報に基づいて前記光ファイバの端面の前記薄膜に対する位置を判断する判断部と、を有することを特徴とする請求項1乃至5のいずれか1項に記載のレーザ加工装置。
- 前記検知部は、前記被加工基板上の障害物に関する情報も検知し、
前記ファイバ移動部は、前記検知部によって検知された情報に基づいて前記障害物を回避するよう前記光ファイバの端面を移動させることを特徴とする請求項1乃至6のいずれか1項に記載のレーザ加工装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010033793A JP5658887B2 (ja) | 2010-02-18 | 2010-02-18 | レーザ加工装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010033793A JP5658887B2 (ja) | 2010-02-18 | 2010-02-18 | レーザ加工装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2011167724A true JP2011167724A (ja) | 2011-09-01 |
JP5658887B2 JP5658887B2 (ja) | 2015-01-28 |
Family
ID=44682385
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010033793A Expired - Fee Related JP5658887B2 (ja) | 2010-02-18 | 2010-02-18 | レーザ加工装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5658887B2 (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN103050567A (zh) * | 2011-10-12 | 2013-04-17 | 太阳海科技股份有限公司 | 用于制造薄膜太阳能电池的划线方法 |
WO2013105625A1 (ja) * | 2012-01-12 | 2013-07-18 | 日本電気硝子株式会社 | ガラス |
CN109830554A (zh) * | 2018-12-21 | 2019-05-31 | 北京铂阳顶荣光伏科技有限公司 | 薄膜太阳能电池刻划装置及刻划方法 |
KR20230083245A (ko) * | 2021-12-02 | 2023-06-09 | 코리아스펙트랄프로덕츠(주) | 플라즈마 진단을 위한 광학계 |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003285182A (ja) * | 2002-03-26 | 2003-10-07 | Nippon Steel Corp | レーザ加工装置 |
JP2007048835A (ja) * | 2005-08-08 | 2007-02-22 | Shibaura Mechatronics Corp | レーザ加工装置及びそれを用いた太陽電池基板のパターニング方法 |
-
2010
- 2010-02-18 JP JP2010033793A patent/JP5658887B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003285182A (ja) * | 2002-03-26 | 2003-10-07 | Nippon Steel Corp | レーザ加工装置 |
JP2007048835A (ja) * | 2005-08-08 | 2007-02-22 | Shibaura Mechatronics Corp | レーザ加工装置及びそれを用いた太陽電池基板のパターニング方法 |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN103050567A (zh) * | 2011-10-12 | 2013-04-17 | 太阳海科技股份有限公司 | 用于制造薄膜太阳能电池的划线方法 |
WO2013105625A1 (ja) * | 2012-01-12 | 2013-07-18 | 日本電気硝子株式会社 | ガラス |
CN109830554A (zh) * | 2018-12-21 | 2019-05-31 | 北京铂阳顶荣光伏科技有限公司 | 薄膜太阳能电池刻划装置及刻划方法 |
KR20230083245A (ko) * | 2021-12-02 | 2023-06-09 | 코리아스펙트랄프로덕츠(주) | 플라즈마 진단을 위한 광학계 |
KR102632173B1 (ko) * | 2021-12-02 | 2024-02-02 | 코리아스펙트랄프로덕츠(주) | 플라즈마 진단을 위한 광학계 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP5658887B2 (ja) | 2015-01-28 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
EP2769800B1 (en) | Laser processing machine | |
TWI413173B (zh) | Laser processing device | |
JP5201311B2 (ja) | レーザ加工方法および装置 | |
JP2007048835A (ja) | レーザ加工装置及びそれを用いた太陽電池基板のパターニング方法 | |
JP2013500867A (ja) | 緯度方向等値線スクライビング加工、ステッチング、ならびに簡易化されたレーザ制御およびスキャナ制御 | |
KR102169506B1 (ko) | 빔 주사 장치, 빔 주사 방법, 및 패턴 묘화 장치 | |
JP2009297742A (ja) | レーザ加工装置 | |
JP5658887B2 (ja) | レーザ加工装置 | |
KR20130071364A (ko) | 레이저 가공 장치 | |
EP2568326B1 (en) | Imaging device and imaging method for an imaging device | |
JP2010219171A (ja) | スクライブ加工方法及び装置 | |
KR20180018568A (ko) | 패턴 묘화 장치 및 패턴 묘화 방법 | |
JP2015219244A (ja) | 基板処理装置、デバイス製造方法及び基板処理方法 | |
JP2005081392A (ja) | レーザ加工方法およびレーザ加工装置 | |
KR20170026289A (ko) | 광 가공 장치 및 광 가공물의 생산 방법 | |
JP2011125902A (ja) | レーザ加工装置 | |
JP5274404B2 (ja) | レーザ加工装置及びレーザ加工方法 | |
JP2009006339A (ja) | レーザ加工装置、及び、レーザ加工方法 | |
JP2008242066A (ja) | 位置情報管理装置、描画システム、及び位置情報管理方法 | |
JP5528149B2 (ja) | レーザ加工装置およびレーザ加工方法 | |
JP2006084783A (ja) | 両面露光装置のマスクアライメント方法及びマスクアライメント装置 | |
JP6413784B2 (ja) | 基板処理装置及びデバイス製造方法 | |
JP5142916B2 (ja) | レーザ加工方法、及び、レーザ加工装置 | |
JP5329505B2 (ja) | レーザ加工機 | |
JP2013186291A (ja) | 露光装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20130208 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20131205 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20131213 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20140204 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20140401 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20140526 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20141121 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20141201 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5658887 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |