JP2008218159A - Tftアレイ検査装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】電子線を基板に照射して得られる2次電子をエネルギー選別して検出することにより基板の欠陥を検出するTFTアレイ検査装置において、エネルギー選別を行うエネルギーフィルタと、エネルギーフィルタを通過した2次電子を検出する2次電子検出器とを備え、エネルギーフィルタは少なくとも2枚のグリッドを有し、この各グリッドに異なる電圧を印加する。
【選択図】図1
Description
2次電子がフィルタを通過する際のエネルギー
=(フィルタ電位−試料電位)によるエネルギー+2次電子の初速エネルギー
Claims (4)
- 電子線を基板に照射して得られる2次電子をエネルギー選別して検出することにより基板の欠陥を検出するTFTアレイ検査装置において、
前記エネルギー選別を行うエネルギーフィルタと、
前記エネルギーフィルタを通過した2次電子を検出する2次電子検出器とを備え、
前記エネルギーフィルタは少なくとも2枚のグリッドを有し、当該各グリッドに異なる電圧を印加することを特徴とする、TFTアレイ検査装置。 - 前記エネルギーフィルタは、基板と2次電子検出器との間に配置し、
基板から遠い側に配置したグリッドに印加する電圧を、基板に近い側に配置したグリッドに印加する電圧よりも高電圧とすることを特徴とする、請求項1に記載のTFTアレイ検査装置。 - 基板電位に対する2次電子検出器の2次電子検出強度特性を、前記エネルギーフィルタのグリッドに印加する電圧差により可変とすることを特徴とする、請求項1又は2に記載のTFTアレイ検査装置。
- 前記各グリッドに印加する電圧を基板に印加する検査信号に応じて可変とすることを特徴とする、請求項1に記載のTFTアレイ検査装置。
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2007
- 2007-03-02 JP JP2007053087A patent/JP5077643B2/ja not_active Expired - Fee Related
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