JP2008229811A - 駆動機構、姿勢変化吸収体及び加工装置 - Google Patents
駆動機構、姿勢変化吸収体及び加工装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2008229811A JP2008229811A JP2007076386A JP2007076386A JP2008229811A JP 2008229811 A JP2008229811 A JP 2008229811A JP 2007076386 A JP2007076386 A JP 2007076386A JP 2007076386 A JP2007076386 A JP 2007076386A JP 2008229811 A JP2008229811 A JP 2008229811A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sliding body
- axis direction
- guide rail
- posture change
- fixed
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 title claims abstract description 23
- 238000003754 machining Methods 0.000 title claims description 6
- 230000009471 action Effects 0.000 claims abstract description 46
- 230000008859 change Effects 0.000 claims description 90
- 239000006096 absorbing agent Substances 0.000 claims description 54
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 7
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 7
- 239000011347 resin Substances 0.000 claims description 7
- 229920005989 resin Polymers 0.000 claims description 7
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 claims description 5
- 238000005452 bending Methods 0.000 claims description 4
- 230000036544 posture Effects 0.000 description 81
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 7
- 230000004044 response Effects 0.000 description 4
- 244000043261 Hevea brasiliensis Species 0.000 description 2
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 2
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 2
- 230000005294 ferromagnetic effect Effects 0.000 description 2
- 229920003052 natural elastomer Polymers 0.000 description 2
- 229920001194 natural rubber Polymers 0.000 description 2
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 2
- 229920003051 synthetic elastomer Polymers 0.000 description 2
- 239000005061 synthetic rubber Substances 0.000 description 2
- 230000009466 transformation Effects 0.000 description 2
- 229910018131 Al-Mn Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910018125 Al-Si Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910018140 Al-Sn Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910018137 Al-Zn Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910018461 Al—Mn Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910018520 Al—Si Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910018564 Al—Sn Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910018573 Al—Zn Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910020630 Co Ni Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910002440 Co–Ni Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910017535 Cu-Al-Ni Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910017566 Cu-Mn Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910017773 Cu-Zn-Al Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910017871 Cu—Mn Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910017881 Cu—Ni—Fe Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910017060 Fe Cr Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910002544 Fe-Cr Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910002060 Fe-Cr-Al alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910018657 Mn—Al Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910003286 Ni-Mn Inorganic materials 0.000 description 1
- 206010034719 Personality change Diseases 0.000 description 1
- 229910002796 Si–Al Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 description 1
- 239000002313 adhesive film Substances 0.000 description 1
- UPHIPHFJVNKLMR-UHFFFAOYSA-N chromium iron Chemical compound [Cr].[Fe] UPHIPHFJVNKLMR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000006835 compression Effects 0.000 description 1
- 238000007906 compression Methods 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910021419 crystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000000593 degrading effect Effects 0.000 description 1
- KHYBPSFKEHXSLX-UHFFFAOYSA-N iminotitanium Chemical compound [Ti]=N KHYBPSFKEHXSLX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910001000 nickel titanium Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
- 238000005096 rolling process Methods 0.000 description 1
- 229910052726 zirconium Inorganic materials 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Constituent Portions Of Griding Lathes, Driving, Sensing And Control (AREA)
- Machine Tool Units (AREA)
- Dicing (AREA)
Abstract
【解決手段】ガイドレール20aと、ガイドレール20aに係合して摺動する摺動体21aとガイドレール20aに沿って摺動体21aを移動させる駆動部と摺動体21aに固定される作用要素とを少なくとも備えた移動機構において、摺動体21aと作用要素との間に、摺動体21aに固定される摺動体固定部270と、作用要素に固定される作用要素固定部271と、摺動体固定部270の姿勢変化に対応して摺動体21aの移動方向に対して垂直な方向または水平な方向に湾曲して姿勢変化を吸収する吸収部272とを有する姿勢変化吸収体27aを介在させる。
【選択図】図3
Description
(2)摺動体に対するテーブルの取付け剛性が極端に低下するため、テーブルの負荷荷重の変化により弾性体の変形量が変化し、テーブルの取付け精度が変化する。
(3)摺動体に対するテーブルの取付け剛性が極端に低下するため、慣性力によってテーブルの加減速時に発生する負荷により弾性体の変形量が変化するため、テーブルの取付け精度の変化や揺れが生じる。
(4)天然ゴムや合成ゴム等によって形成された弾性体に、時間の経過と共に圧縮永久歪が生じるため、摺動体に対するテーブルの取付け精度が時間の経過とともに変化する。
2:駆動機構
20a:第一のガイドレール 20b:第二のガイドレール
21a:第一の摺動体 21b:第二の摺動体 21c:第三の摺動体
21d:第四の摺動体 22:駆動部
23:チャックテーブル(作用要素)
230:保持部 231:回転駆動部 232:被固定部
24:送りネジ軸 25:駆動源 26:端末支持部
27a:第一の姿勢変化吸収体 27b:第二の姿勢変化吸収体
27c:第三の姿勢変化吸収体 27d:第四の姿勢変化吸収体
270:摺動体固定部 271:作用要素固定部 272:姿勢変化吸収体
273:水平貫通孔 274:垂直貫通孔 275:支点
276:両端壁部 277:中間壁部
28:第一のボルト 29:第二のボルト
3:切削手段
30:ハウジング 31:スピンドル 32:切削ブレード
4:切り込み送り手段
40:壁部 41:送りネジ軸 42:駆動源 43:端末支持部 44:ガイドレール
45:摺動体
5:割り出し送り手段
50:送りネジ軸 51:駆動源 52:ガイドレール 53:摺動体
6:アライメント手段 60:撮像部
Claims (8)
- ガイドレールと、該ガイドレールに係合して摺動する摺動体と、該ガイドレールに沿って該摺動体を移動させる駆動部と、該摺動体に固定される作用要素とを少なくとも備えた移動機構であって、
該摺動体と該作用要素との間に介在する姿勢変化吸収体を備え、
該姿勢変化吸収体は、該摺動体に固定される摺動体固定部と、該作用要素に固定される作用要素固定部と、該摺動体の移動方向をX軸方向とし該X軸方向に対して水平な方向に直交する方向をY軸方向とし該X軸方向に対して垂直な方向に直交する方向をZ軸方向とした場合に該摺動体固定部の姿勢変化に対応して該X軸方向、該Y軸方向または該Z軸方向に湾曲して該姿勢変化を吸収する吸収部と
から構成される駆動機構。 - 前記ガイドレールは、平行に配設された第一のガイドレールと第二のガイドレールとから構成され、
前記摺動体は、該第一のガイドレールに係合する第一の摺動体及び第二の摺動体と、該第二のガイドレールに係合する第三の摺動体及び第四の摺動体とを有し、
前記姿勢変化吸収体は、該第一の摺動体に固定される第一の姿勢変化吸収体と、該第二の摺動体に固定される第二の姿勢変化吸収体と、該第三の摺動体に固定される第三の姿勢変化吸収体と、該第四の摺動体に固定される第四の姿勢変化吸収体とから構成され、
前記作用要素は、該第一の摺動体、該第二の摺動体、該第三の摺動体及び該第四の摺動体の各作用要素固定部に固定される
請求項1に記載の駆動機構。 - 前記姿勢変化吸収体は、ロックウェル硬度R40以上の金属または樹脂で形成される
請求項1または2に記載の駆動機構。 - 前記姿勢変化吸収体は、前記摺動体固定部の前記X軸方向の両端部から前記Z軸方向に起立する両端壁部と、該摺動体固定部の該X軸方向の中間部から該Z軸方向に起立する中間壁部とを備え、前記吸収部及び前記作用要素固定部は、該両端壁部と該中間壁部との間を該X軸方向に架設して形成される
請求項1、2または3に記載の駆動機構。 - ガイドレールと、該ガイドレールに係合して摺動する摺動体と、該ガイドレールに沿って該摺動体を移動させる駆動部と、該摺動体に固定される作用要素とを少なくとも備えた駆動機構において、該摺動体と該作用要素との間に介在して該摺動体の姿勢変化を吸収する姿勢変化吸収体であって、
該摺動体に固定される摺動体固定部と、該作用要素に固定される作用要素固定部と、該摺動体の移動方向をX軸方向とし該X軸方向に対して水平な方向に直交する方向をY軸方向とし該X軸方向に対して垂直な方向に直交する方向をZ軸方向とした場合に該摺動体固定部の姿勢変化に対応して該摺動体の移動方向に対して該X軸方向、該Y軸方向または該Z軸方向に湾曲して該姿勢変化を吸収する吸収部と
から構成される姿勢変化吸収体。 - ロックウェル硬度R40以上の金属または樹脂で構成される
請求項5に記載の姿勢変化吸収体。 - 請求項1乃至4のいずれかに記載の駆動機構を備えた加工装置であって、
前記作用要素は、被加工物を保持するチャックテーブルであり、
該チャックテーブルに保持された被加工物に対して作用する加工工具を備えた
加工装置。 - 前記加工工具は切削ブレードである
請求項7に記載の加工装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007076386A JP4871183B2 (ja) | 2007-03-23 | 2007-03-23 | 駆動機構、姿勢変化吸収体及び加工装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007076386A JP4871183B2 (ja) | 2007-03-23 | 2007-03-23 | 駆動機構、姿勢変化吸収体及び加工装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008229811A true JP2008229811A (ja) | 2008-10-02 |
JP4871183B2 JP4871183B2 (ja) | 2012-02-08 |
Family
ID=39903206
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007076386A Active JP4871183B2 (ja) | 2007-03-23 | 2007-03-23 | 駆動機構、姿勢変化吸収体及び加工装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4871183B2 (ja) |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN106112570A (zh) * | 2016-08-25 | 2016-11-16 | 江南数控机床有限公司 | 一种加工中心的立柱 |
WO2018042897A1 (ja) * | 2016-08-30 | 2018-03-08 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | ステージ装置、及び荷電粒子線装置 |
CN107984380A (zh) * | 2017-11-29 | 2018-05-04 | 宁波宫铁智能科技有限公司 | 一种侧面三轴动力头结构 |
CN107984246A (zh) * | 2017-11-29 | 2018-05-04 | 宁波宫铁智能科技有限公司 | 一种侧面三轴动力头的竖直移动机构 |
JP2020049580A (ja) * | 2018-09-26 | 2020-04-02 | 株式会社ナガセインテグレックス | 工作機械 |
US11654519B2 (en) | 2018-05-31 | 2023-05-23 | Nagase Integrex Co., Ltd. | Machine tool |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH02229914A (ja) * | 1989-03-01 | 1990-09-12 | T Echi K Kk | 直線摺動用ベアリング及び直線摺動用ベアリングの組付け方法 |
JP2000179548A (ja) * | 1998-12-17 | 2000-06-27 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 移動装置 |
JP2000269307A (ja) * | 1999-03-16 | 2000-09-29 | Hitachi Ltd | 移動テーブル装置 |
JP2002213442A (ja) * | 2001-01-15 | 2002-07-31 | Koyo Seiko Co Ltd | スライド装置 |
JP2006112458A (ja) * | 2004-10-12 | 2006-04-27 | Nsk Ltd | リニアガイド装置 |
JP2006294913A (ja) * | 2005-04-12 | 2006-10-26 | Disco Abrasive Syst Ltd | ウェーハの分割方法 |
-
2007
- 2007-03-23 JP JP2007076386A patent/JP4871183B2/ja active Active
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH02229914A (ja) * | 1989-03-01 | 1990-09-12 | T Echi K Kk | 直線摺動用ベアリング及び直線摺動用ベアリングの組付け方法 |
JP2000179548A (ja) * | 1998-12-17 | 2000-06-27 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 移動装置 |
JP2000269307A (ja) * | 1999-03-16 | 2000-09-29 | Hitachi Ltd | 移動テーブル装置 |
JP2002213442A (ja) * | 2001-01-15 | 2002-07-31 | Koyo Seiko Co Ltd | スライド装置 |
JP2006112458A (ja) * | 2004-10-12 | 2006-04-27 | Nsk Ltd | リニアガイド装置 |
JP2006294913A (ja) * | 2005-04-12 | 2006-10-26 | Disco Abrasive Syst Ltd | ウェーハの分割方法 |
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN106112570A (zh) * | 2016-08-25 | 2016-11-16 | 江南数控机床有限公司 | 一种加工中心的立柱 |
WO2018042897A1 (ja) * | 2016-08-30 | 2018-03-08 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | ステージ装置、及び荷電粒子線装置 |
US10770259B2 (en) | 2016-08-30 | 2020-09-08 | Hitachi High-Tech Corporation | Stage device and charged particle beam device |
CN107984380A (zh) * | 2017-11-29 | 2018-05-04 | 宁波宫铁智能科技有限公司 | 一种侧面三轴动力头结构 |
CN107984246A (zh) * | 2017-11-29 | 2018-05-04 | 宁波宫铁智能科技有限公司 | 一种侧面三轴动力头的竖直移动机构 |
US11654519B2 (en) | 2018-05-31 | 2023-05-23 | Nagase Integrex Co., Ltd. | Machine tool |
US11919112B2 (en) | 2018-05-31 | 2024-03-05 | Nagase Integrex Co., Ltd | Machine tool |
JP2020049580A (ja) * | 2018-09-26 | 2020-04-02 | 株式会社ナガセインテグレックス | 工作機械 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP4871183B2 (ja) | 2012-02-08 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4871183B2 (ja) | 駆動機構、姿勢変化吸収体及び加工装置 | |
US20080210028A1 (en) | Driving mechanism and cutting apparatus having the driving mechanism | |
JP5287979B2 (ja) | 2軸工作機械 | |
US20100054887A1 (en) | Machine tool with a plurality of worktables | |
JP4795040B2 (ja) | プリント基板用穴あけ加工機 | |
JP2004223647A (ja) | 位置決め装置 | |
JP2005028480A (ja) | Nc旋盤 | |
KR20110118549A (ko) | 반동 흡수 장치 및 반도체 조립 장치 | |
JP2001138118A (ja) | プリント基板加工機 | |
JP5380963B2 (ja) | レスト装置を備える工作機械およびレスト装置を用いる加工方法 | |
TW201404522A (zh) | 車床 | |
CN209394366U (zh) | 数控攻牙钻铣一体机及其加工装置 | |
JP4367863B2 (ja) | プリント基板加工機 | |
JP3927739B2 (ja) | プリント基板加工機 | |
JP5435169B1 (ja) | 工作機械 | |
JP2001269827A (ja) | 立形工作機械 | |
JP2005311157A (ja) | 電子部品実装用装置の直動機構 | |
JP4431788B2 (ja) | 工作機械 | |
JP5728824B2 (ja) | 工具のびびり防止装置 | |
CN209394289U (zh) | 数控攻牙钻铣一体机 | |
JP4092948B2 (ja) | ロボットを用いた加工システム及び加工方法 | |
JP2011245563A (ja) | 工作機械 | |
JP2000237923A (ja) | 工作機械 | |
US20240198467A1 (en) | Machine tool | |
JP2005028481A (ja) | 工作機械 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20100225 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20111025 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20111027 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20111118 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4871183 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20141125 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20141125 Year of fee payment: 3 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |