JP2012078474A - エタロンフィルタ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 ガラス又は水晶からなる第一の透明部材及び第二の透明部材と、第一の透明部材と第二の透明部材との間に設けられる中空部材とを備え、第一の透明部材が中空部材と対向する面及びこの面と平行となる反対側の面に反射膜を備えつつ反射膜に第一接合膜を備え、第二の透明部材が中空部材と対向する面及びこの面と平行となる反対側の面に反射膜を備えつつ中空部材を向く側の反射膜に第二接合膜を備え、中空部材が第一の透明部材と対向する面及び第二の透明部材と対向する面に第三接合膜を備え、第一接合膜と第三接合膜とが接合され、第二接合膜と第三接合膜とが接合され、中空部材の中空の内部が真空又は大気圧の状態を維持する気密状態となって構成されることを特徴とする。
【選択図】 図1
Description
ここで、エタロンフィルタを透過する光の特性について説明する。例えば、図1(b)に示すように、エタロンフィルタを透過する光は、縦軸を透過強度T(λ)、横軸を波長λとしたとき、所定の間隔で透過強度T(λ)の強度が高くなるピークを複数生じさせる特性を有している。
このFSRは、2平面に設けた反射膜の間をエタロンフィルタの光路の物理長数Lとしソリッドの屈折率をnとしたとき、光路の物理長数Lとソリッドの屈折率をnの積及び波長λによって決まる値でもある。
例えば、FSRは、以下の式で近似される。
FSR=λ2/(2nL)
ここで、エアギャップ構造のエタロンフィルタは、2つの透明部材に設けられた反射膜の間を光路の物理長数Lとしている。この場合のFSRは、ソリッド構造のエタロンフィルタと同様に光路の物理長数Lとエアギャップ部の媒質の屈折率nの積によって決まる。
また、エアギャップ構造のエタロンフィルタは、2つの平板状の透明部材の間に設けられる板部材を接合するために、接着剤を用いている。エアギャップ構造のエタロンフィルタは、接合に接着剤を用いることで容易な製造を可能としている。
また、接着剤を用いない接合としては、従来周知のオプティカルコンタクト法による接合が提案されている。
したがって、光路の物理長数Lと定めたエタロンフィルタが接着剤により異なる光路の物理長数L´となってしまう。
これにより、エタロンフィルタを透過する光の特性が、縦軸を透過強度T(λ)、横軸を波長λとしたとき、エタロンフィルタの光路の物理長数Lで定めたFSRとは異なる位置にずれて新たなFSR´となる(図1(b)参照)。
そのため、所定の透過強度T(λ)に対して波長λが異なった値を示すこととなり、光学装置で使用されている発振波長を正しく知ること、つまり、発振波長のモニターが正しくできなくなる恐れがある。
また、オプティカルコンタクト法による接合で形成されるエアギャップ構造のエタロンフィルタは、異種材料同士を接合した場合に、熱の影響を受けて剥がれることがある。
また、エアギャップ構造のエタロンフィルタは、光学装置に備えられた際に、透明部材の間に介在する空気の気圧状態が変化するあるいは気体の種類が異なることで、透明部材の間に介在する媒質の屈折率nが変化し、所定のFSRが得られない恐れがある。
また、前記第一接合膜、前記第二接合膜、前記第三接合膜の膜厚が1nm以下となっているので、入射される光の屈折を考慮する必要がなく、また、前記第一接合膜と前記第三接合膜との接合、及び前記第二接合膜と前記第三接合膜との接合が原子拡散接合により接合されているので、熱環境による剥がれを防ぐことができる。
なお、第一の透明部材10は、中空部材30と対向する面と平行となる面に反射防止膜13を設けても良い。
なお、第二の透明部材20は、中空部材30と対向する面と平行となる面に反射防止膜23を設けても良い。
この中空部材30は、壁部31を環状に形成して中空部分30aを形成した筒状となっており、壁部31に沿いつつ中空部分30aの中心を通る中心線Cに対して直交する方向の断面形状が四角形となっている。言い換えれば、中空部材30を輪切りにした場合の断面形状は、外形の輪郭形状が第一の透明部材10及び第二の透明部材20と同じ形状の四角形となり、中空部分30aの輪郭が外形形状よりも大きさが小さい四角形となっている。
この中空部材30は、中空部分30aの開口周囲であって第一の透明部材10と対向する面及び第二の透明部材20と対向する面に膜厚が1nm以下の第三接合膜32を備えている。
同様に、第二の透明部材20と中空部材30とは、第二の透明部材20に設けられた第二接合膜22と中空部材30に設けられた第三接合膜32とが原子拡散接合法により接合されている。
なお、第一の透明部材10と中空部材30との接合及び第二の透明部材20と中空部材30との接合の際は、例えば、真空雰囲気中で行われる。
これにより、中空部材30の中空部分30aは、真空の状態を維持した気密状態となる。
また例えば、中空部材30の中空部分30aは、真空の他に、大気圧を維持した気密状態としても良いし、不活性ガス雰囲気中であって所定の圧力が維持された気密状態としても良い。
また、第一接合膜12、第二接合膜22、第三接合膜32の膜厚が1nm以下となっているので、入射される光の屈折を考慮する必要がなく、また、第一接合膜12と第三接合膜32との接合、及び第二接合膜22と第三接合膜32との接合が原子拡散接合により接合されているので、熱環境による剥がれを防ぐことができる。
本発明の実施形態に係るエタロンフィルタを製造する際は、図2(a)に示すように、第一の透明部材となる第一ウェハ10Wと、第二の透明部材となる第二ウェハ20Wと、中空部材となる第三ウェハ30Wとを用意する。
なお、図2(a)及び(b)は、反射防止膜を省略して図示している。
同様に、第二ウェハ20Wの一方の主面に例えばスパッタ等を用いて反射膜21を設ける。なお、第二ウェハの他方の主面には、反射防止膜23(図1(a)参照)を設けておいても良い。
また、第三ウェハ30Wに厚み方向に貫通する貫通方向と直角になる方向で切断したときの断面が四角形状となる貫通孔30aを複数形成する。
第一ウェハ10Wの反射膜11上に設けられた第一接合膜12と第三ウェハ30Wの一方の主面に設けられた第三接合膜32とを重ね合わせて原子拡散接合により接合する。
ここで、前記原子拡散接合法とは、互いに重なり合う接合面において、互いを構成する材料の原子が拡散し合うことによって接合する方法である。
第二ウェハ20Wの反射膜21上に設けられた第二接合膜22と第三ウェハ30Wの他方の主面に設けられた第三接合膜32とを重ね合わせて原子拡散接合により、例えば、真空雰囲気中で接合する。
この状態で、例えば、第三ウェハ30Wに設けた複数の貫通孔30aの間Bを目印にして、隣り合う貫通孔30aの間を切断することで、個々のエタロンフィルタ100を得ることができる。なお、このときの貫通孔30aは、図1における中空部材30の中空部分30aを指す。
10 第一の透明部材
11 反射膜
12 第一接合膜
20 第二の透明部材
21 反射膜
22 第二接合膜
30 中空部材
30a 中空部分
32 第三接合膜
Claims (2)
- 第一の透明部材と、
第二の透明部材と、
前記第一の透明部材と前記第二の透明部材との間に設けられる中空部材と、を備え、
前記第一の透明部材が、前記中空部材と対向する面に反射膜を備えつつ前記反射膜上に第一接合膜を備え、
前記第二の透明部材が、前記中空部材と対向する面に反射膜を備えつつ前記反射膜上に第二接合膜を備え、
前記中空部材が、中空部分の開口周囲であって前記第一の透明部材と対向する面及び前記第二の透明部材と対向する面に第三接合膜を備え、
前記第一の透明部材の第一接合膜と前記中空部材の第三接合膜とが原子拡散接合法により接合され、
前記第二の透明部材の第二接合膜と前記中空部材の第三接合膜とが原子拡散接合法により接合され、
前記中空部材の中空の内部が真空又は大気圧の状態を維持する気密状態となって構成されることを特徴とするエタロンフィルタ。 - 前記第一接合膜、前記第二接合膜、前記第三接合膜の膜厚が1nm以下となっていることを特徴とする請求項1に記載のエタロンフィルタ。
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