JP2008078648A - リソグラフィ装置およびデバイス製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】放射ビームの断面にパターンを与えて、パターン付き放射ビームを形成することができるパターニングデバイスを支持するように構成された支持体と、基板を保持するように構成された基板テーブルと、液体を基板の上面の局所的区域に提供するように構成された液体供給システムと、前記液体を通して前記パターン付き放射ビームを前記基板のターゲット部分に投影するように構成された投影システムと、1列のダイを前記基板全体に結像する間に、前記基板テーブルと前記支持体との動作を整合させるような構成であり、前記ダイの列が前記投影システム下で、前記上面に実質的に平行な面にある第一方向に実質的に平行な方向で後方および/または前方にのみ動作することによって整合が達成される制御装置とを備えるリソグラフィ装置。
【選択図】図8
Description
放射ビームB(例えばUV放射またはDUV放射)を調節するように構成された照明システム(イルミネータ)ILと、
パターニングデバイス(例えばマスク)MAを支持するように構成され、特定のパラメータに従ってパターニングデバイスを正確に位置決めするように構成された第一位置決め装置PMに接続された支持構造体(例えばマスクテーブル)MTと、
基板(例えばレジストコートウェーハ)Wを保持するように構成され、特定のパラメータに従って基板を正確に位置決めするように構成された第二位置決め装置PWに接続された基板テーブル(例えばウェーハテーブル)WTと、
パターニングデバイスMAによって放射ビームBに与えられたパターンを基板Wのターゲット部分C(例えば1つまたは複数のダイを含む)に投影するように構成された投影システム(例えば屈折投影レンズシステム)PSとを含む。
1.ステップモードにおいては、支持構造体MTおよび基板テーブルWTは、基本的に静止状態に維持される一方、放射ビームに与えたパターン全体が1回でターゲット部分Cに投影される(すなわち1回の静止露光)。次に、別のターゲット部分Cを露光できるように、基板テーブルWTがX方向および/またはY方向に移動される。ステップモードでは、露光フィールドの最大サイズによって、1回の静止露光で像が形成されるターゲット部分Cのサイズが制限される。
2.スキャンモードにおいては、支持構造体MTおよび基板テーブルWTは同期的にスキャンされる一方、放射ビームに与えられたパターンをターゲット部分Cに投影する(つまり1回の動的露光)。支持構造体MTに対する基板テーブルWTの速度および方向は、投影システムPSの拡大(縮小)および像反転特性によって求めることができる。スキャンモードでは、露光フィールドの最大サイズによって、1回の動的露光におけるターゲット部分の(非スキャン方向における)幅が制限され、スキャン動作の長さによってターゲット部分の(スキャン方向における)高さが決まる。
3.別のモードでは、支持構造体MTはプログラマブルパターニングデバイスを保持して基本的に静止状態に維持され、基板テーブルWTを移動またはスキャンさせながら、放射ビームに与えられたパターンをターゲット部分Cに投影する。このモードでは、一般にパルス状放射源を使用して、基板テーブルWTを移動させる毎に、またはスキャン中に連続する放射パルスの間で、プログラマブルパターニングデバイスを必要に応じて更新する。この動作モードは、以上で言及したようなタイプのプログラマブルミラーアレイなどのプログラマブルパターニングデバイスを使用するマスクなしリソグラフィに容易に利用できる。
Claims (18)
- 放射ビームの断面にパターンを与えて、パターン付き放射ビームを形成することができるパターニングデバイスを支持するように構成された支持体と、
基板を保持するように構成された基板テーブルと、
液体を基板の上面の局所的区域に提供するように構成された液体供給システムと、
前記液体を通して前記パターン付き放射ビームを前記基板のターゲット部分に投影するように構成された投影システムと、
1列のダイを前記基板全体に結像する間に、前記基板テーブルと前記支持体との動作を整合させるような構成であり、前記ダイの列が前記投影システム下で、前記上面に実質的に平行な面にある第一方向に実質的に平行な方向で後方および/または前方にのみ動作することによって整合が達成される制御装置と、
を備えるリソグラフィ装置。 - 前記制御装置がさらに、前記ダイの列が露光された後、前記基板が前記投影システム下にない場合に、前記第一方向の面で、それに対して実質的に直角である第二方向に基板を移動させ、前記基板全体で第二列のダイを露光中に、前記基板を前記投影システム下で前記第一方向に実質的に平行な方向で後方および/または前方にのみ移動させることによって達成されるように、前記基板テーブルと前記基板の動作を整合させるような構成である、請求項1に記載のリソグラフィ装置。
- 前記制御装置は、前記液体供給システムが液体を前記局所的区域に提供する場合に前記第二方向に移動するような構成である、請求項2に記載のリソグラフィ装置。
- 前記制御装置は、最終列のダイが結像された後、前記液体供給システムの開口を閉鎖するよう構成された前記基板テーブル上の終了プレートが、前記基板の前記液体供給システムと同じ側にあるように、前記基板テーブルが配置されるような順序で、前記基板の全体にわたって複数列のダイの前記結像を繰り返すことによって、前記基板を結像するような構成である、請求項1に記載のリソグラフィ装置。
- 前記制御装置は、前記ダイの列の前記結像中に、前記基板テーブルのみが1方向に移動するような構成である、請求項1に記載のリソグラフィ装置。
- 前記制御装置は、前記投影システム下で前記第一方向に実質的に平行な方向で後方および/または前方に移動するだけの前記基板テーブルによって、前記基板の前記上面全体が結像されるような構成である、請求項1に記載のリソグラフィ装置。
- 前記制御装置は、前記ダイの列の結像中に、各ダイが前記投影システム下を少なくとも2回通過するように、前記基板テーブルが前記投影システム下を移動するような構成である、請求項1に記載のリソグラフィ装置。
- 前記制御装置は、前記ダイの列の連続するダイが、次々とスキャンされないような構成である、請求項7に記載のリソグラフィ装置。
- 前記制御装置は、前記基板の全ダイが1列のダイの一部として結像され、個々の列の最後で前記基板の前半に位置する各最終ダイが、前記投影システム下を通過する前記結像中の最後のときに、これが前記基板の中心から外側への成分を有する方向であるような構成である、請求項1に記載のリソグラフィ装置。
- 放射ビームの断面にパターンを与えて、パターン付き放射ビームを形成することができるパターニングデバイスを支持するように構成された支持体と、
基板を保持するように構成された基板テーブルと、
液体を基板の上面の局所的区域に提供するように構成された液体供給システムと、
前記液体を通して前記パターン付き放射ビームを前記基板のターゲット部分に投影するように構成された投影システムと、
1列のダイを前記基板に結像する間に、前記基板テーブルが前記上面に実質的に平行な面で第一方向に動作し、各前記ダイの露光中に前記基板を前記第一方向にスキャンするように前記支持体が動作するように、前記支持体および前記基板テーブルの動作を制御するような構成である制御装置と、
を備えるリソグラフィ装置。 - 放射ビームの断面にパターンを与えて、パターン付き放射ビームを形成することができるパターニングデバイスを支持するように構成された支持体と、
基板を保持するように構成された基板テーブルと、
液体を基板の上面の局所的区域に提供するように構成された液体供給システムと、
前記液体を通して前記パターン付き放射ビームを前記基板のターゲット部分に投影するように構成された投影システムと、
前記基板の中心区間の結像中に、スキャン動作はステップ動作に対して実質的に直角であり、前記基板の外側区域の結像中に、ステップ動作とスキャン動作が組み合わせられるか、実質的に逆平行であるように、前記支持体と前記基板テーブルの動作を制御するような構成である制御装置と、
を備えるリソグラフィ装置。 - 放射ビームの断面にパターンを与えて、パターン付き放射ビームを形成することができるパターニングデバイスを支持するように構成された支持体と、
基板を保持するように構成された基板テーブルと、
液体を基板の上面の局所的区域に提供するように構成された液体供給システムと、
前記液体を通して前記パターン付き放射ビームを前記基板のターゲット部分に投影するように構成された投影システムと、
前記基板の上面の少なくとも一部を結像中に、前記基板テーブルのスキャン動作とステップ動作とを1つの動作または実質的に平行である別個の動作として、少なくとも部分的に組み合わせるように、前記支持体と前記基板テーブルの動作を制御するような構成である制御装置と、
を備えるリソグラフィ装置。 - 放射ビームの断面にパターンを与えて、パターン付き放射ビームを形成することができるパターニングデバイスを支持するように構成された支持体と、
基板を保持するように構成された基板テーブルと、
液体を基板の上面の局所的区域に提供するように構成された液体供給システムと、
前記液体を通して前記パターン付き放射ビームを前記基板のターゲット部分に投影するように構成された投影システムと、
結像中に全スキャン動作が1方向であるように、前記支持体と前記基板テーブルの動作を制御するような構成である制御装置と、
を備えるリソグラフィ装置。 - 投影システムと基板の間に設けられた液体を通して、パターン付き放射ビームを前記基板に投影するために前記投影システムを使用することを含むデバイス製造方法であって、1列のダイが投影システムの下で、前記基板の上面に実質的に平行な面にある第一方向に実質的に平行な方向で後方および/または前方にのみ動作することによって、基板全体にわたるダイの列が結像される方法。
- 投影システムと基板の間に設けられた液体を通して、パターン付き放射ビームを前記基板に投影するために前記投影システムを使用することを含むデバイス製造方法であって、前記基板の上面に実質的に平行な面で第一方向に前記基板を動作させ、各前記ダイの露光中に前記基板を前記第一方向にスキャンするように、前記パターン付き放射ビームを制御することによって、1列のダイが結像される方法。
- 投影システムと基板の間に設けられた液体を通して、パターン付き放射ビームを前記基板に投影するために前記投影システムを使用することを含むデバイス製造方法であって、前記基板の中心区間の結像中に、スキャン動作はステップ動作に対して実質的に直角であり、前記基板の外側区域の結像中に、ステップ動作とスキャン動作が組み合わせられるか、実質的に逆平行である方法。
- 投影システムと基板の間に設けられた液体を通して、パターン付き放射ビームを前記基板に投影するために前記投影システムを使用することを含むデバイス製造方法であって、前記基板のスキャン動作とステップ動作とが、1つの動作または実質的に平行である別個の動作として、少なくとも部分的に組み合わせられる方法。
- 投影システムと基板の間に設けられた液体を通して、パターン付き放射ビームを前記基板に投影するために前記投影システムを使用することを含むデバイス製造方法であって、結像中に、全スキャン動作が1方向である方法。
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