CN103050567A - 用于制造薄膜太阳能电池的划线方法 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种用于制造薄膜太阳能电池的划线方法，包括如下步骤：提供一基板，该基板上具有若干个前电极和若干条P1线以及光吸收层；扫描若干条P1线的轨迹，控制器根据所接收的若干条P1线的轨迹信息控制划线机的划线头在若干条P1线的同一左侧或者同一右侧划P2线，使P2线平行于P1线，以将光吸收层分割成若干个光吸收单元；在光吸收层的上表面设置后电极层；扫描若干条P2线的轨迹，控制器根据所接收的若干条P2线的轨迹信息控制划线机的划线头在若干条P2线的同一左侧或者同一右侧划P3线，使P3线平行于P2线，以将后电极层分割成若干个后电极。本发明的方法能有效避免各P2、P3线与P1线之间的交叉，大幅度提高成品的良率。

Description

用于制造薄膜太阳能电池的划线方法

技术领域

本发明涉及一种用于制作薄膜太阳能电池的划线方法。

背景技术

近年来，随着现代工业的高速发展，对能源量的需求越来越大，传统的煤炭、石油、天然气等能源正逐渐枯竭；可再生能源，主要是太阳能，从2000年开始迅猛发展。利用太阳能的产品主要是薄膜太阳能电池，如图1所示，图1示出薄膜太阳能电池的结构，包括玻璃等材料制成的基板1以及通过沉积、溅射等工艺设置在基板1上的薄膜层，从功能上薄膜层又可以分为前电极层2、后电极层4和中间的光吸收层3，其中光吸收层3通常以非晶硅(amorphous silicon，简称a-Si)、微晶硅、CIGS(铜铟镓硒)、CdTe(锑化镉)、多元化合物等不同材质的单层或多层结构所制成，光吸收层3的作用在于将光能转换为电能。

制造薄膜太阳能电池的工艺主要是将薄膜层划分为多个电池单元，由于每个电池单元的结构包括前电极20、光吸收单元30和后电极40(图1)，因此为了让各单元电池建立串联连接结构，需要进行三次划线切割动作。具体来说，制造薄膜太阳能电池的工艺包括：在基板1上设置前电极层2；在前电极层2上划切割线，将前电极层2划分成若干个前电极20；在若干个前电极2上表面设置光吸收层3，光吸收层3同时填充由于划分前电极层2的划线动作而形成的线槽；在光吸收层3上划切割线，将光吸收层3划分成若干个光吸收单元30；在若干个光吸收单元30上表面设置后电极层4，后电极层4同时填充由于划分光吸收层3的划线动作而形成的线槽；将后电极层4划分成若干个后电极40切割线。

经上述划线切割后，薄膜层被划分为多个电池单元，并且各个电池单元之间建立有串联连接结构。为了使各个电池单元在串接起来后能形成最佳的电压和电流，要求各个电池单元的面积尽量相同，即在划线过程中要使形成电池单元的三条切割线尽量保持平行。通常第一次划线动作(用于划分前电极层)形成的各条切割线之间，由于位于同一层面上，所以各条切割线之间容易实现平行；同样第二次划线动作(用于划分光吸收层)形成的各条切割线之间也容易实现平行；第三次划线动作(用于划分后电极层)形成的各条切割线之间也同样容易实现平行。

但是，在太阳能薄膜电池的制作过程中，切割线发生变形的情况是非常普遍的。如图2所示，图2示出薄膜太阳能电池制程中，第一次划线动作所形成的各条切割线发生变形时的结构示意图。从图2中可以看出，切割线发生凹向一侧面的弯曲变形，此种情况下，如何确保第二次、第三次划线动作所形成的各条切割线平行于第一次划线动作所形成的切割线就比较困难了，而各条切割线间的平行度差，将导致太阳能电池的输出效率降低，特别是当各切割线有交叉时，将导致该电池单元失效。

参照图1和图2。针对上述难于实现第二次、第三次划线动作所形成的各条切割线与第一次划线动作所形成的切割线平行的问题，提出了一种薄膜太阳能电池的制造方法，包括如下步骤：

S1、通过沉积、溅射等工艺在基板1上表面设置前电极层2.

S2、将基板1定位于划线机的承载台上；划线机上的一个或多个划线头在前电极层2上划出平行且间距相同的若干条切割线，从而将前电极层2平均分割成若干个前电极20，这种用来分割前电极层2的每一条切割线均称为P1线；在形成P1线的同时，在前电极层2边缘位置形成一条平行于P1线的对位线M。

S3、将基板从划线机上取下来送入工艺室，通过沉积、溅射等工艺在若干个前电极20的上表面设置光吸收层3，光吸收层3同时填充由于划分前电极层2的划线动作而形成的线槽。

S4、再次将基板1固定于划线机的承载台上；由CCD装置采集对位线M的轨迹信息，控制器接收CCD装置采集的对位线M的轨迹信息，并据此控制划线头在光吸收层3上划出平分光吸收层3的若干条平行于对位线M的切割线，从而将光吸收层3平均分割成若干个光吸收单元30，该平分光吸收层3的每一条切割线均称为P2线。

S5、又一次将基板1从划线机上取下来送入工艺室，通过沉积、溅射等工艺在光吸收层3的上表面设置后电极层，后电极层4同时填充由于划分光吸收层3的划线动作而形成的线槽。

S6、又一次将基板固定于划线机的承载台上；由控制器根据接收的CCD装置采集的对位线M的轨迹信息，控制划线头在后电极层4划出若干条平行于对位线M的切割线，从而将后电极层4平分成若干个后电极40，该平分后电极层4的每一条切割线均称为P3线，P3线在切割后电极层4的同时，一并切割其下面的光吸收单元30。

上述的薄膜太阳能电池的制造方法中，在形成P1线的同时，在前电极层边缘位置划出平行于P1线的对位线M；在后续的制程中，使P2线、P3线追随对位线M的轨迹，也就是说，该制造方法能够保证P2线、P3线与对位线M平行。但是，在上述步骤S3中，当P1线形成后，在各个前电极20的上设置光吸收层3时是通过沉积、溅射等工艺进行的，而沉积、溅射等工艺需要在很高的温度下进行，所以在高温作用下各条P1线会发生变形，当然对位线M也会随着发生变形，但只有当各条P1线的变形均与对位线的变形一致时，才能保证后序的P2线、P3线也与P1线平行；然而实际制程中，各条P1线的变形情况是很复杂的，通常情况下很难实现所有的P1线的变形都与对位线M的变形相一致，这时，虽然各条P2线、P3线均与对位线平行，但却无法实现各条P2线与各条P1线平行，变形严重时可能出现某些P2线、P3线与某些P1线交叉的情况发生。同样在接下来的步骤S6中，因S3步骤中设置光吸收层的高温作用同样会使P1线发生变形，因此平行于对位线的各条P3线很难保证与与P 1线、P2线平行。因此，即使是上述比较先进的薄膜太阳能电池的制造方法，也很难保证各P1线、P2线和P3线之间的平行度，甚至无法避免某些切割线交叉。

因此，如何在薄膜太阳能电池制作过程中确保P1线、P2线和P3线之间的平行度已经成为业界关注的议题之一。

发明内容

为了解决上述现有技术中存在的问题，本发明提供一种用于制造薄膜太阳能电池的划线方法，其能在薄膜太阳能电池制作过程中避免后序切割线与前序切割线交叉。

本发明提出了一种用于制造薄膜太阳能电池的划线方法。

在本发明的一实施例中，包括如下步骤：

提供一基板，该基板上具有若干个前电极和若干条P1线，且所述若干个前电极和P1线上面设有光吸收层；

用图像采集装置扫描所述若干条P1线的轨迹，并发送到划线机的控制器，所述控制器根据所接收的若干条P1线的轨迹信息控制所述划线机的划线头在所述若干条P1线的同一左侧或者同一右侧划P2线，使P2线平行于P1线，以将所述光吸收层分割成若干个光吸收单元；

在所述光吸收层的上表面设置后电极层，后电极层同时填充由于切割光吸收层的划线动作而形成的线槽；

用图像采集装置扫描所述若干条P2线的轨迹，并发送到划线机的控制器，所述控制器根据所接收的若干条P2线的轨迹信息控制所述划线机的划线头在所述若干条P2线的同一左侧或者同一右侧划P3线，使P3线平行于P2线，以将所述后电极层分割成若干个后电极。

在本发明的一实施例中，包括如下步骤：

提供一基板，该基板上具有若干个前电极和若干条P1线，且所述若干个前电极和P1线上面设有光吸收层；

用图像采集装置扫描所述若干条P1线的轨迹，并发送到划线机的控制器，所述控制器根据所接收的若干条P1线的轨迹信息控制所述划线机的划线头在所述若干条P1线的同一左侧或者同一右侧划P2线，使P2线平行于P1线，以将所述光吸收层分割成若干个光吸收单元；

在所述光吸收层的上表面设置后电极层，后电极层同时填充由于切割光吸收层的划线动作而形成的线槽；

所述控制器根据储存的若干条P1线的轨迹信息控制所述划线机的划线头分别在所述若干条P2线的同一左侧或者同一右侧划P3线，使P3线平行于相应的P1线，从而将所述后电极层分割成若干个后电极。

在本发明的一实施例中，包括如下步骤：

提供一基板，该基板上具有若干个前电极和若干条P1线，且所述若干个前电极和P1线上面设有光吸收层；将若干条P1线分成与P2、P3机台划线头数量相同的若干组，每一个P2、P3机台划线头对应一组P1线；

用图像采集装置分别扫描若干组P1线中的第一条P1线的轨迹，并分别将其所扫描的第一条P1线的轨迹信息发送到划线机的控制器，所述控制器根据所接收的若干组第一条P1线的轨迹信息控制所述若干个划线头分别在相应组内的第一条P1线的同一左侧或者同一右侧划第一条P2线，并使各第一条P2线分别平行于相应组的所述第一条P1线；在所述若干个划线头分别划第一条P2线的同时，用图像采集装置分别扫描相应组内的第二条P1线的轨迹，并将其所扫描的若干组第二条P1线的轨迹信息发送到划线机的控制器，所述控制器依照所接收的各第二条P1线的轨迹信息控制所述若干个划线头分别在相应组的第二条P1线的同一左侧或者同一右侧划第二条P2线，并使各第二条P2线分别平行于相应组的第二条P1线；依此类推，直至划完每组内的最后一条P2线，从而将所述光吸收层切割成若干个光吸收单元；

在所述光吸收层的上表面设置后电极层，后电极层同时填充由于划切光吸收层的划线动作而形成的线槽；

用图像采集装置分别扫描若干组P2线中的第一条P2线的轨迹，并分别将其所扫描的若干第一条P2线的轨迹信息发送到划线机的控制器，所述控制器根据所接收的若干组第一条P2线的轨迹信息控制所述若干个划线头分别在相应组内的第一条P2线的同一左侧或者同一右侧划第一条P3线，并使各第一条P3线分别平行于相应组的所述第一条P2线；在所述若干个划线头分别划第一条P3线的同时，用图像采集装置分别扫描相应组内的第二条P2线的轨迹，并将其所扫描的若干第二条P2线的轨迹信息发送到划线机的控制器，所述控制器依照所接收的各第二条P2线的轨迹信息控制所述若干个划线头分别在相应组内的第二条P2线的同一左侧或者同一右侧划第二条P3线，并使各第二条P3线分别平行于相应组内的第二条P2线；依此类推，直至划完每组内的最后一条P3线，从而将所述后电极层切割成若干个后电极。

在本发明的一实施例中，包括如下步骤：

提供一基板，该基板上具有若干个前电极和若干条P1线，且所述若干个前电极和P1线上面设有光吸收层；将若干条P1线分成与P2、P3机台划线头数量相同的若干组，每一个P2、P3机台划线头对应一组P1线；

用图像采集装置分别扫描若干组P1线中的第一条P1线的轨迹，并分别将其所扫描的第一条P1线的轨迹信息发送到划线机的控制器，所述控制器根据所接收的若干组第一条P1线的轨迹信息控制所述若干个划线头分别在相应组内的第一条P1线的同一左侧或者同一右侧划第一条P2线，并使各第一条P2线分别平行于相应组的所述第一条P1线；在所述若干个划线头分别划第一条P2线的同时，用图像采集装置分别扫描相应组内的第二条P1线的轨迹，并将其所扫描的若干组第二条P1线的轨迹信息发送到划线机的控制器，所述控制器依照所接收的各第二条P1线的轨迹信息控制所述若干个划线头分别在相应组的第二条P1线的同一左侧或者同一右侧划第二条P2线，并使各第二条P2线分别平行于相应组的第二条P1线；依此类推，直至划完每组内的最后一条P2线，从而将所述光吸收层切割成若干个光吸收单元；

在所述光吸收层的上表面设置后电极层，后电极层同时填充由于划切光吸收层的划线动作而形成的线槽；

所述控制器根据储存的若干条P1线的轨迹信息控制所述若干个划线头分别在所述若干条P2线的同一左侧或者同一右侧划若干条P3线，从而将所述后电极层切割成若干个后电极。

基于上述，本发明的用于制造薄膜太阳能电池的划线方法中，每一条P1线都经过检测，并且各P2线和/或各P3线分别平行于相应的变形后的P1线的轨迹，所以有效地避免了各P2线和/或各P3与P1线之间的交叉，在不影响制程效率的情况下，大幅度提高了成品的良率。

为让本发明的上述特征和优点能更明显易懂，下文特举实施例，并配合所附的图作详细说明如下。

附图说明

图1示出薄膜太阳能电池中的各个单元之间串联的结构的示意图。

图2示出传统薄膜太阳能电池制程中，第一次划线动作形成的各条切割线以及对位线经过沉积光吸收层的高温制程后，发生变形时的示意图。

图3示出本发明的用于制造薄膜太阳能电池的划线方法的第一实施例的示意图。

图4示出本发明的用于制造薄膜太阳能电池的划线方法的第三实施例的结构示意图。

其中，附图标记说明如下：

1：基板

2：前电极层

3：光吸收层

4：后电极层

20：前电极

30：光吸收单元

40：后电极

5：高解析度图像采集装置

M：对位线

具体实施方式

本发明中所使用的高解析度图像采集装置可以是高解析度的CCD装置，或者高解析度的CMOS装置，这种高分辨率图像采集装置的测量精度最好能达到微米等级，以使其能采集到微小的轨迹图像。

实施例1

图3示出本发明的用于制造薄膜太阳能电池的划线方法的第一实施例的示意图。请参照图1和图3，本发明第一实施例的用于制造薄膜太阳能电池的划线方法，包括如下步骤：

S1、提供一基板1，通过沉积或者溅射等工艺在基板1上表面设置前电极层2。

S2、将基板1定位于划线机的承载台上；划线机上的一个或多个划线头在前电极层2上划出平行且间距相同的若干条切割线，从而将前电极层2平均分割成若干个前电极20，这种用来分割前电极层2的每一条切割线均称为P1线。

S3、将基板从划线机上取下来送入工艺室，通过沉积或者溅射等工艺在若干个前电极20的上表面设置光吸收层3，光吸收层3同时填充由于划分前电极层2的划线动作而形成的线槽。

S4、再次将基板1定位于划线机的承载台上，用高解析度图像采集装置，例如高解析度CCD摄像装置5，扫描前述步骤S2中所形成的若干条P1线的轨迹，并发送到划线机的控制器，控制器根据所接收的若干条P1线的轨迹信息控制划线机的划线头在若干条P1线的同一右侧划P2线，使P2线平行于P1线，从而将光吸收层分割成若干个光吸收单元。

S5、又一次将基板1从划线机上取下来送入工艺室，通过沉积或者溅射等工艺在光吸收层3的上表面设置后电极层，后电极层4同时填充由于划分光吸收层3的划线动作而形成的线槽。

S6、又一次将基板固定于划线机的承载台上；用高解析度图像采集装置扫描若干条P2线的轨迹，并发送到划线机的控制器，控制器根据所接收的若干条P2线的轨迹信息控制划线机的划线头在若干条P2线的同一右侧划P3线，使P3线平行于P2线，以将后电极层分割成若干个后电极，每条P3线在切割所述后电极层的同时，一并切割其下面的光吸收单元。经上述步骤，就完成了薄膜太阳能电池的制作。

上述第一实施例的薄膜太阳能电池的划线方法中，每一条P2线都位于相应的P1线的右侧，每一条P3线都位于相应的P2线的右侧。当然也可以使每一条P2线都位于相应的P1线的左侧，每一条P3线都位于相应的P2线的左侧。其中所说的“相应的P1线、P2线、P3线”是指形成同一个电池单元的一组P1线、P2线、P3线。

上述第一实施例的薄膜太阳能电池的划线方法中，步骤S6中的高解析度图像采集装置，可以是步骤S4中的高解析度CCD摄像装置5，也可以是其他的高解析度图像采集装置。

步骤S4中可以用一个高解析度图像采集装置来扫描所有的P1线的轨迹；也可以用若干个高解析度图像采集装置来扫描P1线，每一个高解析度图像采集装置用于采集1条或者多条P1线的轨迹，然后每一个高解析度图像采集装置将所采集的P1线的轨迹信息发送到控制器，由控制器汇总控制划P2线；同样，这些用于扫描P1线的若干个高解析度图像采集装置以同样的方式采集P2线的轨迹信息并发送到控制器，再由控制器汇总控制划P3线。

另外，用高解析度图像采集装置扫描若干条P2线的轨迹时，可以在将基板固定至承载台之前进行，这时可以在基板的背面扫描P2线的轨迹，由于基板可以选用透明的玻璃材料，所以这时用低解析度图像采集装置扫描也能采集到P2线的轨迹。

实施例2

本发明第二实施例的用于制造薄膜太阳能电池的划线方法与第一实施例的不同之处在于：在划P3线时不用扫描P2线的轨迹。控制器根据其储存的若干条P1线的轨迹信息控制划线机的划线头分别在若干条P2线的同一左侧或者同一右侧划P3线，使P3线平行于相应的P1线，从而将后电极层分割成若干个后电极。本第二实施例的其他与第一实施例相同的部分这里不再赘述。

实施例3

图4示出本发明的用于制造薄膜太阳能电池的划线方法的第三实施例的示意图。请参照图1和图4，本发明第三实施例用于制造薄膜太阳能电池的划线方法，包括如下步骤：

S1、提供一基板1，通过沉积或者溅射等工艺在基板1上表面设置前电极层2。

S2、将基板1定位于划线机的承载台上，划线机上的多个划线头在前电极层2上划出平行且间距相同的若干条P1线，从而将前电极层2平均分割成若干个前电极20；将若干条P1线分成与P2、P3机台划线头数量相同的若干组，每一个划线头对应一组P1线，将若干条P1线分组的步骤也可以在下述S4步骤之后完成。

S4、将基板从划线机上取下来送入工艺室，通过沉积或者溅射等工艺在若干个前电极20的上表面设置光吸收层3，光吸收层3同时填充由于划分前电极层2的划线动作而形成的线槽。

S5、用高解析度图像采集装置分别扫描若干组P1线中的第一条P1线的轨迹，并分别将其所扫描的第一条P1线的轨迹信息发送到划线机的控制器，所述控制器根据所接收的若干组第一条P1线的轨迹信息控制所述若干个划线头分别在相应组内的第一条P1线的同一左侧或者同一右侧划第一条P2线，并使各第一条P2线分别平行于相应组的所述第一条P1线；在所述若干个划线头分别划第一条P2线的同时，用高解析度图像采集装置分别扫描相应组内的第二条P1线的轨迹，并将其所扫描的若干组第二条P1线的轨迹信息发送到划线机的控制器，所述控制器依照所接收的各第二条P1线的轨迹信息控制所述若干个划线头分别在相应组内的第二条P1线的同一左侧或者同一右侧划第二条P2线，并使各第二条P2线分别平行于相应组内的第二条P1线；依此类推，直至划完每组内的最后一条P2线，从而将所述光吸收层切割成若干个光吸收单元。

例如，划线机上共设有8个划线头(图4中仅仅示出两个划线头，并且只示意出部分P1线)，该8个划线头同时动作，即同时进行划线动作，同时进行进给动作。薄膜太阳能电池的基板上共有112条P1线，将112条P1线分成8组，则每组包括14条P1线，即第1～第14条P1线为第一组，第15～第28条P1线为第二组，依此类推，第99～第112条P1线为第八组。在划P2线时，每个划线头需要划线14次。具体来说，第一个划线头对应第一组P1线，依次划第1～第14条P2线；第二个划线头对应第二组P1线，依次划第15～第28条P2线，而第15条P1线即为第二组中的第一条P1线，划线时，第15条P2线与第1条P2线同时进行，依此类推，每一组中的第二条P2线也同时进行，直至每一组的第14条P2线同时划完后，整个P2线就划完了。

S6、又一次将基板1从划线机上取下来送入工艺室，通过沉积或者溅射等工艺在光吸收层3的上表面设置后电极层，后电极层4同时填充由于划分光吸收层3的划线动作而形成的线槽。

S7、又一次将基板固定于划线机的承载台上；用高解析度图像采集装置分别扫描若干组P2线中的第一条P2线的轨迹，并分别将其所扫描的第一条P2线的轨迹信息发送到划线机的控制器，所述控制器根据所接收的若干组第一条P2线的轨迹信息控制所述若干个划线头分别在相应组内的第一条P2线的同一左侧或者同一右侧划第一条P3线，并使各第一条P3线分别平行于相应组的所述第一条P2线；在所述若干个划线头分别划第一条P3线的同时，用高解析度图像采集装置分别扫描相应组内的第二条P2线的轨迹，并将其所扫描的若干组第二条P2线的轨迹信息发送到划线机的控制器，所述控制器依照所接收的各第二条P2线的轨迹信息控制所述若干个划线头分别在相应组内的第二条P2线的同一左侧或者同一右侧划第二条P3线，并使各第二条P3线分别平行于相应组内的第二条P2线；依此类推，直至划完每组内的最后一条P3线，从而将后电极层切割成若干个后电极单元。

上述第三实施例的用于制造薄膜太阳能电池的划线方法中，其所使用的划线机的每一个划线头上安装一个用于扫描P1线和P2线的高解析度图像采集装置，当然用于扫描P1线和P2线的高解析度图像采集装置也可以不安装在划线头上，而是安装在划线机的其他位置或者是可以灵活移动的装置，由划线机的控制器来协调控制边划线边扫描动作。

实施例4

本发明第四实施例的用于制造薄膜太阳能电池的划线方法与第三实施例的不同之处在于：在划P3线时不用扫描P2线的轨迹。控制器根据其储存的若干条P1线的轨迹信息控制划线机的划线头分别在若干条P2线的同一左侧或者同一右侧划P3线，使P3线平行于相应的P1线，从而将后电极层分割成若干个后电极。本第四实施例的其他与第三实施例相同的部分这里不再赘述。

本发明的第一实施例至第四实施例的用于制造薄膜太阳能电池的划线方法，每一条P1线过高解析度图像采集装置的检测，并且各P2线或者各P3线分别追随相应的P1线的轨迹，所以有效地避免了各划线之间的交叉，在不影响制程效率的情况下，大幅度提高了成品的良率。

虽然本发明已以实施例公开如上，然其并非用以限定本发明，任何所属技术领域中具有普通知识的技术人员，在不脱离本发明的精神和范围内，当可作些许的更动与润饰，故本发明的保护范围当以所附的权利要求所界定的范围为准。

Claims (8)

1.一种用于制造薄膜太阳能电池的划线方法，其特征在于，包括如下步骤：

提供一基板，该基板上具有若干个前电极和若干条P1线，且所述若干个前电极和P1线上面设有光吸收层；

用图像采集装置扫描所述若干条P1线的轨迹，并发送到划线机的控制器，所述控制器根据所接收的若干条P1线的轨迹信息控制所述划线机的划线头在所述若干条P1线的同一左侧或者同一右侧划P2线，使P2线平行于P1线，以将所述光吸收层分割成若干个光吸收单元；

在所述光吸收层的上表面设置后电极层，后电极层同时填充由于切割光吸收层的划线动作而形成的线槽；

用图像采集装置扫描所述若干条P2线的轨迹，并发送到划线机的控制器，所述控制器根据所接收的若干条P2线的轨迹信息控制所述划线机的划线头在所述若干条P2线的同一左侧或者同一右侧划P3线，使P3线平行于P2线，以将所述后电极层分割成若干个后电极。

2.如权利要求1所述的用于制造薄膜太阳能电池的划线方法，其特征在于，用于扫描P1线轨迹的图像采集装置的数量为一个或者多个；用于扫描P2线轨迹的图像采集装置的数量为一个或者多个。

3.一种用于制造薄膜太阳能电池的划线方法，其特征在于，包括如下步骤：

提供一基板，该基板上具有若干个前电极和若干条P1线，且所述若干个前电极和P1线上面设有光吸收层；

用图像采集装置扫描所述若干条P1线的轨迹，并发送到划线机的控制器，所述控制器根据所接收的若干条P1线的轨迹信息控制所述划线机的划线头在所述若干条P1线的同一左侧或者同一右侧划P2线，使P2线平行于P1线，以将所述光吸收层分割成若干个光吸收单元；

在所述光吸收层的上表面设置后电极层，后电极层同时填充由于切割光吸收层的划线动作而形成的线槽；

所述控制器根据储存的若干条P1线的轨迹信息控制所述划线机的划线头分别在所述若干条P2线的同一左侧或者同一右侧划P3线，使P3线平行于相应的P1线，从而将所述后电极层分割成若干个后电极。

4.如权利要求3所述的用于制造薄膜太阳能电池的划线方法，其特征在于，用于扫描P1线轨迹的图像采集装置的数量为一个或者多个；用于扫描P2线轨迹的图像采集装置的数量为一个或者多个。

5.一种用于制造薄膜太阳能电池的划线方法，其特征在于，包括如下步骤：

提供一基板，该基板上具有若干个前电极和若干条P1线，且所述若干个前电极和P1线上面设有光吸收层；将若干条P1线分成与P2、P3机台划线头数量相同的若干组，每一个P2、P3机台划线头对应一组P1线；

用图像采集装置分别扫描若干组P1线中的第一条P1线的轨迹，并分别将其所扫描的第一条P1线的轨迹信息发送到划线机的控制器，所述控制器根据所接收的若干组第一条P1线的轨迹信息控制所述若干个划线头分别在相应组内的第一条P1线的同一左侧或者同一右侧划第一条P2线，并使各第一条P2线分别平行于相应组的所述第一条P1线；在所述若干个划线头分别划第一条P2线的同时，用图像采集装置分别扫描相应组内的第二条P1线的轨迹，并将其所扫描的若干组第二条P1线的轨迹信息发送到划线机的控制器，所述控制器依照所接收的各第二条P1线的轨迹信息控制所述若干个划线头分别在相应组的第二条P1线的同一左侧或者同一右侧划第二条P2线，并使各第二条P2线分别平行于相应组的第二条P1线；依此类推，直至划完每组内的最后一条P2线，从而将所述光吸收层切割成若干个光吸收单元；

在所述光吸收层的上表面设置后电极层，后电极层同时填充由于划切光吸收层的划线动作而形成的线槽；

用图像采集装置分别扫描若干组P2线中的第一条P2线的轨迹，并分别将其所扫描的若干组第一条P2线的轨迹信息发送到划线机的控制器，所述控制器根据所接收的若干组第一条P2线的轨迹信息控制所述若干个划线头分别在相应组内的第一条P2线的同一左侧或者同一右侧划第一条P3线，并使各第一条P3线分别平行于相应组的所述第一条P2线；在所述若干个划线头分别划第一条P3线的同时，用图像采集装置分别扫描相应组内的第二条P2线的轨迹，并将其所扫描的若干组第二条P2线的轨迹信息发送到划线机的控制器，所述控制器依照所接收的各第二条P2线的轨迹信息控制所述若干个划线头分别在相应组内的第二条P2线的同一左侧或者同一右侧划第二条P3线，并使各第二条P3线分别平行于相应组内的第二条P2线；依此类推，直至划完每组内的最后一条P3线，从而将所述后电极层切割成若干个后电极。

6.如权利要求5所述的用于制造薄膜太阳能电池的划线方法，其特征在于，所述图像采集装置的数量与所述划线方法所使用的划线机的划线头数量相同，并且每个所述划线头上安装一个所述图像采集装置。

7.一种用于制造薄膜太阳能电池的划线方法，其特征在于，包括如下步骤：

提供一基板，该基板上具有若干个前电极和若干条P1线，且所述若干个前电极和P1线上面设有光吸收层；将若干条P1线分成与P2、P3机台划线头数量相同的若干组，每一个P2、P3机台划线头对应一组P1线；

用图像采集装置分别扫描若干组P1线中的第一条P1线的轨迹，并分别将其所扫描的第一条P1线的轨迹信息发送到划线机的控制器，所述控制器根据所接收的若干组第一条P1线的轨迹信息控制所述若干个划线头分别在相应组内的第一条P1线的同一左侧或者同一右侧划第一条P2线，并使各第一条P2线分别平行于相应组的所述第一条P1线；在所述若干个划线头分别划第一条P2线的同时，用图像采集装置分别扫描相应组内的第二条P1线的轨迹，并将其所扫描的若干组第二条P1线的轨迹信息发送到划线机的控制器，所述控制器依照所接收的各第二条P1线的轨迹信息控制所述若干个划线头分别在相应组的第二条P1线的同一左侧或者同一右侧划第二条P2线，并使各第二条P2线分别平行于相应组的第二条P1线；依此类推，直至划完每组内的最后一条P2线，从而将所述光吸收层切割成若干个光吸收单元；

在所述光吸收层的上表面设置后电极层，后电极层同时填充由于划切光吸收层的划线动作而形成的线槽；

所述控制器根据储存的若干条P1线的轨迹信息控制所述若干个划线头分别在所述若干条P2线的同一左侧或者同一右侧划若干条P3线，从而将所述后电极层切割成若干个后电极。

8.如权利要求7所述的用于制造薄膜太阳能电池的划线方法，其特征在于，所述图像采集装置的数量与所述划线方法所使用的划线机的划线头数量相同，并且每个所述划线头上安装一个所述图像采集装置。

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