JP2000356693A - ステージ機構 - Google Patents
ステージ機構Info
- Publication number
- JP2000356693A JP2000356693A JP11167135A JP16713599A JP2000356693A JP 2000356693 A JP2000356693 A JP 2000356693A JP 11167135 A JP11167135 A JP 11167135A JP 16713599 A JP16713599 A JP 16713599A JP 2000356693 A JP2000356693 A JP 2000356693A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- moving body
- air bearing
- static pressure
- pressure air
- base
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Details Of Measuring And Other Instruments (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 ステージ機構において、ビームのたわみによ
る機能低下を防止する。 【解決手段】 ビーム６はベース１の上方に所定の間隔
をおいて位置し予め定められた方向に延びている。移動
体１４はビームをガイドとしてビームに沿って移動す
る。移動体にはビームの外側に突出する位置でベースに
当接する移動体用静圧空気軸受けパッド１４ａ乃至１４
ｃが配設されており、ビームにはベースとの間に介在し
て少なくとも一つのビーム用静圧空気軸受けパッド１５
が取り付けられている。
る機能低下を防止する。 【解決手段】 ビーム６はベース１の上方に所定の間隔
をおいて位置し予め定められた方向に延びている。移動
体１４はビームをガイドとしてビームに沿って移動す
る。移動体にはビームの外側に突出する位置でベースに
当接する移動体用静圧空気軸受けパッド１４ａ乃至１４
ｃが配設されており、ビームにはベースとの間に介在し
て少なくとも一つのビーム用静圧空気軸受けパッド１５
が取り付けられている。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は移動体がガイド上を
移動するステージ機構に関し、特に、ステージ機構に用
いられる構造体支持構造に関する。
移動するステージ機構に関し、特に、ステージ機構に用
いられる構造体支持構造に関する。
【０００２】
【従来の技術】一般に、ステージ機構として移動体がガ
イドに沿って移動するものが知られている。
イドに沿って移動するものが知られている。
【０００３】ここで、図３を参照して、従来のステージ
機構について説明する。
機構について説明する。
【０００４】図示のステージ機構は、静圧軸受を用いた
１軸のステージ機構であり、ベース１上には一本のビー
ム６が固定されている。ビーム６上には移動体１４が配
置されており、移動体１４はビーム６をガイドとしてビ
ーム６に沿って移動することができる。図示のステージ
機構では、ビーム６及び移動体１４は、例えば、セラミ
ックのような寸法管理が容易で、かつ、高い剛性を有す
る材料で作成される。
１軸のステージ機構であり、ベース１上には一本のビー
ム６が固定されている。ビーム６上には移動体１４が配
置されており、移動体１４はビーム６をガイドとしてビ
ーム６に沿って移動することができる。図示のステージ
機構では、ビーム６及び移動体１４は、例えば、セラミ
ックのような寸法管理が容易で、かつ、高い剛性を有す
る材料で作成される。
【０００５】さらに、ステージ機構として、図４に示す
静圧軸受を用いた２軸のステージ機構が知られている。
図４を参照して、ベース１上には２本のレール２及び３
が所定の間隔をおいて配設されている。レール２及び３
にはそれぞれ移動体４及び５が配置されており、移動体
４及び５はそれぞれレール２及び３に沿って移動する
（運動する）。また、移動体４及び５はビーム６によっ
て連結されており、この結果、移動体４及び５がレール
２及び３上を移動するに連れてビーム６も移動すること
になる。そして、ビーム６上には移動体１４が配置され
ており、移動体１４はビーム６をガイドとしてビーム６
に沿って移動することができる。
静圧軸受を用いた２軸のステージ機構が知られている。
図４を参照して、ベース１上には２本のレール２及び３
が所定の間隔をおいて配設されている。レール２及び３
にはそれぞれ移動体４及び５が配置されており、移動体
４及び５はそれぞれレール２及び３に沿って移動する
（運動する）。また、移動体４及び５はビーム６によっ
て連結されており、この結果、移動体４及び５がレール
２及び３上を移動するに連れてビーム６も移動すること
になる。そして、ビーム６上には移動体１４が配置され
ており、移動体１４はビーム６をガイドとしてビーム６
に沿って移動することができる。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】ところで、近年、ステ
ージ機構が大型化する傾向にあり、図３及び図４に示す
ステージ機構ともに、移動体１４の移動量（ストロー
ク）を大きくするため、ビーム６の長さを長くしてお
り、さらに、移動体１４に搭載される負荷質量が大きく
なっている。この結果、ビーム６のたわみ量が無視でき
ない量となっている。そして、このようなたわみが発生
すると、移動体がスムースに移動できなくなってしま
う。
ージ機構が大型化する傾向にあり、図３及び図４に示す
ステージ機構ともに、移動体１４の移動量（ストロー
ク）を大きくするため、ビーム６の長さを長くしてお
り、さらに、移動体１４に搭載される負荷質量が大きく
なっている。この結果、ビーム６のたわみ量が無視でき
ない量となっている。そして、このようなたわみが発生
すると、移動体がスムースに移動できなくなってしま
う。
【０００７】特に、図４に示すステージ機構において、
ビーム６のたわみ量を最小にするためにビーム６の中央
を保持しようにも、図４に示す構成では移動体１４がビ
ーム６の４面をガイドとして用いている関係上、ビーム
６に支持体等を接触させることができない。さらに、ビ
ーム６自体がレール方向に移動するため、支持体をビー
ム６の移動に追従させて移動させなければならない。
ビーム６のたわみ量を最小にするためにビーム６の中央
を保持しようにも、図４に示す構成では移動体１４がビ
ーム６の４面をガイドとして用いている関係上、ビーム
６に支持体等を接触させることができない。さらに、ビ
ーム６自体がレール方向に移動するため、支持体をビー
ム６の移動に追従させて移動させなければならない。
【０００８】本発明の目的はビームのたわみを容易に防
止することのできるステージ機構を提供することにあ
る。
止することのできるステージ機構を提供することにあ
る。
【０００９】
【課題を解決するための手段】本発明によれば、ベース
の上方に所定の間隔をおいて位置し予め定められた方向
に延びるビームと、該ビームをガイドとして前記ビーム
に沿って移動する移動体とを有し、前記移動体には前記
ビームの外側に突出する位置で前記ベースに当接する少
なくとも一つの移動体用静圧空気軸受けパッドが配設さ
れており、前記ビームには前記ベースとの間に介在して
少なくとも一つのビーム用静圧空気軸受けパッドが取り
付けられていることを特徴とするステージ機構が得られ
る。
の上方に所定の間隔をおいて位置し予め定められた方向
に延びるビームと、該ビームをガイドとして前記ビーム
に沿って移動する移動体とを有し、前記移動体には前記
ビームの外側に突出する位置で前記ベースに当接する少
なくとも一つの移動体用静圧空気軸受けパッドが配設さ
れており、前記ビームには前記ベースとの間に介在して
少なくとも一つのビーム用静圧空気軸受けパッドが取り
付けられていることを特徴とするステージ機構が得られ
る。
【００１０】
【発明の実施の形態】以下本発明について図面を参照し
て説明する。
て説明する。
【００１１】まず、図１を参照して、図１において、図
４と同一の構成要素については同一の参照番号を付す。
ベース１上には２本のレール２及び３が所定の間隔をお
いて配設されており、レール２及び３にはそれぞれ移動
体４及び５が配置されている。ここで、レール２及び移
動体４に着目すると、図１（ｂ）に示すように、移動体
４には静圧空気軸受けパッド１２が備えられており、レ
ール２と移動体４との間には静圧空気軸受けパッド１２
が介在している。この静圧空気軸受けパッド１２によっ
て移動体４は図１（ａ）に示すＸ軸方向にガイドされて
いる。さらに、図１（ｂ）に示すように、移動体４には
静圧空気軸受けパッド１３が備えられており、移動体４
は静圧空気軸受けパッドでベース１によってＺ軸方向
（図１（ｂ）において上方向）にガイドされて図１
（ａ）に示すＹ軸方向、つまり、レール２に沿って移動
する。
４と同一の構成要素については同一の参照番号を付す。
ベース１上には２本のレール２及び３が所定の間隔をお
いて配設されており、レール２及び３にはそれぞれ移動
体４及び５が配置されている。ここで、レール２及び移
動体４に着目すると、図１（ｂ）に示すように、移動体
４には静圧空気軸受けパッド１２が備えられており、レ
ール２と移動体４との間には静圧空気軸受けパッド１２
が介在している。この静圧空気軸受けパッド１２によっ
て移動体４は図１（ａ）に示すＸ軸方向にガイドされて
いる。さらに、図１（ｂ）に示すように、移動体４には
静圧空気軸受けパッド１３が備えられており、移動体４
は静圧空気軸受けパッドでベース１によってＺ軸方向
（図１（ｂ）において上方向）にガイドされて図１
（ａ）に示すＹ軸方向、つまり、レール２に沿って移動
する。
【００１２】なお、同様に、移動体５にも静圧空気軸受
けパッド１２及び１３が備えられており、移動体５はレ
ール３に沿って移動可能となっている。
けパッド１２及び１３が備えられており、移動体５はレ
ール３に沿って移動可能となっている。
【００１３】ビーム６は移動体４とリジット（例えば、
ネジを用いて）に固定されており、一方、ビーム６は移
動体５と板バネ構造によって連結されている。
ネジを用いて）に固定されており、一方、ビーム６は移
動体５と板バネ構造によって連結されている。
【００１４】ビーム６に移動体１４が配置されており、
移動体１４はビーム６をガイドとして、図１（ａ）のＸ
軸方向に移動する。図１（ｂ）に示すように、ベース１
と移動体１４との間には静圧空気軸受けパッド１４ａ乃
至１４ｃが配置されている。つまり、移動体１４には静
圧空気軸受けパッド１４ａ乃至１４ｃが取り付けられて
おり、移動体１４は静圧空気軸受けパッド１４ａ乃至１
４ｃによってベース１に対してＺ軸方向をガイドされ
て、Ｘ軸方向に移動する。
移動体１４はビーム６をガイドとして、図１（ａ）のＸ
軸方向に移動する。図１（ｂ）に示すように、ベース１
と移動体１４との間には静圧空気軸受けパッド１４ａ乃
至１４ｃが配置されている。つまり、移動体１４には静
圧空気軸受けパッド１４ａ乃至１４ｃが取り付けられて
おり、移動体１４は静圧空気軸受けパッド１４ａ乃至１
４ｃによってベース１に対してＺ軸方向をガイドされ
て、Ｘ軸方向に移動する。
【００１５】図１（ａ）に示されているように、移動体
１４はビーム６を跨ぐようにしてビーム６上に配置され
ており、移動体１４にはビーム６に対して直角にベース
１に対して平行に延びる一対のフランジ部１４１が形成
されている。つまり、移動体１４にはＹ軸方向に延在す
るフランジ部１４１が形成されており、このフランジ部
１４１はビーム６の外側に位置する。そして、フランジ
部１４１には静圧空気軸受けパッド１４ａ乃至１４ｃが
取り付けられている（図１（ａ）に示す例では、図中下
側に位置するフランジ部１４１に静圧空気軸受けパッド
１４ａ及び１４ｂが取り付けられ、図中上側に位置する
フランジ部１４１に静圧空気軸受けパッド１４ｃが取り
付けられている。
１４はビーム６を跨ぐようにしてビーム６上に配置され
ており、移動体１４にはビーム６に対して直角にベース
１に対して平行に延びる一対のフランジ部１４１が形成
されている。つまり、移動体１４にはＹ軸方向に延在す
るフランジ部１４１が形成されており、このフランジ部
１４１はビーム６の外側に位置する。そして、フランジ
部１４１には静圧空気軸受けパッド１４ａ乃至１４ｃが
取り付けられている（図１（ａ）に示す例では、図中下
側に位置するフランジ部１４１に静圧空気軸受けパッド
１４ａ及び１４ｂが取り付けられ、図中上側に位置する
フランジ部１４１に静圧空気軸受けパッド１４ｃが取り
付けられている。
【００１６】ビーム６の中央部において、その下面には
静圧空気軸受けパッド１５が取り付けられ、この静圧空
気軸受けパッド１５はベース１に当接している。そし
て、静圧空気軸受けパッド１５によって、ビーム６が支
えられている。つまり、静圧空気軸受けパッド１５は、
移動体１４の移動を妨げることなく、Ｘ軸方向及びＹ軸
方向の全ストロークに亘ってビーム６に追従しつつビー
ム６の自重を受け持っており、ビーム６と移動体５の締
結部等に無理な負荷を掛けないようにビーム６を保持し
ている。
静圧空気軸受けパッド１５が取り付けられ、この静圧空
気軸受けパッド１５はベース１に当接している。そし
て、静圧空気軸受けパッド１５によって、ビーム６が支
えられている。つまり、静圧空気軸受けパッド１５は、
移動体１４の移動を妨げることなく、Ｘ軸方向及びＹ軸
方向の全ストロークに亘ってビーム６に追従しつつビー
ム６の自重を受け持っており、ビーム６と移動体５の締
結部等に無理な負荷を掛けないようにビーム６を保持し
ている。
【００１７】図２を参照して、本発明によるステージ機
構の他の例について説明する。なお、図２において、図
１と同一の構成要素については、同一の参照番号を付
し、説明を省略することとする。
構の他の例について説明する。なお、図２において、図
１と同一の構成要素については、同一の参照番号を付
し、説明を省略することとする。
【００１８】図示の例は、レール２のみがベース１上に
配設されており、このレール２上には移動体４が配置さ
れている。前述のように、移動体４にはビーム６の一端
部がリジットに固定されており、移動体４には静圧空気
軸受けパッド１２が備えられており、レール２と移動体
４との間には静圧空気軸受けパッド１２が介在してい
る。この静圧空気軸受けパッド１２によって移動体４は
Ｘ軸方向にガイドされている。さらに、移動体４には静
圧空気軸受けパッド１３が備えられており、移動体４は
静圧空気軸受けパッドでベース１によってＺ軸方向にガ
イドされて、Ｙ軸方向、つまり、レール２に沿って移動
する。
配設されており、このレール２上には移動体４が配置さ
れている。前述のように、移動体４にはビーム６の一端
部がリジットに固定されており、移動体４には静圧空気
軸受けパッド１２が備えられており、レール２と移動体
４との間には静圧空気軸受けパッド１２が介在してい
る。この静圧空気軸受けパッド１２によって移動体４は
Ｘ軸方向にガイドされている。さらに、移動体４には静
圧空気軸受けパッド１３が備えられており、移動体４は
静圧空気軸受けパッドでベース１によってＺ軸方向にガ
イドされて、Ｙ軸方向、つまり、レール２に沿って移動
する。
【００１９】ビーム６の他端部にはＹ軸方向に延びる腕
部材１７が取り付けられている。腕部材１７の下面には
Ｙ軸方向に所定の間隔をおいて静圧空気軸受けパッド１
７ａ及び１７ｂが取り付けられており、腕部材１７は、
静圧空気軸受けパッド１７ａ及び１７ｂを介してベース
１に当接している。
部材１７が取り付けられている。腕部材１７の下面には
Ｙ軸方向に所定の間隔をおいて静圧空気軸受けパッド１
７ａ及び１７ｂが取り付けられており、腕部材１７は、
静圧空気軸受けパッド１７ａ及び１７ｂを介してベース
１に当接している。
【００２０】ビーム６の中央部において、その下面には
静圧空気軸受けパッド１８ａ及び１８ｂがビーム６の幅
方向（Ｙ軸方向）所定の間隔をおいて取り付けてもよ
く、これら静圧空気軸受けパッド１８ａ及び１８ｂはベ
ース１に当接している。そして、静圧空気軸受けパッド
１８ａ及び１８ｂによって、ビーム６が支えられてい
る。つまり、静圧空気軸受けパッド１８ａ及び１８ｂ
は、移動体１４の移動を妨げることなく、Ｘ軸方向及び
Ｙ軸方向の全ストロークに亘ってビーム６に追従しつつ
ビーム６の自重を受け持っている。なお、一対の静圧空
気軸受けパッド１８ａ及び１８ｂをビーム６に取り付け
ることによって、ビーム６のＸ軸に対する回転、つま
り、ねじれを防止することができる。
静圧空気軸受けパッド１８ａ及び１８ｂがビーム６の幅
方向（Ｙ軸方向）所定の間隔をおいて取り付けてもよ
く、これら静圧空気軸受けパッド１８ａ及び１８ｂはベ
ース１に当接している。そして、静圧空気軸受けパッド
１８ａ及び１８ｂによって、ビーム６が支えられてい
る。つまり、静圧空気軸受けパッド１８ａ及び１８ｂ
は、移動体１４の移動を妨げることなく、Ｘ軸方向及び
Ｙ軸方向の全ストロークに亘ってビーム６に追従しつつ
ビーム６の自重を受け持っている。なお、一対の静圧空
気軸受けパッド１８ａ及び１８ｂをビーム６に取り付け
ることによって、ビーム６のＸ軸に対する回転、つま
り、ねじれを防止することができる。
【００２１】また、一対の静圧空気軸受けパッド１８ａ
及び１８ｂをＸ軸方向に所定の間隔をおいて取り付ける
ことによって、ビーム６のたわみを防止することができ
る。
及び１８ｂをＸ軸方向に所定の間隔をおいて取り付ける
ことによって、ビーム６のたわみを防止することができ
る。
【００２２】
【発明の効果】以上説明したように、本発明では静圧空
気軸受けパッドをビームの中央部に配置して、ビームの
中央部でベースに対してビームを支持するようにしたか
ら、ガイド構造体、つまり、容易にビームのたわみ及び
ねじれを防止することができ、移動体をスムースに移動
させることができるという効果がある。
気軸受けパッドをビームの中央部に配置して、ビームの
中央部でベースに対してビームを支持するようにしたか
ら、ガイド構造体、つまり、容易にビームのたわみ及び
ねじれを防止することができ、移動体をスムースに移動
させることができるという効果がある。
【００２３】さらに、ビームのたわみ等を心配する必要
がないので、組み立て調整に要する時間が削減でき、コ
ストダウンがはかれるという利点もある。
がないので、組み立て調整に要する時間が削減でき、コ
ストダウンがはかれるという利点もある。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明によるステージ機構の一例を示す図であ
り、（ａ）は平面図、（ｂ）は断面図である。
り、（ａ）は平面図、（ｂ）は断面図である。
【図２】本発明によるステージ機構の他の例を示す図で
あり、（ａ）は平面図、（ｂ）は断面図、（ｃ）は
（ａ）のＡ−Ａ線断面図である。
あり、（ａ）は平面図、（ｂ）は断面図、（ｃ）は
（ａ）のＡ−Ａ線断面図である。
【図３】従来のステージ機構の一例を示す図である。
【図４】従来のステージ機構の他の例を示す図である。
１ ベース ２，３ レール ４，５，１４ 移動体 ６ ビーム ８ 板バネ １２，１３，１５ 静圧空気軸受けパッド
Claims (4)
- 【請求項１】 ベースの上方に所定の間隔をおいて位置
し予め定められた方向に延びるビームと、該ビームをガ
イドとして前記ビームに沿って移動する移動体とを有
し、前記移動体には前記ビームの外側に突出する位置で
前記ベースに当接する少なくとも３つの移動体用静圧空
気軸受けパッドが配設されており、前記ビームには前記
ベースとの間に介在して少なくとも一つのビーム用静圧
空気軸受けパッドが取り付けられていることを特徴とす
るステージ機構。 - 【請求項２】 請求項１に記載されたステージ機構にお
いて、前記ビーム用静圧空気軸受けパッドは前記予め定
められた方向で前記ビームの中央部に取り付けられてい
ることを特徴とするステージ機構。 - 【請求項３】 請求項２に記載されたステージ機構にお
いて、前記ベース上に所定の間隔をおいて配設され前記
予め定められた方向に直交する直交方向に延びる第１及
び第２のレールが配設され、前記第１及び前記第２のレ
ールにはそれぞれ前記第１及び前記第２のレールに沿っ
て移動する第１及び第２の移動体が配置されており、前
記ビームは前記第１及び前記第２の移動体と連結したこ
とを特徴とするステージ機構。 - 【請求項４】 請求項２に記載されたステージ機構にお
いて、前記ベース上には前記予め定められた方向に直交
する直交方向に延びるレールが配設され、前記レールに
はレールに沿って移動する移動体が配置されており、前
記ビームの一端は前記移動体に固定され前記ビームの他
端には前記レール方向に延びる腕部が固定されており、
前記腕部は腕部用静圧空気軸受けパッドを介して前記ベ
ースに当接し、前記ビームの中央部には前記直交方向に
所定の間隔をおいて一対のビーム用静圧空気軸受けパッ
ドが配設されていることを特徴とするステージ機構。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16713599A JP3458227B2 (ja) | 1999-06-14 | 1999-06-14 | ステージ機構 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16713599A JP3458227B2 (ja) | 1999-06-14 | 1999-06-14 | ステージ機構 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000356693A true JP2000356693A (ja) | 2000-12-26 |
| JP3458227B2 JP3458227B2 (ja) | 2003-10-20 |
Family
ID=15844084
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16713599A Expired - Fee Related JP3458227B2 (ja) | 1999-06-14 | 1999-06-14 | ステージ機構 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3458227B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010099814A (ja) * | 2008-10-27 | 2010-05-06 | Ihi Corp | Ｘｙステージ装置 |
| US7743998B2 (en) | 2003-10-23 | 2010-06-29 | Sumitomo Heavy Industries, Ltd. | Stage device |
| KR101210452B1 (ko) * | 2010-06-01 | 2012-12-11 | 에버테크노 주식회사 | 스테이지 |
-
1999
- 1999-06-14 JP JP16713599A patent/JP3458227B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7743998B2 (en) | 2003-10-23 | 2010-06-29 | Sumitomo Heavy Industries, Ltd. | Stage device |
| JP2010099814A (ja) * | 2008-10-27 | 2010-05-06 | Ihi Corp | Ｘｙステージ装置 |
| KR101210452B1 (ko) * | 2010-06-01 | 2012-12-11 | 에버테크노 주식회사 | 스테이지 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3458227B2 (ja) | 2003-10-20 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US5760564A (en) | Dual guide beam stage mechanism with yaw control | |
| JP4416893B2 (ja) | 少なくとも１つの光学要素を有する光学結増装置 | |
| US5228358A (en) | Motion guiding device | |
| KR20010014500A (ko) | 조정 앗셈블리 | |
| JPS61171933A (ja) | 移動する荷重体のための懸吊装置 | |
| JP4160824B2 (ja) | 昇降用案内ユニット及びそれを組み込んだステージ装置 | |
| JP2000356693A (ja) | ステージ機構 | |
| US6629471B2 (en) | X-Y stage apparatus capable of reducing the number of drive sources | |
| JP2002189091A (ja) | Ｘ−ｙステージ装置 | |
| JP2940663B2 (ja) | ステージの縦横移動旋回支持機構 | |
| JP2002158274A (ja) | 位置決め装置 | |
| KR100485978B1 (ko) | 궤도차량보기의와전류브레이크현가장치 | |
| JP2004069703A (ja) | 座標測定台 | |
| JPS6369076A (ja) | 光デイスク装置のヘツドキヤリツジ | |
| US4872358A (en) | Driving mechanism having a pressure member | |
| JPH05166B2 (ja) | ||
| JPS6226676A (ja) | デイスク装置のキヤリツジ支持装置 | |
| JP3674338B2 (ja) | 直動アクチュエータ | |
| JP3909625B2 (ja) | 静圧空気軸受直線案内装置 | |
| JP3981660B2 (ja) | 縦横移動旋回装置 | |
| JP4331329B2 (ja) | レーザー墨出し器 | |
| JPS5837544Y2 (ja) | ワイヤカツト放電加工装置 | |
| JPH11277351A (ja) | 直動テーブル | |
| JPS6243169Y2 (ja) | ||
| JPH05200684A (ja) | 移動テーブル |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20030702 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080808 Year of fee payment: 5 |
|
| S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080808 Year of fee payment: 5 |
|
| R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080808 Year of fee payment: 5 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090808 Year of fee payment: 6 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090808 Year of fee payment: 6 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100808 Year of fee payment: 7 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100808 Year of fee payment: 7 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110808 Year of fee payment: 8 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110808 Year of fee payment: 8 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120808 Year of fee payment: 9 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120808 Year of fee payment: 9 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130808 Year of fee payment: 10 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |