JP5576537B2 - リソグラフィ装置およびデバイス製造方法 - Google Patents
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- パターニングデバイスから基板へパターンを転写するように構成された投影システムと、
前記投影システムと基板との間の空間に液体を供給するように構成された液体供給システムと、
ガスナイフであって、その少なくとも一部が、液体除去領域の半径方向内側に設けられ、かつ、前記液体供給システムの下で前記基板が移動する際に、前記液体供給システムの下を前記基板が通過した後に前記基板上に残っている液体が、ガスナイフに沿って半径方向外向きにガスナイフの該少なくとも一部から液体除去領域まで移されるようにする、サイズ、形状および配向である、ガスナイフと、
を備えるリソグラフィ装置。 - 前記液体除去領域が、前記基板を保持するように構成された基板テーブル内のドレインである、請求項1に記載の装置。
- 前記ドレインが、前記基板を囲むように構成されている、請求項2に記載の装置。
- 前記ガスナイフが、前記液体供給システムに取り付けられている、請求項1乃至3のいずれかに記載の装置。
- 前記ガスナイフが、前記液体供給システムとは独立して可動である、請求項1乃至4のいずれかに記載の装置。
- 前記ガスナイフが、前記基板と一致してステップ方向に動くように実質的に配置される、請求項1乃至5のいずれかに記載の装置。
- 前記ガスナイフが、装置のステップ方向に対して斜めに配置される、請求項1乃至6のいずれかに記載の装置。
- 2つのガスナイフを備えており、各ガスナイフが、前記液体供給システムの反対側に位置する、請求項1乃至7のいずれかに記載の装置。
- 前記ガスナイフがV型であり、Vの先端が、装置のスキャン方向で前記基板を半分に分割する対称線にほぼ位置合わせされている、請求項1乃至8のいずれかに記載の装置。
- 前記ガスナイフの一部が、液体除去領域の両側に位置している、請求項1乃至9のいずれかに記載の装置。
- 前記液体除去領域に向かい、前記液体除去領域の両側のガスナイフの部分に沿って、液体を移すことができる、請求項10に記載の装置。
- 前記基板上に残った液体が自由上面を有する、請求項1乃至11のいずれかに記載の装置。
- 前記ガスナイフがほぼ真っ直ぐであるか、又は複数のほぼ真っ直ぐな部分から成る、請求項1乃至4のいずれかに記載の装置。
- 液体抽出デバイスが、前記ガスナイフの真っ直ぐな部分間の合流点に位置付けられる、請求項13に記載の装置。
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US20120162619A1 (en) * | 2010-12-27 | 2012-06-28 | Nikon Corporation | Liquid immersion member, immersion exposure apparatus, exposing method, device fabricating method, program, and storage medium |
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AU2014363717B2 (en) * | 2013-12-13 | 2016-12-22 | Ventana Medical Systems, Inc. | Automated histological processing of biological specimens and associated technology |
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---|---|---|---|---|
US4509852A (en) * | 1980-10-06 | 1985-04-09 | Werner Tabarelli | Apparatus for the photolithographic manufacture of integrated circuit elements |
US6072779A (en) * | 1997-06-12 | 2000-06-06 | Aware, Inc. | Adaptive allocation for variable bandwidth multicarrier communication |
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JP4184346B2 (ja) * | 2002-12-13 | 2008-11-19 | コーニンクレッカ フィリップス エレクトロニクス エヌ ヴィ | 層上のスポットを照射するための方法及び装置における液体除去 |
EP3232271A1 (en) * | 2003-04-10 | 2017-10-18 | Nikon Corporation | Environmental system including vacuum scavenge for an immersion lithography apparatus |
WO2004093160A2 (en) * | 2003-04-10 | 2004-10-28 | Nikon Corporation | Run-off path to collect liquid for an immersion lithography apparatus |
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