JP2014167503A - エタロン - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 2つ一対の透明部材の間に環状の中空部材と環状の金属薄板部材とが挟まれた状態で接合されて構成されるエタロンであって、中空部材側を向く面に金属膜が設けられる透明部材と、透明部材側を向く面に金属膜が設けられている環状の中空部材と、中空部材と接合される環状の金属薄板部材と、を備えて構成され、透明部材の間に接合される中空部材と金属薄板部材と金属膜との厚みの総和の、所定の熱雰囲気における中空部材と金属薄板部材と金属膜との単位温度当たりの膨張する長さの総和に対する比率と、屈折率温度係数との積が1又は1に近似となることを特徴とする。
【選択図】 図1
Description
このエタロンは、キューブ状に形成されたソリッド型と平行平板となる透明部材の間に中空部材を接合して構成されるエアギャップ型とがある。
これらエタロンは、光学機器において、光が通過する経路内に設けられており、光の進行方向とエタロンの長さ方向とを一致させて用いられる(例えば、特許文献1参照)。このようなエアギャップ型のエタロンは、波長温度特性を考慮して、透明部材の間に設けられる中空部材の長さが決められている。
また、前記透明部材の間に接合される前記中空部材と前記金属薄板部材と前記金属膜との厚みの総和の、所定の熱雰囲気における前記中空部材と前記金属薄板部材と前記金属膜との単位温度当たりの膨張する長さの総和に対する比率と、屈折率温度係数との積が1又は1に近似となるように構成したので、雰囲気温度における屈折率と熱膨張における伸び量の比率が一致するので、熱膨張で共振器長が変化しても波長温度特性を変化しにくくすることができる。
なお、透明部材11は、ウエッジ形状に形成されていても良い。ウエッジ形状に形成されたこの透明部材11は、11a面が11b面に対して傾斜した構成となっている。このように透明部材11を構成すると、11a面からの不要な反射を防ぐことが出来る。
なお、反射防止膜11aは、例えば、従来周知の蒸着により透明部材11の一方の主面に設けられる。また、反射膜11bは、例えば、従来周知の蒸着により透明部材11の他方の主面に設けられる。
この反射膜11bの上には、環状に金属膜11cが設けられる。よって、透明部材11の中空部材12側を向く面には金属膜11cが設けられた状態となる。この金属膜11cは、例えば、下地金属膜がクロム、主金属膜が金で構成されており、フォトリソグラフィ技術とスパッタ技術や蒸着技術で環状に設けることができる。
なお、断面は、円環の断面でもよい。
例えば、ウェットエッチングを用いて貫通部を形成する場合は、中空部材12となる中空部材ウェハ(図示せず)の表面にレジストを設け、所定のパターンで露光し、現像を行って中空部材ウェハの表面を露出させ、中空部材ウェハの露出した部分をウェットエッチングで除去して貫通部を形成する。なお、ドリルなどの穿孔により貫通部を設けても良い。
この金属薄板部材13は、前記中空部材12の一方の端面に接合されている。つまり、金属薄板部材13は、中空部材12に設けられた金属膜12aに接合されている。
一方の主面に反射防止膜11aが設けられ他方の主面に反射膜11bが設けられた透明部材11となる透明部材ウェハ(図示せず)に金属膜11cを設け、透明部材ウェハの金属膜11cと金属薄板部材ウェハとを重ねて原子拡散接合により接合する。次に、中空部材12となる中空部材ウェハに貫通部を形成して表面に金属膜12aを形成する。環状の面となる両端部に金属膜12aが設けられた中空部材12となる中空部材ウェハを透明部材ウェハと接合された金属薄板部材ウェハを重ねて原子拡散接合により接合する。一方の主面に反射防止膜11aが設けられ他方の主面に反射膜11bが設けられた透明部材11となる他の透明部材ウェハ(図示せず)に金属膜11cを設け、この透明部材ウェハの金属膜11cと中空部材ウェハとを重ねて原子拡散接合により接合する。中空部材ウェハに設けられた貫通部の間を切断して個々のエタロン10を形成する。
(dn/dT)×((d1+d2+d3)/(n×α1×d1+n×α2×d2+n×α3×d3))=1 式1
(dn/dT)×((d1+d2+d3)/(n×α1×d1+n×α2×d2+n×α3×d3))≒1 式2
d1+d2+d3は、2つの透明部材11の金属膜11cの厚みと中空部材12の2面に設けられた金属膜12cの厚みと中空部材12の厚みと金属薄板部材13との合計を意味する。
n×α1×d1とn×α2×d2とn×α3×d3とは、屈折率nにおける熱膨張での伸縮量を意味している。
よって、式1は、透明部材11の間に接合される中空部材12と金属薄板部材13と金属膜11c,12aとの厚みの総和の、所定の熱雰囲気における中空部材12と金属薄板部材13と金属膜11c,12aとの単位温度当たりの膨張する長さの総和に対する比率と、屈折率温度係数との積が1となることを意味する。
つまり、式1は、屈折率温度係数と透明部材11の間に介在する部材の屈折率nにおける膨張比率の逆数との積が1となる。よって、所定の熱雰囲気で共振器長Lが変化してL´となっても、透明部材11の間に介在する各部材が熱膨張により伸縮するため、変化した共振器長L´に対応した厚みに中空部材12と金属薄板部材13と金属膜11c,12aが変化した状態となる。
なお、所定の熱雰囲気での熱膨張の割合が不均一となっても、式2のように、「1」に近い値であれば、共振器長Lの変化に追従した中空部材12と金属薄板部材13と金属膜11c,12aの変化とみなすことができる。
また、透明部材11の間に接合される中空部材12と金属薄板部材13と金属膜11c,12aとの厚みの総和の、所定の熱雰囲気における中空部材12と金属薄板部材13と金属膜11c,12aとの単位温度当たりの膨張する長さの総和に対する比率と、屈折率温度係数との積が1又は1に近似となるように構成したので、雰囲気温度における屈折率と熱膨張における伸び量の比率が一致するので、熱膨張による共振器長Lの変化に対応させることができるので波長温度特性を変化しにくくすることができる。
まず、比較例1は、以下の状態となっている。
屈折率温度係数dn/dTをdn/dT=−8.4×10−7とする。
金属薄板部材13と透明部材11の金属膜11cと中空部材12の金属膜12aの厚みd1が、150nm、
中空部材12の厚みd2がd2=2993300nm、
透明部材11の金属膜11cと中空部材12の金属膜12aの厚みd3がd3=50nm、
となっている。
中空部材12について、石英ガラスの熱膨張係数α2は、α2=4.9×10−7となる。中空部材12の内部に空気が入っている。このとき、空気の屈折率nをn=1.0003とする。
透明部材11に設けられる金属膜11cと中空部材12に設けられる金属膜12aは、材質が金(Au)であり、金の熱膨張係数α1,α3をα1=α3=1.4×10−5とする。なお、金属膜の下地金属膜は極めて薄いので考慮しなくても良い。
式1=(dn/dT)×((d1+d2+d3)/(n×α1×d1+n×α2×d2+n×α3×d3))
=1.7
となり、式1=1とはならない。
また、式2≒1の適用もできない状態となる。
このときの、波長温度係数は0.55(pm/℃)となり、このようなエタロンは、熱の影響を受けて共振器波長の変化と、中空部材と金属薄板部材と金属膜とが熱膨張による変化とが一致しなかったために、波長温度係数が悪くなったと考察できる。
屈折率温度係数dn/dTをdn/dT=−8.4×10−7とする。
金属薄板部材13と透明部材11の金属膜11cと中空部材12の金属膜12aの厚みd1が、75950nm、
中空部材12の厚みd2がd2=2917500nm、
透明部材11の金属膜11cと中空部材12の金属膜12aの厚みd3がd3=50nm、
となっている。
中空部材12について、石英ガラスの熱膨張係数α2は、α2=4.9×10−7となる。中空部材12の内部に空気が入っている。このとき、空気の屈折率nをn=1.0003とする。
透明部材11に設けられる金属膜11cと中空部材12に設けられる金属膜12aは、材質が金(Au)であり、金の熱膨張係数α1,α3をα1=α3=1.4×10−5とする。なお、金属膜の下地金属膜は極めて薄いので考慮しなくても良い。
式1=(dn/dT)×((d1+d2+d3)/(n×α1×d1+n×α2×d2+n×α3×d3))
=1.0
となり、式1=1となる。
このときの、波長温度係数は0.01(pm/℃)となり、このようなエタロンは、熱の影響を受けて共振器波長の変化と、中空部材と金属薄板部材と金属膜とが熱膨張による変化とが一致ししたため、波長温度係数の変化が軽微なものとなったと考察できる。
11 透明部材
11c 金属膜
12 中空部材
12a 金属膜
13 金属薄板部材
Claims (3)
- 2つ一対の透明部材の間に環状の中空部材と環状の金属薄板部材とが挟まれた状態で接合されて構成されるエタロンであって、
前記中空部材側を向く面に金属膜が設けられる前記透明部材と、
前記透明部材側を向く面に金属膜が設けられている環状の前記中空部材と、
前記中空部材と接合される環状の前記金属薄板部材と、
を備えて構成されることを特徴とするエタロン。 - 前記金属薄板部材が金からなることを特徴とする請求項1に記載のエタロン。
- 前記透明部材の間に接合される前記中空部材と前記金属薄板部材と前記金属膜との厚みの総和の、所定の熱雰囲気における前記中空部材と前記金属薄板部材と前記金属膜との単位温度当たりの膨張する長さの総和に対する比率と、
屈折率温度係数との積が1又は1に近似となることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載のエタロン。
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CN111474618A (zh) * | 2020-05-20 | 2020-07-31 | 腾景科技股份有限公司 | 一种空气隙标准具结构的宽波段温度调谐滤波器 |
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