JP4754613B2 - 光電気混載基板およびその製造方法 - Google Patents
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Description
(1)ステンレス製基板10の表面に電気回路11および第2のアライメントマーク15を形成して電気回路基板部材1aを作製する工程〔図2(a)〜(b)参照〕。
(2)別に、上記光導波路20および第1のアライメントマーク24を形成して光導波路部分2を作製する工程〔図3(a)〜(c)参照〕。
(3)上記電気回路基板部材1aと光導波路部分2とを接着剤5により接着する工程〔図4(a)〜(c)参照〕。
(4)上記第2のアライメントマーク15の表面に十字状の露呈部分(識別用マーク)15aを形成し、上記電気回路基板部材1aを電気回路基板1にする工程〔図5(a)〜(c)参照〕。
(5)上記電気回路11に発光素子3および受光素子4を実装する工程(図6参照)。
ステンレス製板材(厚み25μmのSUS304箔)の片面に、感光性ポリイミド樹脂からなる絶縁層(厚み10μm)が形成され、その絶縁層の表面に、銅とニッケルとクロムとからなる合金のシード層と電解銅めっき層とが積層されてなる、実装用パッドを含む電気回路および第2のアライメントマークが形成された電気回路基板を作製した。また、この電気回路基板には、光通過用の貫通孔および第1のアライメントマーク認識用の貫通孔を形成した。
ビスフェノキシエタノールフルオレングリシジルエーテル(成分A)35重量部、脂環式エポキシ樹脂である3’,4’−エポキシシクロヘキシルメチル−3,4−エポキシシクロヘキサンカルボキシレート(ダイセル化学社製、セロキサイド2021P)(成分B)40重量部、シクロヘキセンオキシド骨格を有する脂環式エポキシ樹脂である(3’,4’−エポキシシクロヘキサン)メチル−3’,4’−エポキシシクロヘキシル−カルボキシレート(ダイセル化学社製、セロキサイド2081)(成分C)25重量部、4,4’−ビス〔ジ(β−ヒドロキシエトキシ)フェニルスルフィニオ〕フェニルスルフィド−ビス−ヘキサフルオロアンチモネートの50%プロピオンカーボネート溶液(成分D)2重量部とを混合することにより、アンダークラッド層およびオーバークラッド層の形成材料を調製した。
上記成分A:70重量部、1,3,3−トリス{4−〔2−(3−オキセタニル)〕ブトキシフェニル}ブタン:30重量部、上記成分D:1重量部を乳酸エチルに溶解することにより、コアおよび第1のアライメントマークの形成材料を調製した。
ポリエチレンテレフタレート(PET)フィルム〔160mm×160mm×188μm(厚み)〕の表面に、上記アンダークラッド層の形成材料をアプリケーターにより塗布した後、2000mJ/cm2 の紫外線照射による露光を行った。つぎに、100℃×15分間の加熱処理を行うことにより、アンダークラッド層(厚み20μm)を形成した。
上記電気回路基板の電気回路形成面と反対側の面に、エポキシ樹脂系接着フィルム(日東電工社製、NA590)を貼着した。ついで、上記光導波路部分に貼着しているPETフィルムをアンダークラッド層から剥離し、そのアンダークラッド層の表面(剥離跡の面)を、上記エポキシ樹脂系接着フィルムにより、上記電気回路基板に接着した。このとき、電気回路基板に形成された光通過用の貫通孔から、その下方のコアの端部が見えるようにした。また、電気回路基板に形成された、第1のアライメントマーク認識用の貫通孔から、その下方の第1のアライメントマークが見えるようにした。
上記電気回路基板と光導波路部分との接着体において、電気回路基板の電気回路形成面に、電気回路および第2のアライメントマークを被覆するように、感光性樹脂(日本ポリテック社製、NPR−8V)を塗布した。そして、樹脂層のパターンと同形状の開口パターンが形成された合成石英系のクロムマスク(フォトマスク)を、上記第1のアライメントマークに対して位置決め配置した。そして、その上方から、プロキシミティ露光法にて600mJ/cm2 の紫外線照射による露光を行った。つぎに、1%Na2 CO3 水溶液を用いて現像することにより、未露光部分を溶解除去した後、150℃×60分間の加熱処理を行うことにより、四角形状の樹脂層(1000μm×1000μm、厚み10μm)を形成し、その中央部に、平面視十字状の露呈部分を形成した。その十字状の溝幅は50μm、縦横の溝の長さは700μmとした。
上記実施例1の、電気回路基板と光導波路部分との接着体を、電気回路側の面を上に向けて、フリップチップ実装機のステージ上にセットした。そして、その実装機に備えられているアライメント認識装置(パターンマッチング式)により、実施例1の電気回路基板における第2のアライメントマークと光導波路部分における第1のアライメントマークとを認識した。その結果、第2のアライメントマークの認識度(パターンマッチングのスコア)は85%であった。これに対し、第1のアライメントマークの認識度は70%であった。
2 光導波路部分
15 第2のアライメントマーク
15a 露呈部分
16 樹脂層
21 アンダークラッド層
22 コア
23 オーバークラッド層
24 第1のアライメントマーク
Claims (4)
- 光導波路部分と、電気回路部分と、この電気回路部分に実装された光素子とを備え、上記光導波路部分が、透光性を有するアンダークラッド層と、このアンダークラッド層の表面に、光路用の線状のコアと、このコアの端部に対して位置決めされた第1のアライメントマークと、上記コアおよび第1のアライメントマークを被覆するオーバークラッド層とを備え、上記電気回路部分が、基板と、この基板上に形成された電気回路と、上記基板に形成された、上記光素子と上記コアの端部との間で光伝播を可能にする光通過用の貫通孔とを備え、上記電気回路部分の光素子実装面と反対側に、上記光導波路部分が設けられた光電気混載基板であって、上記電気回路部分の上記基板上に、電気回路用の金属からなる、光素子位置決め用の第2のアライメントマークが形成され、上記基板に、上記第1のアライメントマーク認識用の貫通孔が形成され、上記第2のアライメントマークの表面が、上記第1のアライメントマーク認識用の貫通孔から認識される上記第1のアライメントマークを基準とした識別用の露呈部分を残して、樹脂層で被覆され、上記光素子が、上記第2のアライメントマークの識別用の露呈部分を基準にして実装されていることを特徴とする光電気混載基板。
- 上記第2のアライメントマークの一部分を被覆する樹脂層が、不透明である請求項1記載の光電気混載基板。
- 光導波路部分と、電気回路部分と、この電気回路部分に実装された光素子とを備え、上記光導波路部分が、透光性を有するアンダークラッド層と、このアンダークラッド層の表面に、光路用の線状のコアと、このコアの端部に対して位置決めされた第1のアライメントマークと、上記コアおよび第1のアライメントマークを被覆するオーバークラッド層とを備え、上記電気回路部分が、基板と、この基板上に形成された電気回路と、上記基板に形成された、上記光素子と上記コアの端部との間で光伝播を可能にする光通過用の貫通孔とを備え、上記電気回路部分の光素子実装面と反対側に、上記光導波路部分が設けられた光電気混載基板を製造する方法であって、上記電気回路部分の作製が、基板上に、電気回路と、この電気回路用の金属からなる、光素子位置決め用の第2のアライメントマークとを形成する工程と、上記基板に、上記第1のアライメントマーク認識用の貫通孔を形成する工程と、上記第2のアライメントマークの表面を、上記第1のアライメントマーク認識用の貫通孔から認識される上記第1のアライメントマークを基準とした識別用の露呈部分を残して、樹脂層で被覆する工程とを備え、上記光素子の実装が、上記第2のアライメントマークの識別用の露呈部分を基準にして行われることを特徴とする光電気混載基板の製造方法。
- 上記第2のアライメントマークの一部分を被覆する樹脂層が、不透明である請求項3記載の光電気混載基板の製造方法。
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