JP2008091765A - レーザ加工用粘着シート - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 基材フィルムの表面に粘着剤層が積層されてなるレーザ加工用粘着シートであって、前記基材フィルムが、裏面に接触低減層を含んで構成されることを特徴とするレーザ加工用粘着シート。
【選択図】 なし
Description
接触低減層は、サンドブラスト、エンボス処理又は表面コーティング法によって形成されてなることが好ましい。
ポリオレフィン系樹脂としては、ポリエチレン、ポリプロピレン、エチレン共重合体、プロピレン共重合体、エチレン−プロピレン共重合体からなる群から選択される1種以上であることが好ましい。
また、基材フィルムが、50%以上の光透過率を有する場合には、基材フィルム自体のレーザ光による劣化を防止することができる。
さらに、基材フィルムが、少なくとも1層のポリオレフィン系樹脂を含有する場合には、用いるレーザ光に対する光透過率及び/又は吸光係数を比較的高く設定することができ、基材フィルム自体の加工性を低く、つまり、切断しにくくすることができる。
また、基材フィルムが、80℃以上の融点を有する層を含む場合には、基材フィルム裏面において、より効果的に基材フィルムの溶融を防止することができ、加工用テーブルに局所的に付着する現象を抑制することができる。
また、接触低減層が、サンドブラスト、エンボス処理又は表面コーティング法によって形成されてなる場合には、容易かつ簡便に接触低減層を形成することができる。
基材フィルムの裏面に形成される凹凸を有する接触低減層は、主に、レーザ光の照射によって基材フィルムが溶融等しても、基材フィルム自体が加工用テーブル等に粘着又は強固に付着しないように、基材フィルムの裏面の加工用テーブルへの接触面積を低減するための層である。
これらの粒子は、具体的には、無機化合物として、シリカ(ヒュームシリカ、無水珪酸、沈降性シリカ、溶融シリカ、結晶シリカ、超微粉無定形シリカ等);酸化アルミニウム、酸化チタン、酸化錫、酸化亜鉛、酸化錫、酸化カルシウム、酸化マグネシウム等の金属酸化物;窒化ケイ素、窒化アルミニウム等の金属窒化物;SiC等の金属炭化物;炭酸カリウム、炭酸ナトリウム、炭酸カルシウム、炭酸マグネシウム等の金属炭酸塩;水酸化アルミニウム、水酸化マグネシウム等の金属水酸化物;チタン酸バリウム、リン酸カルシウム、珪酸カルシウム、石膏、ゼオライト、タルク、クレー、硫酸バリウム、マイカ、ケイソウ土等の粒子、金属として、金、銀、パラジウム、白金、ニッケル、アルミニウム、銅、チタン、タングステン、タンタル等の高融点金属等の粒子、有機化合物として、後述する基材フィルムを形成する樹脂粒子、なかでも、ポリエチレン、ポリプロピレン等のポリオレフィン;PET等のポリエステル;ナイロン等の熱可塑性樹脂;熱可塑性ポリイミド;PTFE、ETFEなどの含フッ素ポリエチレン;ポリカーボネート;ポリエステル等の比較的融点が高い樹脂粒子等が利用できる。これらの粒子を抵当な溶媒に分散/懸濁させて、基材フィルム裏面に塗布/乾燥して、凹凸を有する接触低減層を形成するか、これらの粒子を上述した樹脂等からなるバインダーに混合し、表面に凹凸を有するフィルムを形成し、これを基材フィルムに貼り付けて一体化して、接触低減層を形成してもよいし、基材フィルムを形成する際の原料に粒子を混合して基材フィルムを形成し、その裏面側に凹凸を有する接触低減層を形成してもよい。
接着剤は、必要であれば、粘着付与剤、充填材、顔料、老化防止剤または安定化剤、軟化剤、などの任意の添加剤が混合されていてもよい。
接着剤層の厚さは、特に限定されないが、十分な接着強さを得るとともに、半導体ウェハ等から粘着シートを取り外した後に、そこに望ましくない接着剤残渣を残存させないことを考慮して、例えば、300μm程度以下、3〜200μm程度が挙げられる。
以下に、本発明のレーザ加工用粘着シートの具体的に説明するが、本発明はこれら実施例によって限定されるものではない。
(粘着剤溶液の調製)
ブチルアクリレート/エチルアクリレート/2−ヒドロキシエチルアクリレート/アクリル酸を重量比60/40/4/1で共重合させてなる数平均分子量50万のアクリル系ポリマー100重量部、イソシアネート系架橋剤(日本ポリウレタン社製、コロネートHL)3重量部及びエポキシ系架橋剤(三菱ガス化学社製、テトラッドC)2重量部を、トルエン500重量部に加え、均一に溶解、混合してアクリル系粘着剤溶液(1)を調製した。
1.0μm、3.0μm、5.0μm、10μmの加工深さを有する加熱加工用ロール(由利ロール製)及び鏡面ロールを用いて、150μm厚であり、355nmの光に対して約66%の光透過率を有するポリエチレンフィルム(融点:115℃)の片面に接触低減層を形成した(以下、「エンボス処理」と記す)。
得られたポリエチレンフィルムの算術平均粗さRaを測定した。その結果、表1に示すように、それぞれ1.2μm、2.9μm、5.0μm、10.3μmの接触低減層を有するポリエチレンフィルムとなっていた。
接触低減層を有するポリエチレンフィルムの接触低減層が形成されていない側の表面に、粘着剤との密着性を向上させる目的で、コロナ放電処理を施した。その後、厚さ20μmとなるように、アクリル系粘着剤を塗布し、図1に示すように、基材フィルム1の表面に接着剤層2、裏面に接触低減層3が形成されたレーザ加工用粘着シート10を、それぞれ作製した。
テンコール製 段差・表面粗さ微形状測定装置 P-15を用いて、得られたレーザ加工用粘着シートの接触低減層表面について、図2に示すように、レーザ加工用粘着シート10の幅方向(例えば、幅E=1400mm)に3箇所(X、Y、Z)、長さ方向について、間隔D(例えば、10m)で10箇所、計30箇所を測定した平均粗さを算術平均粗さRaとした。各箇所の測定距離は接触低減層側表面を長さ50mmに渡って測定した。
図1に示すように、レーザダイシング装置のチャックテーブルとして、石英ガラス製テーブル上に、接触低減層面側が接触するようにレーザ加工用粘着シート10を、シート固定用リング11を用いてそれぞれ配置した。
加工用レーザとして、波長355nm、平均出力5W、繰り返し周波数30kHzのYAGレーザの第三高調波(355nm)を用いた。レーザ光を、fθレンズによりに集光して、ガルバノスキャナーにより20mm/秒の速度でレーザ加工用粘着シートをスキャンして、切断加工した。
レーザ加工用粘着シートとチャックテーブルとの密着力の測定は、JIS Z0237の粘着力測定方法に準じて測定した。つまり、試験片として、レーザ加工後のレーザ加工用粘着シート10を、20mm幅A、150mm長さBにカットし、測定装置としてJIS B7721で規定されている引張試験機を用いて、測定温度23±3℃、剥離角度180°及び剥離速度300mm/秒の条件で剥離した時の荷重(粘着力、N/20mm)を測定した。その結果を表1に示す。
加工深さを有する加熱加工用ロールを用いず、鏡面金属ロールを2本用いて、150μm厚のポリエチレンフィルムを形成し、接触低減層を有さないポリエチレンフィルムを形成した。
フィルム両面の算術平均粗さRaを測定したところ、表1に示すように、それぞれの面で0.4μmであった。
基材フィルムとしてポリプロピレン/ポリエチレン/ポリプロピレン(膜厚30μm/90μm/30μm、融点130℃、波長355nmの光透過率70%)を用いた以外、実施例1と同様にエンボス加工を行い、接触低減層を形成し、実施例1と同様の評価を行った。その結果、レーザ光のスキャン回数を重ねた場合のレーザ加工用粘着シートの切断において、若干切れが生じたが、レーザ加工用粘着シートのチャックテーブルへの付着に関しては、上記とほぼ同様の結果が得られた。
2 接着剤層
3 接触低減層
10 レーザ加工用粘着シート
11 シート固定用リング
Claims (9)
- 基材フィルムの表面に粘着剤層が積層されてなるレーザ加工用粘着シートであって、
前記基材フィルムは、裏面に、凹凸を有する接触低減層を備えてなることを特徴とするレーザ加工用粘着シート。 - 接触低減層は、1.0μm以上の算術平均粗さRaの凹凸を、基材フィルム裏面の外表面に与える請求項1のレーザ加工用粘着シート。
- 基材フィルムが、50%以上の光透過率を有する請求項1〜3のいずれか1つに記載のレーザ加工用粘着シート。
- 基材フィルムが、少なくとも1層のポリオレフィン系樹脂を含有する請求項1〜4のいずれか1つに記載のレーザ加工用粘着シート。
- ポリオレフィン系樹脂が、ポリエチレン、ポリプロピレン、エチレン共重合体、プロピレン共重合体、エチレン−プロピレン共重合体からなる群から選択される1種以上である請求項4に記載のレーザ加工用粘着シート。
- 前記基材フィルムが、80℃以上の融点を有する層を含む請求項1〜5のいずれか1つに記載のレーザ加工用粘着シート。
- 前記基材フィルムが、少なくとも破断伸度の異なる2層以上の層をさらに含み、かつ接触低減層に隣接して破断伸度の大きい層が配置されてなる請求項1〜6のいずれか1つに記載のレーザ加工用粘着シート。
- 破断伸度の大きい層が、100%以上である請求項7に記載のレーザ加工用粘着シート。
- 接触低減層が、サンドブラスト、エンボス処理又は表面コーティング法によって形成されてなる請求項1〜9のいずれか1つに記載のレーザ加工用粘着シート。
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