JP2008065237A - 液晶ディスプレイパネル用基板の製造方法、及び液晶ディスプレイパネル用基板、並びに露光装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】TFT基板とカラーフィルタ基板のパターン間のずれを抑制し、パターンの精度向上を図ることができる液晶ディスプレイパネルの製造方法及び露光装置を提供する。
【解決手段】カラーフィルタ基板Wは、製造したTFT基板Wtと基準マスクMsとのアライメントを行なって、検出した測定データを元に補正量を算出し、この補正量に基づいて露光されるので、製造したTFT基板Wtのパターンの精度に基づいて露光される。
【選択図】図4
【解決手段】カラーフィルタ基板Wは、製造したTFT基板Wtと基準マスクMsとのアライメントを行なって、検出した測定データを元に補正量を算出し、この補正量に基づいて露光されるので、製造したTFT基板Wtのパターンの精度に基づいて露光される。
【選択図】図4
Description
本発明は、液晶ディスプレイパネル用基板(TFT(Thin Film Transistor)基板、或はカラーフィルタ基板)の製造方法、及び液晶ディスプレイパネル用基板、並びに、その露光に用いられる露光装置に関する。
液晶ディスプレイ装置は、TFT基板とカラーフィルタ基板とを貼り合わせ、これらの間に液晶層を形成することで製造されるものが主流となっている。一般に、TFT基板とカラーフィルタ基板は、それぞれ複数のパネルのパターンを各ガラス基板に形成した後、これらの基板を接着剤で貼り合わせ、個々のパネルに切断している。
例えば、図11に示す液晶ディスプレイパネルでは、TFT基板101には、TFT素子102、透明導電膜で形成される画素電極103、及びそれらをつなぐ配線、配向膜104等が形成されている。また、カラーフィルタ基板105には、ブラックマトリクス106、カラーフィルタ107、対向電極108、配向膜109、フォトスペーサ110等が形成される。ここで、111は、液晶であり、112は、接着剤である。
これらTFT基板とカラーフィルタ基板は、絶対座標上で設計されたマスクを使用して露光することで製造されている。しかしながら、これらの露光においては、熱によるマスクの歪みや機械的な位置ずれ等により、露光された基板上のパターンにずれ、例えば、位置ずれが生じる場合があり、これら基板を貼り合わせた際にもこれら基板の両パターン間にずれが生じる。特に、TFT基板とカラーフィルタ基板の一層目のブラックマトリクス層との両パターン間のずれは、液晶ディスプレイパネルの製品としての品質に影響を及ぼす。この場合、R,G,Bのカラーフィルタ層はブラックマトリクス層の上層に露光されるので、TFT基板とカラーフィルタ層との両パターン間にもずれが生じる。
このため、TFT基板やカラーフィルタ基板を露光する際の露光精度を向上する方法が種々提案されている(例えば、特許文献1〜3参照)。特許文献1に記載の方法では、基板に露光されたパターンを専用の測定装置で測定し、この測定データにより算出された補正量に基づいてマスクの転写パターンを設計することで、マスクの自重等によるパターンのずれを防止している。また、特許文献2に記載の方法では、変位センサによってマスク保持枠に対するマスクの位置を検出し、マスクのずれを調整している。特許文献3に記載の方法では、TFT基板に形成されたパターンをイメージスキャナで読み取り、読み取ったパターンデータを加工後、加工データに基づいてマスクの転写パターンを設計し、TFT基板とカラーフィルタ基板との整合を図っている。
特開2000−267253号公報
特開2006−100590号公報
特開平8−234409号公報
ところで、上述したようにTFT基板とカラーフィルタ基板について別々の測長装置を用いてパターンの精度を測定し、この測定データに基づいてマスクの転写パターンを設計する場合、基板毎の絶対座標に対する誤差は抑制することができるが、これら基板を貼り合わせた際に、各基板における誤差の合計が相対ずれ量(相対位置ずれ量)となって残る可能性がある。また、測定データには測長装置自体の精度誤差が含まれてしまうという課題がある。そのため、TFT基板とカラーフィルタ基板とを同一の専用測長器で測定する必要がある。
また、特許文献3に記載の方法では、TFT基板のパターンに基づいて設計されたマスクを用いてカラーフィルタ基板を露光し、TFT基板とカラーフィルタ基板との整合を図っているが、カラーフィルタ基板を製造する露光装置に機械的な位置ずれ等による誤差が生じる場合には、この誤差は基板を貼り合わせた際の相対ずれ量となって残るという課題がある。
本発明は、前述した課題に鑑みてなされたものであり、その第1の目的は、TFT基板とカラーフィルタ基板のパターン間のずれを抑制し、パターンの精度向上を図ることができる液晶ディスプレイパネル用基板の製造方法、及び液晶ディスプレイパネル用基板、並びに露光装置を提供することにある。また、第2の目的は、基板上の複数のパターン間のずれを抑制し、パターンの精度向上を図ることができる液晶ディスプレイパネル用基板の製造方法、及び液晶ディスプレイパネル用基板、並びに露光装置を提供することにある。
本発明の上記目的は、下記の構成により達成される。
(1) 予め精度が測定された基準マスクを準備する工程と、
前記TFT基板と前記カラーフィルタ基板のいずれか一方の基板に所望のパターンを露光する露光装置上で、製造された前記TFT基板と前記カラーフィルタ基板の他方の基板と前記基準マスクとのアライメントを行って、これらの相対位置を検出する工程と、
前記相対位置に基づいて前記一方の基板に前記所望のパターンを露光する際の補正量を決定する工程と、
前記補正量に基づいて前記一方の基板に前記所望のパターンを露光する工程と、
を有することを特徴とする液晶ディスプレイパネル用基板の製造方法。
(2) 前記一方の基板に前記所望のパターンを露光する際のマスクの転写パターンは、前記補正量に基づいて形成されることを特徴とする(1)に記載の液晶ディスプレイパネル用基板の製造方法。
(3) 前記一方の基板に前記所望のパターンを露光する際、前記マスクと前記一方の基板とは、前記補正量に基づいて相対位置決めされることを特徴とする(1)または(2)に記載の液晶ディスプレイパネル用基板の製造方法。
(4) 前記相対位置の検出は、前記露光装置に具備される光学検出系によって行なわれることを特徴とする(1)〜(3)のいずれかに記載の液晶ディスプレイパネル用基板の製造方法。
(5) 前記基準マスクを用いて仮基板に前記所望のパターンを露光する工程と、
前記露光装置上で、露光された前記仮基板と前記基準マスクとのアライメントを行なって、これらの相対位置を検出する工程と、
をさらに備え、
前記補正量の決定工程は、製造された前記他方の基板と前記基準マスクとの相対位置、及び、前記仮基板と前記基準マスクとの前記相対位置に基づいて前記補正量を決定することを特徴とする(1)〜(4)のいずれかに記載の液晶ディスプレイ用基板の製造方法。
(6) 前記一方の基板は前記カラーフィルタ基板であり、前記他方の基板は前記TFT基板であることを特徴とする(1)〜(5)のいずれかに記載の液晶ディスプレイパネル用基板の製造方法。
(7) (1)〜(6)のいずれかの製造方法によって製造されることを特徴とする液晶ディスプレイパネル用基板。
(8) (1)〜(7)のいずれかに記載の前記一方の基板の露光に用いられることを特徴とする露光装置。
(1) 予め精度が測定された基準マスクを準備する工程と、
前記TFT基板と前記カラーフィルタ基板のいずれか一方の基板に所望のパターンを露光する露光装置上で、製造された前記TFT基板と前記カラーフィルタ基板の他方の基板と前記基準マスクとのアライメントを行って、これらの相対位置を検出する工程と、
前記相対位置に基づいて前記一方の基板に前記所望のパターンを露光する際の補正量を決定する工程と、
前記補正量に基づいて前記一方の基板に前記所望のパターンを露光する工程と、
を有することを特徴とする液晶ディスプレイパネル用基板の製造方法。
(2) 前記一方の基板に前記所望のパターンを露光する際のマスクの転写パターンは、前記補正量に基づいて形成されることを特徴とする(1)に記載の液晶ディスプレイパネル用基板の製造方法。
(3) 前記一方の基板に前記所望のパターンを露光する際、前記マスクと前記一方の基板とは、前記補正量に基づいて相対位置決めされることを特徴とする(1)または(2)に記載の液晶ディスプレイパネル用基板の製造方法。
(4) 前記相対位置の検出は、前記露光装置に具備される光学検出系によって行なわれることを特徴とする(1)〜(3)のいずれかに記載の液晶ディスプレイパネル用基板の製造方法。
(5) 前記基準マスクを用いて仮基板に前記所望のパターンを露光する工程と、
前記露光装置上で、露光された前記仮基板と前記基準マスクとのアライメントを行なって、これらの相対位置を検出する工程と、
をさらに備え、
前記補正量の決定工程は、製造された前記他方の基板と前記基準マスクとの相対位置、及び、前記仮基板と前記基準マスクとの前記相対位置に基づいて前記補正量を決定することを特徴とする(1)〜(4)のいずれかに記載の液晶ディスプレイ用基板の製造方法。
(6) 前記一方の基板は前記カラーフィルタ基板であり、前記他方の基板は前記TFT基板であることを特徴とする(1)〜(5)のいずれかに記載の液晶ディスプレイパネル用基板の製造方法。
(7) (1)〜(6)のいずれかの製造方法によって製造されることを特徴とする液晶ディスプレイパネル用基板。
(8) (1)〜(7)のいずれかに記載の前記一方の基板の露光に用いられることを特徴とする露光装置。
(9) 予め露光されたパターンを有する基板、及び、予め精度が測定された基準マスクを準備する工程と、
前記基板に所望のパターンを露光する露光装置上で、前記基板と前記基準マスクとのアライメントを行って、これらの相対位置を検出する工程と、
前記相対位置に基づいて前記基板に前記所望のパターンを露光する際の補正量を決定する工程と、
前記補正量に基づいて前記基板に前記所望のパターンを露光する工程と、
を有することを特徴とする液晶ディスプレイパネル用基板の製造方法。
(10) 前記基板に前記所望のパターンを露光する際のマスクの転写パターンは、前記補正量に基づいて形成されることを特徴とする(9)に記載の液晶ディスプレイパネル用基板の製造方法。
(11) 前記基板に前記所望のパターンを露光する際、前記マスクと前記基板とは、前記補正量に基づいて相対位置決めされることを特徴とする(9)または(10)に記載の液晶ディスプレイパネル用基板の製造方法。
(12) 前記相対位置の検出は、前記露光装置に具備される光学検出系によって行なわれることを特徴とする(9)〜(11)のいずれかに記載の液晶ディスプレイパネル用基板の製造方法。
(13) 前記基準マスクを用いて仮基板に前記所望のパターンを露光する工程と、
前記露光装置上で、露光された前記仮基板と前記基準マスクとのアライメントを行なって、これらの相対位置を検出する工程と、
をさらに備え、
前記補正量の決定工程は、製造された前記他方の基板と前記基準マスクとの相対位置、及び、前記仮基板と前記基準マスクとの前記相対位置に基づいて前記補正量を決定することを特徴とする(9)〜(12)のいずれかに記載の液晶ディスプレイ用基板の製造方法。
(14) (9)〜(13)のいずれかの製造方法によって製造されることを特徴とする液晶ディスプレイパネル用基板。
(15) (9)〜(13)のいずれかに記載の前記基板の露光に用いられることを特徴とする露光装置。
前記基板に所望のパターンを露光する露光装置上で、前記基板と前記基準マスクとのアライメントを行って、これらの相対位置を検出する工程と、
前記相対位置に基づいて前記基板に前記所望のパターンを露光する際の補正量を決定する工程と、
前記補正量に基づいて前記基板に前記所望のパターンを露光する工程と、
を有することを特徴とする液晶ディスプレイパネル用基板の製造方法。
(10) 前記基板に前記所望のパターンを露光する際のマスクの転写パターンは、前記補正量に基づいて形成されることを特徴とする(9)に記載の液晶ディスプレイパネル用基板の製造方法。
(11) 前記基板に前記所望のパターンを露光する際、前記マスクと前記基板とは、前記補正量に基づいて相対位置決めされることを特徴とする(9)または(10)に記載の液晶ディスプレイパネル用基板の製造方法。
(12) 前記相対位置の検出は、前記露光装置に具備される光学検出系によって行なわれることを特徴とする(9)〜(11)のいずれかに記載の液晶ディスプレイパネル用基板の製造方法。
(13) 前記基準マスクを用いて仮基板に前記所望のパターンを露光する工程と、
前記露光装置上で、露光された前記仮基板と前記基準マスクとのアライメントを行なって、これらの相対位置を検出する工程と、
をさらに備え、
前記補正量の決定工程は、製造された前記他方の基板と前記基準マスクとの相対位置、及び、前記仮基板と前記基準マスクとの前記相対位置に基づいて前記補正量を決定することを特徴とする(9)〜(12)のいずれかに記載の液晶ディスプレイ用基板の製造方法。
(14) (9)〜(13)のいずれかの製造方法によって製造されることを特徴とする液晶ディスプレイパネル用基板。
(15) (9)〜(13)のいずれかに記載の前記基板の露光に用いられることを特徴とする露光装置。
本発明によれば、TFT基板とカラーフィルタ基板のいずれか一方の基板は、製造されたTFT基板とカラーフィルタ基板の他方の基板と、予め精度が測定された基準マスクとのアライメントを行なって相対位置を検出し、該相対位置に基づいて決定される補正量を用いて露光されるので、貼り合わされた際におけるTFT基板とカラーフィルタ基板のパターン間のずれを抑制し、パターンの精度向上を図ることができる。これにより、液晶ディスプレイパネルの品質及び生産性を向上することができる。
特に、TFT基板はカラーフィルタ基板よりも高い露光精度が要求されることから、製造されたTFT基板のパターン精度に基づいてカラーフィルタ基板を製造することが好ましい。
特に、TFT基板はカラーフィルタ基板よりも高い露光精度が要求されることから、製造されたTFT基板のパターン精度に基づいてカラーフィルタ基板を製造することが好ましい。
また、本発明によれば、予め露光されたパターンを有する基板と、予め精度が測定された基準マスクとのアライメントを行って相対位置を検出し、該相対位置に基づいて決定される補正量を用いて該基板に所望のパターンを露光するので、基板上の複数のパターン間のずれを抑制し、パターンの精度向上を図ることができる。これにより、液晶ディスプレイパネルの品質及び生産性を向上することができる。
以下、本発明に係る液晶ディスプレイパネル用基板の製造方法及びその露光に用いられる露光装置の各実施形態について図面を参照して詳細に説明する。なお、本実施形態では、カラーフィルタ基板を、製造されたTFT基板のパターン精度に基づいて露光する方法について説明する。
(第1実施形態)
図1は、大型のカラーフィルタ用ガラス基板(例えば、対角長が500mm以上)上にマスクの転写パターンを分割して近接露光するステップ式近接露光装置PEを示すものであり、露光パターンを有するマスクMをx、y、θ方向に移動可能に保持するマスクステージ10と、被露光材としてのガラス基板Wをx、y、z方向に移動可能に保持する基板ステージ20と、パターン露光用の光をマスクMを介して基板Wに照射する照明光学系40と、とから主に構成されている。
図1は、大型のカラーフィルタ用ガラス基板(例えば、対角長が500mm以上)上にマスクの転写パターンを分割して近接露光するステップ式近接露光装置PEを示すものであり、露光パターンを有するマスクMをx、y、θ方向に移動可能に保持するマスクステージ10と、被露光材としてのガラス基板Wをx、y、z方向に移動可能に保持する基板ステージ20と、パターン露光用の光をマスクMを介して基板Wに照射する照明光学系40と、とから主に構成されている。
なお、カラーフィルタ用ガラス基板W(以下、「基板W」或は「カラーフィルタ基板W」と称する。)は、マスクMに対向配置されており、このマスクMに描かれた転写パターンを露光転写すべく表面(マスクMの対向面側)に感光剤が塗布されている。
説明の便宜上、照明光学系40から説明すると、照明光学系40は、紫外線照射用の光源である例えば高圧水銀ランプ41と、この高圧水銀ランプ41から照射された光を集光する凹面鏡42と、この凹面鏡42の焦点近傍に切替え自在に配置された二種類のオプチカルインテグレータ43と、光路の向きを変えるための平面ミラー45,46及び球面ミラー47と、この平面ミラー46とオプチカルインテグレータ43との間に配置されて照射光路を開閉制御する露光制御用シャッター44と、を備える。
そして、照明光学系40では、露光時に露光制御用シャッター44が開制御されると、高圧水銀ランプ41から照射された光が、図1に示す光路Lを経て、マスクステージ10に保持されるマスクM、さらには基板ステージ20に保持される基板Wの表面に対して垂直にパターン露光用の平行光として照射される。これにより、マスクMの転写パターンが基板W上に露光転写される。
マスクステージ10は、中央部に矩形形状の開口11aが形成されるマスクステージベース11と、マスクステージベース11の開口11aにx軸,y軸,θ方向に移動可能に装着され、マスクMを保持するマスク保持枠12と、マスクステージベース11の上面に設けられ、マスク保持枠12をx軸,y軸,θ方向に移動させるマスク位置調整機構13とを備える。
マスクステージベース11は、基板ステージ側の装置ベース50上に立設される複数の支柱51に支持されており、マスクステージベース11と支柱51との間に設けられたz軸粗動機構52(図2参照)によりマスクステージベース11は装置ベース50に対して昇降可能である。
マスク保持枠12には、マスクMの転写パターンが描かれていない周縁部を吸着するための図示しない複数の吸引ノズルが下面に開設されており、図示しない真空吸着機構によってマスクMを着脱自在に保持する。
マスク位置調整機構13は、マスク保持枠12を駆動する各種シリンダ13x、13x、13y等のアクチュエータと、マスクステージベース11とマスク保持枠12との間に設けられた図示しないガイド機構等により、マスク保持枠12をx軸,y軸,θ方向に移動させる。
また、マスクステージ10は、マスクMと基板Wとの対向面間の所定のギャップを測定する複数のギャップセンサ17(本実施形態では、8個)と、マスクM側の図示しないアライメントマークと基板W側の図示しないアライメントマークとを撮像して、マスクMと基板Wとの平面ずれ量を検出する光学検出系である複数のアライメントカメラ18(本実施形態では、4個)と、マスクMを必要に応じて遮蔽するマスキングアパーチャ19と、をさらに備える。なお、ギャップセンサ17とアライメントカメラ18は、マスク保持枠12の辺部に沿って駆動可能に配置されてもよい。また、図では、マスキングアパーチャ19は、開口11aのx方向の両端部のみ示されているが、y方向の両端部にも設けられている。
基板ステージ20は、基板Wを保持する基板保持部21と、基板保持部21を装置ベース50に対してx、y、z方向に移動する基板移動機構22と、を備える。
基板保持部21は、上面に基板Wを吸引するための図示しない複数の吸引ノズルが開設されており、図示しない真空吸着機構によって基板Wを着脱自在に保持する。基板移動機構22は、基板保持部21の下方に、y軸テーブル23、y軸送り機構24、x軸テーブル25、x軸送り機構26、及びz−チルト調整機構27を備える。
y軸送り機構24は、図2に示すように、リニアガイド28と送り駆動機構29とを備えて構成され、y軸テーブル23の裏面に取り付けられたスライダ30が、転動体(図示せず)を介して装置ベース50上に延びる2本の案内レール31に跨架されると共に、モータ32とボールねじ装置33とによってy軸テーブル23を案内レール31に沿って駆動する。
なお、x軸送り機構26もy軸送り機構24と同様の構成を有し、x軸テーブル25をy軸テーブル23に対してx方向に駆動する。また、z−チルト調整機構27は、くさび状の移動体34,35と送り駆動機構36とを組み合わせてなる可動くさび機構をx方向の一端側に1台、他端側に2台配置することで構成される。なお、送り駆動機構29,36は、モータとボールねじ装置とを組み合わせた構成であってもよく、固定子と可動子とを有するリニアモータであってもよい。また、z-チルト調整機構27の設置数は任意である。
これにより、基板移動機構22は、基板保持部21をx方向及びy方向に送り駆動するとともに、マスクMと基板Wとの間のギャップを微調整するように、基板保持部21をz軸方向に微動且つチルト調整する。
基板保持部21のx方向側部とy方向側部にはそれぞれバーミラー61,62が取り付けられ、また、装置ベース50のy方向端部とx方向端部には、計3台のレーザー干渉計63,64,65が設けられている。これにより、レーザー干渉計63,64,65からレーザー光をバーミラー61,62に照射し、バーミラー61,62により反射されたレーザー光を受光して、レーザー光とバーミラー61,62により反射されたレーザー光との干渉を測定し、基板ステージの位置を検出する。
制御装置70は、図3に示すように、アライメントカメラ18、ギャップセンサ17、レーザー干渉計63,64,65からの検出信号を検出値として読み込むためのA/D変換機能を有する入力インターフェース回路70aと、演算処理装置70bと、ROM,RAM等の記憶装置70cと、演算処理装置70bで得られた制御信号を、マスク位置調整機構13、基板移動機構22、z軸粗動機構52、露光制御用シャッター44の各駆動回路に出力する出力インターフェース回路70dとを備えている。
制御装置70は、照明光学系40のシャッター開制御、基板移動機構22の送り制御、ステップ送り誤差量の演算、アライメント調整時の補正量の演算、ギャップ調整時のz−チルト調整機構27の駆動制御、本装置に組み込まれた殆どのアクチュエータの駆動及び所定の演算処理をマイクロコンピュータやシーケンサ等を用いたシーケンス制御を基本として実行する。
上記構成のステップ式近接露光装置PEでは、マスク保持枠12にマスクMが保持され、基板保持部21に基板Wが保持された状態で、制御装置70がアライメントカメラ18、ギャップセンサ17、レーザー干渉計63,64,65の検出信号に基づき、マスク位置調整機構13を駆動制御して基板保持部21に対するマスクMの初期位置を合わせ、z軸粗動機構52、z−チルト調整機構27を駆動制御してマスクMと基板Wとの対向面間を所定のギャップに調整して、互いに近接配置する。
そして、露光制御用シャッター44を所定の時間だけ開くと、照明光学系40からのパターン露光用の光が、マスクMを介して基板Wに照射される。これにより、マスクMの転写パターンが基板Wに露光転写される。
図4に示すように、上記近接露光装置PEを用いたカラーフィルタ基板の製造方法では、まず、別途製造されたTFT基板Wtを準備する(ステップS12)と共に、カラーフィルタ用基準マスクMsを準備する(ステップS14)。カラーフィルタ用基準マスクMsは、そのパターン形状を専用測定器で計測することで、正確なパターン形状が把握されている。
そして、近接露光装置PEのマスクステージ10に基準マスクMsを保持させると共に、ワークステージ20にTFT基板Wtを保持させ、基準マスクMsとTFT基板Wtとを図5に示すような露光位置へと移動させる。この露光位置に移動させた後に基準マスクMsの基準パターンPsとTFT基板Wtの露光パターンPtとの相対位置をアライメントカメラ18を用いて検出する(ステップS16)。
なお、基準マスクMsは1つ設けられてもよいし、ブラックマトリクス層とR,G,Bの各カラーフィルタ層毎に設けられてもよく、特に、ブラックマトリクス層とR,G,Bの各カラーフィルタ層をマスクを交換して1台の近接露光装置PEで露光する場合には、基準マスクMsは1つ設けられればよい。そして、各層を露光する近接露光装置PE上で、各層用の基準マスクMsとTFT基板Wtとの相対位置が検出される。
また、通常露光する際にマスクと基板とのアライメントマークによるアライメント調整は、カラーフィルタ層を露光する過程で行われ、ブラックマトリクス層を露光する場合には不要である。しかしながら、本実施形態では、ブラックマトリクス層を露光する場合においても、ブラックマトリクス用の基準マスクMsとTFT基板Wsとの相対位置を検出する必要があるため、ブラックマトリスク層を露光する近接露光装置PEにおいても、マスクと基板とのアライメントマークを検出するアライメントカメラ18を有している。
さらに、相対位置を検出する場合には、露光装置PEの熱変形等を考慮するため、実際の露光動作相当まで露光装置PEを作動させ、装置が安定状態になった後に検出を行なうようにすると、装置自体の誤差が小さくなり、検出精度が向上する。
制御装置70は、アライメントカメラ18で検出された相対位置に関する測定データを取り込んで、実際に露光する際の補正量を算出し(ステップS18)、記憶装置70cに記憶する。ここで、検出された相対位置に関する測定データには、図5に示すようなTFT基板を製造する際のマスクの歪みによるパターンの位置ずれに関するものと、図6に示すようなマスクと基板との機械的な位置ずれに関する情報の2種類が存在する。このため、この補正量は、実際の露光に使用されるカラーフィルタ用量産マスクの転写パターン形状と、実際にカラーフィルタ基板を露光する際のマスクと基板との相対位置決め時の指令位置とに反映される。ここで、マスクと基板との機械的な位置ずれに関する情報には、TFT基板を製造した際の機械的な位置ずれと、カラーフィルタ基板を製造する際の機械的な位置ずれとの相対位置ずれ量が検出される。なお、この測定データをいずれの補正量とするかは、人的に判断してもよく、演算処理装置内のプログラムによって解析されてもよい。
そして、マスクの転写パターン形状に関する補正量を反映してカラーフィルタ用量産マスクが製造される(ステップS20)。また、マスクとカラーフィルタ基板との相対位置決め時の指令位置は露光時にマスク位置調整機構13を駆動するように記憶装置70cに記憶される(ステップS22)。
このようにして、上記補正量に基づいて製造された各層の量産マスクを使用し、且つ、アライメント調整時にマスクとカラーフィルタ基板Wとの相対位置決め時の指令位置を参照してマスク位置調整機構13を駆動しながら各層の露光を行うことでカラーフィルタ基板Wが製造される(ステップS24)。その後、TFT基板Wtとカラーフィルタ基板Wを接着剤で貼り合わせ、液晶を封入した後に、パネル毎に切断することで、液晶ディスプレイパネルが製造される(ステップS26)。
従って、本実施形態では、カラーフィルタ基板Wは、製造したTFT基板Wtと予め精度が測定された基準マスクMsとのアライメントを行なって、これらの相対位置を検出し、該相対位置に基づいて決定される補正量を用いて露光されるので、貼り合わされた際におけるTFT基板とカラーフィルタ基板のパターン間のずれを抑制し、パターンの精度向上を図ることができる。これにより、液晶ディスプレイパネルの品質及び生産性を向上することができる。特に、上記アライメントはカラーフィルタ基板Wを露光する露光装置PE上で行なわれるので、TFT基板を製造した際のずれだけでなく、当該露光装置PEに起因するずれも補正量に含まれることから、TFT基板とカラーフィルタ基板との整合性が取れるだけでなく、カラーフィルタ基板Wの露光装置PEに起因するずれも合せて補正することができる。
さらに、カラーフィルタ基板Wを露光する際のマスクMの転写パターンは補正量に基づいて形成されるので、TFT基板を製造する際のマスクの歪みに起因するTFT基板Wtとカラーフィルタ基板Wの貼り合わせ後の相対位置ずれは抑制される。
また、カラーフィルタ基板を露光する際においても、カラーフィルタ基板用の量産マスクとカラーフィルタ基板とは、補正量に基づいてアライメント調整されるので、TFT基板を製造する際のマスクと基板との機械的な位置ずれと、カラーフィルタ基板を製造する際のマスクと基板との機械的な位置ずれの両方に起因するTFT基板Wtとカラーフィルタ基板Wの貼り合わせ後の相対位置ずれが抑制される。
また、相対位置の検出は、カラーフィルタ基板を露光する露光装置に具備されるアライメントカメラ18によって行なわれるので、別途測定装置を設ける必要がなく、また、光学検出系自体の精度誤差がカラーフィルタ基板の露光精度に及ぼす影響を低減できる。
さらに、カラーフィルタ層用の露光装置は、TFT基板やカラーフィルタ基板のブラックマトリクス層を露光する露光装置に必要なレーザー測長器(レーザー干渉計63,64,65及びバーミラー61,62)を有しない構成であるが、本実施形態ではカラーフィルタ層の露光は上述した補正量に基づいて行われるので、レーザー測長器を有しない露光装置であっても精度のよい初期位置決めができると共に、微動での位置決め作業が不要となりスループットを向上することができる。また、TFT基板やカラーフィルタ基板のブラックマトリクス層を露光する露光装置をレーザー測長器を有しない構成とした場合であっても、本実施形態の製造方法を適用することで精度のよい初期位置決めが可能となる。
(第2実施形態)
次に、本発明の第2実施形態に係る液晶ディスプレイパネル用基板の製造方法について図7を参照して説明する。尚、本実施形態は、第1実施形態の工程に、露光装置の光源の歪み等による光学誤差を補正する工程を加えたものであり、露光装置の構成等、その他の部分については、第1実施形態のものと同様である。
次に、本発明の第2実施形態に係る液晶ディスプレイパネル用基板の製造方法について図7を参照して説明する。尚、本実施形態は、第1実施形態の工程に、露光装置の光源の歪み等による光学誤差を補正する工程を加えたものであり、露光装置の構成等、その他の部分については、第1実施形態のものと同様である。
本実施形態のカラーフィルタ基板の製造方法では、第1実施形態と同様、まず、TFT基板Wtを製造する(ステップS12)と共に、CF用基準マスクMsを製造し(ステップS14)、TFT基板WtとCF用基準マスクMsとのアライメントを行なって、これらの相対位置をアライメントカメラ18を用いて検出する(ステップS16)。
また、本実施形態では、製造されたCF用基準マスクMsを使用して、素ガラス(以下、「CF用仮基板Wi」と称す)を露光し(ステップS30)、CF用露光装置PE上で、CF用基準マスクMsと露光済みのCF用仮基板Wiとのアライメントを行なって、これらの相対位置をアライメントカメラ18を用いて検出する(ステップS32)。
ステップS18では、ステップS32で得られたCF用基準マスクMsと露光済みのCF用仮基板Wiとの相対位置に関する測定データと、ステップS16で得られたCF用基準マスクMsとTFT測定データの両方を取り込んで、実際に露光する際の補正量を算出する。
算出された補正量には、第1実施形態と同様の、TFT基板を製造する際のマスクの歪みによるパターンの位置ずれに関する情報、及び、マスクと基板との機械的な位置ずれに関する情報の2種類に加え、CF用露光装置PEの光源の歪み等による光学誤差に関する情報が付加される。このため、上記3種類の情報を考慮した補正量が、実際の露光に使用されるカラーフィルタ用量産マスクの転写パターン形状と、実際にカラーフィルタ基板を露光する際のマスクと基板との相対位置決め時の指令位置とに反映される。
以後、第1実施形態と同様に、マスクの転写パターン形状に関する補正量を反映してカラーフィルタ用量産マスクを製造し(ステップS20)、マスクとカラーフィルタ基板との相対位置決め時の指令位置を露光時にマスク位置調整機構13を駆動するように記憶装置70cに記憶する(ステップS22)。そして、上記補正量に基づいて製造された各層の量産マスクを使用し、且つ、アライメント調整時にマスクとカラーフィルタ基板Wとの相対位置決め時の指令位置を参照してマスク位置調整機構13を駆動しながら各層の露光を行うことでカラーフィルタ基板Wが製造される(ステップS24)。その後、TFT基板Wtとカラーフィルタ基板Wを接着剤で貼り合わせ、液晶を封入した後に、パネル毎に切断することで、液晶ディスプレイパネルが製造される(ステップS26)。
このように、本実施形態のカラーフィルタ基板の製造方法によれば、CF用基準マスクMsを用いてCF用仮基板Wiに所望のパターンを露光する工程と、露光装置PE上で、CF用仮基板WiとCF用基準マスクMsとのアライメントを行なって、これらの相対位置を検出する工程を備えるので、補正量の決定工程は、製造されたTFT基板WtとCF用基準マスクMsとの相対位置、及び、CF用仮基板WiとCF用基準マスクMsとの相対位置に基づいて補正量を決定するので、CF用露光装置PEの光学誤差によるTFT基板とカラーフィルタ基板のパターン間のずれを抑制し、さらなるパターンの精度向上を図ることができる。
なお、露光装置の光源の歪み等による光学誤差を補正する方法としては、上記実施形態の他、例えば、基準マスクMsとTFT基板Wtとのアライメントを行なう際に、透過型のアライメントカメラを使用し、実際に露光する際の照明光学系40の露光光を照射して、基準マスクMsとTFT基板Wtとのアライメントマークを読み取ることで、光学誤差を検出することができ、この検出結果を補正量の算出に用いることも可能である。
(第3実施形態)
次に、本発明の第3実施形態に係る液晶ディスプレイパネル用基板の製造方法について図8を参照して説明する。尚、本実施形態は、カラーフィルタ基板の製造方法に関するものであり、露光装置の構成等、その他の部分については、第1実施形態のものと同様である。
次に、本発明の第3実施形態に係る液晶ディスプレイパネル用基板の製造方法について図8を参照して説明する。尚、本実施形態は、カラーフィルタ基板の製造方法に関するものであり、露光装置の構成等、その他の部分については、第1実施形態のものと同様である。
本実施形態では、図8に示すように、まず、予め露光されたパターンであるブラックマトリクス層を有するカラーフィルタ基板Wbを準備する(ステップS42)と共に、予め精度が測定されたカラーフィルタ用基準マスクMsを準備する(ステップS44)。
そして、所望のパターンであるカラーフィルタ層(ここでは、例えば、2層目としてのR層とする)を露光する近接露光装置PEのマスクステージ10に基準マスクMsを保持させると共に、ワークステージ20にブラックマトリクス層を有するカラーフィルタ基板Wbを保持させ、基準マスクMsとカラーフィルタ基板Wbとを露光位置へと移動させる。この露光位置に移動させた後に基準マスクMsの基準パターンとカラーフィルタ基板Wbの露光パターンとの相対位置をアライメントカメラ18を用いて検出する(ステップS46)。
制御装置70は、アライメントカメラ18で検出された相対位置に関する測定データを取り込んで、実際に露光する際の補正量を算出し(ステップS48)、記憶装置70cに記憶する。ここで、検出された相対位置に関する測定データには、ブラックマトリクス層を製造する際のマスクの歪みによるパターンの位置ずれに関するものと、マスクと基板との機械的な位置ずれに関する情報の2種類が存在する。このため、この補正量は、実際の露光に使用されるカラーフィルタ層(R層)用量産マスクの転写パターン形状と、実際にカラーフィルタ層(R層)を露光する際のマスクと基板との相対位置決め時の指令位置とに反映される。ここで、マスクと基板との機械的な位置ずれに関する情報は、ブラックマトリクス層を露光した際の機械的な位置ずれと、カラーフィルタ層(R層)を露光する際の機械的な位置ずれとの相対位置ずれ量が検出される。なお、この測定データをいずれの補正量とするかは、人的に判断してもよく、演算処理装置内のプログラムによって解析されてもよい。
そして、マスクの転写パターン形状に関する補正量を反映してカラーフィルタ層(R層)用量産マスクが製造される(ステップS50)。また、マスクとカラーフィルタ基板との相対位置決め時の指令位置は露光時にマスク位置調整機構13を駆動するように記憶装置70cに記憶される(ステップS52)。
このようにして、上記補正量に基づいて製造されたカラーフィルタ層の量産マスクを使用し、且つ、アライメント調整時にマスクとカラーフィルタ基板との相対位置決め時の指令位置を参照してマスク位置調整機構13を駆動しながらカラーフィルタ層(R層)の露光が行われる(ステップS54)。
残りのカラーフィルタ層(ここでは、G層、B層)を露光する際には、G層又はB層を露光する露光装置上で、基準マスクMsとR層を有するカラーフィルタ基板とのアライメントを行ない、基準マスクMsの基準パターンとR層の露光パターンとの相対位置を検出して、補正量を決定し、この補正量に基づいてG層又はB層の露光を行なうことができる。或は、R層と同様に、G層又はB層を露光する露光装置上で基準マスクMsとブラックマトリクス層を有するカラーフィルタ基板とのアライメントを行い、基準マスクMsの基準パターンとブラックマトリクス層の露光パターンとの相対位置を検出して、補正量を決定し、この補正量に基づいてG層又はB層の露光を行なうことができる。また、カラーフィルタ層を形成後にフォトスペーサを露光する場合にも、上記と同様にして行われる。即ち、前工程までに予め露光されるいずれかパターンを有するカラーフィルタ基板と基準マスクとを、所望のパターンを露光する露光装置上でアライメントすることで、補正量を決定するための相対位置に関する測定データとして利用することができる。このようにして、各層を露光することでカラーフィルタ基板が製造される。
従って、本実施形態のカラーフィルタ基板の製造方法によれば、予め露光されたパターンを有する基板Wbと、予め精度が測定された基準マスクMsとのアライメントを行って相対位置を検出し、該相対位置に基づいて決定される補正量を用いてカラーフィルタ基板Wbに所望のパターンを露光するので、カラーフィルタ基板上の複数のパターン間のずれを抑制し、パターンの精度向上を図ることができる。これにより、液晶ディスプレイパネルの品質及び生産性を向上することができる。
なお、本実施形態では、第2実施形態と同様に、製造されたCF用基準マスクMsを使用して、カラーフィルタ層を露光する露光装置PEにてCF用仮基板Wiを露光し、該露光装置PE上で、CF用基準マスクMsと露光済みのCF用仮基板Wiとのアライメントを行なって、これらの相対位置を補正量の算出の際に使用することで、カラーフィルタ層を露光する露光装置の光学誤差を補正することができる。
また、本実施形態は、カラーフィルタ基板のカラーフィルタ層の露光について説明しているが、例えば、図9に示すように、製造されたCF用基準マスクMsを使用して(ステップS62)、ブラックマトリクス層を露光する露光装置PEにてCF用仮基板Wiを露光し(ステップS64)、該露光装置PE上で、CF用基準マスクMsと露光済みのCF用仮基板Wiとのアライメントを行なって(ステップS66)、これらの相対位置を補正量の算出の際(ステップS68)に使用するようにしてもよい。
これにより、測定データには、ブラックマトリクス層を露光する露光装置の機械的なずれや光学誤差に関する情報が含まれることになり、これらの情報がブラックマトリクス層用の量産マスクの製造(ステップS70)やブラックマトリクス層の露光時のマスクと基板との相対位置決め(ステップS72)に反映されて、ブラックマトリクス層の露光が精度よく行なわれる(ステップS74)。
また、本実施形態では、カラーフィルタ基板の製造方法について説明したが、TFTの電極、画素電極、ゲート線、ソース線、容量線等をネガ型或はポジ型のレジストにパターニングする際のTFT基板の露光方法においても適用可能である。即ち、図10に示すように、前工程までに予め露光されるいずれかパターン(図10では、1層目のパターン)を有するTFT基板と予め精度が測定された基準マスクとを準備し(ステップS42a,44a)、該パターンを有するTFT基板と基準マスクとを所望のパターン(2層目以降のパターン)を露光する露光装置上でアライメントを行なって相対位置を検出し(ステップS46a)、この相対位置に基づいて補正量を決定し(ステップS48a)、この補正量をTFT基板用の量産マスクの製造(ステップS50a)やTFT露光時のマスクと基板との相対位置決め(ステップS52a)に反映して、所望のパターンを露光する(ステップS54a)。これにより、TFT基板上の複数のパターン間のずれを抑制し、パターンの精度向上を図ることができる。これにより、液晶ディスプレイパネルの品質及び生産性を向上することができる。
なお、本発明は前述した各実施形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲において適宜変更可能である。
本実施形態では、製造したTFT基板Wtのパターンの精度に基づいてカラーフィルタ基板Wを露光したが、製造したカラーフィルタ基板のパターン精度に基づいてTFT基板を露光してもよい。この場合にも、一般的なTFT基板製造用の露光装置を用いて行なうことが可能である。
上記実施形態は、近接露光装置を用いて行なわれたが、これに限定されるものでなく、ミラープロジェクション露光装置やレンズ投影露光装置などを用いて行なわれても良い。また、露光方法も、逐次露光に限らず、走査(スキャン)露光などのいずれの方式であっても良い。
また、上記実施形態では、TFT或はカラーフィルタ基板と基準マスクとの相対位置をアライメントカメラを用いて検出したが、位置ずれ検出用カメラなど他の光学検出系によって行なわれても良い。
10 マスクステージ
18 アライメントカメラ(光学検出系)
20 基板ステージ
M マスク
PE ステップ式近接露光装置
W ガラス基板(カラーフィルタ基板)
Wt TFT基板
Ms 基準マスク
18 アライメントカメラ(光学検出系)
20 基板ステージ
M マスク
PE ステップ式近接露光装置
W ガラス基板(カラーフィルタ基板)
Wt TFT基板
Ms 基準マスク
Claims (15)
- 予め精度が測定された基準マスクを準備する工程と、
前記TFT基板と前記カラーフィルタ基板のいずれか一方の基板に所望のパターンを露光する露光装置上で、製造された前記TFT基板と前記カラーフィルタ基板の他方の基板と前記基準マスクとのアライメントを行って、これらの相対位置を検出する工程と、
前記相対位置に基づいて前記一方の基板に前記所望のパターンを露光する際の補正量を決定する工程と、
前記補正量に基づいて前記一方の基板に前記所望のパターンを露光する工程と、
を有することを特徴とする液晶ディスプレイパネル用基板の製造方法。 - 前記一方の基板に前記所望のパターンを露光する際のマスクの転写パターンは、前記補正量に基づいて形成されることを特徴とする請求項1に記載の液晶ディスプレイパネル用基板の製造方法。
- 前記一方の基板に前記所望のパターンを露光する際、前記マスクと前記一方の基板とは、前記補正量に基づいて相対位置決めされることを特徴とする請求項1または2に記載の液晶ディスプレイパネル用基板の製造方法。
- 前記相対位置の検出は、前記露光装置に具備される光学検出系によって行なわれることを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載の液晶ディスプレイパネル用基板の製造方法。
- 前記基準マスクを用いて仮基板に前記所望のパターンを露光する工程と、
前記露光装置上で、露光された前記仮基板と前記基準マスクとのアライメントを行なって、これらの相対位置を検出する工程と、
をさらに備え、
前記補正量の決定工程は、製造された前記他方の基板と前記基準マスクとの相対位置、及び、前記仮基板と前記基準マスクとの前記相対位置に基づいて前記補正量を決定することを特徴とする請求項1〜4のいずれかに記載の液晶ディスプレイ用基板の製造方法。 - 前記一方の基板は前記カラーフィルタ基板であり、前記他方の基板は前記TFT基板であることを特徴とする請求項1〜5のいずれかに記載の液晶ディスプレイパネル用基板の製造方法。
- 請求項1〜6のいずれかの製造方法によって製造されることを特徴とする液晶ディスプレイパネル用基板。
- 請求項1〜7のいずれかに記載の前記一方の基板の露光に用いられることを特徴とする露光装置。
- 予め露光されたパターンを有する基板、及び、予め精度が測定された基準マスクを準備する工程と、
前記基板に所望のパターンを露光する露光装置上で、前記基板と前記基準マスクとのアライメントを行って、これらの相対位置を検出する工程と、
前記相対位置に基づいて前記基板に前記所望のパターンを露光する際の補正量を決定する工程と、
前記補正量に基づいて前記基板に前記所望のパターンを露光する工程と、
を有することを特徴とする液晶ディスプレイパネル用基板の製造方法。 - 前記基板に前記所望のパターンを露光する際のマスクの転写パターンは、前記補正量に基づいて形成されることを特徴とする請求項9に記載の液晶ディスプレイパネル用基板の製造方法。
- 前記基板に前記所望のパターンを露光する際、前記マスクと前記基板とは、前記補正量に基づいて相対位置決めされることを特徴とする請求項9または10に記載の液晶ディスプレイパネル用基板の製造方法。
- 前記相対位置の検出は、前記露光装置に具備される光学検出系によって行なわれることを特徴とする請求項9〜11のいずれかに記載の液晶ディスプレイパネル用基板の製造方法。
- 前記基準マスクを用いて仮基板に前記所望のパターンを露光する工程と、
前記露光装置上で、露光された前記仮基板と前記基準マスクとのアライメントを行なって、これらの相対位置を検出する工程と、
をさらに備え、
前記補正量の決定工程は、製造された前記他方の基板と前記基準マスクとの相対位置、及び、前記仮基板と前記基準マスクとの前記相対位置に基づいて前記補正量を決定することを特徴とする請求項9〜12のいずれかに記載の液晶ディスプレイ用基板の製造方法。 - 請求項9〜13のいずれかの製造方法によって製造されることを特徴とする液晶ディスプレイパネル用基板。
- 請求項9〜13のいずれかに記載の前記基板の露光に用いられることを特徴とする露光装置。
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JP2006245476A JP2008065237A (ja) | 2006-09-11 | 2006-09-11 | 液晶ディスプレイパネル用基板の製造方法、及び液晶ディスプレイパネル用基板、並びに露光装置 |
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