JP2008129358A - 真空チャンバ及び電子線描画装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】真空チャンバ11の内部空間10A,10Bを真空引きすることによって、ベース15を変形させるような力が作用する場合に、内部空間10Bと外部空間との圧力の差分を補正機構50を介してベース15の変形を打ち消すように作用させる。これにより、ベース15の中央部近傍の変形を抑制し、ベース15の平面度を良好に維持することが可能となる。
【選択図】図4
Description
以下、本発明の第1の実施形態を図1〜図3(B)に基づいて説明する。図1は、防振装置20に支持された真空チャンバ10のZX断面図である。また、図2は、真空チャンバ10を一部断面して示す斜視図である。図1及び図2を総合するとわかるように、真空チャンバ10は、四隅近傍を防振装置20(例えば、空気圧によるサーボマウンタ等)に支持されたベース15と、ベース15の上面及び下面にそれぞれ固定された第1筐体12及び第2筐体17とを備えている。
次に、本発明の第2の実施形態を図4〜図9に基づいて説明する。ここで、前述した第1の実施形態と同一若しくは同等の構成部分については、同一の符号を用いるとともに、その説明を省略若しくは簡略するものとする。
Claims (7)
- 精密ステージが配置される内部空間を外部空間から気密状態で隔離して、前記内部空間の真空度を維持する気密室と;
前記内部空間から気体を排気する真空ポンプと;
前記精密ステージを保持するとともに、前記内部空間を第1空間と第2空間に区画するベースと;を備え、
前記ベースは前記第1空間と前記第2空間とを連通する貫通孔を有していることを特徴とする真空チャンバ。 - 精密ステージが配置される内部空間を外部空間から気密状態で隔離して、前記内部空間の真空度を維持する気密室と;
前記内部空間から気体を排気する真空ポンプと;
前記精密ステージを保持するとともに、前記内部空間を第1空間と第2空間に区画するベースと;
前記真空ポンプによる気体の排気にともなって、前記内部空間と前記外部空間との間に生じる気圧差を利用して、前記ベースの変形を抑制する補正機構と;を備える真空チャンバ。 - 前記ベースは前記第1空間と前記第2空間とを連通する貫通孔を有していることを特徴とする請求項2に記載の真空チャンバ。
- 前記補正機構は、前記貫通孔の周囲に複数配置されていることを特徴とする請求項3に記載の真空チャンバ。
- 前記補正機構は、鉛直方向に弾性を有する弾性部材を含むことを特徴とする請求項2〜4のいずれか一項に記載の真空チャンバ。
- 前記気密室は、前記ベースの上面に気密的に配置されることで前記第1空間を規定する第1容体と、前記ベースの下面に気密的に配置されることで前記第2空間を規定する第2容体とを備える請求項1〜5のいずれか一項に記載の真空チャンバ。
- 電子ビームを用いて試料の表面に情報を記録する電子線描画装置であって、
請求項1〜6のいずれか一項に記載の真空チャンバと;
前記試料に電子ビームを照射する照射装置と;
前記真空チャンバのベース上で、前記試料を保持する精密ステージと;を備える電子線描画装置。
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