JP2008153557A

JP2008153557A - リードフレーム供給装置

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Publication number: JP2008153557A
Application number: JP2006342010A
Authority: JP
Inventors: Yusuke Goshi; 裕介郷司; Yoshiaki Yukimori; 美昭行森
Original assignee: Nidec Tosok Corp
Current assignee: Nidec Powertrain Systems Corp
Priority date: 2006-12-20
Filing date: 2006-12-20
Publication date: 2008-07-03
Anticipated expiration: 2026-12-20
Also published as: JP5009602B2

Abstract

【課題】マガジンに収められたリードフレームと、単体で厚さ方向に積み上げられたリードフレームという二種類のリードフレーム供給形態が可能で、占有面積が少なく品種変更の容易なリードフレーム供給装置を提供する。
【解決手段】リードフレームスタッカローダ部１４をマガジンローダ部１３上部に配設する。リードフレームスタッカローダ部１４の移送機構７１で移送したリードフレーム１２を載置するガイドレール１０１を搬送エレベータ部１５のマガジンチャック８３に設ける。搬送エレベータ部１５は、マガジンチャック８３を作動してマガジン１１内のリードフレーム１２を本体装置への供給位置に合わせて移動することができるとともに、ガイドレール１０１に載置されたリードフレーム１２を供給位置に合わせて移動することができる。
【選択図】図１

Description

本発明は、半導体組立装置におけるリードフレーム供給装置に関する。

従来、短冊形のリードフレームを半導体組立装置に供給するリードフレーム供給装置としては、一般的にマガジンと呼ばれる箱状の治具内に設けられた多数の溝にリードフレームを積層した状態で収容し各マガジンに収容されたリードフレームを本体装置の搬送路に送り出すマガジンローダ式のリードフレーム供給装置と、リードフレーム単体あるいは損傷防止のためのスペーサを挟んで積層されたリードフレームから一枚ずつ引き剥がしたリードフレームをガイドレールを介して本体装置の搬送路に送り出すリードフレームスタッカローダ式のリードフレーム供給装置とが知られている。

ここで、前記マガジンを用いた前者のリードフレーム供給装置をマガジンローダ、単体のリードフレームを一枚ずつ供給する後者のリードフレーム供給装置をリードフレームスタッカローダと呼称する。

図７は、前記マガジンローダ１００１の一例を示す図であり、このマガジンローダ１００１は、リードフレーム１００２を収めたマガジン１００３を操作者が供給する為のマガジン供給部１００４と、前記マガジン１００３を把握保持して目的のリードフレーム１００２を本体装置の搬送路に移動するために上下前後に動作するエレベータ機構１００５と、該エレベータ機構１００５から排出されたマガジン１００３を操作者が取り出せるように収容するマガジン排出部１００６との三種類の要素から構成されている。

このマガジンローダ１００１の動作を図１の（ｂ）を用いて説明する。まず操作者がリードフレーム１００２を納めたマガジン１００３を前記マガジン供給部１００４に供給すると、このマガジン１００３は、ベルトコンベアなどにより前記エレベータ機構１００５への受け渡し部に搬送される。次に、このエレベータ機構１００５に設けられたマガジンチャック１０１１によってマガジン１００３を把握し、当該マガジン１００３内のリードフレーム１００２が本体装置の搬送路に沿うように移動するとともに、当該リードフレーム１００２を前記本体装置に受け渡す。そして、空になったマガジン１００３は、エレベータ機構１００５に押し出される又はベルトコンベア等により前記マガジン排出部１００６に排出される。

図８は、前記リードフレームスタッカローダ１０２１の一例を示す図である。このリードフレームスタッカローダ１０２１では、リードフレーム１０２２外形に合わせて設定されたガイド１０２３，１０２３に沿ってリードフレーム１０２２が厚さ方向に積み上げられており、リードフレーム１０２２，・・・の間には、損傷防止のスペーサが各リードフレーム１０２２と交互に重ねられている場合もある。

積み上げられた前記リードフレーム１０２２，・・・は、図８の（ｂ）に示すように、エレベータ機構１０３１でリードフレーム吸着部１０３２に向かって上昇、またはリードフレーム吸着部１０３２が降下、あるいはその両方の動作で最上部の一枚のリードフレーム１０２２が前記リードフレーム吸着部１０３２に保持される。保持したものがリードフレーム１０２２かスペーサなのかをセンサにより判別し、スペーサであればスペーサ受け１０３３に、リードフレーム１０２２であれば本体装置の搬送路に合わせて設けられたガイドレール１０３４に移送する。

しかしながら、このような両者のリードフレーム供給装置にあっては、リードフレームの供給方法により機構的にまったく異なるものであった。

このため、一台の半導体製造装置で二種類の供給方法を必要とする場合には、図９に示すように、前記マガジンローダ１００１と前記リードフレームスタッカローダ１０２１とを水平方向に並べて設置する必要があり、占有面積が大きくなるという半導体製造装置にとっては好ましくない問題があった。

また、供給方法が増えることでリードフレーム品種を変更する際には調整する箇所が増加するため時間を要するという問題が生じる。

本発明は、このような従来の課題に鑑みてなされたものであり、マガジンに収められたリードフレームと、単体で厚さ方向に積み上げられたリードフレームという二種類のリードフレーム供給形態が可能で、占有面積が少なく品種変更の容易なリードフレーム供給装置を提供することを目的とするものである。

前記課題を解決するために本発明の請求項１のリードフレーム供給装置にあっては、短冊状のリードフレームが収容されるマガジンを供給するマガジン供給部及び前記マガジンが排出されるマガジン排出部が上下に配設されたマガジンローダ部と、供給されたマガジンを保持するマガジンチャックを作動して当該マガジン内のリードフレームを本体装置への供給位置に合わせて移動する供給位置移動機構と、短冊状のリードフレームを積み上げた状態で保持するリードフレームスタッカ及び該リードフレームスタッカからリードフレームを取り出して移送する移送機構を備えたリードフレームスタッカローダ部とを備えたリードフレーム供給装置であって、前記マガジンローダ部と前記リードフレームスタッカローダ部とを高さ方向に並べて配置する一方、該リードフレームスタッカローダ部の前記移送機構で移送した前記リードフレームが載置されるガイドレールを前記マガジンチャックに設けるとともに、当該ガイドレールに載置された前記リードフレームを前記供給位置に合わせて移動できるように前記供給位置移動機構による前記マガジンチャックの可動範囲を設定した。

すなわち、マガジンに収められたリードフレームを本体装置へ供給する際には、マガジン供給部から供給されたマガジンを、供給位置移動機構のマガジンチャックで保持するとともに、当該マガジンチャックを作動することによって、当該マガジン内のリードフレームを本体装置への供給位置に合わせて移動する。

これにより、この供給位置に配置された前記マガジン内の前記リードフレームは、前記本体装置に供給される。

また、前記リードフレームスタッカに積み上げられたリードフレームを本体装置に供給する際には、リードフレームを移送機構によって前記リードフレームスタッカから取り出すとともに、この取り出したリードフレームを、前記マガジンチャックに設けられたガイドレールに載置する。そして、前記供給位置移動機構で前記マガジンチャックを作動することによって、前記ガイドレールに載置された前記リードフレームを前記供給位置に合わせて移動する。

これにより、この供給位置に配置された前記ガイドレール上の前記リードフレームは、前記本体装置に供給される。

このように、このリードフレーム供給装置においては、前記マガジンに収容されたリードフレームと、前記リードフレームスタッカに積み上げられたリードフレームとを本体装置に供給することができる。

そして、前記マガジンローダ部と前記リードフレームスタッカローダ部とは、高さ方向に並べて配置されており、両者を横並びに配置した場合と比較して、その占有面積が少なくなる。

さらに、前記リードフレームスタッカから取り出したリードフレームを載置する前記ガイドレールは、前記マガジンチャックに設けられている。

このため、前記マガジンを前記供給位置へ移動する際には、前記ガイドレールを前記マガジンチャックと共に移動することができ、該マガジンチャックに保持したマガジンを前記供給位置へ移動する為の移動空間が形成される。

また、請求項２のリードフレーム供給装置においては、前記ガイドレールのレール幅を調整するレール幅調整機構を備えている。

このため、前記ガイドレールのレール幅を調整することによって、幅寸法の異なるリードフレームにも対応することができる。

さらに、請求項３のリードフレーム供給装置では、前記リードフレームスタッカを着脱可能に設け、該リードフレームスタッカに保持されたリードフレームをガイドするとともに、ガイドされるリードフレームの外形形状に応じて移動可能なガイド部を設けた。

これにより、補給用のリードフレームを、他のリードフレームスタッカに予め用意しておくことで、リードフレームの補給が容易となる。

また、異なる形状のリードフレームを、他のリードフレームスタッカに用意しておけば、品種変更が容易に行われる。

このとき、前記リードフレームスタッカには、リードフレームの外形形状に応じて移動可能なガイド部が設けられている。このため、このガイド部をリードフレームの外形形状に応じて移動することで、異なる形状のリードフレームへの変更が可能となる。

以上説明したように本発明の請求項１のリードフレーム供給装置にあっては、前記マガジンに収容されたリードフレームと積み上げられたリードフレームとの両者を、本体装置に供給することができる。したがって、このような二種類のリードフレーム供給形態を可能とするとともに、リードフレームの品種変更を容易とすることができる。

また、前記マガジンローダ部と前記リードフレームスタッカローダ部とを、高さ方向に並べて配置することで、両者を横並びに配置した場合と比較して、その占有面積を大幅に削減することができる。

そして、前記リードフレームスタッカから取り出したリードフレームを載置するガイドレールを前記マガジンチャックに設けることによって、前記マガジンを前記供給位置へ移動する際には、前記ガイドレールを前記マガジンチャックと共に移動することができ、該マガジンチャックに保持したマガジンを前記供給位置へ移動する為の移動空間を確保することができる。

また、請求項２のリードフレーム供給装置においては、前記ガイドレールのレール幅を調整するレール幅調整機構を備えたことにより、幅寸法の異なるリードフレームに品種変更する場合であっても、容易に対応することができる。

さらに、請求項３のリードフレーム供給装置では、補給用のリードフレームを、着脱式のリードフレームスタッカに予め用意しておくことで、リードフレームの補給を迅速に行うことができる。

また、異なる形状のリードフレームを、着脱式のリードフレームスタッカに用意しておけば、品種変更を容易に行うことができる。

このとき、前記リードフレームスタッカには、リードフレームの外形形状に応じて移動可能なガイド部が設けられている。このため、このガイド部をリードフレームの外形形状に応じて移動することで、異なる形状のリードフレームへの変更を容易に行うことができる。

以下、本発明の一実施の形態を図に従って説明する。図１は、本実施の形態にかかるリードフレーム供給装置１を示す図である。該リードフレーム供給装置１は、半導体組立装置を構成するダイボンダなどの本体装置にリードフレームを供給する装置であり、マガジンに収容されたリードフレームを供給する機能と、単体で厚さ方向に積み上げられたリードフレームを供給する機能とを備えている。

すなわち、前記リードフレーム供給装置１は、マガジン１１に収容された短冊状のリードフレーム１２を供給する為のマガジンローダ部１３と、積み上げられた短冊状のリードフレーム１２（図示省略）を供給する為のリードフレームスタッカローダ部１４と、それぞれのリードフレーム１２を、本体装置への供給位置へ移動する為の供給位置移動機構としての搬送エレベータ部１５とを備えている。

前記マガジンローダ部１３及び前記リードフレームスタッカローダ部１４は、当該半導体組立装置の装置前方Ｆに設けられており、前記搬送エレベータ部１５は、装置後方Ｒに設けられている。前記マガジンローダ部１３と前記リードフレームスタッカローダ部１４とは、高さ方向に並べて配置されており、前記マガジンローダ部１３は、前記リードフレームスタッカローダ部１４の下部に配置されている。

このマガジンローダ部１３は、前記リードフレーム１２が収容されたマガジン１１を供給するマガジン供給部２１と、リードフレーム１２の供給を終えた前記マガジン１１が排出されるマガジン排出部２２とを備えており、前記マガジン供給部２１は、前記マガジン排出部２２の上部に配置されている。前記マガジン供給部２１には、その載置面にマガジン搬入コンベア２３が設けられており、載置されたマガジン１１を装置後方Ｒ側の端部へ移動できるように構成されている。また、前記マガジン排出部２２には、その載置面にマガジン排出コンベア２４が設けられており、装置後方Ｒに載置されたマガジン１１を装置前方Ｆへ移動できるように構成されている。

前記リードフレームスタッカローダ部１４は、図２にも示すように、スタッカ取付部３１が設けられており、該スタッカ取付部３１には、リードフレームスタッカ３２を手前側から着脱自在に取り付けられるように構成されている。

このリードフレームスタッカ３２は、図３に示すように、短冊状のリードフレーム１２（図示省略）を厚み方向に積み上げた状態で保持する矩形枠状の外枠４１を備えており、該外枠４１の底板４２上には、可動式の底板からなるリフトプレート４３が両側板４４，４４間にて上下動自在に配置されている。このリフトプレート４３には、幅方向に延在する長穴４５，・・・が設けられており、各長穴４５，・・・には、収容されたリードフレーム１２の側縁に摺接するガイド部としてのリードフレーム案内棒４６，・・・が設けられいる。

各リードフレーム案内棒４６，・・・は、前記外枠４１に設けられた長穴にネジ止めされており（図示省略）、この長穴に沿って当該リードフレームスタッカ３２の幅方向へ移動できるように構成されている。これにより、前記各リードフレーム案内棒４６，・・・は、当該リードフレームスタッカ３２に保持されたリードフレーム１２をガイドするとともに、ガイドされるリードフレーム１２の幅寸法に応じて移動した位置で固定できるように構成されている。そして、このリードフレームスタッカ３２の前記外枠４１の上面には、位置決めピン挿入穴４７，４７が設けられている。

このリードフレームスタッカ３２が取り付けられる前記スタッカ取付部３１には、図２に示したように、スライド式のスタッカベース５１が設けられており、該スタッカベース５１には、前記リードフレームスタッカ３２の前記位置決めピン挿入穴４７に挿入される位置決めピン５２が設けられている。また、前記スタッカ取付部３１には、前記リードフレームスタッカ３２の浮きを防止する一対の浮き防止板５３，５３と、エアシリンダで構成されたスタッカロック機構５４とが設けられている。

これにより、前記リードフレームスタッカ３２の前記位置決めピン挿入穴４７に前記位置決めピン５２を挿入した状態で、前記リードフレームスタッカ３２に対して水平方向の拘束をし、さらに前記スタッカベース５１を、装置を動作可能な位置に押し戻すと前記リードフレームスタッカ３２の縁が前記浮き防止板５３，５３の下に入り込むことで抜けなくなり、不意に逸脱する可能性を排している。

また、引き出し式の前記スタッカベース５１は正しい位置まで押し戻されたのをセンサで感知すると前記スタッカロック機構５４によって機械的なロックがかかり、装置動作中に前記スタッカベース５１を引き出す誤操作に対しても安全性を確保している。これにより、着脱式の当該リードフレームスタッカ３２では、装置稼動中での意図しない外れを未然に防止し、装置の破損等を確実に防止できるように構成されている。

そして、このロック状態では、前記スタッカ取付部３１に設けられた駆動機構５５でリフトアーム５６を駆動することによって、該リフトアーム５６を受けるリフトアーム受け５７が四カ所に設けられた前記リフトプレート４３を上下動できるように構成されており、該リフトプレート４３に支持された前記リードフレーム１２を上方へ押し上げられるように構成されている。

このスタッカ取付部３１の装置前方Ｆ側には、容器状のスペーサ受け６１が設けられており、該スペーサ受け６１も、前記リードフレームスタッカ３２と共に、手前に引き出せるように構成されている。

また、前記リードフレームスタッカローダ部１４には、取り付けられた前記リードフレームスタッカ３２からリードフレーム１２を取り出して移送する移送機構７１が設けられており、該移送機構７１には、前記リードフレームスタッカ３２からリードフレーム１２を吸着して一枚ずつ取り出すリードフレーム吸着部７２が設けられている。該リードフレーム吸着部７２は、リードフレーム吸着部前後駆動モータ７３によって装置前後方向へ駆動されるように構成されており、上動する前記リフトプレート４３で押し上げられた前記リードフレームスタッカ３２内のリードフレーム１２を吸着して移送できるように構成されている。このとき、前記リードフレーム１２，１２間に配設されたスペーサを吸着した際には、これをセンサで感知して当該リードフレーム吸着部７２を移動することにより、当該スペーサを前記スペーサ受け６１に収容できるように構成されている。

前記搬送エレベータ部１５は、図１に示したように、上下に延設されたスライドレール８１に沿って駆動されるスライダ８２を備えており、該スライダ８２には、図４にも示すように、前記マガジン１１を保持するマガジンチャック８３が駆動機構によって水平方向へ移動自在に設けられている。

前記マガジンチャック８３は、前記マガジン１１を上下から挟持する上爪部９１と下爪部９２とを備えており、前記マガジン供給部２１に配置された前記マガジン１１を保持するとともに、該マガジン１１内のリードフレーム１２を本体装置の搬送路へ供給可能な供給位置に合わせて移動できるように構成されている。また、保持したマガジン１１内の総てのリードフレーム１２，・・・の供給を終えた際には、当該マガジン１１を前記マガジン排出部２２へ移送して排出できるように構成されている。

このマガジンチャック８３の前記上爪部９１上には、図４及び図５に示すように、前記リードフレームスタッカローダ部１３の前記移送機構７１で移送された前記リードフレーム１２を載置する為のガイドレール１０１が設けられており、前記搬送エレベータ部１５は、前記ガイドレール１０１に載置された前記リードフレーム１２を前記供給位置に合わせて移動できるように前記マガジンチャック８３の可動範囲が設定されている。

そして、前記ガイドレール１０１は、図６にも示すように、レール幅１１１を調整するレール幅調整機構１１２を備えている。

すなわち、前記マガジンチャック８３の前記上爪部９１には、レールブラケット１２１を介して後部レール１２２が固定されており、前記レールブラケット１２１には、ガイドレール支持用直動ガイド１２３，１２３に支持された支持棧１２４，１２４を介して、前部レール１２５が前記後部レール１２２に平行して設けられている。前記レールブラケット１２１には、ガイドレール駆動モータ１２６が設けられており、該ガイドレール駆動モータ１２６に設けられたピニオンギアは、前記支持棧１２４に設けられた駆動用ラック１２７に噛合している。

これにより、前記ガイドレール駆動モータ１２６を駆動して前記後部レール１２２に対して前記前部レール１２５を移動することで、当該ガイドレール１０１のレール幅１１１を可変できるように構成されており、前記レールブラケット１２１に設けられたガイドレール基準位置検出センサ１３１によって前記支持棧１２４の位置を検出することで、図４に示したように、前記前部レール１２５を待避位置１３２へ移動することもでき、当該リードフレーム供給装置１をマガジンローダとして使用する場合での当該ガイドレール１０１の周囲への干渉を防止することができる。

そして、このガイドレール１０１が指令された間隔に自動展開されるとともに、当該ガイドレール１０１が設けられた前記マガジンチャック８３が前記搬送エレベータ部１５に対して移動されることによって、前記本体装置の搬送路の中心線と当該ガイドレール１０１の中心線とが合致するように前後位置調整を行えるように構成されている。

これにより、前記リードフレームスタッカ３２から取り出したリードフレーム１２を保持する前記リードフレーム吸着部７２を前記ガイドレール１０１の真上に移動した状態で、前記搬送エレベータ部１５によって前記ガイドレール１０１を前記リードフレーム吸着部７２に接近するまで上昇して、当該リードフレーム吸着部７２から前記リードフレーム１２を受け取った後、前記マガジンチャック８３を移動することによって、前記ガイドレール１０１に載置された前記リードフレーム１２を本体装置の搬送路の高さ位置である前記供給位置まで下降して本体装置へ供給するように構成されている。

以上の構成にかかる本実施の形態において、前記マガジン１１に収められたリードフレーム１２を本体装置へ供給する際には、マガジン供給部２１から供給されたマガジン１１を、搬送エレベータ部１５のマガジンチャック８３で保持するとともに、当該マガジンチャック８３を作動することによって、当該マガジン１１内のリードフレーム１２を本体装置への供給位置に合わせて移動する。

これにより、この供給位置に配置された前記マガジン１１内の前記リードフレーム１２を、前記本体装置に供給することができる。

また、前記リードフレームスタッカ３２に積み上げられたリードフレーム１２を本体装置に供給する際には、前記リードフレームスタッカ３２内のリードフレーム１２を移送機構７１によって当該リードフレームスタッカ３２から取り出すとともに、この取り出したリードフレーム１２を、前記マガジンチャック８３に設けられたガイドレール１０１に載置する。そして、前記搬送エレベータ部１５で前記マガジンチャック８３を作動することによって、前記ガイドレール１０１に載置された前記リードフレーム１２を前記供給位置に合わせて移動する。

これにより、この供給位置に配置された前記ガイドレール１０１上の前記リードフレーム１２を、前記本体装置に供給することができる。

このように、このリードフレーム供給装置１においては、前記マガジン１１に収容されたリードフレーム１２と、前記リードフレームスタッカ３２に積み上げられたリードフレーム１２との両者を本体装置に供給することができる。したがって、このような二種類のリードフレーム供給形態を可能とするとともに、リードフレーム１２の品種変更を容易とすることができる。

そして、前記マガジンローダ部１３と前記リードフレームスタッカローダ部１４とは、高さ方向に並べて配置されており、両者を横並びに配置した場合と比較して、その占有面積を大幅に削減することができる。

さらに、前記リードフレームスタッカ３２から取り出したリードフレーム１２を載置する前記ガイドレール１０１は、前記マガジンチャック８３に設けられている。

このため、前記マガジン１１を前記供給位置へ移動する際には、前記ガイドレール１０１を、前記マガジン１１を保持したマガジンチャック８３と共に移動することができ、該マガジンチャック８３に保持したマガジン１１を前記供給位置へ移動する為の移動空間を確保することができる。

一方、前記ガイドレール１０１は、そのレール幅１１１を調整するレール幅調整機構１１２を備えている。

このため、前記ガイドレール１０１のレール幅１１１を調整することによって、幅寸法の異なるリードフレーム１２にも対応することができる。これにより、幅寸法の異なるリードフレーム１２に品種変更する場合であっても、容易に対応することができる。

さらに、前記リードフレームスタッカ３２は、スタッカ取付部３１に着脱自在に取り付けられており、別途用意したスタッカ取付部３１と交換することができる。このため、補給用のリードフレーム１２を、別途用意したリードフレームスタッカ３２に予め収容しておくことで、リードフレーム１２の補給を迅速に行うことができる。

また、異なる形状のリードフレーム１２を、別途用意したリードフレームスタッカ３２に収容しておけば、品種変更を容易に行うことができる。

このとき、前記リードフレームスタッカ３２には、リードフレーム１２の外形形状に応じて移動可能なリードフレーム案内棒４６，・・・が設けられている。このため、このリードフレーム案内棒４６，・・・を収容するリードフレーム１２の外形形状に応じて移動することで、異なる形状のリードフレーム１２への変更を容易に行うことができる。

本発明の一実施の形態を示す斜視図である。同実施の形態の要部を拡大した斜視図である。同実施の形態のリードフレームスタッカを示す斜視図である。同実施の形態のマガジンチャックでマガジンを保持した状態を示す斜視図である。同実施の形態のガイドレールにリードフレームを載置した状態を示す斜視図である。同実施の形態のガイドレールを示す斜視図である。（ａ）は従来のマガジンローダを示す図であり、（ｂ）は、その動作を示す説明図である。（ａ）は従来のリードフレームスタッカローダを示す図であり、（ｂ）は、その動作を示す説明図である。従来のマガジンローダとリードフレームスタッカローダとを組み合わせたリードフレーム供給装置を示す図である。

符号の説明

１リードフレーム供給装置
１１マガジン
１２リードフレーム
１３マガジンローダ部
１４リードフレームスタッカローダ部
２１マガジン排出部
２２マガジン供給部
３２リードフレームスタッカ
４６リードフレーム案内棒（ガイド部）
７１移送機構
８３マガジンチャック
１０１ガイドレール
１１１レール幅
１１２レール幅調整機構

Claims

短冊状のリードフレームが収容されるマガジンを供給するマガジン供給部及び前記マガジンが排出されるマガジン排出部が上下に配設されたマガジンローダ部と、
供給されたマガジンを保持するマガジンチャックを作動して当該マガジン内のリードフレームを本体装置への供給位置に合わせて移動する供給位置移動機構と、
短冊状のリードフレームを積み上げた状態で保持するリードフレームスタッカ及び該リードフレームスタッカからリードフレームを取り出して移送する移送機構を備えたリードフレームスタッカローダ部と、
を備えたリードフレーム供給装置であって、
前記マガジンローダ部と前記リードフレームスタッカローダ部とを高さ方向に並べて配置する一方、
該リードフレームスタッカローダ部の前記移送機構で移送した前記リードフレームが載置されるガイドレールを前記マガジンチャックに設けるとともに、当該ガイドレールに載置された前記リードフレームを前記供給位置に合わせて移動できるように前記供給位置移動機構による前記マガジンチャックの可動範囲を設定したことを特徴とするリードフレーム供給装置。
前記ガイドレールのレール幅を調整するレール幅調整機構を備えたことを特徴とする請求項１記載のリードフレーム供給装置。
前記リードフレームスタッカを着脱可能に設け、該リードフレームスタッカに保持されたリードフレームをガイドするとともに、ガイドされるリードフレームの外形形状に応じて移動可能なガイド部を設けたことを特徴とする請求項１又は２記載のリードフレーム供給装置。