JP3691675B2 - 部品装着装置のノズル検査方法 - Google Patents

部品装着装置のノズル検査方法 Download PDF

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Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は部品装着装置のノズル検査方法に関し、例えば回路基板を部品の装着対象としてノズルを用い各種の電子部品を仮装着ないしは実装して部品の装着を行い電子回路基板を製造するような場合に適用される。
【0002】
【従来の技術】
従来の電子部品の装着装置の一例として図4に示すものがある。このものは回転する装着ヘッドbの周方向に複数の吸着ノズルcを回転軸線のまわりに所定のピッチで配列して装備し、一定の円軌道上を前記ピッチ分ずつ間欠循環移動させる。吸着ノズルcはその間欠な循環移動により各作業ステーションに順次に移動されて一時停止し、その一時停止中に対応する作業ステーションで所定の作業を行い、また所定の作業を受ける。
【0003】
この作業は、例えば、部品供給部dでの順次供給される電子部品eを吸着ノズルcにより吸着して順次にピックアップする電子部品eの吸着、検査部f、gでの吸着ノズルcが保持している電子部品eの吸着姿勢や吸着状態などの検査、部品装着部hでの吸着ノズルcが保持している検査後の電子部品eの回路基板iへの装着などである。これらの作業が繰り返されることで1枚の回路基板iに各種の電子部品eを順次に装着して電子回路基板が製造される。
【0004】
電子部品eの良否は検査部f、gの検査で判定され、吸着姿勢については吸着ノズルcの回転によって補正でき、偏平なチップ型の電子部品eの上面を吸着せず側面を吸着しているような吸着状態は補正できないので、吸着されている電子部品eの高さを検査して判定できるので、不適正な吸着状態のときは不良品として装着せず、部品装着部hを通過した後の作業ステーションで廃棄される。
【0005】
一方、吸着ノズルcは多くの場合細く、耐摩耗性の向上のため焼き入れ処理などされたもので、使用中に先端が欠損したり、折れたりしやすい。このように欠陥の生じた吸着ノズルcによっては電子部品eを吸着できなかったり、吸着できても適正に装着できない不適正な吸着状態になることがある。このような不良な吸着ノズルcの使用は電子部品eの装着不能や装着不良を招き、その都度作業ロスとなるし、製品の品質を損ない歩留りが低下する。
【0006】
そこで従来、図5に示すような制御で不良な吸着ノズルcを判定し、不良な吸着ノズルcは用いないようにしてる。この制御につき説明する。ステップ#1で吸着ノズルcによる電子部品eの吸着を行う。ステップ#2で吸着した電子部品eの吸着姿勢が画像認識により判定され、ステップ#3で吸着した電子部品eの吸着状態がラインセンサによる高さ検査、具体的には吸着されている電子部品eの厚み検査で判定される。ステップ#4において吸着姿勢および吸着状態の検査結果が良品であると、ステップ#5に進み吸着ノズルcを必要量回転させて電子部品eの吸着向きを調整した後、ステップ#6で部品装着部hにて回路基板iの位置決めを行う。続くステップ#7では位置決めされた回路基板iの所定の位置に吸着ノズルcが吸着して持ち運んできた電子部品eを装着し、ステップ#1に戻る。
【0007】
ステップ#4で不良品であるとステップ#8に進み、吸着状態の検査による不良でなければ、認識エラーであるので、ステップ#9でノズル情報および部品供給部情報に、認識エラー数を加算し、ステップ#10で認識エラー数の累計が初期設定値に達するまではステップ#1に戻るが、初期設定値に達したときはステップ#11で認識状態不良として対応する吸着ノズルcを使用せず、他の吸着ノズルcにジャンプして使用しステップ#1に戻る。
【0008】
ステップ#8で吸着状態の検査による不良であると、吸着状態の不良であるのでステップ#12に進み、ノズル情報および部品供給部情報に、吸着エラー数を加算する。ステップ#13で吸着エラー数の累積が初期設定値に達するまではステップ#1に戻るが、初期設定値に達するとステップ#14で吸着状態不良として対応する吸着ノズルcを使用せず、他の吸着ノズルcにジャンプしステップ#1に戻る。
【0009】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、上記従来のような部品装着装置では、吸着ノズルcに欠けや折れが発生した場合、実際に電子部品eの吸着および装着に使用し続けながら、吸着姿勢や吸着状態のミス検出が所定回数繰り返されてたとき、初めて不良と判定され対処されるので、不良と判定されるまでの電子部品eが不良品として廃棄されてしまう。従って、電子部品eの歩留りが低下し製品コスト上昇の原因になる。また、省資源の面でも問題である。電子部品がQFP(Quad Flat Package)のような高価な大型部品などであると特に問題である。
【0010】
また、吸着ノズルcのノズル先端の僅かな欠けなどがあるだけでは、電子部品eを斜めに吸着してしまい、これが不良と判定されにくい。このため、吸着ノズルcが延々と使用し続けられ、電子部品eの回路基板hへの装着ミスが多発し、製造する電子回路基板の歩留りを大きく低下させてしまうことがある。
【0011】
さらに、吸着ノズルcの吸着面に異物が付着していても、従来の吸着姿勢の検査、および高さや厚みによる吸着状態の検査では吸着されている電子部品eが邪魔になって判別できず、電子部品eが吸着されそれが不良と判定されない限り、吸着ノズルcは同じ状態で使用し続けられるので、前記の場合同様に電子部品eの回路基板hへの装着ミスが多発し、製造する電子回路基板の歩留りを大きく低下させてしまう。
【0012】
本発明の目的は、時間のロスなく吸着ノズルの欠陥をいち早く検出して、吸着ノズルの欠陥による作業ロスや部品のロス、製品の歩留りの低下と云ったことを低減できる部品装着装置のノズル検査方法を提供することにある。
【0013】
【課題を解決するための手段】
本発明は環移動軌跡上に配された複数のノズルを用い部を装着対象へ装着して、製品を製造する部品装着装置を対象とし、
【0014】
上記のような目的を達成するため、本発明の部品装着装置のノズル検査方法は、特に、1つの装着対象への部品の装着動作開始最初に部品を吸着したノズルがノズル検査部に到達するまで、部品未吸着状態のノズルを検査することを特徴として、吸着ノズルの良否を判定し、不良でない吸着ノズルにより部品の装着を行えるようにする
【0015】
具体的には、一定の循環移動軌跡上に配された複数のノズルに対応して配列された部品供給部、検査部、部品装着部などの各作業ステーションのそれぞれにノズルが対向し、1つの装着対象への部品の装着動作開始時点で、部品供給部に対向しているノズルが仮に部品の吸着をいきなり行って実運転に入るにしても、検査部に対向しているノズルはまだ部品を装着していない部品未吸着の状態である。また、検査部からノズル移動方向の上流側に向いた部品供給部までに配列されているノズルは部品未吸着な状態で検査部に到達してくる。
【0017】
つまり、通常運転にて、1つの装着対象への部品の装着動作開始時点から所定の時期まで、部品装着の準備上、部品未吸着の吸着ノズルが検査部に既にあるものを含めて幾つか検査部を経ていくいわゆる空運転状態が生じる。
【0018】
本発明の部品装着装置のノズル検査方法は、この空運転状態にある部品未吸着なノズルにつきノズル検査部での検査に供して、時間のロスなく、また、部品の存在による邪魔なく、ノズルの良否を判定し、不良でないノズルにより部品の装着を行うことができる。
【0019】
また、1つの装着対象への部品の装着が終わって、次の装着対象への部品の装着を行うとき、装着対象の種類などに変わりがなくても、次の装着対象に最初に装着する部品が、先の装着対象に最後に装着した部品と一致していることはほとんどなく、次の装着対象に最初に装着する部品に対応する所定のノズルが部品供給部に到達して部品を吸着、保持して検査部に達するまで、検査部を経る幾つかのノズルが部品未吸着なものとなる空運転となるので、1つの装着対象への部品の装着が終了して、次の装着対象への装着を開始した後、最初に部品を吸着したノズルがノズル検査部に到着するまで、部品未吸着状態のノズルを検査することを特徴として、比較的早期に吸着ノズルの全数につき良否を判定することができる。
【0020】
従って、時間のロスなく不良な吸着ノズルが使用される本数、および頻度を低減し、不良な吸着ノズルが使用されることによる作業ロス、部品のロス、製品の歩留りの低下を軽減することができる。
【0021】
上記検査は部品未吸着な吸着ノズルに対し行うので、下方からの画像認識による検査では吸着面のちょっとした欠けや異物の付着などの検査が部品の邪魔なしに行えるし、側方からの高さ検査機能による検査では吸着ノズルの先端の欠けや折れなどを検出することができ、これらが見逃されて欠陥のある吸着ノズルが使用し続けられることによる作業ロス、部品のロス、製品の歩留りの低下も軽減することができる。
【0026】
本発明のそれ以上の目的および特徴は、以下の詳細な説明および添付の図面の記載によって明らかになる。本発明の各特徴は、可能な限りにおいてそれ単独であるいは種々な組合せにより複合して用いることができる。
【0027】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の代表的な1つの実施の形態についてその実施例とともに、図1〜図3を用いて説明し、本発明の理解に供する。
【0028】
本実施の形態は図1、図2に示すように各種の電子部品1を装着対象としての回路基板2に例えば仮装着ないしは実装状態で装着して電子回路基板を製造する場合の一例である。仮装着であるときはクリーム半田のリフロー処理など実装状態にするための後処理が必要である。本発明はこれらに限られることはなく、種々な部品を種々に取り扱って装着対象に装着して種々な製品を製造し、あるいは仕上げ、あるいは組み上げていくような各種の場合に同様に適用できる。
【0029】
本実施の形態の部品装着方法は、図1、図2に示す部品装着装置を参照して説明すると、一定の循環移動軌跡16上に配された複数の吸着ノズル21によって部品を順次にピックアップして持ち運び回路基板2の所定位置に順次に装着するのに、従来同様、吸着ノズル21の循環移動軌跡16および配列ピッチに対応して配列された順に、部品供給部11での、順次供給される電子部品1を吸着ノズル21により順次に吸着してピックアップする電子部品1の吸着、側方からの高さ検査機能を有する検査部13bでの吸着ノズル21が保持している電子部品1のラインセンサによる高さ、例えば厚みなどの検査、または/および、少なくとも認識カメラを用いた下方からの画像認識にて検査を行う検査部13aでの吸着ノズル21による電子部品1の吸着姿勢などの検査と云った、検査部13での検査、部品装着部14での、吸着ノズル21が保持している検査後の電子部品1の回路基板2への装着、を吸着ノズル21の間欠な循環移動で繰り返し行って、回路基板2に所定の電子部品1を装着した電子回路基板を製造する。
【0030】
本実施の形態では、不良な吸着ノズル21を可及的早期に検出して使用されるのを避けるため、特に、1枚の回路基板2への電子部品1の装着動作開始時点で、電子部品装着の準備上、部品未吸着状態で検査部13に到着する吸着ノズル21につき、検査部13、従って検査部13a、13bに到達する都度、検査を順次行い、それぞれの検査結果から欠けや折れ、吸着面のちょっとした欠けや異物の付着などを検出して、吸着ノズル21の良否を判定し、不良でない吸着ノズル21により電子部品1の装着を行う。
【0031】
吸着ノズル21の停止状態において、循環移動軌跡16上に配された第1〜第12の吸着ノズル21に対応して配列された部品供給部11、検査部13、具体的には検査部13a、検査部13b、部品装着部14などの各作業ステーションのそれぞれに吸着ノズル21のいずれかが、必ず対向している。図2の状態を例にすると、部品供給部11には第8の吸着ノズル21が対向し、画像認識による検査部13aには第5の吸着ノズル21が対向し、高さ検査機能を有する検査部13bには第4の吸着ノズル21が対向し、部品装着部14および部品排出部15に第2の吸着ノズル21が対向し、原点復帰部17aに第12の吸着ノズル21が対向し、吸着ノズル選択部17bに第11の吸着ノズル21が対向している。
【0032】
このような状態から、1枚の回路基板2への電子部品1の装着動作を開始する初期動作で、部品供給部11に対向している第8の吸着ノズル21に代わって次の第9の吸着ノズル21が対向したとき、これが仮に電子部品1の吸着をいきなり行って実運転に入るにしても、検査部13a、検査部13bに対向している第4、第5の吸着ノズル21に代わって、検査部13a、13bに対向する第5、第6の吸着ノズル21はまだ電子部品1を吸着していない部品未吸着の状態である。また、検査部13から吸着ノズル21の移動方向の上流側に向いた部品供給部11までに位置することになる第7、第8の吸着ノズル21も部品未吸着な状態で検査部13に到達してくる。
【0033】
しかも、図2に示す実施例では、部品供給部11で供給する電子部品1を吸着する吸着ノズル21が、電子部品1に対応する種類や大きさのもので、かつ、向きも適正であることのために、部品供給部11に到達していく吸着ノズル21については、前記原点復帰部17aおよび吸着ノズル選択部17bがなす初期設定操作部17での原点復帰やノズル選択などの初期設定操作を行ってから、部品供給部11での電子部品1の吸着に供するようにしており、このような初期設定操作を受けないで部品供給部11に到達した前記第9の吸着ノズル21、および、それより吸着ノズル21の移動方向上流側に向いた初期設定操作部17までに位置している第10、第11の吸着ノズル21は、部品供給部11に順次到達しても電子部品1の吸着には供されないので、これら第9〜第11の吸着ノズル21もまた、部品未吸着の状態で検査部13に達する。
【0034】
このように、通常運転にて、1つの回路基板2への電子部品1の装着動作開始時点から所定の時期まで、電子部品装着の準備上、部品未吸着の吸着ノズル21が検査部13に既にあるものを含めて幾つか検査部13を経ていくいわゆる空運転状態が生じる。
【0035】
この空運転状態にある部品未吸着な第5〜第11の吸着ノズル21につき、本実施の形態では、検査部13での検査に供するので、時間のロスなく、また、電子部品1の存在による邪魔なく検査して良否を判定し、不良でない吸着ノズル21により電子部品1の装着を行う。
【0036】
また、1つの回路基板2への電子部品1の装着が終わって、次の回路基板2への電子部品1の装着を行うとき、回路基板2の種類に変わりがなくても、次の回路基板2に最初に装着する電子部品1が、先の回路基板2に最後に装着した電子部品1と一致していることはほとんどない。このため、次の回路基板2に最初に装着する電子部品1に対応した、例えば初期設定操作を終了した所定の吸着ノズル21が部品供給部11に到達して部品を吸着、保持して検査部13に達するまで、検査部13を経る幾つかの吸着ノズル21が部品未吸着なものとなる空運転状態となるので、回路基板2が切り換わる都度生じる空運転での部品未吸着な吸着ノズル21につき上記検査を行って、比較的早期に吸着ノズルの全数につき良否を判定することができる。
【0037】
従って、時間のロスなく不良な吸着ノズル21が使用される本数、および頻度が低減する。また、これによって、不良な吸着ノズル21が使用されることによる作業ロス、電子部品1のロス、製品の歩留りの低下が軽減される。
【0038】
上記検査は部品未吸着な吸着ノズル21に対し行うので、下方からの画像認識による検査では吸着面でのちょっとした欠けや異物の付着などの検査が行え、側方からの高さ検査機能による検査では先端の欠けや折れを検出することができ、これらが見逃されて欠陥のある吸着ノズルが使用し続けられることによる作業ロス、電子部品1のロス、製品の歩留りの低下も軽減することができる。
【0039】
このような吸着ノズル21の良否は、検査部13a、13bに到着した吸着ノズル21に関する基準データと吸着ノズルの検査データとを比較して判定すれば、高精度な判定ができる。
【0040】
本実施の形態の部品装着装置は上記のような方法を実現するため、図1に示すように、上記した供給される電子部品1を吸着、保持して取り扱う吸着ノズル21の原点復帰やノズル選択などの1種または2種以上の初期設定操作を行う原点復帰部17a、ノズル選択部17bなどよりなる初期設定操作部17を必要に応じ備え、その時々に必要な電子部品1を供給する部品供給部11と、電子部品1の良否を光学的に検査し、かつ吸着ノズルの良否を検査できる一種、あるいは2種以上の検査部13a、13bなどよりなる検査部13と、電子部品1の回路基板2を保持して電子部品1の装着に供する部品装着部14と、部品供給部11で供給される電子部品1をそこに到達する吸着ノズル21によりピックアップしてこれを持ち運び、検査部13での検査、部品装着部14での電子部品1の装着、初期設定操作部17での初期設定操作に順次供することを、一定の循環移動軌跡16を持って順次に繰り返し行う部品取り扱い機構26とを備えている。本実施の形態の循環移動軌跡16は多数の吸着ノズル21を装備した装着ヘッド31の回転による円軌道である。しかし、これに限られることはなく、一定の経路を循環するどのような形態のものでもよい。2種以上の検査部13a、13bなどの検査部13や、原点復帰部17a、ノズル選択部17bなどの初期設定操作部17は図2に示す実施例のようにそれぞれ異なった作業ステーションに配置することができるし、同一の作業ステーションに配置することもできる。
【0041】
また、部品装着部14には不良品排出部15が併設され、吸着ノズル21が電子部品1をピックアップして電子部品1を装着する実運転が開始される時点から、吸着ノズル21が保持している電子部品1につき検査部13で検査を行い不良であった電子部品1を不良品排出部15に排出するようにしている。部品装着部14では回路基板2を良品1aの装着に供するように位置決めするのと、不良な電子部品1の受け取りのために不良品排出部15を位置決めするのとを、移動テーブル27によって行う。移動テーブル27は例えば直交するXY2方向に移動するものを採用する。
【0042】
図に示す実施例ではさらに、検査部13は図1の(a)、(b)に示すように、認識カメラを持った画像認識による検査部13aで、下方から、電子部品1の吸着姿勢やピンの曲がりなどの欠陥の有無の検出を行い、吸着ノズル21に対しては吸着面のちょっとした欠けや異物の有無を検出する。また、ラインセンサなどによる高さ検査機能を持った検査部13bで、側方から、電子部品1の厚みの検出を行い、電子部品1の装着高さの計測や、吸着状態が誤っていて補正できないことなどを判定する。吸着ノズル21に対してはその高さや長さの違いによって、先端の欠けや折れを検出する。しかし、これに限られることはなく、検査の種類や検査の数、および検査を行う作業ステーションの数などは検査の種類とそれに必要な検査機器数に対応して自由に設定することができる。図1の(b)では各作業ステーションに割り当てる作業例を簡略化して示してあるが、従来のような場合を含め必要な各種の作業を行えるのは勿論である。
【0043】
以上のような動作を制御する制御部39が、基台41に装備されている。制御部39は 部品供給部11で供給されるその時々に必要な電子部品1を部品取り扱い機構26の吸着ノズル21で吸着保持して、各種に取り扱い、回路基板2に順次装着することを自動的に繰り返し行って、所定の電子回路基板を製造していくのに、1つの回路基板2への電子部品1の装着動作開始時点で、電子部品装着の準備上、部品未吸着状態で検査部13に到着する吸着ノズル21につき、検査部13に到達する都度、吸着ノズル21の検査を順次行って、良否を判定し、不良でない吸着ノズル21により電子部品1の装着を行うようにする。これにより、上記各場合の部品装着方法が所定のプログラムに従って安定して達成される。
【0044】
図3は横軸に図2の各番号の吸着ノズル21を番号順に配する一方、縦軸に制御部39の制御動作の各ステップを動作順に配して、各吸着ノズル21による上記動作の繰り返し状態を示してある。ステップ1では第1の吸着ノズル21につき原点復帰部17aで吸着ノズル21を原点位置に復帰させる−θ回転を行うのに併せ、画像認識による検査部13aに位置している第6の吸着ノズル21の吸着面の画像認識による先端の欠けや異物の有無などの検査を行い、ラインセンサによる高さ検査部13bに位置している第5の吸着ノズル21につき高さ検査を行っている。
【0045】
吸着ノズル21が1ピッチ間欠移動したステップ2では、原点復帰の初期設定操作後ノズル選択部17bに到達した第1の吸着ノズル21につき部品供給部11で吸着すべき電子部品1の種類に対応する吸着ノズル21を選択する最終的な初期設定操作を行うのに併せ、次に原点復帰部17aに到達した第2の吸着ノズル21に原点復帰の初期設定操作を行い、画像認識による検査部13aに位置している第7の吸着ノズル21の吸着面の下方からの画像認識によるちょっとした欠けや異物の有無などの検査を行い、ラインセンサによる側方からの高さ検査部13bに位置している第6の吸着ノズル21につき先端の欠けや折れの検査を行っている。
【0046】
以降、吸着ノズル21の1ピッチずつの間欠移動で、ステップ5まで進むと、ノズル選択の最終的な初期設定操作を終えた前記第1の吸着ノズル21が部品供給部11に到達するので、この第1の吸着ノズル21により初めて電子部品1の吸着を行う。
【0047】
これ以降、吸着ノズル21の1ピッチずつの間欠移動で、ステップ8まで進むと、最初に電子部品1を吸着した前記第1の吸着ノズル21が画像認識による検査部13aに到達するので、第1の吸着ノズル21が保持している電子部品1の吸着姿勢の下方からの画像認識による検査が行われる。次のステップ9に進むと、第1の吸着ノズル21はラインセンサによる側方からの高さ検査部13bに到達するので、前記吸着姿勢検査後の電子部品1につき高さ検査、つまり吸着状態の検査を行う。
【0048】
ステップ11まで進むと、検査部13を経た第1の吸着ノズル21が部品装着部14に到達するので、検査結果が良品であると回路基板2への装着を行い、不良品1aであると不良品排出部15に排出する。ステップ13まで進むと、部品装着後の第1の吸着ノズル21は原点復帰部17aに到達するので、再度原点復帰の初期設定操作を行い、以後そのような動作の繰り返しとなる。他の吸着ノズル21についても、番号の順位に沿って1つずつずれた位相で同じ操作が繰り返される。また、ステップ1〜8において、前記空運転となる第5〜第12の吸着ノズル21につき検査部13での検査が行われ、不良があれば早期に検出して電子部品1の装着に使用されないように、吸着ノズル21のジャンプ使用や交換使用を図る。
【0049】
なお、検査部13a、13bに到着する吸着ノズル21につき、電子部品1の吸着の有無を、下方からの画像認識や側方からの高さ検査機能によって、あるいは別途容易する検査部によって検出し、吸着されているときはその電子部品1の検査を行い、未吸着であれば、吸着ノズル21について検査を行い、不良でない吸着ノズル21により良品である電子部品1の吸着および装着を行うようにもできる。
【0050】
これによると、空運転状態と云う特別な条件設定なしに、前記空運転状態で部品未装着な吸着ノズル21は勿論、吸着ノズル21が吸着ミスなど何らかの理由により電子部品1を吸着しないで検査部13a、13bなどに到達するときでも、検査の機会として活かして前記のような特徴のある検査を行い、吸着ノズル21の全数をより早期に検査することができる。
【0051】
【発明の効果】
本発明によれば、1つの装着対象に部品の装着を開始後、また、1つの装着対象への部品の装着が終了して、次の装着対象への装着を開始した後、生じる空運転での部品未吸着なノズルにつき検査部にて検査を行い、比較的早期にノズルの全数につき良否を判定することができ、時間のロスなく不良なノズルが使用される本数、および頻度を低減し、不良なノズルが使用されることによる作業ロス、部品のロス、製品の歩留りの低下を低減することができる。
【0052】
上記検査は部品未吸着な吸着ノズルに対し行うので、下方からの画像認識による検査では部品の邪魔なしに吸着面のちょっとした欠けや異物の付着などの検査が行え、側方からの高さ検査機能による検査では先端の欠けや折れを検査することができ、これらが見逃されて欠陥のある吸着ノズルが使用し続けられることによる作業ロス、部品のロス、製品の歩留りの低下も軽減することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の実施の形態1での1つの実施例としての部品供給装置の概略構成を示す斜視図である。
【図2】 図1の装置の吸着ノズルの循環移動軌跡と各作業ステーションの配列の関係を示す平面図である。
【図3】 図1の装置における各吸着ノズルによる部品装着の主な動作制御例をステップ順に示す説明図である。
【図4】従来の部品装着装置の斜視図である。
【図5】図4の装置の部品装着の主な動作制御のフローチャートである。
【符号の説明】
1 電子部品
2 回路基板
11 部品供給部
13 検査部
13a 画像認識による検査部
13b 高さ検査機能を有する検査部
14 部品装着部
16 循環移動軌跡
17 初期設定操作部
17a 原点復帰部
17b ノズル選択部
21 吸着ノズル
26 部品取り扱い機構
31 装着ヘッド

Claims (3)

  1. 環移動軌跡上に配された複数のノズルを用い部品の装着を行う部品装着装置のノズル検査方法において、
    1つの装着対象への部品の装着動作開始最初に部品を吸着したノズルがノズル検査部に到達するまで、部品未吸着状態のノズルを検査することを特徴とする部品装着装置のノズル検査方法。
  2. 環移動軌跡上に配された複数のノズルを用い部品の装着を行う部品装着装置のノズル検査方法において、
    1つの装着対象への部品の装着が終了して、次の装着対象への装着を開始した後、最初に部品を吸着したノズルがノズル検査部に到着するまで、部品未吸着状態のノズルを検査することを特徴とする部品装着装置のノズル検査方法。
  3. 前記部品未吸着状態のノズルの検査は、ノズルの高さ検査あるいはノズルの画像検査である請求項1、2のいずれか一項に記載の部品装着装置のノズル検査法。
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