JP2008177531A - ダブルプラズマutbox - Google Patents
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Abstract
【課題】半導体材料の中から選択された材料からなる2つの基板を貼り合わせる方法を提供する。
【解決手段】熱処理によって2つの基板を貼り合わせるステップと、貼り合わせられるべき表面を基板ごとにプラズマ活性化するステップであり、2つの基板の中の第1の基板の貼り合わせられるべき表面が、酸化物層を備える、前記プラズマ活性化するステップとを実行する、半導体材料の中から選択された材料に実施される2つの基板を貼り合わせる方法であって、この方法は、前記酸化物層のプラズマ活性化が、酸素を含む雰囲気中において実行され、第2の基板の貼り合わせられるべき表面のプラズマ活性化が、不活性雰囲気中において実行される、ことを特徴とする。
【選択図】図1
【解決手段】熱処理によって2つの基板を貼り合わせるステップと、貼り合わせられるべき表面を基板ごとにプラズマ活性化するステップであり、2つの基板の中の第1の基板の貼り合わせられるべき表面が、酸化物層を備える、前記プラズマ活性化するステップとを実行する、半導体材料の中から選択された材料に実施される2つの基板を貼り合わせる方法であって、この方法は、前記酸化物層のプラズマ活性化が、酸素を含む雰囲気中において実行され、第2の基板の貼り合わせられるべき表面のプラズマ活性化が、不活性雰囲気中において実行される、ことを特徴とする。
【選択図】図1
Description
本発明は、半導体材料の中から選択された材料に実施される2つの基板を貼り合わせる方法に関し、前記方法は、
・熱処理によって2つの基板を貼り合わせるステップと、
・貼り合わせられるべき表面を基板ごとにプラズマ活性化するステップであり、2つの基板の中の第1の基板の前記貼り合わせられるべき表面は、酸化物層を備える、前記プラズマ活性化するステップと、
を実行する。
・熱処理によって2つの基板を貼り合わせるステップと、
・貼り合わせられるべき表面を基板ごとにプラズマ活性化するステップであり、2つの基板の中の第1の基板の前記貼り合わせられるべき表面は、酸化物層を備える、前記プラズマ活性化するステップと、
を実行する。
この種の方法は、すでに知られているものである。ここで、「貼り合わせる(bonding)」は、分子付着によって貼り合わせることを意味すると理解されており、ここで、2つの完璧に滑らかな表面は、接着剤を使用せずに、互いに接着しており、これは、室温で可能である。
貼り合わせの品質は、とりわけ、貼り合わせエネルギーによって特性が表現され、その品質は、互いに貼り合わせられた2つの基板間における貼り合わせの強度を表現する。分子付着貼り合わせによる2つの基板を強化するために、組み立てられた基板は、熱処理を施されなければならない。そのような熱処理は、2つの基板の貼り合わせエネルギーを少なくとも約500mJ/m2の値にするのを可能にし、この値は、典型的な望ましい値に相当する場合がある。
従来、そのような熱処理は、一般的には、少なくとも約900℃の温度(これは、本明細書の範囲において、「高温領域」を定義する)で実行される。Si基板とSiまたはSiO2基板との貼り合わせの場合、貼り合わせエネルギーは、最大限に増加させられ、処理は、約1,100〜1,200℃の温度で実行される。
貼り合わせられるべき表面の「プラズマ活性化」は、貼り合わせられるべき表面を接触させる前に、この表面をプラズマに暴露すること(これは、とりわけ、真空状態において、または、大気圧下において、なされてもよい)として定義される。
より正確には、公知の活性化技術においては、活性化されるべき基板の表面は、暴露ステップ中に、プラズマに暴露され、その暴露ステップにおいて、いくつかの暴露パラメータが、それぞれがそれぞれの所定の値にセットされるように制御され、プラズマ活性化中、その値は、固定されたままである。
最初に、「暴露パラメータ」には、以下のものがある。
・電力密度。これは、プラズマを供給する電力の密度であり、単位面積当たりの電力密度(W/cm2)に対応し、そして、本明細書においては、「電力」という簡単な用語によって表現される。
・圧力(プラズマを含むチャンバー内の圧力であり、ミリトールで表現される)。
・このチャンバーに満たされるガスの性質および流量(sccm:標準状態下立方センチメートル毎分で表現される)。
・電力密度。これは、プラズマを供給する電力の密度であり、単位面積当たりの電力密度(W/cm2)に対応し、そして、本明細書においては、「電力」という簡単な用語によって表現される。
・圧力(プラズマを含むチャンバー内の圧力であり、ミリトールで表現される)。
・このチャンバーに満たされるガスの性質および流量(sccm:標準状態下立方センチメートル毎分で表現される)。
そのような活性化は、とりわけ、分子付着による貼り合わせが、高温における熱処理を必要とすることなく、大きな貼り合わせエネルギーを得ることによって実行されるのを可能にする。
実際に、プラズマ活性化は、2つの基板間に大きな貼り合わせエネルギーをもたらし、貼り合わせられる前に、それらの基板の少なくとも一方は、比較的に低い温度(例えば、約600℃またはそれ以下の温度)で比較的に短時間(例えば、約2時間)にわたって実行される熱処理の後にすでに活性化されたものである。
したがって、そのような活性化は、2つの貼り合わせられる基板を備えた構造をあまりにも高い温度に曝すのを回避したい場合に(とりわけ、大きく異なる熱膨張率を有する材料からなる層を備えた構造として定義されるヘテロ構造の場合に)、その構造を安定化させるのには有益である。
また、そのような活性化は、所定の温度で大きな貼り合わせ強度を得るのに有益であり得る。
したがって、そのような活性化は、例えば、2つの基板を貼り合わせることによって多層構造を製造するのに有益である。
転写法(とりわけ、SILICON−ON−INSULATOR TECHNOLOGY: Materials to VLSI,2nd Edition(Jean−Pierre Colinge)という著作物から一般的な説明を得ることができるSmart Cut(商標)型の方法、または、2つの基板が貼り合わせられ、そして、一方の基板の余剰物質がエッチングによって除去されるBESOI(Bond Etch Silicon On Insulator)型の方法)が、貼り合わせのためのプラズマ活性化から恩恵を受け得る例である。
貼り合わせごとのプラズマ処理の効果を十分に引き出すために、資料(とりわけ、Effects of plasma activation on hydrophilic bonding of Si and SiO2, T.Suni and I.J.Electroch. Soc. Vol.149,No.6,P.348(2002)という論文およびFarrensらによる米国特許第6,645,828号)から知ることのできる従来の方法は、貼り合わせられるべき2枚の基板をプラズマによって活性化することからなる。
めったにないが、貼り合わせエネルギーが小さいために、2つの基板の一方だけが、プラズマに暴露されることがある。Si/SiO2を貼り合わせる場合、プラズマによって処理されるのは、一般的には、酸化物である(Effects of plasma activation on hydrophilic bonding of Si and SiO2を参照)。
今日、ウェーハの表面を接触させる前に、例えば、酸素、窒素、および、アルゴンのような様々なガスが、プラズマ処理においてその表面を活性化するのに使用される。
一般的には、貼り合わせられるべき2つの表面は、同じプラズマ処理によって同じように処理される。
本発明の目的は、プラズマ活性化を実行する公知の貼り合わせ技術を改善することである。
本発明のさらなる目的は、基板上に存在する欠陥数を減少させることであり、それどころか、それらの欠陥を完全に除去することである。
より詳細には、本発明の目的は、プラズマ活性化の後に得られる貼り合わせエネルギーを増大させることである。
これらの目的を達成するために、本発明は、第1の態様によれば、半導体材料の中から選択された材料からなる2つの基板を貼り合わせる方法を提案するものであり、前記方法は、
・熱処理によって2つの基板を貼り合わせるステップと、
・貼り合わせられるべき表面を基板ごとにプラズマ活性化するステップであり、2つの基板の中の第1の基板の貼り合わせられるべき表面が、酸化物層を備える、前記プラズマ活性化するステップと、
を実行し、前記方法は、
・熱処理によって2つの基板を貼り合わせるステップと、
・貼り合わせられるべき表面を基板ごとにプラズマ活性化するステップであり、2つの基板の中の第1の基板の貼り合わせられるべき表面が、酸化物層を備える、前記プラズマ活性化するステップと、
を実行し、前記方法は、
前記酸化物層のプラズマ活性化が、酸素を含む雰囲気中において実行され、第2の基板の貼り合わせられるべき表面のプラズマ活性化が、不活性雰囲気中において実行されることを特徴とする。
この方法の好ましいが限定するものではない態様には、以下のものがある。
・表面が酸化物層を備えた基板は、レシーバ基板へ層を転写するためのドナー基板である。
・酸化物層は、ドナー基板の熱酸化によって得られる。
・酸化物層は、ドナー基板上に堆積される。
・転写によって、SOI(Silicon On Insulator)型構造が得られる。
・前記SOIは、UTBOX(Ultra Thin Buried Oxide)型薄層を備え、その薄層の厚さは、500Å以下である。
・レシーバ基板は、シリコンである。
・中性ガスは、アルゴンである。
・アルゴンを含む雰囲気中におけるプラズマによる活性化中の電力密度は、0.4W/cm2である。
・中性ガスは、窒素である。
・窒素を含む雰囲気中におけるプラズマによる活性化中の電力密度は、0.8W/cm2である。
・レシーバ基板は、プラズマ活性化ステップの前に、洗浄ステップを施される。
・ドナー基板は、プラズマ活性化ステップの前に、洗浄ステップを施される。
・貼り合わせ熱処理は、低い温度で実行される。
・貼り合わせ熱処理は、200℃と600℃との間に存在する温度で実行される。
・貼り合わせ熱処理は、短い期間にわたって実行される。
・貼り合わせ熱処理は、約2時間にわたって実行される。
・表面が酸化物層を備えた基板は、レシーバ基板へ層を転写するためのドナー基板である。
・酸化物層は、ドナー基板の熱酸化によって得られる。
・酸化物層は、ドナー基板上に堆積される。
・転写によって、SOI(Silicon On Insulator)型構造が得られる。
・前記SOIは、UTBOX(Ultra Thin Buried Oxide)型薄層を備え、その薄層の厚さは、500Å以下である。
・レシーバ基板は、シリコンである。
・中性ガスは、アルゴンである。
・アルゴンを含む雰囲気中におけるプラズマによる活性化中の電力密度は、0.4W/cm2である。
・中性ガスは、窒素である。
・窒素を含む雰囲気中におけるプラズマによる活性化中の電力密度は、0.8W/cm2である。
・レシーバ基板は、プラズマ活性化ステップの前に、洗浄ステップを施される。
・ドナー基板は、プラズマ活性化ステップの前に、洗浄ステップを施される。
・貼り合わせ熱処理は、低い温度で実行される。
・貼り合わせ熱処理は、200℃と600℃との間に存在する温度で実行される。
・貼り合わせ熱処理は、短い期間にわたって実行される。
・貼り合わせ熱処理は、約2時間にわたって実行される。
第2の態様によれば、本発明は、さらに、上述したような種類の方法によるプラズマ活性化によって得られた貼り合わせの後に、ドナー基板から引き離された薄層をレシーバ基板へ転写することによって得られるSOI型構造を提案するものであり、本発明は、UTBOX(Ultra Thin Buried Oxide)型層を有することを特徴とする。
この構造の好ましいが限定するものではない特徴には、以下のものがある。
・埋め込み酸化物層の厚さは、50Åと1,000Åとの間に存在し、好ましくは、500Å以下である。
・埋め込み酸化物層の厚さが約250Åの場合、層は、0〜10個の欠陥を有する。
・埋め込み酸化物層の厚さが約125Åの場合、層は、0〜310個の欠陥を有する。
・埋め込み酸化物層の厚さが約1,000Åであり、かつ、中性雰囲気中におけるプラズマ活性化がアルゴンによって実行される場合、室温における貼り合わせエネルギーは、約0.175J/m2である。
・埋め込み酸化物層の厚さが約500Åであり、かつ、中性雰囲気中におけるプラズマ活性化がアルゴンによって実行される場合、室温における貼り合わせエネルギーは、約0.180J/m2である。
・埋め込み酸化物層の厚さが約250Åであり、かつ、中性雰囲気中におけるプラズマ活性化がアルゴンによって実行される場合、室温における貼り合わせエネルギーは、約0.200J/m2である。
・埋め込み酸化物層の厚さが約125Åであり、かつ、中性雰囲気中におけるプラズマ活性化がアルゴンによって実行される場合、室温における貼り合わせエネルギーは、約0.200J/m2である。
・埋め込み酸化物層の厚さが約1,000Åであり、かつ、中性雰囲気中におけるプラズマ活性化が窒素によって実行される場合、室温における貼り合わせエネルギーは、約0.235J/m2である。
・埋め込み酸化物層の厚さが約500Åであり、かつ、中性雰囲気中におけるプラズマ活性化が窒素によって実行される場合、室温における貼り合わせエネルギーは、約0.258J/m2である。
・埋め込み酸化物層の厚さが約250Åであり、かつ、中性雰囲気中におけるプラズマ活性化が窒素によって実行される場合、室温における貼り合わせエネルギーは、約0.270J/m2である。
・埋め込み酸化物層の厚さが約125Åであり、かつ、中性雰囲気中におけるプラズマ活性化が窒素によって実行される場合、室温における貼り合わせエネルギーは、約0.262J/m2である。
・埋め込み酸化物層の厚さは、50Åと1,000Åとの間に存在し、好ましくは、500Å以下である。
・埋め込み酸化物層の厚さが約250Åの場合、層は、0〜10個の欠陥を有する。
・埋め込み酸化物層の厚さが約125Åの場合、層は、0〜310個の欠陥を有する。
・埋め込み酸化物層の厚さが約1,000Åであり、かつ、中性雰囲気中におけるプラズマ活性化がアルゴンによって実行される場合、室温における貼り合わせエネルギーは、約0.175J/m2である。
・埋め込み酸化物層の厚さが約500Åであり、かつ、中性雰囲気中におけるプラズマ活性化がアルゴンによって実行される場合、室温における貼り合わせエネルギーは、約0.180J/m2である。
・埋め込み酸化物層の厚さが約250Åであり、かつ、中性雰囲気中におけるプラズマ活性化がアルゴンによって実行される場合、室温における貼り合わせエネルギーは、約0.200J/m2である。
・埋め込み酸化物層の厚さが約125Åであり、かつ、中性雰囲気中におけるプラズマ活性化がアルゴンによって実行される場合、室温における貼り合わせエネルギーは、約0.200J/m2である。
・埋め込み酸化物層の厚さが約1,000Åであり、かつ、中性雰囲気中におけるプラズマ活性化が窒素によって実行される場合、室温における貼り合わせエネルギーは、約0.235J/m2である。
・埋め込み酸化物層の厚さが約500Åであり、かつ、中性雰囲気中におけるプラズマ活性化が窒素によって実行される場合、室温における貼り合わせエネルギーは、約0.258J/m2である。
・埋め込み酸化物層の厚さが約250Åであり、かつ、中性雰囲気中におけるプラズマ活性化が窒素によって実行される場合、室温における貼り合わせエネルギーは、約0.270J/m2である。
・埋め込み酸化物層の厚さが約125Åであり、かつ、中性雰囲気中におけるプラズマ活性化が窒素によって実行される場合、室温における貼り合わせエネルギーは、約0.262J/m2である。
本発明による貼り合わせ方法は、層転写(例えば、Smart Cut(商標)法またはその他の種類の転写法によって)を実施することによる分子付着貼り合わせによってなされるSOI(Silicon On Insulator)型基板を製造する観点から、薄層を転写するために実施されてもよい。
より正確には、本発明の有益な用途は、SOI基板、より正確には、厚さが500Å以下の、例えば、厚さが約100Åのきわめて薄い絶縁層を有するUTBOX(Ultra Thin Buried Oxide)基板を製造することに関連する。本発明の限定するものではない特定の例は、良好な結果が得られたUTBOX基板に関連する。しかしながら、本発明は、厚いBOX(Buried Oxide)、すなわち、厚さが500Å以上のBOXにも適用されてよいことが説明される。
実際、そのような構造の埋め込み酸化物層が、きわめて薄い場合、転写された層内に存在する欠陥(転写されない領域、ボイド、気泡、および、ブリスター)に関する問題が、発生する。
本発明は、一般的には、半導体材料からなる2つの基板の貼り合わせに使用される。これらの材料のそれぞれは、シリコンであってもよく、あるいは、その他の半導体材料であってもよい。さらに、2つの基板の貼り合わせられるべき表面の一方は、活性化の前に、酸化していてもよい。
以下の説明からわかるように、活性化は、貼り合わせられるべき2つの基板のそれぞれに施される。
また、本発明は、とりわけ、ドナー基板を形成する「上部」ウェーハからレシーバ基板を形成する「ベース」ウェーハへ半導体材料の薄層を転写する方法を目的として、貼り合わせを実行するのを可能にすることがわかる。薄層は、厚さが数百Å〜数千Åの層を意味する。
転写法へのこの応用において、貼り合わせは、前記ドナー基板の表面と前記レシーバ基板の表面との間の活性化の後に実行される。
前記転写法は、とりわけ、ドナー基板の内部に弱い領域を生成するために、また、貼り合わせた後に、前記弱い領域の位置において剥離させるために、貼り合わせる前に原子種またはイオン種の注入を実施するSmart Cut(商標)法に基づいて、実行されてもよい。
本発明は、添付の図面を参照してなされる以下の詳細な説明を読むことによって、より良く理解することができる。
いくつかの知られている方法の場合と同様に、本発明は、貼り合わせられるべき基板の2つの表面をプラズマによって活性化する。
本発明においては、それぞれの基板の貼り合わせられるべき表面の特定のプラズマ活性化が、実施され、2つの基板の中の第1の基板の貼り合わせられるべき表面だけが、酸化物層を備える。前記酸化物層のプラズマ活性化は、酸素を含む雰囲気中において実行され、そして、第2の基板の貼り合わせられるべき表面のプラズマ活性化は、不活性雰囲気中において実行される。
以下の説明は、ドナー基板からレシーバ基板への層の転写を使用する貼り合わせ方法の例を説明するものであり、その層は、Smart Cut(商標)法に基づいて剥離される。しかしながら、本発明は、貼り合わせステップそのものに関するものであり、層転写は特定の説明にすぎないことが理解される。
(レシーバ基板の処理)
一般的には、以下の説明において指示される電力値は、約200mmの直径を備えたウェーハに使用するために与えられたものである。しかしながら、本発明は、プラズマの電力(または、電力密度値)を適合させることによって、約300mmの直径を備えたウェーハにも適用される。
一般的には、以下の説明において指示される電力値は、約200mmの直径を備えたウェーハに使用するために与えられたものである。しかしながら、本発明は、プラズマの電力(または、電力密度値)を適合させることによって、約300mmの直径を備えたウェーハにも適用される。
したがって、一般的には、電力密度は、0.035W/cm2と10W/cm2との間に存在し、好ましくは、アルゴンの場合、0.4W/cm2であり、窒素の場合、0.8W/cm2であり、そして、酸素の場合、0.8W/cm2である。
レシーバ基板の表面は、酸化物層からは構成されず、好ましくは、シリコンから構成される。
プラズマ活性化に先立って、基板の貼り合わせられるべき表面は、例えば、オゾンおよび/またはRCA混合液によって洗浄されていてもよい。
そして、レシーバ基板の表面は、以下の特定の実験条件下において、例えば、アルゴンまたは窒素を含む中性雰囲気中において、プラズマ活性化を施される。すなわち、アルゴンを含む雰囲気中における処理の場合、
・強度は、25Wと2,500Wとの間に存在し、好ましくは、200mmウェーハの場合、125Wであり、あるいは、300mmウェーハの場合、200Wである(0.4W/cm2の電力密度に相当する)。
・圧力は、20ミリトールと100ミリトールとの間に存在し、好ましくは、50ミリトールである。
・ガス流量は、0sccmと100sccmとの間に存在し、好ましくは、100sccmである。
・暴露期間は、5秒と5分との間に存在し、好ましくは、30秒である。
・強度は、25Wと2,500Wとの間に存在し、好ましくは、200mmウェーハの場合、125Wであり、あるいは、300mmウェーハの場合、200Wである(0.4W/cm2の電力密度に相当する)。
・圧力は、20ミリトールと100ミリトールとの間に存在し、好ましくは、50ミリトールである。
・ガス流量は、0sccmと100sccmとの間に存在し、好ましくは、100sccmである。
・暴露期間は、5秒と5分との間に存在し、好ましくは、30秒である。
窒素を含む雰囲気中における処理の場合、
・電力は、25Wと2,500Wとの間に存在し、好ましくは、250Wである(0.8W/cm2の電力密度に相当する)。
・圧力は、20ミリトールと100ミリトールとの間に存在し、好ましくは、50ミリトールである。
・ガス流量は、0sccmと100sccmとの間に存在し、好ましくは、100sccmである。
・暴露期間は、5秒と5分との間に存在し、好ましくは、30秒である。
・電力は、25Wと2,500Wとの間に存在し、好ましくは、250Wである(0.8W/cm2の電力密度に相当する)。
・圧力は、20ミリトールと100ミリトールとの間に存在し、好ましくは、50ミリトールである。
・ガス流量は、0sccmと100sccmとの間に存在し、好ましくは、100sccmである。
・暴露期間は、5秒と5分との間に存在し、好ましくは、30秒である。
プラズマ活性化中、プラズマを供給する電力密度は、使用されるガスに適合させられる。実際には、アルゴン原子は、窒素原子よりも大きいので、アルゴンプラズマを実施するために維持される電力は、アルゴンの噴霧効果を防止するために、窒素プラズマの場合よりも制限される。
(ドナー基板の貼り合わせられるべき表面の処理)
ドナー基板の貼り合わせられるべき表面は、厚さが約100Å〜5,000Åの範囲にあり、好ましくは、厚さが約250Å以下である(とりわけ、UTBOX(超薄型埋め込み酸化膜)型構造を備えることを意図したきわめて薄い層の場合に)酸化物の薄層から構成される。
ドナー基板の貼り合わせられるべき表面は、厚さが約100Å〜5,000Åの範囲にあり、好ましくは、厚さが約250Å以下である(とりわけ、UTBOX(超薄型埋め込み酸化膜)型構造を備えることを意図したきわめて薄い層の場合に)酸化物の薄層から構成される。
プラズマ活性化に先立って、基板の貼り合わせられるべき表面は、例えば、オゾンおよび/またはRCA混合液によって洗浄されていてもよい。
プラズマ活性化による処理は、以下の特定の実験条件に従って、酸素ガスを用いて実行されてもよい。すなわち、
・電力は、25Wと2,500Wとの間に存在し、好ましくは、250Wである。
・圧力は、20ミリトールの間に存在し、好ましくは、50ミリトールである。
・ガス流量は、0sccmと100sccmとの間に存在し、好ましくは、75sccmである。
・暴露期間は、5秒と5分との間に存在し、好ましくは、30〜45秒である。
・電力は、25Wと2,500Wとの間に存在し、好ましくは、250Wである。
・圧力は、20ミリトールの間に存在し、好ましくは、50ミリトールである。
・ガス流量は、0sccmと100sccmとの間に存在し、好ましくは、75sccmである。
・暴露期間は、5秒と5分との間に存在し、好ましくは、30〜45秒である。
(2つのウェーハを貼り合わせるステップ)
2つのウェーハが、接触させられ、そして、貼り合わせエネルギーを増大させるために、30分から5時間までの期間だけ低い温度(25℃と1,100℃との間に存在する温度、好ましくは、200℃と600℃との間に存在する温度)の熱処理を施され、暴露期間は、好ましくは、2時間である。
2つのウェーハが、接触させられ、そして、貼り合わせエネルギーを増大させるために、30分から5時間までの期間だけ低い温度(25℃と1,100℃との間に存在する温度、好ましくは、200℃と600℃との間に存在する温度)の熱処理を施され、暴露期間は、好ましくは、2時間である。
説明される方法が研究された目的は、実際には、貼り合わせられるべき基板の表面の活性化を最適化することである。
この方法の利点は、基板上に薄層を転写した後にその薄層内に存在し得る欠陥(転写されない領域、ボイド、気泡、および、ブリスター)を減少させることであり、それどころか、それを除去することである。
さらに、貼り合わせるステップが、実行されたならば、ドナー基板を薄化するステップが、例えば、Smart Cut(商標)法に従って、それどころか、ドナー基板をエッチングすることによって、実行される。
実際には、本発明は、Smart Cut(商標)型の方法による複雑な基板(例えば、SOI型の)を製造することに適用されるだけでなく、BESOI型の方法にも適用されてよい。また、本発明は、高い温度の熱処理を施すことができずそのためにプラズマ貼り合わせを必要とする集積回路を備えた基板にも適用される。
(図面の説明)
図面に示される結果を得るために実行された貼り合わせの実験条件は、以下のものであった。すなわち、
・ドナー基板の処理されるべき表面上に所定の厚さを備えた酸化物層を得るために酸化させること(例えば、加熱することによって)。
・貼り合わせられるべき表面からドナー基板の中へ水素だけを注入すること(80keVのエネルギー、7.6×1016原子/cm2のドーズ量)。
・オゾンおよび/またはRCA型洗浄によって貼り合わせられるべき2つの表面を洗浄すること。
・ドナー基板の貼り合わせられるべき表面を酸素からなる雰囲気中においてプラズマ活性化すること(75sccmの流量、50ミリトールの圧力、250Wの電力密度、30秒の期間)。
・レシーバ基板の貼り合わせられるべき表面をアルゴンを含む雰囲気中においてプラズマ活性化すること(100sccmの流量、50ミリトールの圧力、125Wの電力密度、30秒の期間)。
・分子付着によって貼り合わせられるべき2つの表面を貼り合わせること。
・貼り合わせを安定化させるために、200℃と600℃との間に存在する温度でアニーリングすること。
図面に示される結果を得るために実行された貼り合わせの実験条件は、以下のものであった。すなわち、
・ドナー基板の処理されるべき表面上に所定の厚さを備えた酸化物層を得るために酸化させること(例えば、加熱することによって)。
・貼り合わせられるべき表面からドナー基板の中へ水素だけを注入すること(80keVのエネルギー、7.6×1016原子/cm2のドーズ量)。
・オゾンおよび/またはRCA型洗浄によって貼り合わせられるべき2つの表面を洗浄すること。
・ドナー基板の貼り合わせられるべき表面を酸素からなる雰囲気中においてプラズマ活性化すること(75sccmの流量、50ミリトールの圧力、250Wの電力密度、30秒の期間)。
・レシーバ基板の貼り合わせられるべき表面をアルゴンを含む雰囲気中においてプラズマ活性化すること(100sccmの流量、50ミリトールの圧力、125Wの電力密度、30秒の期間)。
・分子付着によって貼り合わせられるべき2つの表面を貼り合わせること。
・貼り合わせを安定化させるために、200℃と600℃との間に存在する温度でアニーリングすること。
図1からわかるように、レシーバ基板が、プラズマ活性化されなければ、約15個の欠陥(転写されない領域、ボイド、気泡、および、ブリスター)が、Smart Cut(商標)法の後に転写された層上において検出され得る。それに対して、アルゴンプラズマ活性化の場合には、4個の欠陥が、カウントされ、窒素プラズマ活性化の場合には、欠陥は、カウントされない。
したがって、レシーバ基板が、不活性ガスを含む雰囲気中におけるプラズマ活性化を施される場合、欠陥の数は、相当に減少する。
図2は、類似する結果を示している。レシーバ基板が、プラズマ活性化されなかった場合、1,000個以上の欠陥が検出される。それに対して、アルゴンを含む雰囲気中におけるプラズマ処理の場合、約300個の欠陥しかカウントされず、窒素を含む雰囲気中におけるプラズマ処理の場合、約30個の欠陥しかカウントされない。
図2の場合により大きな数の欠陥が存在するのは、酸化物層は図2の場合よりもきわめて薄い厚さを有するという事実によるものである。しかしながら、レシーバ基板の貼り合わせられるべき表面が、中性雰囲気中におけるプラズマ処理を事前に施された場合には、欠陥の総数は相当に少ない。
図3は、酸化されたドナー基板の表面が酸化プラズマによって活性化された場合、ドナー基板の酸化物層がどのような厚さであれ、貼り合わせエネルギーは、レシーバ基板の貼り合わせられるべき表面が貼り合わせのためにプラズマ活性化(中性ガスによる)によって事前に処理された場合には、その表面がプラズマによって活性化されなかった場合よりも大きいことを示している。しかしながら、このプラズマ活性化の効果は、層の厚さだけでなく使用された中性ガス(アルゴンまたは窒素)にも依存する。
しかしながら、(それどころか)、きわめて薄い酸化物層の場合、貼り合わせエネルギーの低下は、存在しなかった。
図4は、レシーバ基板は、活性化されずに、ドナー基板の酸化された表面を酸化プラズマによって活性化することは、アルゴンプラズマおよび窒素プラズマによる処理と比較した欠陥数の点において、より良好な結果を提供することを示しており、これは、酸化プラズマによるドナー基板の活性化が選択されることを説明している。
ドナー基板の表面における酸化物層は、ここでは、250Åの厚さを有する。
実際、ドナー基板の酸化された表面が、酸化プラズマによって活性化された場合には、多くの欠陥がカウントされ、ドナー基板の酸化された表面が、窒素を含む雰囲気中においてプラズマによって活性化された場合には、約15個程度の欠陥がカウントされ、そして、ドナー基板の酸化された表面が、アルゴンを含む雰囲気中においてプラズマによって活性化された場合には、約25個程度の欠陥がカウントされた。
さらに、ドナー基板の酸化された表面が酸化プラズマによって活性化された後に得られる結果は、同様に、欠陥数の点において、表面が事前に活性化されなかった場合に得られる結果よりも良好なものである。
本発明において説明された方法の実施形態の実験条件は、限定するものではない例として提供されたものである。
Claims (17)
- ・熱処理によって2つの基板を貼り合わせるステップと、
・貼り合わせられるべき表面を前記基板ごとにプラズマ活性化するステップであり、前記2つの基板の中の第1の基板の前記貼り合わせられるべき表面が酸化物層を備える、前記プラズマ活性化するステップと、
を実行する、半導体材料の中から選択された材料に実施される2つの基板を貼り合わせる方法において、
前記酸化物層の前記プラズマ活性化が、酸素を含む雰囲気中において実行され、第2の基板の前記貼り合わせられるべき表面の前記プラズマ活性化が、不活性雰囲気中において実行されることを特徴とする、方法。 - 表面が酸化物層を備えた前記基板が、レシーバ基板へ層を転写するためのドナー基板であることを特徴とする、請求項1に記載の貼り合わせる方法。
- 前記酸化物層が、前記ドナー基板の熱酸化によって得られることを特徴とする、請求項2に記載の方法。
- 前記酸化物層が、前記ドナー基板上に堆積されることを特徴とする、請求項2に記載の方法。
- 前記転写によって、SOI(Silicon On Insulator)型構造が得られることを特徴とする、請求項2〜4のいずれか一項に記載の方法。
- 前記SOIが、UTBOX(Ultra Thin Buried oxide)型薄層を備え、前記薄層の厚さが、500Å以下であることを特徴とする、請求項1〜5のいずれか一項に記載の方法。
- 前記レシーバ基板が、シリコンであることを特徴とする、請求項2〜6のいずれか一項に記載の方法。
- 前記中性ガスが、アルゴンであることを特徴とする、請求項1〜7のいずれか一項に記載の方法。
- プラズマ活性化中の電力密度が、0.4W/cm2であることを特徴とする、請求項1〜8のいずれか一項に記載の方法。
- 前記中性ガスが、窒素であることを特徴とする、請求項1〜7のいずれか一項に記載の方法。
- プラズマ活性化中の前記電力密度が、0.8W/cm2であることを特徴とする、請求項1〜10のいずれか一項に記載の方法。
- 前記レシーバ基板が、前記プラズマ活性化ステップの前に、洗浄ステップを施されることを特徴とする、請求項2と組み合わせた、請求項1〜11のいずれか一項に記載の方法。
- 前記ドナー基板が、前記プラズマ活性化ステップの前に、洗浄ステップを施されることを特徴とする、請求項2と組み合わせた、請求項1〜12のいずれか一項に記載の方法。
- 前記熱貼り合わせ処理が、低い温度において実行されることを特徴とする、請求項1〜13のいずれか一項に記載の方法。
- 前記熱貼り合わせ処理が、200℃と600℃との間に存在する温度において実行されることを特徴とする、請求項1〜14のいずれか一項に記載の方法。
- 前記熱貼り合わせ処理が、短い期間にわたって実行されることを特徴とする、請求項1〜15のいずれか一項に記載の方法。
- 前記熱貼り合わせ処理が、約2時間にわたって実行されることを特徴とする、請求項1〜16のいずれか一項に記載の方法。
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