JP2008159613A - 磁気ランダムアクセスメモリ及びその書き込み方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】磁気ランダムアクセスメモリは、磁化方向が固定された固定層11と磁化方向が反転可能な記録層13と固定層及び記録層の間に設けられた非磁性層12とを有し、固定層及び記録層の間に流す電流の向きに応じて固定層及び記録層の磁化方向が平行状態又は反平行状態となる磁気抵抗効果素子MTJと、電流により発生した磁場を集中させ、磁場を記録層の磁化に作用させるヨーク層YKとを具備する。
【選択図】 図1
Description
第1の実施形態は、MTJ素子の周囲にヨーク層を設け、このヨーク層にMTJ素子に流す書き込み電流によって発生した磁場を集中させ、この磁場を記録層の磁化に作用させる例である。
図1は、本発明の第1の実施形態に係る磁気ランダムアクセスメモリの断面図を示す。以下に、第1の実施形態に係る磁気ランダムアクセスメモリの構造について説明する。
図2は、本発明の第1の実施形態に係るヨーク層の磁場アシストの原理を説明するための図を示す。以下に、第1の実施形態に係る磁場アシストの原理について説明する。
(平行磁化型)
図3(a)乃至(c)は、本発明の第1の実施形態に係る平行磁化型のMTJ素子を用いた場合の書き込み動作を説明するための図を示す。以下に、第1の実施形態に係る平行磁化型のMTJ素子を用いた場合の書き込み動作について説明する。
図4(a)乃至(c)は、本発明の第1の実施形態に係る垂直磁化型のMTJ素子を用いた場合の書き込み動作を説明するための図を示す。以下に、第1の実施形態に係る垂直磁化型のMTJ素子を用いた場合の書き込み動作について説明する。
第1の実施形態の読み出し動作では、磁気抵抗(Magneto Resistive)効果を利用する。
上記第1の実施形態によれば、MTJ素子MTJの周囲に筒状のヨーク層YKを形成している。このような構造において、MTJ素子MTJの膜面垂直方向に書き込み電流Iを流すと、この書き込み電流Iにより発生した電流磁場HがMTJ素子MTJの周囲のヨーク層YKに集中する。これにより、スピン偏極電子による磁化反転作用に加えて、このスピンの歳差運動をアシストする方向にヨーク層YKの磁場Hが発生し、記録層13の磁化が反転し易くなる。従って、書き込み電流を低減することが可能となる。
第2の実施形態は、第1の実施形態の変形例であり、第1の実施形態のヨーク層の中間にスリットを形成した例である。尚、第2の実施形態では、第1の実施形態と同様の点については説明を省略する。
図5は、本発明の第2の実施形態に係る磁気ランダムアクセスメモリの断面図を示す。以下に、第2の実施形態に係る磁気ランダムアクセスメモリの構造について説明する。
図6は、本発明の第2の実施形態に係るヨーク層のスリットからの磁場分布の原理を説明するための図を示す。以下に、第2の実施形態に係るヨーク層のスリットからの磁場分布の原理について説明する。
図7(a)乃至(c)は、本発明の第2の実施形態に係る平行磁化型のMTJ素子を用いた場合の書き込み動作を説明するための図を示す。以下に、第2の実施形態に係る平行磁化型のMTJ素子を用いた場合の書き込み動作について説明する。
上記第2の実施形態によれば、第1の実施形態と同様の効果を得ることができる。さらに、第2の実施形態では、ヨーク層YK1、TK2にスリット30を形成している。このため、スリット30に発生した高密度磁場H2により、MTJ素子MTJがヨーク層YK1、TK2の磁場アシスト効果を受け易くなり、書き込み電流をさらに低減することができる。
第3の実施形態は、第2の実施形態の変形例であり、第2の実施形態の2分されたヨーク層の上側部分のみになっている例である。尚、第3の実施形態では、第1及び第2の実施形態と同様の点については説明を省略する。
図8は、本発明の第3の実施形態に係る磁気ランダムアクセスメモリの断面図を示す。図9(a)乃至(f)は、本発明の第3の実施形態に係る磁気ランダムアクセスメモリのヨーク層の底面の位置を示した模式図である。以下に、第3の実施形態に係る磁気ランダムアクセスメモリの構造について説明する。
図10(a)及び(b)は、本発明の第3の実施形態に係る平行磁化型のMTJ素子において、ヨーク層の磁場アシストの原理を説明するための図を示す。図10(c)及び(d)は、本発明の第3の実施形態に係る垂直磁化型のMTJ素子において、ヨーク層の磁場アシストの原理を説明するための図を示す。以下に、第3の実施形態に係る磁場アシストの原理について説明する。
上記第3の実施形態によれば、第1の実施形態と同様の効果を得ることができる。さらに、第3の実施形態では、ヨーク層YK1の底面の周囲にMTJ素子MTJを形成している。このため、ヨーク層YK1の底面から発生する高密度磁場H2により、MTJ素子MTJがヨーク層YK1の磁場アシスト効果を受け易くなり、書き込み電流をさらに低減することができる。
第4の実施形態は、第2の実施形態の変形例であり、第2の実施形態の2分されたヨーク層の下側部分のみになっている例である。尚、第4の実施形態では、第1及び第2の実施形態と同様の点については説明を省略する。
図11及び図12は、本発明の第4の実施形態に係る磁気ランダムアクセスメモリの断面図を示す。以下に、第4の実施形態に係る磁気ランダムアクセスメモリの構造について説明する。
図14(a)及び(b)は、本発明の第4の実施形態に係る平行磁化型のMTJ素子において、ヨーク層の磁場アシストの原理を説明するための図を示す。図14(c)及び(d)は、本発明の第4の実施形態に係る垂直磁化型のMTJ素子において、ヨーク層の磁場アシストの原理を説明するための図を示す。以下に、第4の実施形態に係る磁場アシストの原理について説明する。
上記第4の実施形態によれば、第1の実施形態と同様の効果を得ることができる。さらに、第4の実施形態では、ヨーク層YK2の上面の周囲にMTJ素子MTJを形成している。このため、ヨーク層YK1の上面から発生する高密度磁場H2により、MTJ素子MTJがヨーク層YK2の磁場アシスト効果を受け易くなり、書き込み電流をさらに低減することができる。
第5の実施形態は、第1の実施形態などのMTJ素子上のコンタクトを小さくした例である。尚、第5の実施形態では、第1の実施形態と同様の点については説明を省略する。
図15乃至図18は、本発明の第5の実施形態に係る磁気ランダムアクセスメモリの断面図を示す。以下に、第5の実施形態に係る磁気ランダムアクセスメモリの構造について説明する。
(b)Ta
(c)Tiを含む化合物(例えば、TiN、TiW、TiSiN、TiSix、TiB2、TiB、TiC)
(d)Taを含む化合物(例えば、TaB2、TaB、TaC、TaN、Ta4N5、Ta5N6、Ta2N)
(e)Zrを含む化合物(例えば、ZrB2、ZrB、ZrC、ZrN)
(f)Hfを含む化合物(例えば、HfB、HfC、HfN)
(g)Vを含む化合物(例えば、VB2、VB、VC、VN)
(h)Nbを含む化合物(例えば、NbB2、NbB、NbC、NbN)
(i)Crを含む化合物(例えば、CrB2、CrB、Cr2B、Cr3C2、Cr2N、CrN)
(j)Moを含む化合物(例えば、Mo2B3、MoB2、MoB、Mo2B、MoxCy、Mo2C、MoN)
(k)Wを含む化合物(例えば、WxBy、W2B5、WxCy、WC、W2C、WxNy、WN)
キャップ層20は、プロセスの容易性からMTJ素子MTJ素子と同一の平面形状が望ましいが、異なる平面形状でもよい。キャップ層20の上面(コンタクト21側の面)の面積は、コンタクト21の底面(キャップ層20側の面)の面積よりも大きいことが望ましい。
図19(a)乃至(g)は、本発明の第5の実施形態に係る磁気ランダムアクセスメモリの製造工程の断面図を示す。以下に、第5の実施形態に係る磁気ランダムアクセスメモリの製造方法について説明する。ここでは、図15の構造を例に挙げて説明する。
上記第5の実施形態によれば、第1の実施形態と同様の効果を得ることができる。さらに、第5の実施形態では、MTJ素子MTJ上のコンタクト21を細くすることで、このコンタクト21の記録層13に接触する面積を記録層13の面積よりも小さくしている。このため、書き込み動作時に、コンタクト21とMTJ素子MTJとの局所的な接触部分から磁化反転が生じ、磁壁移動効果により磁化反転が伝播することで、素子全体の磁化が反転する。このため、書き込み動作時、ヨーク層YKの磁場アシスト効果に加えて、小コンタクトの効果により、書き込み電流をさらに低減することができる。さらに、記録層13よりも高抵抗のキャップ層20を設けることで、電流拡散による効果の減少を防ぐことができる。
第6の実施形態は、第2の実施形態と同様、ヨーク層にスリットを形成した例である。但し、第2の実施形態では、スリットがMTJ素子の膜面に対して平行方向に形成されていたのに対し、第6の実施形態では、スリットがMTJ素子の膜面に対して垂直方向に形成されている。尚、第6の実施形態では、第1及び第2の実施形態と同様の点については説明を省略する。
図20乃至図22は、本発明の第6の実施形態に係るヨーク層の縦方向のスリットの模式図を示す。以下に、第6の実施形態に係るヨーク層の縦方向のスリットについて説明する。
図23(a)及び(b)は、本発明の第6の実施形態に係るヨーク層のスリットからの磁場分布の原理を説明するための図を示す。以下に、第6の実施形態に係るヨーク層のスリットからの磁場分布の原理について説明する。
上記第6の実施形態によれば、第1の実施形態と同様の効果を得ることができる。さらに、第6の実施形態では、ヨーク層YKにスリット50を形成している。このため、スリット50の領域に発生した磁場ベクトルにより、MTJ素子MTJがヨーク層YKの磁場アシスト効果を受け易くなり、書き込み電流をさらに低減することができる。
第7の実施形態では、各実施形態の6F2(2F×3F)のセルレイアウトについて説明する。尚、本実施形態の説明図ではヨーク層は省略する。
図24(a)は、本発明の第7の実施形態に係るメモリセルのレイアウト例1の概略的な平面図を示す。図24(b)は、図24(a)のXXIVB−XXIVB線に沿った断面図を示す。以下に、第7の実施形態に係るレイアウト例1について説明する。
図25(a)は、本発明の第7の実施形態に係るメモリセルのレイアウト例2の概略的な平面図を示す。図25(b)は、図25(a)のXXVB−XXVB線に沿った断面図を示す。以下に、第7の実施形態に係るレイアウト例2について説明する。
図26は、本発明の第7の実施形態に係るメモリセルのレイアウト例3の概略的な平面図を示す。以下に、第7の実施形態に係るレイアウト例3について説明する。
第8の実施形態では、各実施形態で用いられるMTJ素子について説明する。
MTJ素子MTJの固定層11及び記録層13の磁化方向は、膜面に対して垂直方向を向いていてもよいし(垂直磁化型)、膜面に対して平行方向に向いていてもよい(平行磁化型)。
MTJ素子MTJは、例えば以下のような材料からなる。
「Fe(鉄)、Co(コバルト)、Ni(ニッケル)のうちの少なくとも1つと、Cr(クロム)、Pt(白金)、Pd(パラジウム)のうちの少なくとも1つとを含む合金からなるもの」
例えば、規則合金としては、Fe(50)Pt(50)、Fe(50)Pd(50)、Co(50)Pt(50)などがある。例えば、不規則合金としては、CoCr合金、CoPt合金、CoCrPt合金、CoCrPtTa合金、CoCrNb合金などがある。
「Fe、Co、Niのうちの少なくとも1つ又はこれらのうちの1つを含む合金と、Pd、Ptのうちの1つ又はこれらのうちの1つを含む合金とが、交互に積層された構造を持つもの」
例えば、Co/Pt人工格子、Co/Pd人工格子、CoCr/Pt人工格子などがある。Co/Pt人工格子を使用した場合及びCo/Pd人工格子を使用した場合においては、抵抗変化率(MR比)は、約40%、という大きな値を実現できる。
「希土類金属のうちの少なくとも1つ、例えば、Tb(テルビウム)、Dy(ジスプロシウム)、又は、Gd(ガドリニウム)と、遷移金属のうちの少なくとも1つとからなるアモルファス合金」
例えば、TbFe、TbCo、TbFeCo、DyTbFeCo、GdTbCoなどがある。
「Fe、Co、Niのうちの少なくとも1つと、Cr、Pt、Pdのうちの少なくとも1つとを含む合金に、不純物を添加したもの」
例えば、規則合金としては、Fe(50)Pt(50)、Fe(50)Pd(50)、又は、Co(50)Pt(50)に、Cu、Cr、Agなどの不純物を加えて磁気異方性エネルギー密度を低下させたものなどがある。例えば、不規則合金としては、CoCr合金、CoPt合金、CoCrPt合金、CoCrPtTa合金、又は、CoCrNb合金について、非磁性元素の割合を増加させて磁気異方性エネルギー密度を低下させたものなどがある。
「Fe、Co、Niのうちの少なくとも1つ又はこれらのうちの1つを含む合金と、Pd、Ptのうちの1つ又はこれらのうちの1つを含む合金とが、交互に積層された構造を持つものであって、前者の元素若しくは合金からなる層の厚さ、又は、後者の元素若しくは合金からなる層の厚さを調整したもの」
Fe、Co、Niのうちの少なくとも1つ又はこれらのうちの1つを含む合金についての厚さの最適値と、Pd、Ptのうちの1つ又はこれらのうちの1つを含む合金についての厚さの最適値とが存在し、厚さがこれら最適値から離れるに従い、磁気異方性エネルギー密度は、次第に低下する。
「希土類金属のうちの少なくとも1つ、例えば、Tb(テルビウム)、Dy(ジスプロシウム)、又は、Gd(ガドリニウム)と、遷移金属のうちの少なくとも1つとからなるアモルファス合金の組成比を調整したもの」
例えば、TbFe、TbCo、TbFeCo、DyTbFeCo、GdTbCoなどのアモルファス合金の組成比を調整し、磁気異方性エネルギー密度を小さくしたものがある。
上記各実施形態では、MTJ素子MTJの平面形状を楕円にしていたが、これに限定されない。MTJ素子MTJの平面形状は、例えば、長方形、正方形、円、六角形、菱型、平行四辺形、十字型、ビーンズ型(凹型)等、種々に変更することが可能である。
MTJ素子MTJは、1重トンネル接合(シングルジャンクション)構造でもよいし、2重トンネル接合(ダブルジャンクション)構造でもよい。
Claims (5)
- 磁化方向が固定された固定層と磁化方向が反転可能な記録層と前記固定層及び前記記録層の間に設けられた非磁性層とを有し、前記固定層及び前記記録層の間に流す電流の向きに応じて前記固定層及び前記記録層の前記磁化方向が平行状態又は反平行状態となる磁気抵抗効果素子と、
前記電流により発生した磁場を集中させ、前記磁場を前記記録層の磁化に作用させるヨーク層と
を具備することを特徴とする磁気ランダムアクセスメモリ。 - 前記ヨーク層は、前記磁気抵抗効果素子の側面を囲むことを特徴とする請求項1に記載の磁気ランダムアクセスメモリ。
- 前記ヨーク層の端部は、前記記録層の上面と底面の間に位置することを特徴とする請求項1に記載の磁気ランダムアクセスメモリ。
- 磁化方向が固定された固定層と磁化方向が反転可能な記録層と前記固定層及び前記記録層の間に設けられた非磁性層とを有し、前記固定層及び前記記録層の間に流す電流の向きに応じて前記固定層及び前記記録層の前記磁化方向が平行状態又は反平行状態となる磁気抵抗効果素子と、
前記磁気抵抗効果素子の側面を囲むヨーク層と
を備え、
書き込み動作時に前記固定層及び前記記録層の間に前記電流を流すことにより、前記電流により発生した磁場が前記ヨーク層に集中して前記磁場が前記記録層に作用するとともに、前記電流によるスピン偏極電子が前記記録層に作用することを特徴とする磁気ランダムアクセスメモリの書き込み方法。 - 前記磁気ランダムアクセスメモリは、前記記録層に接続され、前記記録層との接触面積が前記記録層の面積よりも小さいコンタクトをさらに備え、
前記書き込み動作時、前記コンタクトと前記記録層との接触した部分から前記記録層の磁化が反転し、磁化反転の伝播により前記記録層の全体の磁化が反転することを特徴とする請求項4に記載の磁気ランダムアクセスメモリの書き込み方法。
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