JP2008173970A5 - - Google Patents

Claims (8)

1. 液体を吐出するために利用されるエネルギーを発生するエネルギー発生素子を有する基板と、前記エネルギー発生素子と対向する位置に設けられた液体の吐出口を有する吐出部と、を備える液体吐出ヘッドの製造方法において、
   前記基板上に前記吐出口を形成する部材となるネガ型感光性樹脂の層を形成する工程と、
   ｉ線を用いて前記層を露光し、前記吐出部の基板に平行な断面の断面積が前記基板から吐出口に向かう方向にいくに従って小さくなるように、前記吐出部を形成する工程と、
   を有し、前記層は、３６５ｎｍの光に対する吸光度が１μｍあたり０．０２以上０．０７以下であることを特徴とする液体吐出ヘッドの製造方法。
2. 前記ネガ型感光性樹脂がエポキシ樹脂と、光カチオン重合開始剤と、を含有することを特徴とする請求項１に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
3. 前記層が、３６５ｎｍの光を吸収する添加剤を含有することを特徴とする請求項１または２に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
4. 前記添加剤が前記光カチオン重合開始剤に作用する増感剤であることを特徴とする請求項３に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
5. 前記吐出部は、第一の吐出部と、該第一の吐出部が有する吐出口と異なる吐出口を有し、前記基板に平行な断面の断面積が前記吐出口に向かうに従って小さくなる度合いが前記第一の吐出部よりも大きい、第二の吐出部と、を含み、
   前記層を露光する工程は、
   前記第一の吐出部を形成するための露光を行う第一の露光工程と、
   前記第二の吐出部を形成するための露光を行う第二の露光工程と、
   を有することを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
6. 前記基板上に、前記吐出部と連通するインクの流路の型となるパターンを設ける工程を更に有し、
   前記パターン上に前記ネガ型感光性樹脂の層が形成され、前記吐出部を形成した後、前記パターンを除去することを特徴とする請求項１乃至５のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
7. 液体を吐出するために利用されるエネルギーを発生するエネルギー発生素子と、前記エネルギー発生素子と対向する位置に設けられ液体の吐出口を有する吐出部と、該吐出部へ液体を供給するための流路と、
   を有し、前記吐出部は前記基板に平行な断面の断面積が前記吐出口に向かうに従って小さくなる形状であり、前記吐出部を形成する部材は、３６５ｎｍの光に対する吸光度が１μｍあたり０．０２以上０．０７以下であるネガ型感光性樹脂の硬化物によって形成されていることを特徴とする液体吐出ヘッド。
8. 液体を吐出するために利用されるエネルギーを発生するエネルギー発生素子と、前記エネルギー発生素子と対向する位置に設けられた液体の吐出口を有する吐出部と、を備える液体吐出ヘッドの製造方法において、
   前記基板上に前記吐出口を形成する部材となるネガ型感光性樹脂の層を形成する工程と、
   前記層を単波長の光を用いて露光し、前記吐出部の基板に平行な断面の断面積が前記基板から吐出口に向かう方向にいくに従って小さくなるように、前記吐出部を形成する工程と、
   を有し、前記層は、露光に用いられる光に対する吸光度が１μｍあたり０．０２以上０．０７以下であることを特徴とする液体吐出ヘッドの製造方法。