JP2011049360A - プラズマエッチング方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】アモルファスカーボン膜を有する被処理基板Wを処理容器10内に設置し、無機膜をマスクとしてアモルファスカーボン膜をプラズマエッチングするにあたり、エッチングガスとしてO2ガスを用い、O2ガスの前記処理容器におけるレジデンスタイムが0.37msec以下となるようにO2ガスを流してアモルファスカーボン膜をプラズマエッチングする。
【選択図】図1
Description
Rt[sec]=9.42×107(Pr・Ts/Ps・Tr)Rw2・d/F ……(1)
ここで、Pr:チャンバ内の圧力[Pa]、Tr:チャンバ内のガス温度[K]、Ps:標準気圧[Pa]、Ts:標準温度[K]、Rw:ウエハ半径[m]、d:上下電極間距離[m]、F:ガス流量[sccm]である。
(i)シュリンク条件
・チャンバ内圧力:150mTorr(20Pa)
・第1の高周波電源(40MHz)のパワー:750W
・第2の高周波電源(13MHz)のパワー:300W
・上部電極に印加する直流電圧:−300V
・処理ガス
CHF3(流量:200sccm(mL/min))
CF3I(流量:50sscm(mL/min)
・時間:2分
(ii)ノーマル条件
・チャンバ内圧力:75mTorr(10Pa)
・第1の高周波電源(40MHz)のパワー:750W
・第2の高周波電源(13MHz)のパワー:0W
・上部電極に印加する直流電圧:−300V
・処理ガス
CF4(流量:250sccm(mL/min))
O2(流量:8sccm(mL/min))
・時間:1分48秒
・チャンバ内圧力:2.66Pa
・第1の高周波電源(40MHz)のパワー:800W
・第2の高周波電源(13MHz)のパワー:0W
16…サセプタ(下部電極)
34…上部電極
48…第1の高周波電源
66…O2ガス供給源
90…第2の高周波電源
100…制御部
102…記憶部
W…半導体ウエハ(被処理基板)
Claims (7)
- アモルファスカーボン膜を有する被処理基板を処理容器内に設置し、無機膜をマスクとして前記アモルファスカーボン膜をプラズマエッチングするプラズマエッチング方法であって、
エッチングガスとしてO2ガスを用い、O2ガスの前記処理容器におけるレジデンスタイムが0.37msec以下となるようにO2ガスを流してアモルファスカーボン膜をプラズマエッチングすることを特徴とするプラズマエッチング方法。 - 前記アモルファスカーボン膜は、被処理基板に形成された被エッチング膜のエッチングマスクとして用いるものであることを特徴とする請求項1に記載のプラズマエッチング方法。
- O2ガス単ガスでエッチングすることを特徴とする請求項1または請求項2に記載のプラズマエッチング方法。
- アモルファスカーボンにエッチングにより形成されるホールの径または溝の幅は100nm以上であり、アスペクト比が7以下であることを特徴とする請求項1から請求項3のいずれか1項に記載のプラズマエッチング方法。
- アモルファスカーボンにエッチングにより形成されたホールまたは溝の断面形状において、トップからボトムの間の複数点の径または幅を測定した際の、ばらつき値3σ(σは標準偏差を示す)が50以下であることを特徴とする請求項1から請求項4のいずれか1項に記載のプラズマエッチング方法。
- アモルファスカーボンにエッチングにより形成されたホールまたは溝の断面形状において、トップからボトムの間の複数点の径または幅を測定した際の、標準偏差σを平均値Ave.で割った値、σ/Ave.が0.1以下であることを特徴とする請求項1から請求項4のいずれか1項に記載のプラズマエッチング方法。
- コンピュータ上で動作し、プラズマエッチング装置を制御するためのプログラムが記憶された記憶媒体であって、前記プログラムは、実行時に、請求項1から請求項6のいずれかのプラズマエッチング方法が行われるように、コンピュータに前記プラズマエッチング装置を制御させることを特徴とする記憶媒体。
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