JP2008091736A - 絶縁膜ドライエッチング方法 - Google Patents
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Abstract
楕円パターンの深孔加工において、エッチング初期の過剰堆積に起因する短径側の開口性不足を改善した高精度加工を行う。
【解決手段】
楕円パターンマスクが形成された被加工試料をフロロカーボンガスを用いて処理する、絶縁膜ドライエッチング方法において、エッチングステップをエッチング開始から第1のステップと第2のステップに分割し、第1のステップは、エッチング中のポリマー量を第2のステップよりも少なく設定するとともに、第1のステップ時間を、楕円パターンの楕円率(短径寸法に対する長径寸法の比率)に応じて制御する。
【選択図】図4
Description
2005−109444号公報に記載されているように、ArFリソグラフィー用のレジストはエッチング耐性がないため、エッチングガス種などの最適化によるストライエーション抑制プロセスが開発されている。しかしながら、デバイスの微細化に伴うArFレジストの薄膜化,高アスペクト化に伴うエッチング負荷の増加に従い、ArFレジスト単層膜でのプロセス構築が困難となってきている。従って、デバイス構造としては、多層レジストプロセスにてエッチング耐性及び耐熱性に優れたマスクへのパターン転写を行う手法が主流となりつつある。図4(a)に図示したが、本実施例でもマスクには多層レジストプロセスにて形成したエッチング耐性の強いレジスト1を用いた。下層はシリコン酸化膜2であり、最下層にはエッチストッパ膜であるシリコン窒化膜3が形成されている。
C4F6,O2の混合ガスを用いている。具体的にはArを500ml/min、C4F6を60ml/min 、O2 を70ml/min とした。そのときの真空容器内のガス圧力を2Paに、プラズマ発生用高周波電力を500Wに設定した。また、ウエハに印加するバイアス電力は、処理ウエハが12インチウエハであることを考慮して5kWを印加した。バイアス周波数は4MHzで、その際のウエハに発生したVppは2.5kV であった。一方、定常状態でのウエハ表面温度は、電極に循環させる冷媒の設定温度を例えば−20℃に設定することで100℃に保つことはできるが、本実施例で用いたマスクの熱耐性が強いことから、ボーイングなどの形状異常を抑制するために、冷媒温度を+20℃に設定して定常状態のウエハ表面温度を140℃に維持した。
10秒後でも過剰堆積が発生しておらず、トップCDの低下と楕円率の増大は発生しなかった。図4(c)と図4(e)に上記二つのシーケンスでのエッチング完了後の模式図を示す。図4(c)は従来シーケンスに、図4(e)は低堆積シーケンスに対応する。オーバーエッチ量はそれぞれ40%一定とした。その際、低堆積シーケンスでは最初のステップとメインエッチングステップのトータルエッチング量が40%オーバーエッチとなるように、メインエッチングステップの時間を調整した。その結果、トップCDは従来シーケンス,低堆積シーケンスともに不変であったが、ボトムCDの形状が大きく異なり、従来シーケンスでは、短径側の開口率を示すボトムCD/トップCD比が40%であったものが60%まで改善できた。しかしながら、エッチング開始時の低堆積条件のステップでは、メインエッチングステップに比べ堆積性が弱いため、マスクに対する選択比が確保できない。本実験では、メインエッチングステップのマスク選択比が8であるのに対し、低堆積ステップのマスク選択比は4であった。従って、必要最低限な時間は低堆積ステップを導入する必要があるが、過剰に長時間導入した場合はトータルのマスク選択比が維持できず、マスク不足起因のストライエーションが発生した。
(短径寸法に対する長径寸法の比率)に応じて制御することが必要である。本実施例が対象としたサンプルは楕円率が1.3であったが、例えば楕円率が1.1と比較的真円パターンに近い場合は、低堆積ステップ時間は20秒も必要なく15秒で効果があった。一方、楕円率が1.5とよりより扁平したパターンでは低堆積ステップ時間は25秒必要であった。
18には、楕円パターン形状(楕円率)に応じた上記の低堆積ステップ条件を格納しておくことも可能である。
Vpp/2分の沈み込み電圧Vdcが発生する。一方、静電チャック部のAlなどで形成された基材にはVppとVESC が印加されるため、ウエハと静電チャック部基材の間にある溶射膜部には、最大Vpp/2+VESC の直流電圧が掛かることになる。また、吸着に必要以上の電圧を印加すると裏面ヘリウムを供給する孔部で異常放電が発生する。本実施例で使用している静電チャックでは、吸着に必要な電圧が400V、異常放電発生電圧が1200Vであるため、Vpp/2+VESC の設定電圧を800Vとした。従って、低堆積ステップではVppが2.1kV であるため、Vdcは最大−1050Vとなり、吸着用直流電圧を−250Vと設定した。また、メインエッチングステップではVppが2.5kVであるためVdcは最大−1250VでVESC は−450Vと設定した。しかしながら、以上のようにVESC を設定してもステップが切替わるタイミングでは、ウエハバイアスなどの整合器の追随変動,真空容器の圧力変動,吸着用直流電圧出力変動などにより、過剰なVpp/2+VESC 値がウエハと静電チャック部の間に発生し、裏面ヘリウムを供給する孔部で異常放電が発生する可能性がある。本実施例では、図11のシーケンスに示すように低堆積ステップとメインエッチングステップの間に補間ステップを導入した。補間ステップにおいて、低堆積ステップとメインエッチングステップで設定されるガス流量、または、高周波電力、または、真空容器内のガス圧力の差を補間(例えば、直線的に)することで、急激なプラズマ変動を抑制でき、異常放電マージンが確保できた。なお、ここではその時間を3秒間としたが、その最適値は必ずしも3秒とは限らない。また、図
11のように補間ステップを入れない場合でも、異常放電を直流電圧や静電チャックに流れている直流電流値を常にモニタしておき、異常が発生した場合には警告を発して処理を中断することで、エッチング装置へのダメージの軽減および製品ウエハへのダメージ最小化に貢献できる。
2 シリコン酸化膜
3 シリコン窒化膜
4 フロロカーボン堆積膜
5 真空容器
6 ガス導入管
7 下部電極
8 被加工試料
9 ガス流量計
10 誘電体
11 静電チャック部
12 整合器
13 高周波バイアス電源
14 光ファイバー
15 モノクロメータ
16 光電子増倍管
17 計測用パソコン
18 データベース用パソコン
19 制御用パソコン
20 放射温度計
21 細管
Claims (11)
- 楕円パターンマスクが形成された被加工試料をフロロカーボンガスを用いて処理する、絶縁膜ドライエッチング方法において、
エッチングステップをエッチング開始から第1のステップと第2のステップに分割し、前記第1のステップは、エッチング中のポリマー量を前記第2のステップよりも少なく設定するとともに、前記第1のステップ時間を、前記楕円パターンの楕円率(短径寸法に対する長径寸法の比率)に応じて制御することを特徴とする絶縁膜ドライエッチング方法。 - 請求項1に記載の絶縁膜ドライエッチング方法において、
複数の被加工試料を処理する場合、先に処理される被加工試料のプラズマ中のラジカル量をモニタし、前記モニタした結果に応じて、後に処理する被加工試料の前記第1のステップのステップ時間を制御することを特徴とする絶縁膜ドライエッチング方法。 - 楕円パターンマスクが形成された被加工試料をフロロカーボンガスを用いて処理する、絶縁膜ドライエッチング方法において、
エッチングステップをエッチング開始から第1のステップと第2のステップに分割し、前記第1のステップは、エッチング中のポリマー量を前記第2のステップよりも少なく設定し、更に、前記ポリマー量を前記楕円パターンの楕円率(短径寸法に対する長径寸法の比率)に応じて制御することを特徴とする絶縁膜ドライエッチング方法。 - 請求項3に記載の絶縁膜ドライエッチング方法において、
前記第1のステップでは、真空容器内に供給するCxFyガス(x=1,2,3,4,5,6、y=4,5,6,8)の流量を前記第2のステップよりも小さく設定することを特徴とする絶縁膜ドライエッチング方法。 - 請求項3に記載の絶縁膜ドライエッチング方法において、
前記第1のステップでは、前記第2のステップで用いられるCxFyガス(x=1,2,3,4,5,6、y=4,5,6,8)よりも低C/F比のガスを導入することを特徴とする絶縁膜ドライエッチング方法。 - 請求項3に記載の絶縁膜ドライエッチング方法において、
前記第1のステップでは、希ガスからなる希釈ガス、または、酸素ガス、または、窒素ガスの流量を前記第2のステップよりも多く設定することを特徴とするドライエッチング方法。 - 請求項3に記載の絶縁膜ドライエッチング方法において、
複数の被加工試料を処理する場合、先に処理される被加工試料のプラズマ中のラジカル量をモニタし、前記モニタした結果に応じて、後に処理する被加工試料の前記第1のステップのガス条件を制御することを特徴とする絶縁膜ドライエッチング方法。 - 請求項3に記載の絶縁膜ドライエッチング方法において、
前記第1のステップと前記第2のステップとの間に、前記第1のステップ及び前記第2のステップとは異なる第3のステップを導入し、前記第3のステップは、前記第1のステップと前記第2のステップで設定されるガス流量、または、高周波電力、または、真空容器内のガス圧力の差を補間するステップであることを特徴とする絶縁膜ドライエッチング方法。 - 楕円パターンマスクが形成された被加工試料をフロロカーボンガスを用いて処理する、絶縁膜ドライエッチング方法において、
エッチングステップをエッチング開始から第1のステップと第2のステップに分割し、前記第1のステップにおける前記被加工試料の裏面に供給されるガス圧力を、前記楕円パターンの楕円率(短径寸法に対する長径寸法の比率)に応じて制御することを特徴とする絶縁膜ドライエッチング方法。 - 請求項9に記載の絶縁膜ドライエッチング方法において、
前記被加工試料の表面温度をモニタし、前記モニタ値が所望の範囲内となるように、前記被加工試料の裏面に供給されるガス圧力を制御することを特徴とするドライエッチング方法。 - 請求項9に記載の絶縁膜ドライエッチング方法において、
複数の被加工試料を処理する場合、先に処理される被加工試料のプラズマ中のラジカル量をモニタし、前記モニタした結果に対応して、後に処理する被加工試料の前記第1のステップの前記被加工試料の裏面に供給されるヘリウム圧力を制御することを特徴とする絶縁膜ドライエッチング方法。
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