JP2008241596A - ワーク測定検査システムおよびワーク測定検査方法 - Google Patents

Abstract

【課題】ワークの電気的特性を精度良く測定することができ、また、プローブの調整を容易に行うことができ、さらに、ワークの外観の検査を行う際にワークに対して投光された照明により電極にハレーションが起きることを抑止することができ、このためワークの外観検査を確実に行うことができるワーク測定検査システムおよびワーク測定検査方法を提供する。
【解決手段】カバー機構６に光透過性部材７が設けられている。ワークＷの電気的特性を測定する際に、プローブ１３ａ、１３ｂを光透過性部材７に向かって移動させてこのプローブ１３ａ、１３ｂに載ったワークＷを光透過性部材７の下面７ａに当接させ、当該プローブ１３ａ、１３ｂを介して測定器２１によって光透過性部材７の下面７ａに当接しているワークＷの電気的特性を測定する。また、光透過性部材７の下面７ａが粗面となっている。
【選択図】図３

Description

本発明は、ワークの電気的特性を測定するとともにその外観を検査するワーク測定検査システムおよびワーク測定検査方法に関し、とりわけ、ワークの電気的特性を精度良く測定することができ、また、プローブの調整を容易に行うことができ、さらに、ワークの外観の検査を行う際にワークに対して投光された照明により電極にハレーションが起きることを抑止することができるようなワーク測定検査システムおよびワーク測定検査方法に関する。

従来より、抵抗、コンデンサ、コイル等のチップ型電子部品（以下、ワークという。）の電気的特性を測定するためのワーク測定検査システムとして、様々な種類のものが知られている（例えば、特許文献１等参照）。このようなワーク測定検査システムにおいては、ワークの電極に一対のプローブを接触させ、このプローブに接続された測定器により当該プローブを介してワークの電気的特性を測定するようになっている。また、このようなワーク測定検査システムとしては、ワークの電気的特性を測定した後に、ワークの外観を検査するものも知られている。

特開２００３−３０２４４２号公報

しかしながら、従来のワーク測定検査システムにおいては、ワークの電極に一対のプローブを接触させる際に、各プローブが電極に完全に接触しないような接触不良が生じる場合がある。このように、プローブとワークの電極との間の接触が確実に行われていないときには、ワークの電気的特性を精度良く測定することができないという問題が発生する。

また、従来のワーク測定検査システムにおいては、ワークの電極に一対のプローブを接触させる箇所はカバーにより覆われている場合が多く、この場合にはプローブの調整を行う際に、カバーが設けられていることによってプローブを直接観察することができず、プローブの調整が困難であるという問題があった。

本発明は、このような点を考慮してなされたものであり、ワークの電気的特性を精度良く測定することができ、また、プローブの調整を容易に行うことができ、さらに、ワークの外観の検査を行う際にワークに対して投光された照明により電極にハレーションが起きることを抑止することができ、このためワークの外観検査を確実に行うことができるワーク測定検査システムおよびワーク測定検査方法を提供することを目的とする。

本発明は、水平に配置された基盤と、前記基盤上に設けられ、当該基盤の上面に沿ってワークを間歇的に移動させるワーク搬送部と、前記基盤の上方で水平に配置され、前記基盤との間でワークの搬送路を形成するカバー機構と、前記カバー機構に設けられた光透過性部材であって、前記基盤側の面が粗面となっているような光透過性部材と、前記光透過性部材に対向する位置において前記基盤に設けられた、ワークに接触するプローブであって、前記光透過性部材に向かって進退することができるプローブと、前記プローブに接続され、このプローブに接触したワークの電気的特性を測定する測定器と、前記プローブの下流側において前記ワーク搬送部の上方に設けられ、当該ワーク搬送部により前記プローブから移動させられたワークの外観を検査するワーク外観検査部と、を備え、前記ワーク搬送部により移動させられたワークが前記光透過性部材の下方の位置に到達したときに、前記プローブを前記光透過性部材に向かって移動させてこのプローブに載ったワークを前記光透過性部材の粗面に当接させ、当該プローブを介して前記測定器によって前記光透過性部材の粗面に当接しているワークの電気的特性を測定し、その後前記ワーク外観検査部によりワークの外観を検査することを特徴とするワーク測定検査システムである。

また、本発明は、水平に配置された基盤とこの基盤の上方で水平に配置されたカバー機構との間でワーク搬送部によりワークを間歇的に移動させる工程と、前記カバー機構に設けられ前記基盤側の面が粗面となっているような光透過性部材の下方の位置にワークが到達したときに、前記基盤に設けられたプローブを当該光透過性部材に向かって移動させてこのプローブに載ったワークを前記光透過性部材の粗面に当接させる工程と、前記プローブを介して測定器によって前記光透過性部材の粗面に当接しているワークの電気的特性を測定する工程と、ワークの電気的特性を測定した後、このワークの外観をワーク外観検査部により検査する工程と、を備えたことを特徴とするワーク測定検査方法である。

このようなワーク測定検査システムおよびワーク測定検査方法によれば、ワークの電気的特性を測定する際に、プローブを光透過性部材に向かって移動させてこのプローブに載ったワークを光透過性部材の下面（基盤側の面）に当接させ、当該プローブを介して測定器によって光透過性部材の下面に当接しているワークの電気的特性を測定するようになっている。このため、プローブとワークの電極との間の接触を確実なものとすることができ、ワークの電気的特性を精度良く測定することができるようになる。また、カバー機構に光透過性部材が設けられていることにより、プローブの調整を行う際に、この光透過性部材を介してカバー機構の上からプローブを観察することができるようになり、プローブの調整を容易に行うことができるようになる。さらに、光透過性部材の下面が粗面となっていることにより、ワークの電気的特性の測定が行われた際にこのワークにおける上面側の電極の表面が粗面化され、このことにより、ワークの外観の検査を行う際にワークに対して投光された照明により電極にハレーションが起きることを抑止することができ、このためワークの外観検査を確実に行うことができるようになる。

また、ワーク測定検査システムにより電気的特性の測定および外観の検査が行われたワークを部品実装装置に供給した場合には、部品実装装置の吸着ヘッドがワークを吸着して搬送し、この搬送されたワークをプリント基板に搭載する際に、ワークにおける上面側の電極の表面が平坦化されていないことにより、ワークが吸着ヘッドから容易に離れてプリント基板に円滑にこのワークを搭載することができるようになる。

本発明のワーク測定検査システムにおいては、前記基盤は円盤形状のものからなり、前記ワーク搬送部は、前記基盤と同軸の円盤形状の回転部材からなるとともにその周縁に沿ってワークを収納するための複数のワーク収納溝が形成されており、当該回転部材が前記基盤上で間歇的に回転することによりワーク収納溝に収納されたワークが前記基盤の上面に沿って移動するようになっていることが好ましい。

本発明のワーク測定検査システムおよびワーク測定検査方法においては、前記光透過性部材は、セラミック、ガラスおよびプラスチックからなる群から選択された少なくとも１つの材料から構成されていることが好ましい。

本発明のワーク測定検査システムにおいては、前記光透過性部材の前記基盤側粗面は、当該光透過性部材よりも硬度が大きな砥砂が擦過することにより形成されたものであることが好ましい。また、本発明のワーク測定検査方法においては、前記光透過性部材の前記基盤側の面に対して、予め、当該光透過性部材よりも硬度が大きな砥砂を擦過させることにより粗面を形成しておく工程を更に備えたことが好ましい。

本発明のワーク測定検査システムにおいては、前記光透過性部材の前記基盤側粗面は、当該光透過性部材よりも硬度が大きな砥砂が噴射されることにより形成されたものであることが好ましい。また、本発明のワーク測定検査方法においては、前記光透過性部材の前記基盤側の面に対して、予め、当該光透過性部材よりも硬度が大きな砥砂を噴射することにより粗面を形成しておく工程を更に備えたことが好ましい。

本発明のワーク測定検査システムおよびワーク測定検査方法においては、前記光透過性部材の前記基盤側粗面は、算術平均粗さ（Ｒａ）が０．０５〜６．３μｍの範囲内の大きさであるような表面粗さとなっていることが好ましい。

本発明のワーク測定検査システムおよびワーク測定検査方法によれば、ワークの電気的特性を精度良く測定することができ、また、プローブの調整を容易に行うことができ、さらに、ワークの外観の検査を行う際にワークに対して投光された照明により電極にハレーションが起きることを抑止することができ、このためワークの外観検査を確実に行うことができる。

以下、図面を参照して本発明の一の実施の形態について説明する。図１乃至図４は、本発明によるワーク測定検査システムの一の実施の形態を示す図である。本実施の形態によるワーク測定検査システムは、抵抗、コンデンサ、コイル等のチップ型電子部品（以下、ワークという。）の電気的特性を測定するとともにその外観を検査するためのものである。

具体的には、図１は、本発明の一の実施の形態におけるワーク測定検査システムの構成を示す上面図であり、図２は、図１のワーク測定検査システムにおける矢印Ａ方向から見たワーク測定検査部の側断面図であって、（ａ）は光透過性部材の下方の位置までワークが搬送される途中の状態を示す図であり、（ｂ）は光透過性部材の下方の位置にワークが到達したときにプローブを光透過性部材に向かって移動させてこのプローブに載ったワークを光透過性部材の裏面に当接させたときの状態を示す図である。また、図３は、図２（ｂ）のワーク測定検査部におけるＣ−Ｃ矢視による側断面図であり、図４は、図２に示すワーク測定検査部により測定が行われた後のワークの状態を示す図であって、（ａ）は上面図であり、（ｂ）は側面図である。

まず、ワーク測定検査システムの全体構成の概略について図１を用いて説明する。
本実施の形態のワーク測定検査システム（テーピング装置）１は、水平に配置され間歇的に回転することによりワークＷの搬送を行う円盤形状のワーク搬送部３と、当該ワーク搬送部３に対してワークＷを一列で１つずつ順次供給するワーク供給部２と、ワーク搬送部３に設けられ、ワークＷの電気的特性を測定するワーク測定検査部１５と、ワーク測定検査部１５の下流側においてワーク搬送部３に設けられ、ワークＷの外観を測定するワーク外観検査部８と、ワーク外観検査部８の下流側においてワーク搬送部３に設けられ、ワーク測定検査部１５またはワーク外観検査部８による検査により不良品であると判定されたワークＷの排出を行う不良品排出部１８とを備えている。また、不良品排出部１８の下流側において、ワーク搬送部３からキャリアテープ１０へのワークＷ（良品のワークＷ）の移載を１つずつ順次行うワーク移載部９が設けられている。

ここで、ワークＷの構成について図４（ａ）（ｂ）を参照して具体的に説明する。図４（ａ）はワークＷの上面図であり、図４（ｂ）はワークＷの側面図である。ワークＷは、上方から見て矩形となっているような平板状の基材と、基材の表面を覆うよう設けられた樹脂コーティング面Ｗｂと、基材の長手方向（図４の左右方向）において当該基材の両側面を覆うようコの字形状に設けられた、錫等の軟金属からなる一対の電極Ｗａとから構成されている。

ワーク搬送部３は、鉛直方向に延びる回転軸１９を中心として時計回り方向（図１の矢印Ｐの方向）に間歇的に回転するようになっており、その周縁に沿ってワークＷを収納するための多数のワーク収納溝４が等間隔で形成されている。ここで、ワーク搬送部３に多数のワーク収納溝４が形成されていることにより、上方から見てワーク搬送部３はいわゆる歯車形状となっている（図１参照）。具体的には、ワーク供給部２からワーク搬送部３にワークＷが１つずつ順次供給される際に、ワークＷの長手方向（図４の左右方向）がワーク搬送部３の半径方向と一致するよう、ワークＷがワーク収納溝４に収納されることとなる。すなわち、ワーク収納溝４にワークＷが収納されたときに、ワークＷの一方の電極Ｗａはワーク搬送部３の回転軸１９側を向き、他方の電極Ｗａはワーク搬送部３の半径方向外方を向くようになる。ここで、ワーク搬送部３の下方には水平に配置された円盤形状の基盤１２（後述）が設けられており、ワーク収納溝４にワークＷが収納されたときにこのワークＷは基盤１２の上面に載ることとなる。

また、図１に示すように、ワーク搬送部３の周囲には、ワーク供給部２からワーク搬送部３にワークＷが受け渡される箇所を除いて、ワーク搬送部３の高さと略同一の高さを有するリングカバー５が当該ワーク搬送部３を取り囲むように位置固定で設置されている。このようなリングカバー５が設けられていることにより、ワーク搬送部３が回転軸１９を中心として間歇的に回転した際に、ワーク収納溝４に収納されたワークＷが遠心力によりワーク搬送部３の外方に飛び出してしまうことを防止することができ、この収納されたワークＷを基盤１２の上面に沿ってリングカバー５の内側で搬送することができるようになる。

図２および図３に示すように、ワーク搬送部３の下方には、略円盤形状の基盤１２が位置固定で水平に配置されている。この基盤１２はワーク搬送部３とほぼ同軸となっており、ワーク搬送部３よりも半径がやや大きくなっている。具体的には、上方から見て基盤１２の外周縁はリングカバー５の外周縁と略一致するようになっている（図３参照）。
また、図１および図２に示すようにワーク搬送部３の外周縁の一部の領域において、当該ワーク搬送部３の上方にはカバー機構６が位置固定で水平に配置されている。基盤１２とカバー機構６の間にはワークＷの搬送路が形成されており、この搬送路においてワークＷがワーク搬送部３により搬送されることとなる。

次に、ワーク測定検査部１５の具体的な構成について、図１乃至図３、とりわけ図２および図３を用いて説明する。前述のように、ワーク測定検査部１５は、ワークＷの電気的特性を測定するためのものである。なお、図２において、ワークＷはワーク搬送部３によって矢印Ｑ方向に間歇的に搬送されるようになっている。

ワーク測定検査部１５は、カバー機構６に設けられた光透過性部材７と、光透過性部材７に対向する位置において基盤１２に設けられた、ワークＷに接触する一対のプローブ１３ａ、１３ｂと、各プローブ１３ａ、１３ｂに接続された測定器２１とを有している。また、図３に示すように、ワーク測定検査部１５は、光透過性部材７の上方に設けられたセンサ１１を有している。以下、ワーク測定検査部１５の各構成要素について詳述する。

光透過性部材７は、例えば透明な平板であるガラス窓から構成されており、図２に示すようにカバー機構６に対して接着材１４により接着されている。なお、光透過性部材７はガラス窓からなるものに限定されることはなく、セラミック、ガラスおよびプラスチックからなる群から選択された少なくとも１つの材料から構成されていてもよい。

図３に示すように、光透過性部材７の下面７ａ（基盤１２側の面）は粗面となっている。ここで、光透過性部材７の下面７ａの表面粗さは、算術平均粗さ（Ｒａ）が０．０５〜６．３μｍの範囲内の大きさとなっていることが望ましい。このような下面７ａは、予め、光透過性部材７よりも硬度が大きな砥砂が摺擦することにより、あるいは光透過性部材７よりも硬度が大きな砥砂が噴射（ショットブラスト）されることにより形成される。そして、このような下面７ａに対する粗面処理が行われた後に、光透過性部材７を接着材１４によりカバー機構６に取り付けるようになっている。

図２および図３に示すように、基盤１２には一対のプローブ１３ａ、１３ｂを設置するための２つの貫通穴が形成されており、この貫通穴にそれぞれ各プローブ１３ａ、１３ｂが収納されている。ここで、一対のプローブ１３ａ、１３ｂはワーク搬送部３の半径方向に沿ったライン上に配置されており、図２（ａ）（ｂ）においては各プローブ１３ａ、１３ｂは紙面の手前側および奥側にそれぞれ配置されている。図３に示すように、各プローブ１３ａ、１３ｂは、それぞれワークＷの下面において当該ワークＷにおける左右一対の各電極Ｗａに接触するようになっている。また、各プローブ１３ａ、１３ｂは、図示しない駆動機構により、光透過性部材７に向かって一体的に進退することができるようになっている。図２（ａ）は各プローブ１３ａ、１３ｂが退避位置にあるときの状態を示し、図２（ｂ）は各プローブ１３ａ、１３ｂが突出位置にあるときの状態を示している。すなわち、各プローブ１３ａ、１３ｂは図示しない駆動機構によって図２（ａ）に示す退避位置と図２（ｂ）に示す突出位置との間で一体的に往復移動を行うようになっている。なお、ワークＷが光透過性部材７の下方の位置にあるときにおいて各プローブ１３ａ、１３ｂが退避位置から図２（ｂ）の矢印Ｒに示すように突出位置に移動したときに、このワークＷは各プローブ１３ａ、１３ｂにより下方から上方に向かって押圧されることによって光透過性部材７の下面７ａに押し付けられるようになっている（図３参照）。このことにより、各プローブ１３ａ、１３ｂとワークＷの電極Ｗａとの間の接触が確実なものとなる。

測定器２１は、各プローブ１３ａ、１３ｂを介してワークＷの電極Ｗａの電気的特性を測定するようになっている。

センサ１１は、光透過性部材７を介してワークＷの表裏検査を行うようになっている。ここで、ワーク搬送部３にワークＷが搬送される前に、ワークＷの基材に設けられた樹脂コーティング面Ｗｂには表裏判定用マークが予め形成されている。そして、センサ１１は、ワークＷが各プローブ１３ａ、１３ｂにより下方から上方に向かって押圧されて光透過性部材７の下面７ａに押し付けられている状態で、このワークＷの樹脂コーティング面Ｗｂに形成された表裏判定用マークを検出することによってワークＷの表裏検査を行うようになっている。しかしながら、このようなセンサ１１はワーク測定検査部１５にとって必須のものではなく、ワークＷの表裏検査を後工程で行うこともできる。この場合、図３と同様にセンサによってガラス窓等の光透過性部材を介してワークＷの表裏検査を行うが、この際にはワークＷはワーク搬送部のワーク収納溝内において基盤の上面に安定して載置された状態で、すなわち各プローブにより上方に押し上げられることなく光透過性部材から離間した状態で、この光透過性部材の上方に設けられたセンサにより表裏検査が行われることとなる。また、このように後工程で表裏検査が行われる場合であっても、前工程であるワーク測定検査部１５において電気的特性の測定を行う際に、カバー機構６における各プローブ１３ａ、１３ｂの上方の位置に光透過性部材７を設置しておく必要がある。なぜならば、各プローブ１３ａ、１３ｂの調整を行う際に、この光透過性部材７を介してカバー機構６の上から各プローブ１３ａ、１３ｂを観察することにより、各プローブ１３ａ、１３ｂの調整を容易に行うことができるようになるからである。

次に、ワーク測定検査部１５の下流側においてワーク搬送部３に設けられたワーク外観検査部８について説明する。ワーク外観検査部８はワークＷに対して投光を行い、この投光されたワークＷの外観をセンサ等により検査するようになっている。

不良品排出部１８は、ワーク外観検査部８の下流側においてワーク搬送部３に設けられており、ワーク測定検査部１５により電気的特性が測定されその後ワーク外観検査部８により外観が検査されたワークＷについて、ワーク測定検査部１５による電気的特性の測定結果およびワーク外観検査部８による外観の検査結果のいずれかが不良であったワークＷを分別して排出するようになっている。一方、不良品ではないと判定されたワークＷは不良品排出部１８により排出されることはなく、ワーク搬送部３によってワーク移載部９に送られることとなる。

ワーク移載部９は、ワーク搬送部３により搬送されたワークＷ（良品のワークＷ）を、キャリアテープ１０へ１つずつ順次移載するようになっている。このようにして、キャリアテープ１０にワークＷを一列で順次載せることができるようになる。

なお、前述のように、ワークＷとしては抵抗、コンデンサ、コイル等様々な種類のものが挙げられ、このワークＷの種類によってワーク測定検査部１５による電気的特性の測定結果やワーク外観検査部８による外観の検査結果が異なるようになっている。このため、ワーク測定検査システム１はワークＷの種類ごとに個別に設置され、各々のワーク測定検査システム１毎に固有のワーク測定検査部１５やワーク外観検査部８が設けられている。

次に、このような構成からなるワーク測定検査システム１の動作について説明する。

まず、ワーク供給部２からワーク搬送部３にワークＷを１つずつ順次供給する。この際に、ワーク供給部２から供給されるワークＷはワーク搬送部３の周縁に形成された各ワーク収納溝４に１つずつ収納されることとなる。

ここで、ワーク搬送部３は回転軸１９を中心として時計回り方向（図１の矢印Ｐの方向）に間歇的に回転している。このことにより、ワーク搬送部３の各ワーク収納溝４に収納されたワークＷもリングカバー５の内周縁に沿って時計回り方向に間歇的に移動させられることとなる。

そして、ワークＷがワーク測定検査部１５に到達し、光透過性部材７の下方に位置にあるときにおいて、ワーク搬送部３が停止している際に各プローブ１３ａ、１３ｂが図２（ａ）に示す退避位置から図２（ｂ）の矢印Ｒに示すように光透過性部材７に向かって移動する。このことにより、図２（ｂ）に示すようにワークＷは各プローブ１３ａ、１３ｂにより下方から上方に向かって押圧され、この押圧されたワークＷは光透過性部材７の下面７ａに当接する。この際に、図３に示すように各プローブ１３ａ、１３ｂはワークＷの下面において当該ワークＷの左右一対の各電極Ｗａに接触することとなる。そして、ワークＷが光透過性部材７の下面７ａに当接している状態で、測定器２１により各プローブ１３ａ、１３ｂを介してワークＷの電極Ｗａの電気的特性を測定する。

ここで、各プローブ１３ａ、１３ｂによりワークＷが上方に押圧されることによりこのワークＷは光透過性部材７の下面７ａに押し付けられることとなるが、下面７ａは粗面となっていることにより、ワークＷの上面における当該ワークＷの左右一対の各電極Ｗａの表面が粗面化される。すなわち、図４（ｂ）に示すように、ワーク測定検査部１５により電気的特性の測定が行われた後のワークＷについて、上面側（カバー機構６側）の電極Ｗａの表面に凹凸が形成される。

その後、ワークＷはワーク搬送部３により更に搬送され、このワークＷはワーク外観検査部８に送られる。ワーク外観検査部８においてワークＷに対して投光を行い、センサ等によりこの投光されたワークＷの外観を検査する。ここで、ワークＷの上面側の電極Ｗａの表面が粗面化されていることにより、ワークＷに対して投光された照明により電極Ｗａにハレーションが起きることを抑止することができ、このためワークＷの外観検査を確実に行うことができるようになる。

その後、ワークＷはワーク搬送部３により不良品排出部１８に搬送される。不良品排出部１８により、ワーク測定検査部１５による電気的特性の測定結果およびワーク外観検査部８による外観の検査結果のいずれかが不良であったワークＷを分別して排出する。一方、不良品ではないと判定されたワークＷは不良品排出部１８により排出されることはなく、ワーク搬送部３によってワーク移載部９に送られる。最後に、ワーク移載部９により、良品のワークＷをワーク搬送部３からキャリアテープ１０へ１つずつ順次移載する。このことにより、キャリアテープ１０にワークＷを一列で順次載せることができるようになる。

このようにして、ワーク測定検査システム１によるワークＷの電気的特性の測定およびその外観の検査が完了する。

〔比較例〕
次に、図５乃至図８を用いて、上述のような本実施の形態のワーク測定検査システムに対する比較例について説明する。ここで、図５は、比較例に係るワーク測定検査システムの構成を示す上面図であり、図６は、図５のワーク測定検査システムにおける矢印Ｂ方向から見たワーク測定検査部の側断面図であって、（ａ）は光透過性部材の下方の位置までワークが搬送される途中の状態を示す図であり、（ｂ）は光透過性部材の下方の位置にワークが到達したときにプローブを光透過性部材に向かって移動させてこのプローブに載ったワークを光透過性部材の裏面に当接させたときの状態を示す図である。また、図７は、図６（ｂ）のワーク測定検査部におけるＤ−Ｄ矢視による側断面図であり、図８は、図６に示すワーク測定検査部により測定が行われた後のワークの状態を示す図であって、（ａ）は上面図であり、（ｂ）は（ａ）に示すワークのＥ−Ｅ矢視による側面図である。

図５乃至図７に示すような比較例に係るワーク測定検査システム１ａは、図１乃至図３に示すワーク測定検査システム１と比較して光透過性部材１７の下面１７ａが平坦となっている点が異なるのみであり、他は図１乃至図３に示すワーク測定検査システム１と略同一の構成を有している。図５乃至図８において、図１乃至図４に示す上述の実施の形態と同一部分には同一符号を付して詳細な説明を省略する。

比較例に係るワーク測定検査システム１ａは、図５乃至図７に示すように、図１乃至図３に示すワーク測定検査部１５の代わりにワーク測定検査部２０を備えている。このワーク測定検査部２０は、カバー機構１６に設けられた光透過性部材１７と、光透過性部材１７に対向する位置において基盤１２に設けられた、ワークＷに接触する一対のプローブ１３ａ、１３ｂと、各プローブ１３ａ、１３ｂに接続された測定器２１とを有している。また、図７に示すように、ワーク測定検査部２０は、光透過性部材１７の上方に設けられたセンサ１１を有している。

光透過性部材１７は、例えば透明な平板であるガラス窓から構成されており、図６に示すようにカバー機構１６に対して接着材１４により接着されている。そして、図７に示すように、光透過性部材１７の下面１７ａ（基盤１２側の面）は平坦な面となっている。具体的には、予め光透過性部材１７の下面１７ａに対して平坦化処理が行われ、その後、光透過性部材１７を接着材１４によりカバー機構１６に取り付けるようになっている。

次に、このような構成からなる比較例に係るワーク測定検査システム１ａの動作について説明する。なお、図１乃至図３に示すワーク測定検査システム１と同一の動作については説明を省略する。

ワーク搬送部３によりワークＷの搬送を行い、ワークＷをワーク測定検査部２０に送る。ワークＷが光透過性部材１７の下方に位置にあるときにおいて、ワーク搬送部３が停止している際に各プローブ１３ａ、１３ｂが図６（ａ）に示す退避位置から図６（ｂ）の矢印Ｒに示すように光透過性部材１７に向かって移動する。このことにより、図６（ｂ）に示すようにワークＷは各プローブ１３ａ、１３ｂにより下方から上方に向かって押圧され、この押圧されたワークＷは光透過性部材１７の下面１７ａに当接する。この際に、図７に示すように各プローブ１３ａ、１３ｂはワークＷの下面において当該ワークＷの左右一対の各電極Ｗａに接触することとなる。そして、ワークＷが光透過性部材１７の下面１７ａに当接している状態で、測定器２１により各プローブ１３ａ、１３ｂを介してワークＷの電極Ｗａの電気的特性を測定する。

ここで、各プローブ１３ａ、１３ｂによりワークＷが上方に押圧されることによりこのワークＷは光透過性部材１７の下面１７ａに押し付けられるが、下面１７ａは平坦な面となっていることにより、ワークＷの上面における当該ワークＷの左右一対の各電極Ｗａの表面も平坦化される。より具体的に説明すると、ワークＷの左右一対の各電極Ｗａは、それぞれ、当該ワークＷの上面において中央部分が周縁部分よりも盛り上がっており、中央部分における電極Ｗａの厚さは周縁部分における電極Ｗａの厚さよりも大きくなっている。このため、ワークＷを光透過性部材１７の下面１７ａに押し付けると（図７参照）、図８（ａ）に示すように当該ワークＷの上面側（カバー機構６側）における電極Ｗａの中央部分が主に平坦化される。また、図８（ｂ）は図８（ａ）のワークＷのＥ−Ｅ矢視図であるが、図４（ｂ）に示すようなワークＷと比較して、上面側の電極Ｗａの中央部分の表面が平坦になっていることがわかる。

その後、ワークＷはワーク搬送部３により更に搬送され、このワークＷはワーク外観検査部８に送られる。そして、ワーク外観検査部８においてワークＷに対して投光を行い、センサ等によりこの投光されたワークＷの外観を検査する。しかしながら、ワークＷの上面側の電極Ｗａの表面の一部が平坦な面となっていることにより、ワークＷに対して投光された照明により電極Ｗａにハレーションが発生してしまい、検査面全体のコントラストが低下してしまうので、ワーク外観検査部８による外観検査の精度が低下してしまう、あるいは不可能となってしまう。このように、比較例に係るワーク測定検査システム１ａにおいては、光透過性部材１７の下面１７ａが平坦な面となっていることにより、ワーク外観検査部８による外観検査を適切に行うことができないという問題が生じてしまう。

以上のように図１乃至図３に示すような本実施の形態のワーク測定検査システム１によれば、ワークＷの電気的特性を測定する際に、プローブ１３ａ、１３ｂを光透過性部材７に向かって移動させてこのプローブ１３ａ、１３ｂに載ったワークＷを光透過性部材７の下面７ａに当接させ、当該プローブ１３ａ、１３ｂを介して測定器２１によって光透過性部材７の下面７ａに当接しているワークＷの電気的特性を測定するようになっている。このため、各プローブ１３ａ、１３ｂとワークＷの電極Ｗａとの間の接触を確実なものとすることができ、ワークＷの電気的特性を精度良く測定することができるようになる。また、カバー機構６に光透過性部材７が設けられていることにより、各プローブ１３ａ、１３ｂの調整を行う際に、この光透過性部材７を介してカバー機構６の上から各プローブ１３ａ、１３ｂを観察することができるようになり、各プローブ１３ａ、１３ｂの調整を容易に行うことができるようになる。さらに、光透過性部材７の下面７ａが粗面となっていることにより、ワークＷの電気的特性の測定が行われた際にこのワークＷにおける上面側の電極Ｗａの表面が粗面化され、このことにより、ワークＷの外観の検査を行う際にワークＷに対して投光された照明により電極Ｗａにハレーションが起きることを抑止することができ、このためワークＷの外観検査を確実に行うことができるようになる。

また、ワーク測定検査システム１により電気的特性の測定および外観の検査が行われたワークＷを部品実装装置に供給した場合には、部品実装装置の吸着ヘッドがワークＷを吸着して搬送し、この搬送されたワークＷをプリント基板に搭載する際に、ワークＷにおける上面側の電極Ｗａの表面が平坦化されていないことにより、ワークＷが吸着ヘッドから容易に離れてプリント基板に円滑にこのワークＷを搭載することができるようになる。

また、光透過性部材７の下面７ａの表面粗さは、算術平均粗さ（Ｒａ）が０．０５〜６．３μｍの範囲内の大きさとなっていることが望ましい。ここで、光透過性部材７の下面７ａの算術平均粗さ（Ｒａ）が過小である場合には、ワークＷがプローブ１３ａ、１３ｂにより光透過性部材７の下面７ａに押し付けられた際に、電極Ｗａがある程度平坦化してしまい、外観検査時におけるハレーション抑止効果に乏しくなってしまうおそれがある。一方、光透過性部材７の下面７ａの算術平均粗さ（Ｒａ）が過大である場合には、ワーク測定検査部１５においてセンサ１１により光透過性部材７を介してワークＷの表裏検査を行う際に、ワークＷの樹脂コーティング面Ｗｂに形成された表裏判定用マークを正確に判定することができなくなるおそれがある。ここで、ワークＷの大きさによって表裏判定用マークあるいは電極Ｗａの観察に必要な分解能が大きく異なることとなるが、粗面化による下面７ａの表面粗さについては、平坦化軽減効果とセンサ１１の感度の両方を確保できるような、上述の範囲内における値とすることが好ましい。

本発明の一の実施の形態におけるワーク測定検査システムの構成を示す上面図である。 図１のワーク測定検査システムにおける矢印Ａ方向から見たワーク測定検査部の側断面図であって、（ａ）は光透過性部材の下方の位置までワークが搬送される途中の状態を示す図であり、（ｂ）は光透過性部材の下方の位置にワークが到達したときにプローブを光透過性部材に向かって移動させてこのプローブに載ったワークを光透過性部材の裏面に当接させたときの状態を示す図である。 図２（ｂ）のワーク測定検査部におけるＣ−Ｃ矢視による側断面図である。 図２に示すワーク測定検査部により測定が行われた後のワークの状態を示す図であって、（ａ）は上面図であり、（ｂ）は側面図である。 比較例に係るワーク測定検査システムの構成を示す上面図である。 図５のワーク測定検査システムにおける矢印Ｂ方向から見たワーク測定検査部の側断面図であって、（ａ）は光透過性部材の下方の位置までワークが搬送される途中の状態を示す図であり、（ｂ）は光透過性部材の下方の位置にワークが到達したときにプローブを光透過性部材に向かって移動させてこのプローブに載ったワークを光透過性部材の裏面に当接させたときの状態を示す図である。 図６（ｂ）のワーク測定検査部におけるＤ−Ｄ矢視による側断面図である。 図６に示すワーク測定検査部により測定が行われた後のワークの状態を示す図であって、（ａ）は上面図であり、（ｂ）は（ａ）に示すワークのＥ−Ｅ矢視による側面図である。

符号の説明

１ ワーク測定検査システム
２ ワーク供給部
３ ワーク搬送部
４ ワーク収納溝
５ リングカバー
６ カバー機構
７ 光透過性部材
７ａ 下面
８ ワーク外観検査部
９ ワーク移載部
１０ キャリアテープ
１１ センサ
１２ 基盤
１３ａ、１３ｂ プローブ
１４ 接着材
１５ ワーク測定検査部
１６ カバー機構
１７ 光透過性部材
１７ａ 下面
１８ 不良品排出部
１９ 回転軸
２０ ワーク測定検査部
２１ 測定器
Ｗ ワーク
Ｗａ 電極
Ｗｂ 樹脂コーティング面

Claims (11)

1. 水平に配置された基盤と、
   前記基盤上に設けられ、当該基盤の上面に沿ってワークを間歇的に移動させるワーク搬送部と、
   前記基盤の上方で水平に配置され、前記基盤との間でワークの搬送路を形成するカバー機構と、
   前記カバー機構に設けられた光透過性部材であって、前記基盤側の面が粗面となっているような光透過性部材と、
   前記光透過性部材に対向する位置において前記基盤に設けられた、ワークに接触するプローブであって、前記光透過性部材に向かって進退することができるプローブと、
   前記プローブに接続され、このプローブに接触したワークの電気的特性を測定する測定器と、
   前記プローブの下流側において前記ワーク搬送部の上方に設けられ、当該ワーク搬送部により前記プローブから移動させられたワークの外観を検査するワーク外観検査部と、
   を備え、
   前記ワーク搬送部により移動させられたワークが前記光透過性部材の下方の位置に到達したときに、前記プローブを前記光透過性部材に向かって移動させてこのプローブに載ったワークを前記光透過性部材の粗面に当接させ、当該プローブを介して前記測定器によって前記光透過性部材の粗面に当接しているワークの電気的特性を測定し、その後前記ワーク外観検査部によりワークの外観を検査することを特徴とするワーク測定検査システム。
2. 前記基盤は円盤形状のものからなり、
   前記ワーク搬送部は、前記基盤と同軸の円盤形状の回転部材からなるとともにその周縁に沿ってワークを収納するための複数のワーク収納溝が形成されており、当該回転部材が前記基盤上で間歇的に回転することによりワーク収納溝に収納されたワークが前記基盤の上面に沿って移動するようになっていることを特徴とする請求項１記載のワーク測定検査システム。
3. 前記光透過性部材は、セラミック、ガラスおよびプラスチックからなる群から選択された少なくとも１つの材料から構成されていることを特徴とする請求項１または２記載のワーク測定検査システム。
4. 前記光透過性部材の前記基盤側粗面は、当該光透過性部材よりも硬度が大きな砥砂が擦過することにより形成されたものであることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか一項に記載のワーク測定検査システム。
5. 前記光透過性部材の前記基盤側粗面は、当該光透過性部材よりも硬度が大きな砥砂が噴射されることにより形成されたものであることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか一項に記載のワーク測定検査システム。
6. 前記光透過性部材の前記基盤側粗面は、算術平均粗さ（Ｒａ）が０．０５〜６．３μｍの範囲内の大きさであるような表面粗さとなっていることを特徴とする請求項１乃至５のいずれか一項に記載のワーク測定検査システム。
7. 水平に配置された基盤とこの基盤の上方で水平に配置されたカバー機構との間でワーク搬送部によりワークを間歇的に移動させる工程と、
   前記カバー機構に設けられ前記基盤側の面が粗面となっているような光透過性部材の下方の位置にワークが到達したときに、前記基盤に設けられたプローブを当該光透過性部材に向かって移動させてこのプローブに載ったワークを前記光透過性部材の粗面に当接させる工程と、
   前記プローブを介して測定器によって前記光透過性部材の粗面に当接しているワークの電気的特性を測定する工程と、
   ワークの電気的特性を測定した後、このワークの外観をワーク外観検査部により検査する工程と、
   を備えたことを特徴とするワーク測定検査方法。
8. 前記光透過性部材は、セラミック、ガラスおよびプラスチックからなる群から選択された少なくとも１つの材料から構成されていることを特徴とする請求項７記載のワーク測定検査方法。
9. 前記光透過性部材の前記基盤側の面に対して、予め、当該光透過性部材よりも硬度が大きな砥砂を擦過させることにより粗面を形成しておく工程を更に備えたことを特徴とする請求項７または８記載のワーク測定検査方法。
10. 前記光透過性部材の前記基盤側の面に対して、予め、当該光透過性部材よりも硬度が大きな砥砂を噴射することにより粗面を形成しておく工程を更に備えたことを特徴とする請求項７または８記載のワーク測定検査方法。
11. 前記光透過性部材の前記基盤側粗面は、算術平均粗さ（Ｒａ）が０．０５〜６．３μｍの範囲内の大きさであるような表面粗さとなっていることを特徴とする請求項７乃至１０のいずれか一項に記載のワーク測定検査方法。

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