JP2008163448A - マスク装置とマスク装置の製造方法及びこれを用いた有機電界発光表示装置の製造方法 - Google Patents
マスク装置とマスク装置の製造方法及びこれを用いた有機電界発光表示装置の製造方法 Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】本発明に係るマスクは、マスク上に形成された1つまたは複数のマスクアラインメントマークと、前記マスク上に形成され、且つ蒸着物を遮断する遮断領域と、前記マスク上に形成され、且つ前記蒸着物が通過する開口領域と、を備え、前記1つまたは複数のマスクアラインメントマークは、前記開口領域の外側に形成され、前記開口領域の形状は、ストライプ形状であり、前記マスク基板の圧延方向と前記ストライプ形状の長手方向とが同一である。
【選択図】図3
Description
まず、図1aに示されたように、従来技術に係るマスクは、まず、ステンレス鋼やその他の金属材料からなる鋼板をローラ1を用いて圧延工程を進行してマスク基板2を形成する。前記マスク基板2は、その後にフォトリソグラフィ法を用いて前記マスク基板2をエッチングして、開口領域3及び遮断領域4を形成することによって、マスクを完成するようになる。
まず、図2aに示されたように、まず、ステンレス鋼や金属合金からなる鋼板を用意し、前記鋼板をローラ10で圧延し、マスク基板11を形成する。前記マスク基板11は、前記圧延工程を経て0.5乃至1mmの厚さを有するようになる。
図3に示されたように、本発明の製造方法により製作されたマスク装置20は、ストライプ形状の開口領域25aと、遮断領域25b及びマスクアラインメントマーク25cが形成されている。さらに詳細には、マスク基板が圧延された方向21と開口領域25aのストライプ方向とが同一に形成されている。
図6、図7及び図9は、本発明の実施形態に係る有機電界発光表示装置を示す断面図である。
図8に示されたように、本発明のマスク装置36が備えられた蒸着装置30が示されている。前記蒸着装置30は、四角形状の筺体からなり且つSUS(steel use stainless)材質で形成され、メインボディー(main body)の役目をする真空チャンバー31と、前記真空チャンバー31の側面に設けられ、基板が搬送されることができる開閉部32とを備える。
21 圧延方向
25a 開口領域
25b 遮断領域
25c マスクアラインメントマーク
27 スクライブライン
Claims (12)
- マスク上に形成された1つまたは複数のマスクアラインメントマークと、
前記マスク上に形成され、且つ蒸着物を遮断する遮断領域と、
前記マスク上に形成され、且つ前記蒸着物が通過する開口領域と、を備え、
前記1つまたは複数のマスクアラインメントマークは、前記開口領域の外側に形成され、前記開口領域の形状は、ストライプ形状であり、
前記マスク基板の圧延方向と前記ストライプ形状の長手方向とが同一であることを特徴とするマスク装置。 - 前記開口領域は、6μm以下の直進度を有することを特徴とする請求項1に記載のマスク装置。
- 前記マスクは、金属または金属合金からなることを特徴とする請求項1に記載のマスク装置。
- 前記マスクは、ステンレス鋼からなることを特徴とする請求項1に記載のマスク装置。
- 前記マスクは、0.5乃至1mmの厚さからなることを特徴とする請求項1に記載のマスク装置。
- マスク基板を圧延し、
前記マスク基板上に前記マスク基板の圧延方向とストライプ形状の長手方向とが同一である開口領域を形成することを備えることを特徴とするマスク装置の製造方法。 - 前記マスク基板は、ローラを用いた圧延方式で形成することを特徴とする請求項6に記載のマスク装置の製造方法。
- 前記開口領域は、フォトリソグラフィ法を用いて形成することを特徴とする請求項6に記載のマスク装置の製造方法。
- 前記マスクを圧延した後、前処理を行うことをさらに備えることを特徴とする請求項6に記載のマスク装置の製造方法。
- 基板を用意し、
前記基板上に第1電極を形成し、
前記第1電極が形成された基板を、マスク基板の圧延方向と開口領域のストライプ形状の長手方向とが同一であるマスク装置が備えられた蒸着チャンバー内に搬入し、
前記基板上に、発光層を含む有機膜層を蒸着し、
前記基板を蒸着チャンバーの外部に搬出し、
前記基板の全面に第2電極を形成することを備えることを特徴とする有機電界発光表示装置の製造方法。 - 前記基板上に、半導体層と、ゲート電極及びソース/ドレイン電極を含む薄膜トランジスタをさらに形成することを特徴とする請求項10に記載の有機電界発光表示装置の製造方法。
- 前記有機膜層は、蒸発法(evaporation)を用いて形成することを特徴とする請求項10に記載の有機電界発光表示装置の製造方法。
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