JP4500507B2 - 移動案内装置及びそれを用いた露光装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、電子線描画装置、精密計測器等非大気雰囲気中で高速移動,精密位置決めを繰り返すあるいは高精度にスキャン移動する移動案内装置及び該装置を用いた露光装置等に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
従来の構成ステージは昭57−41814、昭57−61436等に示すようにX,Y平面内を移動するために、1軸はモータ(+ネジ等の伝達機構)を直結し、もう1軸はモータを固定し、カップリングを介して力を伝達している。本方法では、2軸とも駆動伝達軸(ネジ等)及びモータが固定されており(移動しない)真空容器の外から力を伝達するには適している。しかしながら本構成では、▲1▼カップリングの剛性が駆動系に直列に加わっており、剛性の劣化を招く。
▲2▼また、ステージの位置によりカップリング剛性が変化するため制御特性が変化し、十分な精度、移動速度が得られない。
▲3▼ステージが移動すると、Yステージに偏荷重が発生しYステージが変形する。従って、Xステージの静的な姿勢精度(ピッチング)が劣化する。
▲4▼ステージが移動することにより系の平面内の重心位置が変化するため、ステージ駆動することにより、ピッチング,ヨーイング等の振動を励起し、動的な姿勢精度も劣化する。
等の欠点があった。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
また、上記従来例の欠点をカバーするため昭60−23941等のステージ構成が提案されている。しかし、本発明におけるステージ構成でも上記の(3)、(4)の項目の改善にはなっていない。
【0004】
また、駆動用リニアモータの効率が悪く(コイルの推力に寄与する部分が少ないので)、発熱等の影響が大きい。
【0005】
また真空容器を小型化する目的で特開2002−107479号公報が提案されているが、真空容器の構造が複雑化する、等の欠点がある。
【0006】
さらに、真空容器の小型化、ガス汚染防止のため特開2000−331931号公報,特開2001−052988号公報が提案されているが、本構成では真空容器の外面を静圧空気軸受の案内面としているため真空引きすることにより容器が変形し、ステージが移動することにより軸受の隙間を一定(5〜10μm程度)に保つことは非常に困難であり、真空度の劣化,移動精度の劣化を生じる等の欠点がある。
【0007】
本発明は上記欠点をカバーするため及び、真空中での気体供給及び排気用の配管を極力少なくするよう考案されたものであり、本出願に係わる第1の発明の目的は、XY平面内を移動する高精度な移動体の案内及び駆動装置。
【0008】
本出願に係わる第2の発明の目的は、第1の発明の移動体の案内方法。
【0009】
本出願に係わる第3の発明の目的は、第1の発明の真空度を維持するための案内方法。
【0010】
本出願に係わる第4の発明の目的は、第1の発明の駆動装置の真空シール、排気装置及び方法。
【0011】
本出願に係わる第5の発明の目的は、第1の発明の高精度な真空シール装置及び方法。
【0012】
本出願に係わる第6の発明の目的は、第1の発明の移動体の駆動方法。
【0013】
本出願に係わる第7の発明の目的は、第1の発明の移動体の他の駆動方法。
【0014】
本出願に関わる第8の発明の目的は、XY平面内を移動する高精度な移動装置の第2の実施例。
【0015】
本出願に係わる第9の発明の目的は、第2の発明の移動体の案内及び排気方法。
【0016】
本出願に係わる第10の発明の目的は、第2の発明の駆動方法。
【0017】
本出願に係わる第11の発明の目的は、第2の発明の駆動装置。
【0018】
本出願に関わる第12の発明の目的は、XY平面内を移動する高精度な移動装置の第3の実施例。
【0019】
本出願に係わる第13の発明の目的は、第2及び第3の発明の真空シール方法及び装置。
【0020】
【課題を解決するための手段】
本出願に係わる第1の発明は、移動案内装置であって、ベースと、前記ベース上を第1方向に移動する第1移動体と、前記第1移動体を前記第1方向に移動させる第1駆動源と、前記第1移動体の移動を案内する第1案内と、前記第1移動体が開口を通して貫通して設置される真空容器と、前記真空容器外で前記真空容器の開口に対向して非接触に配置され、前記第1移動体とともに移動する第1板と、を備え、前記第1駆動源と前記第1案内とは、前記真空容器外に配置され、前記第1板と前記真空容器との間には、静圧気体軸受が設けられていないことを特徴とする。
【0033】
【発明の実施の形態】
(実施例1)
図1〜図5は本発明の第1の実施例の概略図である。図1はステージの斜視図、図2はステージ及び真空容器の裏面図、図3は真空シール部の概略図、図4は気体回収板、真空容器の概略図であり、図4は気体回収板に真空ポンプを設置した例であり、図5は真空容器から気体を回収する例である。
【0034】
図1〜図4において、1は基準面を有する定盤であり、2は案内であり、211、212はX方向、221,222Y方向は、3はXY方向移動体、41はX方向移動体、42はY方向移動体、5はアクチュエータであり、511,512はX方向駆動用、521,522はY方向駆動用アクチュエータである。6は静圧空気軸受け(不図示)、7は気体回収板であり71はX方向、72はY方向の気体回収板、8は真空容器である。
【0035】
上記構成において、静圧軸受け6(不図示)に給気することによりX移動体41は固定ガイド211,212,定盤1から浮上し、Y移動体42は固定ガイド221,222、定盤1から浮上する。また、XY移動体3はX移動体41、Y移動体42、定盤1より浮上する。本構成において、XY移動体3は真空容器8内に収納され、X移動体41,Y移動体42,X案内211,212、Y案内221,222は真空容器8外に設置される。
【0036】
また、定盤1(別定盤でもかまわない)上に固定されたアクチュエータ511,512を駆動することによりX駆動体41及び気体回収板71がX方向に移動し、静圧軸受を介してXY移動体3をX方向に移動させる。また、アクチュエータ521,522を駆動することによりY駆動体42及び気体回収板72がY方向に移動し、静圧軸受を介してXY移動体3をY方向に移動させる。気体回収板71,72と真空容器8の間は微小な隙間を保って非接触に保たれており、気体回収板71,72あるいは真空容器のどちらかに少なくとも1つのラビリンス溝が加工されており、ラビリンスと対向する孔より真空ポンプにより気体が回収される。また、XY移動体3に用いられる静圧軸受け6(不図示)は特開昭63−192864号公報(特登録2587227)等に用いられている気体噴出口及びその気体を排気するための排気溝を備えており、真空容器外に排気される。
【0037】
本構成の特徴として、
▲1▼XY移動体の位置が変化しても定盤には偏荷重が発生しないので、静的な姿勢精度を高精度に保つことができる。
▲2▼X駆動体、Y駆動体とも定盤面上の2本のリニアモータで駆動しているのでXY移動体の位置により適当に駆動力を調整することによりXY移動体のヨーイング振動の発生を抑制することができる。
▲3▼すべて非接触のためゴミ、熱の発生がなく高精度、かつメンテナンスが容易で得ある。
▲4▼振動の伝達について、静圧空気軸受けの隙間を介しての微小量のみしか伝わらないので動的な姿勢精度を良好に保つことができる。
▲5▼リニアモータは真空容器の外から駆動するので真空容器を小型化することが可能。
▲6▼真空容器外のリニアモータが移動しても気体回収板により空気を排気しているので、真空容器内の真空度には影響しない。
【0038】
(実施例2)
図6〜図7に本発明の第2の実施例を示す。図6は上面図、図7はA−A断面図を示す。第1の発明と同部品には同番号を付している。
【0039】
同構成において、静圧軸受け6(不図示)に給気することによりX案内211、212は定盤1から浮上し、XY移動体3は案内221,222から浮上する。本構成において、XY移動体3移動は真空容器8内に収納され、X案内211,212、Y案内221,222は真空容器8外に設置される。
【0040】
また、定盤1(別定盤でもかまわない)上に固定されたアクチュエータ511,512を駆動することによりX案内211,212及び気体回収板71がX方向に移動し、静圧軸受を介してXY移動体3をX方向に移動させる。また、Y案内上のアクチュエータ521,522を駆動することによりXY駆動体3がY方向に移動する。気体回収板71については第1の発明と同様の構成となっている。また、Y案内221,222に用いられる静圧軸受けは図7に示すように真空容器8の側には排気用の溝を設けており、真空室8の真空度劣化を防いでいる。本構成により第1の発明の効果に加え、
▲1▼真空容器内から静圧軸受けを排除しているのでより高精度が期待できる。
▲2▼移動案内と真空室の排気機構を分離しているので真空引きにより真空室が変形しても移動精度が変化することはなく、高精度な移動が可能。
▲3▼真空室が変形しても、排気用ラビリンス(溝)数、排気孔径、真空ポンプ能力等を適切に選択することにより真空度を劣化させることはない。
【0041】
(実施例3)
図8に本発明の第3の実施例の上面図を示す。第1、第2の発明と同部品には同番号を付している。本発明は、第2の発明の案内構成に加え、移動体3の駆動を定盤1上に固定された平面アクチュエータ10で行っている。本構成により、第1,第2の発明の効果に加え、
▲1▼XY移動体をダイレクトライブしているので軸受け特性が介在せず、制御特性の向上が見込まれる。
▲2▼アクチュエータ構成を簡略化することができる。
【0042】
<露光装置の実施形態>
図9は、上記の実施形態のステージ装置を用いた電子ビーム露光装置の概略図を示している。
【0043】
同図において、ウエハを搭載して位置決めを行うため、上記の実施形態のステージ装置が設けられている。定盤1は、ダンパ1093により、床から除振されている。ダンパ1093は、受動的でも能動的でもよい。ダンパ1093は、例えば、エアばね等を有し、能動的なダンパの場合は、さらにアクチュエータを有する。XY移動体3は、レーザ干渉計1094により位置計測され、この位置計測結果に基づいて所定の位置に位置決めされる。
【0044】
1095は、電子ビーム露光装置の電子光学系である。電子光学系1095は、電子ビーム照射装置と、電子レンズとを有する。電子光学系1095は、鏡筒定盤1096に支持されている。鏡筒定盤1096は、ダンパ1093に支持され、床から除振されている。鏡筒定盤を支持するダンパも、上述のダンパと同様、受動的でも能動的でもよい。XY移動体3の位置を計測する上記のレーザ干渉計1094は、鏡筒定盤1096に設けられている。これにより、XY移動体3は、鏡筒定盤を基準として、すなわち、電子光学系1095を基準として、位置決めされる。
【0045】
1097は、所定の領域を密閉するチャンバーである。ここで、所定の領域については、後述の説明から明らかになる。1098は、密閉性を保持し、物体間の相対変位を許容するベローズである。ベローズ1098は、チャンバー1097と電子光学系1095との間、チャンバー1097と鏡筒定盤1096との間、およびチャンバー1097と定盤1との間に設けられている。これにより、チャンバー内の雰囲気Aは、密閉されている。1099は、真空ポンプである。真空ポンプ1099が作動し、チャンバー内の雰囲気Aにある気体が排出され、真空雰囲気となる。ここで、真空雰囲気とは、厳密な真空までをも要求するものではなく、高い減圧雰囲気であれば良いことは、上述したとおりである。
【0046】
真空ポンプによってチャンバー1097内の雰囲気Aが真空雰囲気となると、チャンバーの内外で圧力差が生じるため、チャンバー1097が変形する。一方、チャンバー1097と電子光学系1095との間にはベローズ1098が設けられており、ベローズ1098は、密閉を保持しつつ両者の相対変位を許容している。これにより、チャンバーの変形の影響が電子光学系1095に伝わるのを軽減している。同様に、チャンバー1097と鏡筒定盤1096との間もベローズ1098が設けられており、チャンバーの変形の影響が鏡筒定盤1096に伝わるのを軽減し、電子光学系にチャンバーの変形の影響を与えないようにしている。
【0047】
上記の構成の露光装置により、ステージ装置周辺の雰囲気は、真空雰囲気となる。そして、ステージ装置に用いられている静圧軸受付近の周りも真空雰囲気となる。静圧軸受の周囲が真空雰囲気の場合、静圧軸受に用いる流体を雰囲気中に漏洩するのを防ぐ必要がある。本実施形態の電子ビーム露光装置は、ステージ装置として上記の実施形態で説明したステージ装置を用いているので、静圧軸受からの気体が真空雰囲気中に漏れ出るのを軽減することができる。
【0048】
<デバイス生産方法の実施形態>
次に上記で説明した電子ビーム露光装置を利用したデバイスの生産方法の実施例を説明する。
【0049】
図10は、微小デバイス(ICやLSI等の半導体チップ、液晶パネル、CCD、薄膜磁気ヘッド、マイクロマシン等)の製造のフローを示す。ステップ1(回路設計)では半導体デバイスの回路設計を行なう。ステップ2(露光制御データ作成)では設計した回路パターンに基づいて露光装置の露光制御データを作成する。一方、ステップ3(ウエハ製造)ではシリコン等の材料を用いてウエハを製造する。ステップ4(ウエハプロセス)は前工程と呼ばれ、上記用意した露光制御データが入力された露光装置とウエハを用いて、リソグラフィ技術によってウエハ上に実際の回路を形成する。次のステップ5(組み立て)は後工程と呼ばれ、ステップ4によって作製されたウエハを用いて半導体チップ化する工程であり、アッセンブリ工程(ダイシング、ボンディング)、パッケージング工程(チップ封入)等の工程を含む。ステップ6(検査)ではステップ5で作製された半導体デバイスの動作確認テスト、耐久性テスト等の検査を行なう。こうした工程を経て半導体デバイスが完成し、これが出荷(ステップ7)される。
【0050】
図11は上記ウエハプロセスの詳細なフローを示す。ステップ11(酸化)ではウエハの表面を酸化させる。ステップ12(CVD)ではウエハ表面に絶縁膜を形成する。ステップ13(電極形成)ではウエハ上に電極を蒸着によって形成する。ステップ14(イオン打込み)ではウエハにイオンを打ち込む。ステップ15(レジスト処理)ではウエハに感光剤を塗布する。ステップ16(露光)では上記説明した露光装置によって回路パターンをウエハに焼付露光する。ステップ17(現像)では露光したウエハを現像する。ステップ18(エッチング)では現像したレジスト像以外の部分を削り取る。ステップ19(レジスト剥離)ではエッチングが済んで不要となったレジストを取り除く。これらのステップを繰り返し行なうことによって、ウエハ上に多重に回路パターンが形成される。
【0051】
本実施形態の製造方法を用いれば、従来は製造が難しかった高集積度の半導体デバイスを低コストに製造することができる。
【0052】
【発明の効果】
以上説明したように本発明によれば、垂直方向の基準を有する定盤上を第1の方向に移動する移動体、第2の方向に移動する第2の移動体、第1及び第2の移動体により駆動され第1及び第2の方向に移動する第3の移動体からなり、第1,2の移動体のうち第1の移動体に駆動力を付加する部分及び3の移動体を真空容器内に設置し、第1及び第2の移動体の案内及び駆動部を真空容器外に設置し、駆動を真空容器外のリニアモータあるいは超音波モータ等により駆動する。
また、第1,2,3の移動体の案内全て静圧軸受を用い、第3の移動体の案内には例えば特開昭63−192864号公報(特等録2587227)等に記されている排気構造付の静圧軸受けを用いる。
【0053】
さらに、真空容器外に設置された駆動源、及び第1或いは第2の移動体の案内部と真空容器の間に少なくとも1つの空気回収用ラビリンスを有する気体回収板を設け(ラビリンス、空気回収孔は回収板、真空容器のどちらにあっても可)駆動源により移動体とともに駆動される。大気側から真空容器内に流入する気体はラビリンスあるいはラビリンスと対向する部分に設けられた回収孔より真空ポンプに接続して回収する。本構成により、
(1)Xステージ、Yステージを積み重ねていないので高さを低くすることができる。
(2)カップリング等の機構を使用していないので、第3の移動体の位置が変化しても動的な特性は変化せず、高い制御性を有する。
(3)第3の移動体が移動しても偏荷重が発生せず静的な姿勢精度を高精度に保つことができる。
(4)振動については、静圧軸受けの隙間を介してのみしか伝わらないので、伝わる量は微小であり動的にも姿勢精度を高精度に保つことができる。
(5)第1及び第2の移動体は定盤上の2本のリニアモータで駆動しているのでヨーイング振動を制振でき、動的な姿勢精度も高精度に保つことができる。
(6)摩擦が存在しないのでヒス等がなく高精度な位置決めが可能。
(7)接触部からの発熱がないので熱変形等が発生せず、この面からも高精度な位置決めが可能。
(8)また、発塵もなくゴミ回収等の機構が不要で構成が容易、かつコストダウンになる。
(9)グリスアップ等のメンテナンスが不要。
【0054】
第1,第2の移動体の案内は真空容器外にあり、真空容器内に設置されているのは第3の移動体の案内用静圧軸受けのみであるので、
(10)真空度の劣化を極力抑制することが可能。
(11)真空容器外で駆動,案内を行うので、真空容器の小型化が可能。
(12)真空容器内の配線、配管(給気、排気)を最小限にすることが可能でありコストダウンが可能。
(13)また、アクチュエータの冷却構成も容易。
(14)真空シール部も非接触であり、この面からも高精度な位置決めが可能。
等の特徴がある。
【0055】
さらに、第1及び第2の方向に移動する移動体,ベースに固定され、移動体の第1の方向の移動の案内を行う2本の案内,第1の案内上に設けられ、移動体の第2の方向の移動を行う2本の案内から構成され、第1,第2の案内を真空容器外に設け、移動体が真空容器を貫通して設置され、駆動を真空容器外のベース上のアクチュエータで第1の方向、第1の案内上のアクチュエータで第2の方向を行うことにより、
(15)真空容器内から静圧軸受けを排除しているのでより高精度が期待できる。
(16)移動案内と真空室の排気機構を分離しているので真空引きにより真空室が変形しても移動精度が変化することはなく、高精度な移動が可能。
(17)真空室が変形しても、排気用ラビリンス(溝)数、排気孔径、真空ポンプ能力等を適切に選択することにより真空度を劣化させることはない。
さらに駆動を真空容器外の平面移動アクチュエータにより行うことにより、
(18)XY移動体をダイレクトライブしているので軸受け特性が介在せず、制御特性の向上が見込まれる。
(19)アクチュエータ構成を簡略化することができる。
等の特徴がある。
【図面の簡単な説明】
【図1】第1の実施例の斜視図。
【図2】第1の実施例の上面図。
【図3】第1の実施例の裏面図。
【図4】第1の実施例の気体回収部構成2。
【図5】第1の実施例の他の気体回収方法。
【図6】第2の実施例の上面図。
【図7】第2の実施例のA−A断面図。
【図8】第3の実施例の上面図。
【図9】電子ビーム露光装置の概略図。
【図10】デバイスの生産方法の実施例。
【図11】ウエハープロセスのフロー。
【符号の説明】
1 定盤
2 固定ガイド
3 XY移動体
5 アクチュエータ
6 静圧空気軸受け
7 気体回収板
8 真空容器
9 排気溝構成
10 平面移動アクチュエータ
41 X方向移動体
42 Y方向移動体
71 X方向
72 Y方向
211,212 X方向
221,222 Y方向
511,512 X方向駆動用
521,522 Y方向駆動用
Claims (6)
- ベースと、
前記ベース上を第1方向に移動する第1移動体と、
前記第1移動体を前記第1方向に移動させる第1駆動源と、
前記第1移動体の移動を案内する第1案内と、
前記第1移動体が開口を通して貫通して設置される真空容器と、
前記真空容器外で前記真空容器の開口に対向して非接触に配置され、前記第1移動体とともに移動する第1板と、を備え、
前記第1駆動源と前記第1案内とは、前記真空容器外に配置され、
前記第1板と前記真空容器との間には、静圧気体軸受が設けられていないことを特徴とする移動案内装置。 - 前記第1案内は、静圧気体軸受を含むことを特徴とする請求項1に記載の移動案内装置。
- 前記ベース上を第2方向に移動する第2移動体と、
前記第2移動体に固定された第2板と、
前記第2移動体を前記第2方向に移動させる第2駆動源と、
前記第2移動体の移動を案内する第2案内と、を備え、
前記第2駆動源と前記第2案内とは、前記真空容器外に配置され、
前記第2板と前記真空容器との間には、静圧気体軸受が設けられていないことを特徴とする請求項1または2に記載の移動案内装置。 - 前記第2案内は、静圧気体軸受を含むことを特徴とする請求項3に記載の移動案内装置。
- 前記第1および第2の移動体により駆動力を得て前記第1および第2方向に移動する第3移動体を備えることを特徴とする請求項3または4に記載の移動案内装置。
- 少なくとも前記板または前記真空容器に気体回収用溝を設け、
前記気体回収溝と対向する部分、または前記気体回収溝に孔を設け、
前記孔に接続された真空ポンプにより気体を回収することを特徴とする請求項1乃至5のいずれか1項に記載の移動案内装置。
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