JP6457528B2 - 以降の処理工程中における、正確な位置合わせのための、基準マークを備える電子アセンブリ - Google Patents
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Description
A.基材の第1ゾーンのパターン付き導電性ナノワイヤ層を被覆するレジスト層を形成し、低コントラスト第1導電性パターンを形成する工程と、第1導電性パターンと実質的に同時に、第1ゾーンとは異なる基材の第2ゾーンに高コントラスト基準マークを形成する工程であって、基準マークは第1導電性パターンと位置合わせされている、工程と、基準マークをガイドとして使用して、第1導電性パターンと位置合わせされた第2パターンを形成する工程とを含む、方法。
B.第1導電性パターンが、約80%超の光透過率を有する、実施形態Aに記載の方法。
C.基準マークが、約0%〜約50%の光透過率を有する、実施形態A又はBに記載の方法。
D.基準マークと第1導電性パターンとの間の位置合わせの誤差は、約20マイクロメートル未満である、実施形態A〜Cのいずれか1つの記載の方法。
E.第1導電性パターンは、200マイクロメートル未満の大きさの寸法を有する、特徴を含む、実施形態A〜Dのいずれか1つの記載の方法。
F.第2パターンは導電性である、実施形態A〜Eのいずれか1つに記載の方法。
G.第2パターンは、第1導電性パターンと位置合わせされ、電子アセンブリを形成する、実施形態Fに記載の方法。
H.基材の第1ゾーンにおけるパターン付き導電性ナノワイヤ層は、
ナノワイヤを含む導電性層で基材をコーティングする工程と、
レジストマトリックス材料で導電性層にパターンを適用し、基材上に、露出した導電性層の1つ以上の第1領域、及びレジストマトリックス材料の1つ以上の第2領域を生成する工程と、
レジストマトリクス材料を固化又は硬化させる工程と、
剥離可能なポリマー層でパターンを上塗りする工程と、
剥離可能なポリマー層を固化又は硬化させる工程と、
基材から剥離可能なポリマー層を剥離する工程と、
基材の1つ以上の第1領域において、基材から露出した導電性層を除去し、基材上にパターン付き導電性層を形成する工程であって、パターン付き導電性層は、レジストマトリックス材料により被覆されたナノワイヤを含む、工程と、によって製造される、実施形態A〜Gのいずれか1つに記載の方法。
I.導電性層上のパターンは、フォトリソグラフィ、フレキソグラフィック印刷、グラビア印刷、インクジェット印刷、スクリーン印刷、スプレイコーティング、ニードルコーティング、フォトリソグラフィックパターン化、及びオフセット印刷の少なくとも1つから選択されるプロセスによって適用される、実施形態Hに記載の方法。
J.基準マークは、フォトリソグラフィ、フレキソグラフィック印刷、グラビア印刷、インクジェット印刷、スクリーン印刷、スプレイコーティング、ニードルコーティング、フォトリソグラフィックパターン化、及びオフセット印刷の少なくとも1つから選択されるプロセスによって形成される、実施形態A〜Iのいずれか1つに記載の方法。
K.第1ゾーンにおいて、低コントラスト第1導電性パターンを含む基材と、第1ゾーンとは異なる、基材の第2ゾーンの高コントラスト基準マークであって、基準マーク及び第1導電性パターンは位置合わせされている、高コントラスト基準マークと、第1導電性パターンと位置合わせされた第2導電性パターンとを含む、電子アセンブリ。
L.基準マーク及び第1導電性パターンは、約100マイクロメートル未満の寸法正確性で位置合わせされる、実施形態Kの電子アセンブリ。
M.基準マーク及び第1導電性パターンは、約20マイクロメートル未満の寸法正確性で位置合わせされる、実施形態K〜Lのいずれか1つに記載の電子アセンブリ。
N.基準マークと第2導電性パターンとの間の、基材の可視光線領域における光透過率の差は、約50%超である、実施形態K〜Mのいずれか1つに記載の電子アセンブリ。
O.第1導電性パターンは、可視光領域において、約80%〜約99.9%の光透過率を有する、実施形態K〜Nのいずれか1つに記載の電子アセンブリ。
P.基準マークは、可視領域において、約50%未満の光透過率を有する、実施形態K〜Oのいずれか1つに記載の電子アセンブリ。
Q.第2導電性パターンは回路相互接続である、実施形態K〜Pのいずれか1つに記載のアセンブリ。
R.回路相互接続は、第1導電性パターンに対して面内にある、実施形態K〜Qのいずれか1つに記載の電子アセンブリ。
S.回路相互接続は、第1導電性パターンに対して面外にある、実施形態K〜Rのいずれか1つに記載の電子アセンブリ。
T.第1導電性パターンは、第1インクから生じ、基準マークは、第1インクとは異なる第2インクから生じ、第1インクは選択される溶媒に溶解可能であり、第2インクは、選択される溶媒に溶解不能である、実施形態K〜Sのいずれか1つに記載の電子アセンブリ。
U.実施形態K〜Tのいずれか1つに記載の電子アセンブリを組み込む、ディスプレイ。
V.第1ゾーンに第1導電性パターンを含む基材であって、第1導電性パターンは、レジストマトリックス材料の層によって被覆される導電性ナノワイヤを含み、導電性パターンは、可視領域において、約80%超の光透過率を有する、基材と、第1ゾーンとは異なる、基材の第2ゾーンの基準マークであって、基準マークは、可視領域において約50%未満の光透過率を有し、基準マーク及び第2導電性パターンは、約100マイクロメートル未満の寸法正確性で位置合わせされる、基準マークと、第1導電性パターンと位置合わせされた第2導電性パターンとを含む、電子アセンブリ。
W.レジストマトリックス材料は、約10ナノメートル〜約3000ナノメートルの厚さを有する、実施形態Vの電子アセンブリ。
X.レジストマトリックス材料は、少なくとも80%の光透過率を有する、実施形態V〜Wのいずれか1つに記載の電子アセンブリ。
Y.第2導電性パターンは回路相互接続である、実施形態V〜Xのいずれか1つに記載の電子アセンブリ。
Z.回路相互接続は、導電性金属ナノ粒子を含むインクから生じる、実施形態V〜Yのいずれか1つに記載の電子アセンブリ。
AA.実施形態V〜Zのいずれか1つに記載の電子アセンブリを組み込む、ディスプレイ。
BB.ディスプレイはタッチスクリーンディスプレイであり、任意により、タッチスクリーンディスプレイは、携帯電話、タブレットコンピューター、ノートブックコンピューター、ラップトップコンピューター、コンピューターディスプレイ、又はテレビから選択される電子装置の構成要素である、実施形態AAに記載のディスプレイ。
図1及び図2に一般的に例示される印刷装置が構成される。印刷ロールの直径は12cmであった。ロールは、第1ゾーン及び第2ゾーンの両方において、菱形が接続した所定のパターンを有する。ステンレススチールドクターブレード上に、St.Paul,MNの3M Companyから3M ESPE 7302 EXPRESSとして市販されるビニルポリシロキサン印象材から、ロールに対して3つの障壁が形成された。
実施例1によるフィルムは、例えば、米国特許第5,440,446号(Shawら)及び同第7,018,713号(Padiyathら)に記載されているシステムと同様のロールツーロール真空チャンバなどの従来的な種類のスパッタ蒸着装置を通された。酸化インジウムスズ(ITO)の40nm厚さの層は、基材の第1ゾーンに堆積された。フィルムはその後水ですすがれ、これにより水溶性インクが第1ゾーンから溶解し、所定のパターン上のスパッタリングした層の部分が流される。UV硬化性インクにより、第2ゾーンに印刷された基準マークは、水ですすいだ後にフィルム上に残る。このような方法で形成された、所定のパターンは、20ミル(0.5mm)未満の直径の特徴を有し得る。
図3に一般的に示されている装置が構成された。Nazdar Ink Technologiesから9301 Opaque white UVフレキソインクとして市販されている第1インクが、第1インカーから、マイクロフレキソ印刷ロールの第1ゾーンへと分配された。マイクロフレキソ印刷ロールは、第1ゾーンにおいて、離間した矩形の所定のパターンを有する。Nazdar Ink Technologiesから9319 Base Process Blue UVフレキソインクとして市販されている第2インクが、第2インカーから、マイクロフレキソ印刷ロールの第2ゾーンへと分配された。マイクロフレキソ印刷ロールは、第2ゾーンにおいて、離間した矩形の所定のパターンを有する。これらのインクは、アニロックスロールから、シリコーン剥離ライナーでコーティングされた白紙の基材に印刷され、その後、感圧接着剤、特に、90重量%イソオクチルアクリレート、及び10重量%のアクリル酸のランダムコポリマーの薄い層により上塗りされた。印刷後、このウェブは、Fusion UV Systems,IncからモデルI250Bとして市販され、同じくFusion UV Systems,Incから、モデルVPS−48として市販される電源に接続された、マイクロ波光源を有する、UV硬化ステーションに通された。このステーションは、40%電力に設定され、8 SCFMの窒素を供給された。特定のフィルム及びインク組成物は、一定の安全マーク用途を模したものであり、インクの乾燥後、第1ゾーン内のパターンは、通常の室内照明では肉眼でほぼ不可視であった。しかしながら、第2ゾーン内のインクは、鮮明であり、明らかに可視であった。
実施例3の印刷ウェブは、特定の最終用途のために、所定のパターンに対して補完的であることが意図される、二次的なパターンを有する、従来的な印刷ロールに対して運搬された。実質的に不可視であるが、第1の所定のパターンの位置は、可視の基準マークにより既知である。二次的パターンはその後、例えば、印刷又は積層により、ウェブに適用される。ウェブは、米国特許出願第2012/068376号、「Apparatus for Guiding a Moving Web」の技術を使用して、第1の所定のパターンと、二次的パターンとの間で適切に位置合わせされるよう、便利に操作される。
95重量%のClearOhmTM Ink−N G4−02(Cambrios Technologies Corporation,Sunnyvale,CAから入手可能)、及び5重量%のイソプロピルアルコール(Sigma Aldrich,St.Louis,MOから入手可能)から成る混合物は、5ガロンの円筒形容器内で撹拌することにより混合されて、以下においてナノワイヤ配合物と称されるコーティング配合物を生じる。ナノワイヤ配合物は、13インチ(33センチメートル)幅で、17インチ(43センチメートル)幅、及び5ミル(127マイクロメートル)厚さのポリエチレンテレフタレート(PET)基材(Dupont,Wilmington,DEから入手可能なMelinex ST−504フィルム)の第1ゾーンに、スロットダイを使用して(40ft/分(12m/分)のウェブ速度でおよそ20μmの予め測定した湿式フィルム厚さを標的とする)、コーティングされ、基材上のナノワイヤ層を形成する。次にナノワイヤ層を、空気衝突オーブン内で約2分間105℃の温度に加熱して、コーティングされ乾燥した、透明かつ導電性のナノワイヤ層をもたらした。
[項目1]
方法であって、
基材の第1ゾーンのパターン付き導電性ナノワイヤ層を被覆するレジスト層を形成し、低コントラスト第1導電性パターンを形成する工程と、
前記第1導電性パターンと実質的に同時に、前記第1ゾーンとは異なる前記基材の第2ゾーンに高コントラスト基準マークを形成する工程であって、前記基準マークは前記第1導電性パターンと位置合わせされている、工程と、
前記基準マークをガイドとして使用して、前記第1導電性パターンと位置合わせされた第2パターンを形成する工程とを含む、方法。
[項目2]
前記第1導電性パターンは、約80%超の光透過率を有する、項目1に記載の方法。
[項目3]
前記基準マークが、約0%〜約50%の光透過率を有する、項目1又は2に記載の方法。
[項目4]
前記基準マークと前記第1導電性パターンとの間の位置合わせの誤差は、約20マイクロメートル未満である、項目1〜3のいずれか一項の記載の方法。
[項目5]
前記第1導電性パターンは、200マイクロメートル未満の大きさの寸法を有する、特徴を含む、項目1〜4のいずれか一項に記載の方法。
[項目6]
前記第2パターンは導電性である、項目1〜5のいずれか一項に記載の方法。
[項目7]
前記第2パターンは、前記第1導電性パターンと位置合わせされ、電子アセンブリを形成する、項目6に記載の方法。
[項目8]
前記基材の前記第1ゾーンにおける前記パターン付き導電性ナノワイヤ層は、
ナノワイヤを含む導電性層で基材をコーティングする工程と、
レジストマトリックス材料で前記導電性層にパターンを適用し、前記基材上に、露出した導電性層の1つ以上の第1領域、及びレジストマトリックス材料の1つ以上の第2領域を生成する工程と、
前記レジストマトリクス材料を固化又は硬化させる工程と、
剥離可能なポリマー層で前記パターンを上塗りする工程と、
前記剥離可能なポリマー層を固化又は硬化させる工程と、
前記基材から前記剥離可能なポリマー層を剥離する工程と、
前記基材の前記1つ以上の第1領域において、前記基材から前記露出した導電性層を除去し、前記基材上にパターン付き導電性層を形成する工程であって、前記パターン付き導電性層は、前記レジストマトリックス材料により被覆されたナノワイヤを含む、工程と、によって製造される、項目1〜7のいずれか一項に記載の方法。
[項目9]
前記導電性層上の前記パターンは、フォトリソグラフィ、フレキソグラフィック印刷、グラビア印刷、インクジェット印刷、スクリーン印刷、スプレイコーティング、ニードルコーティング、フォトリソグラフィックパターン化、及びオフセット印刷の少なくとも1つから選択されるプロセスによって適用される、項目8に記載の方法。
[項目10]
前記基準マークは、フォトリソグラフィ、フレキソグラフィック印刷、グラビア印刷、インクジェット印刷、スクリーン印刷、スプレイコーティング、ニードルコーティング、フォトリソグラフィックパターン化、及びオフセット印刷の少なくとも1つから選択されるプロセスによって形成される、項目1〜9のいずれか一項に記載の方法。
[項目11]
電子アセンブリであって、
第1ゾーンにおいて、低コントラスト第1導電性パターンを含む基材と、
前記第1ゾーンとは異なる、前記基材の第2ゾーンの高コントラスト基準マークであって、前記基準マーク及び前記第1導電性パターンは位置合わせされている、高コントラスト基準マークと、
前記第1導電性パターンと位置合わせされた第2導電性パターンとを含む、電子アセンブリ。
[項目12]
前記基準マーク及び前記第1導電性パターンは、約100マイクロメートル未満の寸法正確性で位置合わせされる、項目11に記載の電子アセンブリ。
[項目13]
前記基準マーク及び前記第1導電性パターンは、約20マイクロメートル未満の寸法正確性で位置合わせされる、項目11又は12に記載の電子アセンブリ。
[項目14]
前記基準マークと前記第2導電性パターンとの間の、前記基材の前記可視光線領域における光透過率の差は、約50%超である、項目11〜13のいずれか一項に記載の電子アセンブリ。
[項目15]
前記第1導電性パターンは、前記可視光線領域において、約80%〜約99.9%の光透過率を有する、項目11〜14のいずれか一項に記載の電子アセンブリ。
[項目16]
前記基準マークは、前記可視領域において、約50%未満の光透過率を有する、項目11〜15のいずれか一項に記載の電子アセンブリ。
[項目17]
前記第2導電性パターンは回路相互接続である、項目11〜16のいずれか一項に記載の電子アセンブリ。
[項目18]
前記回路相互接続は、前記第1導電性パターンに対して面内にある、項目11〜17のいずれか一項に記載の電子アセンブリ。
[項目19]
前記回路相互接続は、前記第1導電性パターンに対して面外にある、項目11〜18のいずれか一項に記載の電子アセンブリ。
[項目20]
前記第1導電性パターンは、第1インクから生じ、前記基準マークは、前記第1インクとは異なる第2インクから生じ、前記第1インクは選択される溶媒に溶解可能であり、前記第2インクは、前記選択される溶媒に溶解不能である、項目11〜19のいずれか一項に記載の電子アセンブリ。
[項目21]
項目11〜20のいずれか一項に記載の電子アセンブリを組み込む、ディスプレイ。
[項目22]
電子アセンブリであって、
第1ゾーンに第1導電性パターンを含む基材であって、前記第1導電性パターンは、レジストマトリックス材料の層によって被覆される導電性ナノワイヤを含み、前記導電性パターンは、可視領域において、約80%超の光透過率を有する、基材と、
前記第1ゾーンとは異なる、前記基材の第2ゾーンの基準マークであって、前記基準マークは、可視領域において約50%未満の光透過率を有し、前記基準マーク及び前記第2導電性パターンは、約100マイクロメートル未満の寸法正確性で位置合わせされる、基準マークと、
前記第1導電性パターンと位置合わせされた第2導電性パターンとを含む、電子アセンブリ。
[項目23]
前記レジストマトリックス材料は、約10ナノメートル〜約3000ナノメートルの厚さを有する、項目22に記載の電子アセンブリ。
[項目24]
前記レジストマトリックス材料は、少なくとも80%の光透過率を有する、項目22又は23に記載の電子アセンブリ。
[項目25]
前記第2導電性パターンは回路相互接続である、項目22〜24のいずれか一項に記載の電子アセンブリ。
[項目26]
前記回路相互接続は、導電性金属ナノ粒子を含むインクから生じる、項目22〜25のいずれか一項に記載の電子アセンブリ。
[項目27]
項目22〜26のいずれか一項に記載の電子アセンブリを組み込む、ディスプレイ。
[項目28]
前記ディスプレイはタッチスクリーンディスプレイであり、任意により、前記タッチスクリーンディスプレイは、携帯電話、タブレットコンピューター、ノートブックコンピューター、ラップトップコンピューター、コンピューターディスプレイ、又はテレビから選択される電子装置の構成要素である、項目27に記載のディスプレイ。
Claims (9)
- 方法であって、
基材の第1ゾーンの導電性ナノワイヤ層を被覆するパターン付きレジスト層を形成し、低コントラスト第1導電性パターンを形成することであって、前記第1導電性パターンが、可視光線領域において、80%〜99.9%の光透過率を有する、ことと、
前記第1導電性パターンと実質的に同時に、前記第1ゾーンとは異なる前記基材の第2ゾーンに高コントラスト基準マークを形成することであって、前記基準マークは、前記第1導電性パターンと位置合わせされており、基材の変位、基材の速度、又は基材の位置に関する情報を取得するための基準点として使用されており、かつ、可視領域において、50%未満の光透過率を有する、ことと、
前記基準マークをガイドとして使用して、前記第1導電性パターンと位置合わせされた第2パターンを形成することとを含む、方法。 - 前記第2パターンは、前記第1導電性パターンと位置合わせされ、電子アセンブリを形成する、請求項1に記載の方法。
- 前記基材の前記第1ゾーンにおける前記第1導電性パターンは、
ナノワイヤを含む導電性層で基材をコーティングすることと、
レジストマトリックス材料で前記導電性層にパターンを適用し、前記基材上に、露出した導電性層の1つ以上の第1領域、及びレジストマトリックス材料の1つ以上の第2領域を生成することと、
前記レジストマトリックス材料を固化又は硬化させることと、
剥離可能なポリマー層で前記パターンを上塗りすることと、
前記剥離可能なポリマー層を固化又は硬化させることと、
前記基材から前記剥離可能なポリマー層を剥離することと、
前記基材の前記1つ以上の第1領域において、前記基材から前記露出した導電性層を除去し、前記基材上にパターン付き導電性層を形成することであって、前記パターン付き導電性層は、前記レジストマトリックス材料により被覆されたナノワイヤを含む、ことと、によって製造される、請求項1又は2に記載の方法。 - 前記導電性層上の前記パターンは、フォトリソグラフィ、フレキソグラフィック印刷、グラビア印刷、インクジェット印刷、スクリーン印刷、スプレイコーティング、ニードルコーティング、フォトリソグラフィックパターン化、及びオフセット印刷の少なくとも1つから選択されるプロセスによって適用される、請求項3に記載の方法。
- 電子アセンブリであって、
第1ゾーンにおいて、低コントラスト第1導電性パターンを含む基材であって、前記第1導電性パターンが、可視光線領域において、80%〜99.9%の光透過率を有する、基材と、
前記第1ゾーンとは異なる、前記基材の第2ゾーンの高コントラスト基準マークであって、前記基準マーク及び前記第1導電性パターンは位置合わせされており、前記基準マークは、基材の変位、基材の速度、又は基材の位置に関する情報を取得するための基準点として使用されており、かつ、可視領域において、50%未満の光透過率を有する、高コントラスト基準マークと、
前記第1導電性パターンと位置合わせされた第2導電性パターンとを含み、
前記第1導電性パターンは、第1インクから生じ、前記基準マークは、前記第1インクとは異なる第2インクから生じる、電子アセンブリ。 - 前記基準マーク及び前記第1導電性パターンは、100マイクロメートル未満の寸法正確性で位置合わせされる、請求項5に記載の電子アセンブリ。
- 前記第2導電性パターンは回路相互接続である、請求項5又は6に記載の電子アセンブリ。
- 前記回路相互接続は、前記第1導電性パターンに対して面内にある、請求項7に記載の電子アセンブリ。
- 前記第1導電性パターンは、導電性ナノワイヤを含む、請求項5〜8のいずれか一項に記載の電子アセンブリ。
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Families Citing this family (9)
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CN109353136B (zh) * | 2014-06-20 | 2020-08-04 | 3M创新有限公司 | 在后续处理期间实现精确配准的多种油墨的印刷 |
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US20170148152A1 (en) * | 2015-11-25 | 2017-05-25 | General Electric Company | Systems and Methods for Monitoring Component Strain |
GB2551502A (en) * | 2016-06-17 | 2017-12-27 | M-Solv Ltd | Apparatus and methods for manufacturing a sensor and a display, and a sensor and a display |
US11279859B2 (en) | 2016-12-07 | 2022-03-22 | 3M Innovative Properties Company | Methods of passivating adhesives |
WO2020138064A1 (ja) * | 2018-12-26 | 2020-07-02 | 日東電工株式会社 | 可剥離塗膜の剥離方法、及び物品 |
CN113302555A (zh) * | 2018-12-27 | 2021-08-24 | 富士胶片株式会社 | 导电性转印材料、附有图案的基板的制造方法、层叠体及触控面板 |
WO2020170817A1 (ja) * | 2019-02-20 | 2020-08-27 | 日東電工株式会社 | 積層体 |
Family Cites Families (42)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4165688A (en) | 1977-04-14 | 1979-08-28 | Magna-Graphics Corporation | Ink dam for printing press |
FR2421732A1 (fr) | 1978-04-07 | 1979-11-02 | Sarda Jean Lucien | Procede et mecanisme d'encrage en une ou plusieurs couleurs pour impressions typographiques, offset ou autres |
JPS5752021A (en) * | 1980-09-12 | 1982-03-27 | Citizen Watch Co Ltd | Manufacture of liquid crystal display cell |
DE3320638C2 (de) | 1983-06-08 | 1986-10-16 | Koenig & Bauer AG, 8700 Würzburg | Farbabteileinrichtung an Farbkastenwalzen von Druckmaschinen |
DE3505598C2 (de) | 1984-10-30 | 1986-08-14 | Windmöller & Hölscher, 4540 Lengerich | Spülfarbwerk mit geteilter Farbkammerrakel |
DE3709177A1 (de) | 1987-03-20 | 1988-09-29 | Leybold Ag | Verfahren und vorrichtung zur regelung der reaktiven schichtabscheidung auf substraten mittels magnetronkatoden |
US4796528A (en) | 1987-05-29 | 1989-01-10 | M.A.N. Roland Druckmaschinen Ag | Separated ink fountain for a flexographic printing machine |
US5012736A (en) | 1987-09-21 | 1991-05-07 | Paper Converting Machine Company | Sealing assembly for liquid fountain |
JPH05327178A (ja) * | 1991-03-28 | 1993-12-10 | Unitika Ltd | 透明導電性基体の連続製造方法 |
US5150651A (en) | 1991-06-10 | 1992-09-29 | Flores Carlos R | Doctor-blade assembly for flexographic press |
US5243907A (en) | 1992-01-22 | 1993-09-14 | The Langston Corporation | Divider seal for split-fountain chambered doctor blade for a flexographic printing press |
US5440446A (en) | 1993-10-04 | 1995-08-08 | Catalina Coatings, Inc. | Acrylate coating material |
JP3302296B2 (ja) | 1997-05-30 | 2002-07-15 | キヤノン株式会社 | カラーフィルタの製造方法 |
KR100315911B1 (ko) | 1997-10-10 | 2002-09-25 | 삼성전자 주식회사 | 액정 표시 장치 패널, 그 제조 방법 및 정렬 방법 |
US6029574A (en) | 1998-09-30 | 2000-02-29 | Heidelberger Druckmaschinen Ag | Dual ink supply system |
US7052824B2 (en) | 2000-06-30 | 2006-05-30 | E. I. Du Pont De Nemours And Company | Process for thick film circuit patterning |
US6975067B2 (en) | 2002-12-19 | 2005-12-13 | 3M Innovative Properties Company | Organic electroluminescent device and encapsulation method |
US7018713B2 (en) | 2003-04-02 | 2006-03-28 | 3M Innovative Properties Company | Flexible high-temperature ultrabarrier |
KR101223098B1 (ko) | 2004-09-09 | 2013-01-17 | 삼성디스플레이 주식회사 | 표시장치 및 이의 제조방법 |
US20060291481A1 (en) | 2005-06-27 | 2006-12-28 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Application session resumption in mobile environments |
CN101292362B (zh) | 2005-08-12 | 2011-06-08 | 凯博瑞奥斯技术公司 | 透明导体及其制备方法、层压结构以及显示装置 |
JP4068635B2 (ja) * | 2005-09-30 | 2008-03-26 | 松下電器産業株式会社 | 配線基板 |
JP5409369B2 (ja) | 2006-10-12 | 2014-02-05 | カンブリオス テクノロジーズ コーポレイション | ナノワイヤベースの透明導電体およびその適用 |
JP5161238B2 (ja) | 2007-01-11 | 2013-03-13 | スリーエム イノベイティブ プロパティズ カンパニー | ウェブ長手方向位置センサ |
BRPI0811664A2 (pt) | 2007-06-19 | 2015-02-10 | 3M Innovative Properties Co | "escala de deslocamento por reflexão interna total" |
BRPI0811666A2 (pt) | 2007-06-19 | 2015-02-10 | 3M Innovative Properties Co | "sistemas e métodos para fabricação de escalas de deslocamento" |
KR101390767B1 (ko) | 2007-08-31 | 2014-04-30 | 엘지디스플레이 주식회사 | 표시소자 제조방법 |
US7829168B2 (en) * | 2007-11-21 | 2010-11-09 | Promos Technologies Pte. Ltd. | Methods for inspecting and optionally reworking summed photolithography patterns resulting from plurally-overlaid patterning steps during mass production of semiconductor devices |
EP2252662A1 (en) | 2008-02-26 | 2010-11-24 | Cambrios Technologies Corporation | Methods and compositions for ink jet deposition of conductive features |
JP2010021293A (ja) | 2008-07-09 | 2010-01-28 | Nec Electronics Corp | 半導体装置および半導体装置の製造方法 |
JP4754613B2 (ja) * | 2008-11-27 | 2011-08-24 | 日東電工株式会社 | 光電気混載基板およびその製造方法 |
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