JP2008207221A - 常温接合方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ウエハやチップ,基板やパッケージ,その他の各種被接合材のそれぞれの接合面に,到達圧力を10-4Pa以下の高真空度とした真空雰囲気において,例えばスパッタリングやイオンプレーティング等の真空成膜方法により,かつ,好ましくはプラズマの発生下で金属や各種化合物の微結晶構造を有する被膜を接合面に形成し,前記被膜の成膜中,あるいは成膜後に真空を維持したまま,前記被接合材の前記接合面に形成された被膜相互もしくは,他方の接合面に被膜を形成しない場合には,洗浄活性化処理し被膜を形成した一方の接合面と,この活性化処理した活性化接合面を常温で重合する。これにより,前記接合面間に生じた結合により前記被接合材間を接合することができる。
【選択図】図1
Description
前記高真空度雰囲気において,
a)被膜形成
前記被接合材の少なくとも一方の接合面に微結晶構造を有する被膜を形成し,
b)洗浄活性化処理
他方の接合面に被膜を形成しない場合において,前記一方の接合面に形成された微結晶構造の被膜に重合される被膜を有しない前記他方の接合面は,これを洗浄活性化処理し,
c)重合
c-1)前記被接合材の前記両接合面に形成された微結晶構造の両被膜
又は,
c-2)前記一方の微結晶構造の被膜と前記他方の活性化接合面を常温で重合し,
d)接合
前記被膜間又は前記被膜と前記活性化接合面に生じた結合により前記被接合材間を接合する
ことを特徴とする(請求項1)。
1.接合方法概略
本発明の接合方法は,スパッタリングやイオンプレーティング等の真空成膜により真空中で成膜した被膜を,成膜中,あるいは成膜後の所定の時間内に重ね合わせると,被膜間の接合面において原子レベルで金属結合,あるいは分子間結合が生じることの知見を得,これを被接合材の接合に適応したものであり,下記の条件等において被接合材間の接合を行うことができる。
(1)材質
本発明の方法により接合が行われる被接合材としては,スパッタリングやイオンプレーティング等,到達真空度が10-4Pa以下の高真空度である真空容器を用いた高真空度雰囲気における真空成膜により被膜を形成可能な材質であれば如何なるものをも対象とすることができ,各種の純金属,合金の他,Si基板等の半導体,ガラス,セラミックス,樹脂,酸化物等であって前記方法による被膜の形成が可能であれば被接合材とすることができる。
被接合材の形状は特に限定されず,例えば平板状のものから各種の複雑な立体形状のもの迄,その用途,目的に応じて各種の形状のものを接合対象とすることができるが,他方の被接合材との接合が行われる部分(接合面)については所定の精度で平坦に形成されていることが必要である。
(1)材質
形成する被膜の材質としては,被接合材と同種材質の被膜を形成しても良く,また,目的に応じて被接合材とは異種材質の被膜を形成しても良く,さらに,被接合材の一方に形成する被膜の材質と,被接合材の他方に形成する被膜の材質とをそれぞれ異なる材質としても良く,両者間の固溶が可能な組合せのみならず,CoとCuのように非固溶となる組合せであっても良く,また,金属と半金属等,その組合せは目的に応じて適宜任意に行うことができる。
形成する膜厚は特に限定されないが,形成する膜厚が厚くなるに従って,得られた被膜の表面粗さが増大して接合が困難となると共に,厚みのある被膜の形成には長時間を要し,生産性が低下する。
被膜は,固体中に比べて原子の拡散速度が大きく,特に,拡散速度が極めて大きくなる粒界の占める割合が大きい微結晶構造であることが好ましく,膜面内方向の平均粒径は50nm以下であれば良く,好ましくは20nm以下である。
さらに,特に被膜として拡散速度が速い材質を用いる場合等では,一方の接合面にのみ被膜を形成した場合でも,他方の接合面の表面を接合直前に洗浄活性化処理することにより,十分な接合強度を得ることができる。
(1)成膜技術
本発明の接合方法において,被接合材の接合面に形成する被膜の形成方法としては,スパッタリングやイオンプレーティング等のPVDの他,CVD,各種蒸着等,到達真空度が10-4Pa以下の高真空度である真空容器において真空雰囲気における真空成膜を行う各種の成膜法を挙げることができ,拡散速度が比較的遅い材質及びその合金や化合物等については,前述したように好ましくは形成された被膜の内部応力を高めることのできるプラズマの発生下で成膜を行う真空成膜方法,例えばスパッタリングによる。
被膜形成の際の真空容器内の圧力は,到達真空度が10-4Pa(10-6Torr)より低い圧力(高真空度)の真空雰囲気であれば良く,好ましくは10-5〜10-6Pa(10-7〜10-8Torr),より好ましくは10-6Pa(10-8Torr)以下の高真空度雰囲気である。
成膜方法がスパッタリングである場合,成膜時における不活性ガス(一般的にはArガス)の圧力は,放電可能な領域,例えば0.01Pa以上であることが好ましく,また30Pa(300μbar)を越えると接着を行うことができない場合が生じるため,上限は30Pa(300μbar)程度である。これは,Arガス圧が上昇すると,形成された被膜の表面粗さが増加するためである。
重合される被膜の表面は清浄であることが好ましく,被膜の表面が真空容器内に残留している不純物ガス等との反応によって汚染が進行するに従い,被膜相互の付着強度は低下してゆき,やがて接合自体ができなくなる。
本発明による常温接合方法を実現するための装置の一例を図1に示す。図1において,被膜形成を行う真空容器内の上部に,スパッタを行うためのマグネトロンカソードを配置すると共に,このマグネトロンカソードの下部に,相互に貼り合わされる被接合材を載置する治具を配置し,この治具に取り付けた被接合材の接合面に対して被膜を形成する。
1−1.実験例1(Pt/Pt膜形成による接合)
(1)実験方法
到達真空度5×10-8Torr(6.65×10-6Pa)のマグネトロンスパッタ装置〔カソード径2インチφ(5.08mm);図1参照〕により,Si基板上にそれぞれ約20nmのPt膜を形成して接合試験を行った。
図2に,上記方法によって貼り合わせたSi基板の断面TEM像を示す。
(1)実験方法
形成する被膜をTiとした点,及び,成膜速度を0.09nm/sとした点を除き,使用したマグネトロンスパッタ装置,被接合材として使用したSi基板,その他の実験条件は前述した実験例1と同条件である。
図3に,上記方法によって貼り合わせたSi基板の断面TEM像を示す。
上記の他,Cu,Au,Co被膜を形成した被接合材において,同様にして接合試験を行い,良好に接合できることを確認した。
(1)目的
スパッタリングにより成膜を行う場合において,不活性ガス(Arガス)圧と接合状態との関係を求める。
リム状物を備えた特殊な基板を使用して各種成膜条件による付着強度を算出した。
(1)目的
被膜表面の清浄性と付着強度との関係を確認するために,被膜の成膜から重合を行う迄の保持時間を変化させて,付着状態の変化を確認した。
被接合材に対して被膜を形成した後,所定時間の保持時間を経過させた後,被膜相互の重合を行った。
(1)ウエハレベルで積層化,集積化した新機能デバイスの創製への利用
(1-1) 集積回路と短波長光デバイスの集積化(例えば,Siデバイス/GaN,フォトニクス結晶,LED),新機能光−電子変換デバイス創製の際の接合。
(1-2) スピン−電子ハイブリッドデバイスの製造。本発明の方法によって接合することで,電子やスピン電流の平均自由工程以下でウエハ間を接合することが可能である。
超ハイブリッド基板・部材の形成等を目的として,半導体ウエハをナノ結晶膜を挟んで積層化した電位障壁ハイブリッド・ウエハの製造や,ガラスをナノ結晶膜を挟んで積層した特殊光学ウエハ(光フィルタリング)の製造に際し,本発明の方法を使用することができる。
本発明の方法により,発光ダイオードに鏡面のレイヤーを接合し,輝度を上げる。
本発明の方法により,水晶に例えば金の被膜を形成して水晶同士を接着することで,比較的接着が困難な水晶同士の接合を行う。
(1)SiP技術のための三次元スタック化,パッケージ基板高機能化(三次元実装);本接合方法によりSiデバイスとSiデバイスの積層や基板を立体的に貼り合わせることにより高集積化を図る。
三次元配線を兼ねた微細素子の真空封止,Siデバイスとの積層に本接合方法を利用する。この用途での利用の場合,接合面に界面があっても良く,内部の真空や接合状態を保持できれば良い。
熱放散係数の大きな材料,例えば銅,ダイヤモンド,DLC等で作製したヒートシンク,ヒートスプレッダを本発明の方法により半導体デバイス等に直接ボンディングして,放熱性能,熱拡散性能等を向上させる。
なお,以上で説明した用途では,いずれも本発明の接合方法を電気,電子部品等の分野において使用する例を説明したが,本発明の方法は,上記で例示した利用分野に限定されず,接合を必要とする各種分野,各種用途において利用可能である。
Claims (10)
- 複数の被接合材を重合接合する方法であって,
到達真空度が10-4Pa以下の高真空度雰囲気において,
a)前記被接合材の少なくとも一方の接合面に,真空成膜により微結晶構造の被膜を形成し,
b)前記一方の接合面に形成された微結晶構造の被膜に重合される他方の被膜を有しない接合面は,これを洗浄活性化処理し,
c-1)前記被接合材の前記両接合面に形成された微結晶構造の両被膜
又は,
c-2)前記一方の微結晶構造の被膜と前記他方の活性化接合面を常温で重合し,
d)前記被膜間又は前記被膜と前記活性化接合面に生じた結合により前記被接合材間を接合することを特徴とする常温接合方法。 - 前記被膜の形成をプラズマの発生下で行うことを特徴とする請求項1記載の常温接合方法。
- 前記接合面の重合を,前記被膜の成膜中,又は成膜停止直後に行うことを特徴とする請求項1又は2記載の常温接合方法。
- 前記被接合材の接合面の表面粗さを,最大高さ(Rmax)で10nm以下,又は中心線平均粗さ(Ra)で1nm以下としたことを特徴とする請求項1〜3いずれか1項記載の常温接合方法。
- 前記被膜の厚みを,それぞれ1nm〜10μmとしたことを特徴とする請求項1〜4いずれか1項記載の常温接合方法。
- 前記被接合材の接合面の表面粗さが増すに従って,形成する前記被膜の厚みを厚くしたことを特徴とする請求項5記載の常温接合方法。
- 前記被膜の厚みを,前記被接合材の中心線平均粗さ(Ra)の5〜100倍としたことを特徴とする請求項1〜5いずれか1項記載の常温接合方法。
- 前記被膜の形成をスパッタリングにより行うと共に,不活性ガス圧力を30Pa以下としたことを特徴とする請求項1〜5又は7いずれか1項記載の常温接合方法。
- 前記接合面に形成された被膜の,膜面内方向の平均結晶粒径が50nm以下としたことを特徴とする請求項1〜5,7又は8いずれか1項記載の常温接合方法。
- 到達真空度が10-4Pa以下の高真空度雰囲気において,前記被接合材の接合面に真空成膜により形成される膜面内方向の平均結晶粒径が50nm以下である請求項1〜5,7〜9いずれか1項記載の常温接合方法における微結晶構造の被膜。
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