JP2008177352A - 電子装置の製造方法 - Google Patents

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Abstract

【課題】
ボイドの発生を抑えることで信頼性を向上した電子装置の製造方法等を提供する。
【解決手段】
電子装置1の製造方法において、樹脂材料からなるフィルム111上に導体パターン112が形成されてなる基体11の導体パターン112が形成された側の面に熱硬化接着剤13pを付着させる付着工程と、回路チップ12を、熱硬化接着剤13pを介して基体11に載せる搭載工程と、熱硬化接着剤13pを加熱する加熱装置2によって、基体11を回路チップ12側とフィルム111側との両側から挟む挟持工程と、回路チップ12が載せられた基体11に、フィルム111が広がる方向への張力を付与する張力付与工程と、加熱装置2によって熱硬化接着剤13pを加熱して硬化させることによって回路チップ12を導体パターン112に固定する加熱工程とを備えた。
【選択図】 図3

Description

本発明は、電子装置の製造方法に関し、特にフィルム状の基体に回路チップが搭載された電子装置の製造方法に関する。
従来より、プリント配線基板等の基体に回路チップが搭載されてなる電子装置が広く知られている。このような電子装置は、電子機器に内蔵されてこの電子機器を制御したり、あるいは単体として外部機器と情報をやり取りしたりする用途に用いられている。電子装置の一例として、リーダライタに代表される外部機器と、電波によって非接触で情報のやり取りを行う種々のRFID(Radio_Frequency_IDentification)タグが知られている。このRFIDタグの一種として、ベースシート上に電波通信用の導体パターンとICチップが搭載された構成のものが提案されており、このようなタイプのRFIDタグについては、物品などに貼り付けられ、その物品に関する情報を外部機器とやり取りすることで物品の識別などを行うという利用形態が考えられている。
RFIDタグには、小型軽量化、特に薄型化やフレキシビリティ、そして低コスト化が求められている。これに対応し、ICチップが搭載される基体の材料として、例えば、ポリエチレン‐テレフタラート(PET)等の樹脂材料からなるフィルムを採用したRFIDタグが提案されている。(例えば、特許文献1参照)。
図9は、従来技術におけるRFIDタグを製造する方法を説明する図である。
図9には、RFIDタグを製造するための各工程がパート(a)からパート(d)まで順に示されている。
RFIDタグを製造するには、まず、図9のパート(a)に示すように、PETからなるフィルム911にRFIDタグのアンテナとして機能する導体パターン912が形成されてなる基体91を用意し、この基体91の上に、加熱によって硬化する熱硬化接着剤93pを付着させる。
次に、図9のパート(b)に示すように、基体91の熱硬化接着剤93pが付着した部分にIC92チップを載せる。ICチップ92には導体パターン912に接続されるバンプ921が形成されている。図9のパート(c)に示すように、ICチップ92は、バンプ921の位置と導体パターン912の位置が合うように基体91に載せられる。
次に、図9のパート(d)に示すように、ICチップ92が載せられた基体91は、基体91のフィルム911の側と、ICチップ92の側の両側から、加熱装置8によって挟まれる。次に、加熱装置8のうちICチップ92の側に当接する加熱ヘッド81によって、熱硬化接着剤93pが加熱されて硬化する。このようにして、ICチップ92は、バンプ921が導体パターン912に接触した状態で基体91に固定され、小型軽量のRFIDタグが完成する。
特開2001−156110号公報
しかしながら、フィルム911の材料であるPETは、ガラス転移点が約67℃であり、耐熱温度が低いため、熱硬化接着剤93pを硬化する際の加熱によって変形しやすい。
図10は、図9のパート(d)の加熱工程における基体の状態を説明する図である。
図10のパート(a)に示すように、ICチップ92が基体91に載せられた状態で加熱処理が行われると、基体91の温度が上昇し、図9のパート(b)に示すようにフィルム911が変形する。硬化中の熱硬化接着剤93pがフィルム911の変形に伴い流動すると、熱硬化接着剤93p中には気泡が発生し、硬化した後もボイド931となって残留する。硬化した熱硬化接着剤93p中のボイドは、ICチップ92と基体91との接着力を低下させるため、RFIDタグの信頼性を低下させる。
このようなボイドの発生による信頼性低下の問題はRFIDタグに限らず、フィルム状の基体に回路チップが搭載された電子装置に共通の問題である。
本発明は、上記事情に鑑み、ボイドの発生を抑えることで電子装置の信頼性を向上した電子装置の製造方法および製造装置を提供することを目的とする。
上記目的を達成する本発明の電子装置の製造方法は、
樹脂材料からなるフィルム上に導体パターンが形成されてなる基体のこの導体パターンが形成された側の面に熱硬化接着剤を付着させる付着工程と、
上記導体パターンに接続する回路チップを、上記熱硬化接着剤を介して上記基体に載せる搭載工程と、
上記基体の上記回路チップ側に当接する押さえ部と、この基体のフィルム側に当接してこの基体を支持する支持部とを有する、上記熱硬化接着剤を加熱する加熱装置によって、この基体を回路チップ側とフィルム側との両側から挟む挟持工程と、
上記回路チップが載せられた上記基体に、上記フィルムが広がる方向への張力を付与する張力付与工程と、
上記加熱装置によって上記熱硬化接着剤を加熱して硬化させることによって上記回路チップを上記導体パターンに固定する加熱工程とを備えたことを特徴とする。
本発明の電子装置の製造方法では、回路チップが載せられた基体に、フィルムが広がる方向への張力が付与されるため、フィルムが加熱によって溶融しても変形が抑えられる。したがって、熱硬化接着剤中における、フィルム変形に伴うボイドの発生が抑えられて、電子装置の信頼性が向上する。また、電子装置の製造歩留まりが向上するので、製造コストが低廉化する。
ここで、上記本発明の電子装置の製造方法において、上記フィルムのうち、上記回路チップが載せられる搭載領域を挟んだ両側に少なくとも1対の係止突起を設ける突起敷設工程をさらに備え、
上記張力付与工程が、上記係止突起の対を互いに遠ざける向きに引っ張る工程であることが好ましい。
張力付与工程でフィルムに係止突起の対を設けておき、この係止突起の対を互いに遠ざける向きに引っ張ることにより、フィルムが広がる方向への張力を容易に付与することができる。
また、上記本発明の電子装置の製造方法において、上記張力付与工程は、上記フィルムのうち、上記回路チップが載せられる搭載領域を挟んだ両側の部分を挟持して互いに遠ざける向きに引っ張る工程であってもよい。
また、上記本発明の電子装置の製造方法において、上記基体が、1枚のフィルム上に上記導体パターンが複数並んで形成されてなるものであり、
上記付着工程が、上記基体上の複数の導体パターンそれぞれに対して熱硬化接着剤を付着させる工程であり、
上記搭載工程が、上記基体上の複数の導体パターンそれぞれに接続する複数の回路チップをこの基体に載せる工程であり、
上記挟持工程が、上記基体上で互いに隣り合う複数の導体パターンの間のフィルムが一部は挟まれずに残るようにこの基体のこの複数の導体パターンそれぞれの箇所を挟む工程であり、
上記張力付与工程が、上記挟持工程で複数の導体パターンの間に残ったフィルムの部分に治具を引っ掛けることによって上記基体に張力を付与する工程であり、
上記基体を切断することによって複数の電子装置を形成する切断工程をさらに有することが好ましい。
複数の回路チップが載せられた基体を切断することによって複数の電子装置を形成する場合には、挟持工程において導体パターンの間のフィルムの一部を挟まずに残し、この残ったフィルムの部分を引っ掛けることによって基体に容易に張力を付与することができる。
以上説明したように、本発明によれば、ボイドの発生を抑えることで、信頼性が向上した電子装置の製造方法が実現する。
以下図面を参照して本発明の実施形態について説明する。
図1は、本発明の一実施形態によって製造されるRFIDタグを示す斜視図である。
図1に示すRFIDタグ1は、PET材からなるフィルム111の上に金属製のアンテナパターン112が形成されてなる基体11と、基体11に搭載されたICチップ12と、基体11とICチップ12とを接着する熱硬化接着剤13とで構成されている。
RFIDタグ1は、図示しないリーダライタと非接触で情報のやり取りを行う電子装置であり、リーダライタが発する電磁場のエネルギーをアンテナパターン112で電気エネルギーとして受け取り、その電気エネルギーでICチップ12が駆動されて通信動作が実現される。
ここで、RFIDタグ1は本発明にいう電子装置の一例に相当し、アンテナパターン112は本発明にいう導体パターンの一例に相当し、ICチップ12は本発明にいう回路チップの一例に相当する。
なお、本願技術分野における当業者間では、本願明細書で使用する「RFIDタグ」のことを、「RFIDタグ」用の内部構成部材(インレイ;inlay)であるとして「RFIDタグ用インレイ」と称する場合もある。あるいは、この「RFIDタグ」のことを「無線ICタグ」と称する場合もある。また、この「RFIDタグ」には、非接触型ICカードも含まれる。
以下、このRFIDタグ1の製造方法について説明する。
図2、図3、および図4は、図1に示すRFIDタグを製造する、本発明の一実施形態である製造方法を説明する図である。
図2には、RFIDタグ1の製造方法を構成する工程が、パート(a)からパート(e)まで順に示されており、図3には、図2の工程に続く各工程がパート(f)およびパート(g)に順に示されており、図4には、図3の工程に続く各工程がパート(h)およびパート(i)に順に示されている。図の見やすさのため、RFIDタグ1の厚み方向の寸法と、ICチップ12とが図1に示すものよりも誇張して表わされている。
RFIDタグ1を製造するには、まず、図2のパート(a)に示す導体形成工程で、フィルム111の搭載面11a上にアンテナパターン112を形成する。アンテナパターン112は、フィルム111上に銅からなる層を形成し、さらにレジスト層を形成しエッチングすることで形成されるが、具体的な手法としては、銀ペーストの印刷等他の手法によっても形成可能である。この導体形成工程で、フィルム111にアンテナパターン112が形成されてなる基体11が得られる。基体11の搭載面11a側に設けられた搭載領域11cには、後の工程でICチップが載せられることとなる。フィルム111はアンテナパターン112よりも長く形成されている。
次に、図2のパート(b)に示す突起敷設工程で、フィルム111の搭載領域11cを挟んだ両側に係止ピン16を設ける。
図5は、図2のパート(b)に示す突起敷設工程で係止ピンが設けられた基体を示す平面図である。本実施形態では、フィルム111のうち、搭載領域11cを挟んだ両側の、アンテナパターン112が延びた先の部分である端部111sに、2対の樹脂材料からなる円柱状の係止ピン16が取り付けられる。係止ピン16は本発明にいう係止突起の一例に相当する。
次に、図2のパート(c)に示す付着工程で、基体11の上に液状の熱硬化接着剤13pを付着させる。熱硬化接着剤13pは流動性を有しており基体11の搭載面11aのうちの、ICチップ12が搭載される搭載領域11cおよびその周辺に塗布される。
次に、図2のパート(d)およびパート(e)に示す搭載工程で、基体11の搭載領域11cにICチップ12を載せる。ICチップ12は、フリップチップ技術によって基体11に載せられる。すなわち、ICチップ12は、回路が形成された面12aを基体11に向けた姿勢で熱硬化接着剤13pを介して基体11に載せられる。ICチップ12の回路が形成された面12aにはアンテナパターン112に接続されるバンプ121が形成されている。図2のパート(e)に示すように、ICチップ12は、バンプ121の位置とアンテナパターン112の位置を合わせた状態で基体11に載せられる。
次に、図3のパート(f)に示す挟持工程で、ICチップ12が載せられた基体11を、基体11のフィルム111の側とICチップ12の側との両側から、加熱装置2によって挟む。加熱装置2は、基体11を挟むための加熱ヘッド21および加熱ステージ22を有しており、加熱ヘッド21は、図示しないヒータを内蔵している。挟持工程で、加熱ヘッド21はICチップ12に当接し、加熱ステージ22はフィルム111に当接する。図3のパート(f)に示す挟持工程によって、バンプ121がアンテナパターン112に確実に接触した状態となる。加熱装置2が本発明にいう電子装置の製造装置の一例に相当し、加熱ヘッド21が本発明にいう加熱部の一例に相当し、加熱ステージ22が本発明にいう支持部の一例に相当する。
次に、図3のパート(g)に示す張力付与工程で、係止ピン16の対を引っ張る。本実施形態における加熱装置2は、係止ピン16を引っ張るための1対の引張り部23が設けられている。張力付与工程では、引張り部23を係止ピン16に当接させ、搭載領域11cとは反対側に向かって荷重を加えることにより、係止ピン16の対を互いに遠ざける向きに引っ張る。この結果、基体11には、フィルム111が広がる方向への張力が付与される。
次に、図4のパート(h)に示す加熱工程で、加熱ヘッド21を発熱させ、熱硬化接着剤13pを加熱して硬化させる。ICチップ12は、熱硬化接着剤13pが硬化することによって、バンプ121がアンテナパターン112に接触した状態で基体11に固定される。この加熱工程は、基体11に、フィルム111が広がる方向への張力が付与された状態で行われるため、加熱によってフィルム11が溶融しても伸びが吸収され、フィルム11の変形が抑えられる。したがって、熱硬化接着剤13p中で、フィルム変形に伴うボイドの発生が抑えられる。
次に、図4のパート(i)に示す切除工程で、フィルム111の両側の端部111sを、係止ピン16ごと切除する。
図2のパート(i)に示す切除工程が終了すると、RFIDタグ1(図1参照)が完成する。
続いて、上述した実施形態とは製造方法が異なる、本発明の第2の実施形態について説明する。以下の第2実施形態の説明にあたっては、これまで説明してきた実施形態における各要素と同一の要素には同一の符号を付けて示し、前述の実施形態との相違点について主に説明する。
第2実施形態のRFIDタグは、図1に示す第1実施形態のRFIDタグ1と同様の構成を有している。
第2実施形態におけるRFIDタグの製造では、図2のパート(b)で説明した突起敷設工程が実施されず、RFIDタグは係止ピンを有しない。第2実施形態におけるRFIDタグの製造では、張力付与工程の内容が図3のパート(g)に示す工程と異なる。なお、図2のパート(a)に示す導体形成工程、並びに、図2のパート(c)から図3のパート(f)までに示す導体形成工程と、付着工程、搭載工程、および挟持工程は、第1実施形態と同様に実施される。
図6は、RFIDタグを製造する、本発明の第2実施形態の製造方法を説明する図である。
図6に示すように、第2実施形態のRFIDタグの製造に用いる加熱装置6には、図3のパート(g)を参照して説明した引張り部の代わりに、フィルム511を挟持する挟持部63が備えられている。
図6のパート(a)に示す張力付与工程では、フィルム511のうち、ICチップ12が載せられる搭載領域11cを挟んだ両側の端部511sを一対の挟持部63によって挟持して互いに遠ざける向きに引っ張る。これによって、基体51には、フィルム511が広がる方向への張力が付与される。
次に、図6のパート(b)に示す加熱工程では、加熱装置6の加熱ヘッド21を発熱させ、熱硬化接着剤13pを加熱して硬化させる。加熱工程は、第1実施形態の場合と同様、基体51に、フィルム511が広がる方向への張力が付与された状態で行われるため、加熱によってフィルム511が溶融しても、フィルム511の変形が抑えられる。
図6のパート(b)に示す張力付与工程の後、第1実施形態と同様に、図4のパート(i)に示す切除工程で、フィルムの端部511sを切除することで、図1に示す第1実施形態と同様のRFIDタグが完成する。
続いて、本発明の第3の実施形態について説明する。以下の第3実施形態の説明にあたっては、これまで説明してきた実施形態における各要素と同一の要素には同一の符号を付けて示し、前述の実施形態との相違点について主に説明する。
第3実施形態のRFIDタグも、図1に示す第1実施形態のRFIDタグ1と同様の構成を有しているが、第1実施形態のRFIDタグとは製造工程が異なる。第3実施形態のRFIDタグの製造は、いわゆるマルチチップボンディングであり、RFIDタグとなる部分を複数まとめて1つの基体に形成し、最後に切断することで複数のRFIDタグを得る。より詳細には、1枚のフィルム上に、複数のRFIDタグに対応する複数の導体パターンを並べて形成して1つの基体とし、付着工程では、この基体の複数の導体パターンそれぞれに対して熱硬化接着剤を付着させ、搭載工程では、複数のICチップを基体に載せる。ただし、RFIDタグとなる個々の部分に着目すると、導体形成工程、導体形成工程、付着工程、搭載工程は、図2のパート(a)および図2のパート(c)から図3のパート(e)までに示す第1実施形態の工程と同様に実施されるので、これらの工程については、基体全体についての図示を省略する。
図7および図8は、RFIDタグを製造する、本発明の第3実施形態の製造方法の各工程を説明する図である。
図7には、製造工程のうち、挟持工程、張力付与工程および加熱工程がまとめて示されており、図8には、製造工程のうち、図7の工程に続く切断工程が示されている。
図7に示すように、第3実施形態のRFIDタグの製造で用いられる加熱装置60には、2つの加熱器60A,60Bが備えられており、それぞれの加熱器60A,60Bは、加熱ヘッド21と加熱ステージ22との組み合わせからなる。また、加熱器60A,60Bの間には、フィルムを引っ掛けるロール67が設けられており、加熱器60A,60Bを挟んで両側の位置には、フィルムを挟む1対の挟持部63が配置されている。ロール67が本発明にいう治具の一例に相当する。
挟持工程において、加熱装置60は、2つの加熱器60A,60Bで、1枚のフィルム711に形成された基体71上の、複数のRFIDタグに相当する2つの隣り合うアンテナパターン112のそれぞれの箇所を挟む。このとき、加熱装置60の加熱器60A,60Bは、2つのアンテナパターン112の間はフィルム711を挟まずに残す。
次に、張力付与工程で、挟持部63がフィルム711の端部711sを挟むとともに、ロール67が、フィルム711のうち2つのアンテナパターン112の間で加熱器60A,60Bに挟まれずに残った部分711bを引っ掛け、下方に引っ張る。これによって、基体71に張力が付与される。
次に、加熱工程で、加熱装置60の加熱ヘッド21を発熱させ、熱硬化接着剤13pを加熱して硬化させる。加熱工程は、基体71に、フィルム711が広がる方向への張力が付与された状態で行われるため、加熱によってフィルム711が溶融しても、フィルム711の変形が抑えられる。
次に、図8に示す切断工程で、基体71を切断することによって、複数のRFIDタグを形成する。このとき、加熱器60A,60Bに挟まれずに残った部分711bおよび端部711sを切除することで、図1に示す第1実施形態と同様のRFIDタグ1が2つ完成する。
尚、上述した実施形態では、RFIDタグを製造する方法および加熱装置の例を説明したが、本発明は、フィルム状の基体に回路チップが搭載された電子装置の製造方法であればRFIDタグを対象とするものに限られない。本発明は、例えば、極薄型のICカードの製造方法や、基体としてのフレキシブル印刷回路(FPC)に熱硬化接着剤によって回路チップを固定したプリント回路基板装置の製造方法等にも適用される。
また、上述した実施形態では、RFIDタグの基体を構成するフィルムは、PET材からなるものとして説明したが、本発明が対象とする電子装置のフィルムはこれに限らず、ポリエステル材、ポリオレフィン材、ポリカーボネート材、アクリル系材料などから選択された材料で構成されてもよい。
上述した実施形態では、加熱ステージを発熱しないものとして説明したが、本発明はこれに限られるものではなく、支持部も過熱部とともに発熱するものであってもよい。
また、上述した第1実施形態では、フィルム111に、2対の樹脂材料の円柱状の係止ピン16が取り付けられる例を説明したが、本発明はこれに限られるものではなく、係止突起の形状は例えば直方体状等であってもよく、係止突起の数も1対または3対以上であってもよい。また、係止突起の材料は金属等であってもよい。
また、上述した第3実施形態では、1枚のフィルムから、2つのRFIDタグを形成する例を説明したが、本発明はこれに限られるものではなく、1枚のフィルムから、3つ以上のRFIDタグを形成するものであってもよい。また、複数のRFIDタグは、1枚のフィルム上にマトリクス状に配置されるものであってもよい。
以下、本発明の種々の形態について付記する。
(付記1)
樹脂材料からなるフィルム上に導体パターンが形成されてなる基体の該導体パターンが形成された側の面に熱硬化接着剤を付着させる付着工程と、
前記導体パターンに接続する回路チップを、前記熱硬化接着剤を介して前記基体に載せる搭載工程と、
前記基体の前記回路チップ側に当接する押さえ部と、該基体のフィルム側に当接して該基体を支持する支持部とを有する、前記熱硬化接着剤を加熱する加熱装置によって、該基体を回路チップ側とフィルム側との両側から挟む挟持工程と、
前記回路チップが載せられた前記基体に、前記フィルムが広がる方向への張力を付与する張力付与工程と、
前記加熱装置によって前記熱硬化接着剤を加熱して硬化させることによって前記回路チップを前記導体パターンに固定する加熱工程とを備えたことを特徴とする電子装置の製造方法。
(付記2)
前記フィルムのうち、前記回路チップが載せられる搭載領域を挟んだ両側に少なくとも1対の係止突起を設ける突起敷設工程をさらに備え、
前記張力付与工程が、前記係止突起の対を互いに遠ざける向きに引っ張る工程であることを特徴とする付記1記載の電子装置の製造方法。
(付記3)
前記張力付与工程が、前記フィルムのうち、前記回路チップが載せられる搭載領域を挟んだ両側の部分を挟持して互いに遠ざける向きに引っ張る工程であることを特徴とする付記1記載の電子装置の製造方法。
(付記4)
前記基体が、1枚のフィルム上に前記導体パターンが複数並んで形成されてなるものであり、
前記付着工程が、前記基体上の複数の導体パターンそれぞれに対して熱硬化接着剤を付着させる工程であり、
前記搭載工程が、前記基体上の複数の導体パターンそれぞれに接続する複数の回路チップを該基体に載せる工程であり、
前記挟持工程が、前記基体上で互いに隣り合う複数の導体パターンの間のフィルムが一部は挟まれずに残るように該基体の該複数の導体パターンそれぞれの箇所を挟む工程であり、
前記張力付与工程が、前記挟持工程で複数の導体パターンの間に残ったフィルムの部分に治具を引っ掛けることによって前記基体に張力を付与する工程であり、
前記基体を切断することによって複数の電子装置を形成する切断工程をさらに有することを特徴とする付記1記載の電子装置の製造方法。
本発明の一実施形態によって製造されるRFIDタグを示す斜視図である。 図1に示すRFIDタグを製造する、本発明の一実施形態の製造方法の各工程を説明する図である。 図2の工程に続く製造工程を示す図である。 図3の工程に続く製造工程を示す図である。 図2のパート(b)に示す突起敷設工程で係止ピンが設けられた基体を示す平面図である。 RFIDタグを製造する、本発明の第2実施形態の製造方法の各工程を説明する図である。 RFIDタグを製造する、本発明の第3実施形態の製造方法の各工程を説明する図である。 図7の工程に続く製造工程を示す図である。 従来技術におけるRFIDタグを製造する方法を説明する図である。 図9の加熱工程における基体の状態を説明する図である。
符号の説明
1 RFIDタグ(電子装置)
11,51,71 基体
11a 搭載面
111 フィルム
112 アンテナパターン(導体パターン)
12 ICチップ(回路チップ)
13p 熱硬化接着剤
16 係止ピン
2,6,60 加熱装置(製造装置)
21 加熱ヘッド(過熱部)
22 加熱ステージ(支持部)
23 引張り部
63 挟持部
67 ロール(治具)

Claims (4)

  1. 樹脂材料からなるフィルム上に導体パターンが形成されてなる基体の該導体パターンが形成された側の面に熱硬化接着剤を付着させる付着工程と、
    前記導体パターンに接続する回路チップを、前記熱硬化接着剤を介して前記基体に載せる搭載工程と、
    前記基体の前記回路チップ側に当接する押さえ部と、該基体のフィルム側に当接して該基体を支持する支持部とを有する、前記熱硬化接着剤を加熱する加熱装置によって、該基体を回路チップ側とフィルム側との両側から挟む挟持工程と、
    前記回路チップが載せられた前記基体に、前記フィルムが広がる方向への張力を付与する張力付与工程と、
    前記加熱装置によって前記熱硬化接着剤を加熱して硬化させることによって前記回路チップを前記導体パターンに固定する加熱工程とを備えたことを特徴とする電子装置の製造方法。
  2. 前記フィルムのうち、前記回路チップが載せられる搭載領域を挟んだ両側に少なくとも1対の係止突起を設ける突起敷設工程をさらに備え、
    前記張力付与工程が、前記係止突起の対を互いに遠ざける向きに引っ張る工程であることを特徴とする請求項1記載の電子装置の製造方法。
  3. 前記張力付与工程が、前記フィルムのうち、前記回路チップが載せられる搭載領域を挟んだ両側の部分を挟持して互いに遠ざける向きに引っ張る工程であることを特徴とする請求項1記載の電子装置の製造方法。
  4. 前記基体が、1枚のフィルム上に前記導体パターンが複数並んで形成されてなるものであり、
    前記付着工程が、前記基体上の複数の導体パターンそれぞれに対して熱硬化接着剤を付着させる工程であり、
    前記搭載工程が、前記基体上の複数の導体パターンそれぞれに接続する複数の回路チップを該基体に載せる工程であり、
    前記挟持工程が、前記基体上で互いに隣り合う複数の導体パターンの間のフィルムが一部は挟まれずに残るように該基体の該複数の導体パターンそれぞれの箇所を挟む工程であり、
    前記張力付与工程が、前記挟持工程で複数の導体パターンの間に残ったフィルムの部分に治具を引っ掛けることによって前記基体に張力を付与する工程であり、
    前記基体を切断することによって複数の電子装置を形成する切断工程をさらに有することを特徴とする請求項1記載の電子装置の製造方法。
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