JP2000179548A - 移動装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 スライドに支障を来さず、移動装置の長寿命
化を図る。 【解決手段】 スライドユニット１（１Ａ）がスライド
移動可能に設けられたレール２（２Ａ）と、スライドユ
ニット１（１Ｂ）がスライド移動可能に設けられたレー
ル２（２Ｂ）とが平行に配置されている。スライドユニ
ット１のスライド移動方向正面から見たスライドユニッ
ト１の中心軸ＣＪ１を通るスライドユニット１のスライ
ド移動方向に平行な軸線である中心線に沿って、スライ
ドユニット１に線接触されるスペーサー２０をスライド
ユニット１と移動物３との間に介在させて、上記中心線
上で移動物３及びスペーサー１０をスライドユニット１
にネジ１０により螺合締結して各スライドユニット１に
移動物３を取り付ける。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、例えば、半導体ウ
エハや液晶表示器用のガラス基板、フォトマスク用のガ
ラス基板、光ディスク用の基板などの基板を搬送する基
板搬送機構などに用いられる移動装置に係り、特には、
平行に配置された２本のレール各々にスライド移動可能
に設けられた各スライドユニット間に架設させて移動物
を取り付け、その移動物をレールに沿って移動可能に構
成された移動装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来のこの種の移動装置は、例えば、図
５の平面図及び図６の正面図と側面図に示すように、ス
ライドユニット１（１Ａ）がスライド移動可能に設けら
れたレール２（２Ａ）と、スライドユニット１（１Ｂ）
がスライド移動可能に設けられたレール２（２Ｂ）とが
平行に配置され、各レール２Ａ、２Ｂに設けられた各ス
ライドユニット１Ａ、１Ｂの間に架設させて移動物（移
動対象物を搭載するベース部材）３を取り付けるように
している。なお、図５、図６では、１本のレール２に２
つのスライドユニット１が設けられているので、移動物
３は、同じレール２に設けられた２つのスライドユニッ
ト１の間にも架設させて取り付けられている。

【０００３】この種の移動装置では、例えば、図７に示
すように、スライドユニット１とレール２との対向する
各面に切り欠き状の溝１ａ、２ａが設けられているとと
もに、この溝１ａ、２ａの両端に接続させてスライドユ
ニット１内にベアリング４の循環路５が設けられ、その
溝１ａ、２ｂ間及び循環路５内に多数のベアリング４を
組み込んで、溝１ａ、２ｂ間及び循環路５内で多数のベ
アリング４を移動させることで、スライドユニット１を
レール２に沿ってスライド移動させるように構成されて
いる。

【０００４】そして、スライドユニット１のスライド移
動方向正面から見て、スライドユニット１の中心軸ＣＪ
１を、レール２の中心軸ＣＪ２に一致させるようにスラ
イドユニット１がレール２に設けられている（図６
（ａ）、図７（ａ）参照）。なお、通常、スライドユニ
ット１のスライド移動方向正面から見て、スライドユニ
ット１は中心軸ＣＪ１を中心にして左右対象に構成さ
れ、レール２も中心軸ＣＪ２を中心にして左右対称形に
形成されている。

【０００５】上記移動装置において、各スライドユニッ
ト１に対する移動物３の取り付けは、従来、図５及び図
６に示すように、各スライドユニット１の取り付け面
（上面）１ｂと移動物３の被取り付け面（底面の四隅の
領域）３ａとを面接触させて、移動物３の各被取り付け
面３ａと各スライドユニット１の取り付け面１ｂとを各
々、四箇所でネジ１０により螺合締結して各スライドユ
ニット１に移動物３を取り付けるようにしている。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな構成を有する従来例の場合には、次のような問題が
ある。この種の移動装置では、スライドユニット１付き
のレール２が１つのパーツとして扱われ、スライドユニ
ット１付きのレール２を供給するメーカーでは、個々の
パーツであるスライドユニット１付きのレール２につい
ての組立は高精度で行っている。例えば、１本のレール
２に複数のスライドユニット１が設けられる場合は、同
じレール２に設けた各スライドユニット１の取り付け面
１ｂは同一平面を形成するように高精度に製作してい
る。そのため、同じレール２に設けられたスライドユニ
ット１の間に移動物３を架設させて取り付ける上では、
図５及び図６に示す従来の構成でも特に問題はない。

【０００７】しかしながら、スライドユニット１Ａ付き
のレール２Ａとスライドユニット１Ｂ付きのレール２Ｂ
とは異なるパーツであり、それらスライドユニット１Ａ
付きのレール２Ａとスライドユニット１Ｂ付きのレール
２Ｂとを平行に配置したときにスライドユニット１Ａの
取り付け面１ｂとスライドユニット１Ｂの取り付け面１
ｂとが同一平面を形成することは必ずしも保証されてい
ない。

【０００８】そのため、図８に示すように、それらスラ
イドユニット１Ａ付きのレール２Ａとスライドユニット
１Ｂ付きのレール２Ｂとを平行に配置したときに、スラ
イドユニット１Ａの取り付け面１ｂの高さとスライドユ
ニット１Ｂの取り付け面１ｂの高さとにズレが生じるこ
とがある。

【０００９】このような状態において、従来の構成で各
スライドユニット１Ａ、１Ｂの間に架設させて移動物３
を取り付けると、各スライドユニット１Ａ、１Ｂの取り
付け面１ｂと移動物３の被取り付け面３ａとを面接触さ
せて各スライドユニット１Ａ、１Ｂに移動物３を取り付
ける関係上、図９に示すように、各スライドユニット１
Ａ、１Ｂの取り付け面１ｂが水平面ＨＰに対して傾いた
状態、すなわち、各スライドユニット１Ａ、１Ｂの中心
軸ＣＪ１が、各レール２Ａ、２Ｂの中心軸ＣＪ２に対し
て傾いた状態になって各スライドユニット１Ａ、１Ｂに
移動物３が取り付けられることになる。

【００１０】ここで、スライドユニット１付きのレール
２は、図７に示すように、スライドユニット１の中心軸
ＣＪ１とレール２の中心軸ＣＪ２とが一致している状態
のとき、スライドユニット１の溝１ａ及びレール２の溝
２ａとベアリング４との複数の接触部分６がバランスよ
く接触し、レール２に対してスライドユニット１がスム
ーズにスライドし、スライドユニット１付きのレール２
の劣化を抑制することができる。

【００１１】しかしながら、図９に示すように、スライ
ドユニット１の中心軸ＣＪ１がレール２の中心軸ＣＪ２
に対して傾いた状態になるようなモーメントがスライド
ユニット１に作用すると、スライドユニット１の溝１ａ
及びレール２の溝２ａとベアリング４との接触状態に歪
みが生じ、複数の接触部分６のうちの１部の接触部分６
が非接触となり、その分、他の接触部分６に余分な接触
応力がかかるなど、複数の接触部分６のバランスが崩れ
ることになる。

【００１２】図８に示すスライドユニット１Ａの取り付
け面１ｂの高さとスライドユニット１Ｂの取り付け面１
ｂの高さとのズレは、通常、１mm以下の僅かなズレであ
るが、そのようなズレであっても、従来の構成によって
生じるスライドユニット１の溝１ａ及びレール２の溝２
ａとベアリング４との接触状態の歪みは無視することが
できず、その結果、各レール２Ａ、２Ｂに対してそれぞ
れスライドユニット１Ａ、１Ｂがスムーズにスライドせ
ず、スライドユニット１Ａ（１Ｂ）付きのレール２Ａ
（２Ｂ）の劣化が速く、移動装置の短寿命化を招くなど
の問題が起きている。

【００１３】本発明は、このような事情に鑑みてなされ
たものであって、レールに対するスライドユニットのス
ライドに支障を来さず、移動装置の長寿命化を図ること
ができる移動装置を提供することを目的とする。

【００１４】

【課題を解決するための手段】本発明は、このような目
的を達成するために、次のような構成をとる。すなわ
ち、本発明は、平行に配置された２本のレール各々にス
ライド移動可能に設けられた各スライドユニットの間に
架設させて移動物を取り付け、前記移動物を前記レール
に沿って移動可能に構成された移動装置において、前記
スライドユニットのスライド移動方向正面から見た前記
スライドユニットの中心軸を通る前記スライドユニット
のスライド移動方向に平行な軸線である中心線に沿っ
て、前記スライドユニットまたは前記移動物の少なくと
も一方に線接触されるスペーサーを前記スライドユニッ
トと前記移動物との間に介在させて、前記中心線上で前
記移動物及び前記スペーサーを前記スライドユニットに
締結部材により締結して前記各スライドユニットに前記
移動物を取り付けたことを特徴とするものである。

【００１５】

【作用】本発明の作用は次のとおりである。スライドユ
ニットと移動物との間に、スライドユニットのスライド
移動方向正面から見たスライドユニットの中心軸を通る
スライドユニットのスライド移動方向に平行な軸線であ
る中心線に沿って、スライドユニットまたは移動物の少
なくとも一方に線接触されるスペーサーを介在させて、
上記中心線上で移動物及びスペーサーをスライドユニッ
トに締結部材により締結して各スライドユニットに移動
物を取り付けているので、各レール各々に設けられた各
スライドユニットの取り付け面が同一平面を形成しない
ようにズレている場合であっても、線接触している部分
で、各スライドユニットに対して移動物が揺動して各ス
ライドユニットに対して移動物が傾いて各スライドユニ
ットに移動物が取り付けられる。

【００１６】このとき、スライドユニットと移動物の間
にスペーサーを介在させているので、スライドユニット
の取り付け面と移動物の被取り付け面との間に隙間が形
成され、スライドユニットと干渉することなく移動物の
みが傾けられる。

【００１７】また、スライドユニットまたは移動物の少
なくとも一方とスペーサーとの線接触を、スライドユニ
ットのスライド移動方向正面から見たスライドユニット
の中心軸を通るスライドユニットのスライド移動方向に
平行な軸線である中心線に沿って行っているので、移動
物はその中心線を支点として揺動され、各スライドユニ
ットは中心線を通る中心軸が各レールの中心軸と一致し
た状態を維持して移動物が傾けられる。

【００１８】そして、上記中心線上で移動物及びスペー
サーをスライドユニットに締結部材により締結して各ス
ライドユニットに移動物を取り付けているので、移動物
が傾いて各スライドユニットに取り付けられることによ
る各スライドユニットに対する移動物の取り付け歪み
は、スペーサーや移動物、締結部材などの部材の弾性変
形で吸収される。

【００１９】以上により、各レール各々に設けられた各
スライドユニットの取り付け面が同一平面を形成しない
ようにズレている場合であっても、各スライドユニット
の中心軸が各レールの中心軸と一致した状態を維持し
て、各スライドユニットに移動物を取り付けることがで
きる。

【００２０】なお、本発明では、各レール各々に設けら
れた各スライドユニットの取り付け面が同一平面を形成
している場合にも、何ら支障なく各スライドユニットに
移動物を取り付けることができる。

【００２１】

【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明の実
施の形態を説明する。図１は本発明の一実施例に係る移
動装置の構成を示す平面図であり、図２（ａ）はその正
面図、図２（ｂ）はその側面図、図３は実施例における
スライドユニットへのスペーサー及び移動物の取り付け
状態を示す分解斜視図である。

【００２２】従来と同様に、スライドユニット１（１
Ａ）がスライド移動可能に設けられたレール２（２Ａ）
と、スライドユニット１（１Ｂ）がスライド移動可能に
設けられたレール２（２Ｂ）とが平行に配置されてい
る。

【００２３】各スライドユニット１は、従来と同様に、
スライドユニット１とレール２との対向する各面に設け
られた切り欠き状の溝１ａ、２ａ間及びスライドユニッ
ト１内に設けられた循環路５内に多数のベアリング４を
組み込んで、溝１ａ、２ｂ間及び循環路５内で多数のベ
アリング４を移動させることで、レール２に沿ってスラ
イド移動させるように構成されている（図７参照）。

【００２４】そして、スライドユニット１のスライド移
動方向正面から見て、スライドユニット１の中心軸ＣＪ
１を、レール２の中心軸ＣＪ２に一致させるようにスラ
イドユニット１がレール２に設けられている。また、ス
ライドユニット１のスライド移動方向正面から見て、ス
ライドユニット１は中心軸ＣＪ１を中心にして左右対象
に構成され、レール２も中心軸ＣＪ２を中心にして左右
対称形に形成されている。

【００２５】移動物（移動対象物を搭載するベース部
材）３は、各レール２Ａ、２Ｂに設けられた各スライド
ユニット１Ａ、１Ｂの間に（この実施例では、同じレー
ル２に設けられた２つのスライドユニット１の間にも）
架設させて取り付けるが、この実施例では、断面形状が
略半円形の蒲鉾状のスペーサー２０やネジ１０などを用
いて以下のように各スライドユニット１に移動物３を取
り付けている。

【００２６】すなわち、スライドユニット１のスライド
移動方向正面から見たスライドユニット１の中心軸ＣＪ
１を通るスライドユニット１のスライド移動方向に平行
な軸線である中心線ＣＬに沿って、スライドユニット１
に線接触されるスペーサー２０をスライドユニット１と
移動物３との間に介在させて、上記中心線ＣＬ上で移動
物３及びスペーサー１０をスライドユニット１に、締結
部材に相当するネジ１０により螺合締結して各スライド
ユニット１に移動物３を取り付けるように構成してい
る。

【００２７】図３に示すように、各スライドユニット１
には、上記中心線ＣＬ上に、１つ以上（図では２つ）の
ネジ孔３０が設けられている。また、各スペーサー１０
には、スライドユニット１のネジ孔３０に対応する箇所
にネジ１０を挿通する孔３１が穿設されている。さら
に、移動物３には、全てのスライドユニット１のネジ孔
３０に対応する箇所に、ネジ１０を挿通する孔３２とネ
ジ１０の頭部１０ａを移動物３内に収めるための凹部３
３とが設けられている。

【００２８】このように構成したことにより、図８に示
すように、各レール２Ａ、２Ｂ各々に設けられた各スラ
イドユニット１Ａ、１Ｂの取り付け面１ｂが同一平面を
形成しないようにズレている場合であっても、図４に示
すように、線接触している部分で、各スライドユニット
１Ａ、１Ｂに対して移動物３が揺動して各スライドユニ
ット１Ａ、１Ｂに対して移動物３が水平面ＨＰに対して
傾いて各スライドユニット１Ａ、１Ｂに移動物３が取り
付けられる。

【００２９】このとき、スライドユニット１（１Ａ、１
Ｂ）と移動物３の間にスペーサー２０を介在させている
ので、スライドユニット１（１Ａ、１Ｂ）の取り付け面
１ｂと移動物３の被取り付け面３ａとの間に隙間３４が
形成され、スライドユニット１（１Ａ、１Ｂ）と干渉す
ることなく移動物３のみが傾けられる。

【００３０】また、スライドユニット１（１Ａ、１Ｂ）
とスペーサー２０との線接触を、スライドユニット１
（１Ａ、１Ｂ）のスライド移動方向正面から見たスライ
ドユニット１（１Ａ、１Ｂ）の中心軸ＣＪ１を通るスラ
イドユニット１（１Ａ、１Ｂ）のスライド移動方向に平
行な軸線である中心線ＣＬに沿って行っているので、移
動物３はその中心線ＣＬを支点として揺動され、各スラ
イドユニット１（１Ａ、１Ｂ）は中心線ＣＬを通る中心
軸ＣＪ１が各レール２（２Ａ、２Ｂ）の中心軸ＣＪ２と
一致した状態を維持して移動物３が傾けられる。

【００３１】そして、上記中心線ＣＬ上で移動物３及び
スペーサー２０をスライドユニット１（１Ａ、１Ｂ）に
ネジ１０により螺合締結して各スライドユニット１（１
Ａ、１Ｂ）に移動物３を取り付けているので、移動物３
が傾いて各スライドユニット１（１Ａ、１Ｂ）に取り付
けられることによる各スライドユニット１（１Ａ、１
Ｂ）に対する移動物３の取り付け歪みは、スペーサー２
０や移動物３、ネジ１０などの部材の弾性変形で吸収さ
れる。

【００３２】以上により、各レール２（２Ａ、２Ｂ）各
々に設けられた各スライドユニット１（１Ａ、１Ｂ）の
取り付け面１ｂが同一平面を形成しないようにズレてい
る場合であっても、各スライドユニット１（１Ａ、１
Ｂ）の中心軸ＣＪ１が各レール２（２Ａ、２Ｂ）の中心
軸ＣＪ２と一致した状態を維持して、各スライドユニッ
ト１（１Ａ、１Ｂ）に移動物３を取り付けることができ
る。

【００３３】なお、図２に示すように、本実施例によれ
ば、各レール２（２Ａ、２Ｂ）各々に設けられた各スラ
イドユニット１（１Ａ、１Ｂ）の取り付け面１ｂが同一
平面を形成している場合にも、何ら支障なく各スライド
ユニット１（１Ａ、１Ｂ）に移動物３を取り付けること
ができる。

【００３４】また、先にも説明したように、１つのパー
ツを構成するスライドユニット１付きのレール２は、１
本のレール２に複数のスライドユニット１が設けられる
場合には、同じレール２に設けた各スライドユニット１
の取り付け面１ｂが同一平面を形成するように高精度に
製作しているので、図２（ｂ）に示すように、この実施
例でも、同じレール２に設けられたスライドユニット１
の間に移動物３を架設させて取り付ける上で何ら支障は
ない。

【００３５】ところで、このような移動装置は、例え
ば、基板搬送機構に用いられる。すなわち、基板搬送ア
ームやその基板搬送アームを駆動する機構部などの移動
対象物が、移動物（ベース部材）３の上に搭載され、こ
れら移動対象物がレール２に沿って水平１軸方向に移動
させられる。

【００３６】ここで、先にも説明したように、図８に示
すスライドユニット１Ａの取り付け面１ｂの高さとスラ
イドユニット１Ｂの取り付け面１ｂの高さとのズレは、
通常、１mm以下の僅かなズレである。これに比べて、レ
ール２Ａ、２Ｂの間隔は極めて大きいので、図４に示す
場合の移動物３の傾きはごく僅かであり、移動物３の上
面（移動対象物の搭載面）は略水平面ＨＰであると見做
すことができ、実用上問題はない。なお、図４では、本
実施例の作用をわかり易く図示するために、実際よりも
移動物３の傾きを大きく描いているが、実際は、移動物
３の上面は水平面ＨＰと略等しい程度に僅かに傾けられ
るだけである。

【００３７】また、この移動装置を基板搬送機構以外の
適宜の装置に用いる場合も同様に実用上問題は生じな
い。

【００３８】なお、上記実施例では、スペーサー２０を
移動物３やスライドユニット１と別部材としたが、移動
物３にスペーサー２０を一体的に設けてもよい。

【００３９】また、上記実施例では、スペーサー２０を
スライドユニット１に線接触させたが、本発明はこれに
限らず、例えば、上記実施例の構成において、スペーサ
ー２０を上下逆にしてスペーサー２０を移動物３（の被
取り付け面３ａ）に線接触させて移動物３をスライドユ
ニット１に取り付けても同様の作用効果が得られる。さ
らに、断面形状が円形や楕円形などのスペーサーを用い
て、そのスペーサーをスライドユニット１及び移動物３
の両方に線接触させて移動物３をスライドユニット１に
取り付けても同様の作用効果が得られる。

【００４０】また、上記実施例では、１つのスライドユ
ニット１に対して２箇所でネジ１０により移動物３及び
スペーサー２０と螺合締結したが、締結箇所は、１箇所
以上であればよく、２箇所に限定されない。

【００４１】さらに、上記実施例では、１本のレール２
に２つのスライドユニット１が設けられた場合を例に採
ったが、１本のレール２に１つまたは３つ以上のスライ
ドユニット１が設けられている場合にも本発明は同様に
適用することができる。

【００４２】また、上記実施例では、２つのスライドユ
ニット１付きのレール２を床面上に平行に配置させた場
合を例に採ったが、例えば、２つのスライドユニット１
付きのレール２を天井面に平行に配置させて取り付け、
移動対象物を移動物３から懸垂支持させるような場合に
も本発明は同様に適用することができる。

【００４３】

【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
によれば、平行に配置された２本のレール各々にスライ
ド移動可能に設けられた各スライドユニットの間に架設
させて移動物を取り付け、移動物をレールに沿って移動
可能に構成された移動装置において、スライドユニット
のスライド移動方向正面から見たスライドユニットの中
心軸を通るスライドユニットのスライド移動方向に平行
な軸線である中心線に沿って、スライドユニットまたは
移動物の少なくとも一方に線接触されるスペーサーをス
ライドユニットと移動物との間に介在させて、中心線上
で移動物及びスペーサーをスライドユニットに締結部材
により締結して各スライドユニットに移動物を取り付け
たので、各レール各々に設けられた各スライドユニット
の取り付け面が同一平面を形成している場合はもちろん
のこと、各レール各々に設けられた各スライドユニット
の取り付け面が同一平面を形成しないようにズレている
場合であっても、各スライドユニットの中心軸が各レー
ルの中心軸と一致した状態を維持して、各スライドユニ
ットに移動物を取り付けることができる。従って、レー
ルに対するスライドユニットのスライドに支障を招か
ず、移動装置の長寿命化を図ることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例に係る移動装置の構成を示す
平面図である。

【図２】実施例装置の正面図と側面図である。

【図３】実施例におけるスライドユニットへのスペーサ
ー及び移動物の取り付け状態を示す分解斜視図である。

【図４】平行に配置された２本のレール各々に設けられ
た各スライドユニットの取り付け面が同一平面を形成し
ないようにズレている場合の実施例装置におけるスライ
ドユニットへの移動物の取り付け状態を示す正面図であ
る。

【図５】従来の移動装置の構成を示す平面図である。

【図６】従来装置の正面図と側面図である。

【図７】スライドユニット付きのレールの構造を示す縦
断面図と横断面図である。

【図８】平行に配置された２本のレール各々に設けられ
た各スライドユニットの取り付け面が同一平面を形成し
ないようにズレている状態を示す正面図である。

【図９】平行に配置された２本のレール各々に設けられ
た各スライドユニットの取り付け面が同一平面を形成し
ないようにズレている場合の従来装置におけるスライド
ユニットへの移動物の取り付け状態を示す正面図であ
る。

【符号の説明】

１（１Ａ、１Ｂ）：スライドユニット ２（２Ａ、２Ｂ）：レール ３：移動物 １０：ネジ ２０：スペーサー ＣＪ１：スライドユニットのスライド移動方向正面から
見たスライドユニットの中心軸 ＣＪ２：スライドユニットのスライド移動方向正面から
見たレールの中心軸 ＣＬ：中心線

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 平行に配置された２本のレール各々にス
   ライド移動可能に設けられた各スライドユニットの間に
   架設させて移動物を取り付け、前記移動物を前記レール
   に沿って移動可能に構成された移動装置において、 前記スライドユニットのスライド移動方向正面から見た
   前記スライドユニットの中心軸を通る前記スライドユニ
   ットのスライド移動方向に平行な軸線である中心線に沿
   って、前記スライドユニットまたは前記移動物の少なく
   とも一方に線接触されるスペーサーを前記スライドユニ
   ットと前記移動物との間に介在させて、前記中心線上で
   前記移動物及び前記スペーサーを前記スライドユニット
   に締結部材により締結して前記各スライドユニットに前
   記移動物を取り付けたことを特徴とする移動装置。