JP2008051814A - X線変換素子 - Google Patents

X線変換素子 Download PDF

Info

Publication number
JP2008051814A
JP2008051814A JP2007213409A JP2007213409A JP2008051814A JP 2008051814 A JP2008051814 A JP 2008051814A JP 2007213409 A JP2007213409 A JP 2007213409A JP 2007213409 A JP2007213409 A JP 2007213409A JP 2008051814 A JP2008051814 A JP 2008051814A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
ray
substrate
scintillator
conversion element
carrier
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2007213409A
Other languages
English (en)
Inventor
Manfred Fuchs
マンフレート フクス
Reiner Franz Schulz
フランツ シュッツ ライナー
Georg Wittmann
ゲオルク ヴィットマン
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Siemens AG
Original Assignee
Siemens AG
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Siemens AG filed Critical Siemens AG
Publication of JP2008051814A publication Critical patent/JP2008051814A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01TMEASUREMENT OF NUCLEAR OR X-RADIATION
    • G01T1/00Measuring X-radiation, gamma radiation, corpuscular radiation, or cosmic radiation
    • G01T1/16Measuring radiation intensity
    • G01T1/20Measuring radiation intensity with scintillation detectors

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • High Energy & Nuclear Physics (AREA)
  • Molecular Biology (AREA)
  • Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
  • Measurement Of Radiation (AREA)
  • Solid State Image Pick-Up Elements (AREA)
  • Light Receiving Elements (AREA)
  • Conversion Of X-Rays Into Visible Images (AREA)

Abstract

【課題】良好な機械的安定性において質の良いX線撮影を生じさせる、特にラジオグラフィ用のコスト的に手頃に製作可能なX線変換素子を提供する。
【解決手段】X線変換素子は、X線透過性および湿気不透過性の基板(1)と、基板(1)に結合されているX線透過性の担持体(2)と、基板(1)上に設けられているシンチレータ(3)と、シンチレータ(3)を覆う光透過性および湿気不透過性の保護膜(4)とを有する。
【選択図】図1

Description

本発明はX線変換素子に関する。
この種のX線変換素子は、公知のラジオグラフィのためのディジタル検出器の構成部分である(例えば、非特許文献1、特にその図5参照)。
シンチレータを有するX線変換素子は、公知の事例においては、CCDカメラと組み合わされて使用される(CCD=charge coupled device、電荷結合素子)。X線はシンチレータ(発光スクリーン)内で大部分吸収され、可視光に変換される。結像光学系(例えば光学レンズ、ミラー、プリズムなど)により光像がCCDカメラ上に投射され、CCDカメラが光像を電気信号に変換する。電気信号が継続処理されてディジタル画像として出力される。
この検出器システムは、比較的簡単にかつコスト的に手頃に入手可能な構成要素のみを含み、したがってコストに手頃に製作可能でもある利点を有する。それゆえ、このような検出器システムは、ディジタル検出器システムの公知の利点(フィルムなし、画像処理など)を有するコスト的に手頃な解決策である。
線量要求は、この種の検出器システムの場合、古典的なフィルムシートシステムの線量要求と同等である。したがって、いわゆる平面型画像検出器(フラットパネル検出器)により可能であるような線量節約は、この検出器システムでは達成できない(平面型画像検出器ついては、例えば特許文献2参照)。
ラジオグラフィにおける比較的高い線量要求の理由はいわゆる「2次量子低下」の発生にある。
理想的なX線検出器(無視できる電子ノイズ、構造的ノイズなし)の信号雑音比は吸収されるX線量子の個数によって定められ、「1次量子減弱」と呼ばれる。
平面型画像検出器においては、1個の吸収されたX線量子が例えば1000個の電子に変換される。したがって、付加的な統計的電子ノイズは、電子数が比較的大きいことから無視することができる。
しかし、1個のX線量子当たりに10個よりも少ない電子が発生する場合に、この付加的なノイズはもはや無視できず、画質を悪化させるか、もしくは線量要求を高める。これは「2次量子減弱」と呼ばれる(この事情は例えば非特許文献3参照)。
シンチレータに対する基本的な要求は、シンチレータに入射する各X線量子がシンチレータ内にできるだけ多くの光量子を発生するべきであり、光量子がここでもできるだけ損失なく電子に変換されなければならないことである。
シンチレータに対する他の要求はシンチレータの機械的安定性である。シンチレータは組込み時に外側の縁でのみ固定される。比較的大きなX線変換素子(例えば44cm×44cm)は、ドラムの皮のように振動することがある。動作中に、しかしそればかりか輸送中に、例えばトラック輸送または鉄道輸送の際に、X線検出器は部分的に著しい衝撃および振動にさらされる
このような振動によってシンチレータが損傷されないことを保証するために、アルミニウムからなる1mmの厚みの担持体またはアモルファス炭素からなる2mmの厚みの担持体の上に、CsI:Tlからなるシンチレータが設けられている変換器層を使用することは公知である(例えば、非特許文献4参照)。十分な機械的安定性を達成するためには、これらの層厚を下回ってはならない。
しかしながら、担持体がビーム経路内においてシンチレータの前に配置されているために、担持体はビームフィルタとして作用する。したがって、担持体内で吸収されたエネルギーは、もはやシンチレータ内での光発生には使用できない。
2mmのアモルファス炭素におけるX線の透過は、透過が僅かに減少する30keVよりも小さいX線エネルギーについてのみ良好である。アモルファス炭素を使用する場合の欠点は高い価格にある。
これに対して、アルミニウムは低価格な材料である。しかしながら、1mmのアルミニウムを使用する場合の欠点は、X線エネルギーが40keVよりも小さいと透過率が比較的少ない点にある。
R.F.Schulz,"Digitale Detektorsysteme fuer die Prjektionsradiographie","Forschr.Roentgenstr.(2001)173",1137−1146 M.Spahn et al.,"Flachbilddetektor in der Roentgendiagnostik","Der Radiologe 43(2003)",340−350 R.M.Gange et al.,"Optically coupled digital radiography:sources of inefficiency","Proc.SPIE Vol.4320(2001)",156−162 URL http://sales.hamamatsu.com/assets/pdf/parts_J/ALS_ACS_FOS.pdf
したがって、本発明の課題は、良好な機械的安定性において質の良いX線撮影を生じさせる、特にラジオグラフィ用のコスト的に手頃に製作可能なX線変換素子を提供することにある。
この課題は本発明によれば請求項1によるX線変換素子によって解決される。本発明によるX線変換素子の有利な実施態様は従属請求項に記載されている。
請求項1によるX線変換素子は、X線透過性および湿気不透過性の基板と、基板に結合されているX線透過性の担持体と、基板上に設けられているシンチレータと、シンチレータを覆う光透過性および湿気不透過性の保護膜とを有する。
シンチレータのための基板としても役立つ唯一の担持体の代わりに、本発明によれば、基板とこの基板に結合された担持体とが設けられている。本発明による解決策、すなわち基板と担持体とからなる複合体によって、X線変換素子の製作時に極めて大きなフレキシビリティが得られる。担持体は、入射するX線の僅かな吸収と、同時に良好な機械的安定性とを考慮して選ばれる。担持体に結合すべき基板においては、同様にできるだけ僅かな吸収に加えて、同時にシンチレータ製作プロセスに対する適性を顧慮することができる。
請求項1によるX線変換素子の場合には、一般的に、第1の製作ステップにおいてシンチレータがX線透過性および湿気不透過性の基板上に設けられる。引続いてシンチレータが光透過性および湿気不透過性の保護膜を備えられる。この製作ステップは高温でかつ真空中で行なわれる。真空プロセスの終了後に、基板とシンチレータと保護膜とからなる複合体が基板側をX線透過性の担持体に結合される。
有利な実施態様によれば、X線変換素子のX線透過性および湿気不透過性の基板がアルミニウムからなる。この基板が20μm〜600μm、好ましくは300μmの層厚を有すると有利である。
他の有利な実施態様によれば、X線透過性の担持体が炭素繊維強化プラスチックからなり、有利な層厚は500μm〜2500μm、好ましくは1000μmである。炭素繊維強化プラスチックからなる板は価格的に手頃であり、かつあらゆるサイズで使用可能である。
担持体と基板との結合は、好ましくは10μm〜200μmの層厚を有するX線透過性の接着剤によって実現されていると好ましい。非常に均質でなければならずかつ気泡を含んではならない接着剤は、例えば接着フィルムによって実現されているとよい。代替として、接着剤はスクリーン印刷法によって設けられてもよい。接着剤材料の選択時には、入射するX線によって接着剤材料が脆くなって本来の特性を失うことがないように留意すべきである。
X線変換素子のシンチレータは、本発明において、CsI:Tl、CsI:Na、NaI:Tlまたは少なくともアルカリハロゲン化物を含む類似材料からなるとよい。この場合にシンチレータの層厚は500μmであると好ましい。それにより、ラジオグラフィの場合には、45〜150kVp(X線管における最大電圧)の範囲に対して高い吸収が得られる。
光透過性および湿気不透過性の保護膜は、例えば2006年5月11日付の独国特許出願第102006022138.9号明細書による層構造を有するとよい。2006年5月24日付の独国特許出願第102006024893.7号明細書に応じた構成がこの保護膜のために選ばれるのもよい。
以下において、本発明による実施例を図面に基づいて詳細に説明するが、しかし本発明をこれに限定するものではない。
図1はX線変換素子の第1の実施例を概略断面図で示し、
図2はX線変換素子の第2の実施例を概略断面図で示し、
図3はX線エネルギーに依存した種々の基板、担持体もしくはこれの組み合わせの透過特性曲線ならびに一般的なラジオグラフィのX線スペクトルの特性曲線を示す。
図1および図2に示されたX線変換素子においては、1でX線透過性および湿気不透過性の基板が示され、基板1はアルミニウムからなり、好ましくは300μmの層厚を有する。
本発明によれば、基板1はX線透過性の担持体2に結合され、担持体2は炭素繊維強化プラスチックからなり、好ましくは1000μmの厚みを有する。
基板1上にはシンチレータ3が設けられ、シンチレータ3はCsI:Tl(タリウムをドーピングされたヨウ化セシウム)からなり、好ましくは500μmの層厚を有する。
シンチレータ3は光透過性および湿気不透過性の保護膜4によって保護されている。
基板1は、図1および図2に示された実施例においてはそれぞれ1つのX線透過性の接着層5により担持体2に結合されている。
本発明において基板1は担持体2よりも小さいか(図1参照)、または担持体2とちょうど同じ大きさである(図2参照)。したがって、図1による実施例の場合、ねじまたは締め付けによるX線変換素子の固定時に基板1に力が作用しない。
図1および図2に示されたX線は、先ずX線透過性の担持体2を透過した後、接着層5とX線透過性および湿気不透過性の基板1とを通り抜けてシンチレータ3内に可視光を発生する。シンチレータ3内に発生した可視光は、光透過性および湿気不透過性の保護膜4を通して出射する。このようにして作成された光像が結像光学系によりCCDカメラ上に投射される。CCDカメラは光像を電気信号に変換する。ひき続いて電気信号が継続処理され、ディジタル画像として出力される。
図3にはX線エネルギーに依存した種々の透過率が示されている。符号200で1000μmの層厚を有するアルミニウムの透過特性曲線が示されている。アモルファス炭素からなる2000μmの厚みの層の透過特性曲線が符号300で示されている。300μmのアルミニウムと1000μmの炭素繊維強化プラスチックとからなる複合体の透過特性曲線が符号400で示されている。
更に、種々の基板、担持体もしくは組み合わせの透過特性評価のために、X線の人体通過後における一般的なラジオグラフィの典型的なX線スペクトルの特性曲線100が示されている。この場合に、人体は3mmのアルミニウムと15cmのPMMA(ポリメタクリル酸メチル、商品名「Plexiglas(プレキシガラス)」)とによって模擬された。
多くのX線量子が40keVよりも大きいエネルギーを有する。これらのX線エネルギーに対しては、300μmのアルミニウムと1000μmの炭素繊維強化プラスチックとからなる複合体の透過率(特性曲線400)が2000μmのアモルファス炭素の透過率(特性曲線300)よりも僅かに高い。
30keVと40keVとの間の範囲においてはX線スペクトルに対する格別の寄与が存在する(特性曲線100)。したがって、このX線エネルギー間隔内での透過特性は重要である。このX線エネルギー間隔内において300μmのアルミニウムと1000μmの炭素繊維強化プラスチックとからなる複合体の透過率(特性曲線400)が1000μmのアルミニウム(特性曲線200)の透過率よりも明らかに良好であり、2000μmのアモルファス炭素の透過率(特性曲線300)と同等である。
X線エネルギーの僅かな成分が30keVよりも低い範囲に存在する。しかし、この範囲内の透過エネルギー特性は重要でない。この範囲では、300μmのアルミニウムと1000μmの炭素繊維強化プラスチックとからなる複合体(特性曲線400)の代わりに2000μmのアモルファス炭素(特性曲線300)を使用することは僅かに高い透過値をもたらす。しかしながら、画質にとっての実際の値は小さい。
担持体2および基板1からなる本発明による複合体は主として3つの要求を満たす。本発明による複合体は、理想的には、シンチレータを積層するプロセス(高められた温度および真空状態)に適した基板であり、同時に十分な機械的安定性を提供し、入射するX線をX線エネルギーの重要範囲においてはほんの少ししか弱めない(図3参照)。
これに対して、従来技術による解決策は基板および担持体として、3つの要求の全てを満たさなければならない唯一の物体が使用する。これを特別に満足させることは、既に説明したように、うまくいかない。
X線変換素子の第1の実施例を示す概略断面図 X線変換素子の第2の実施例を示す概略断面図 X線エネルギーに依存した種々の基板、担持体もしくは組み合わせの透過特性曲線ならびに一般的なラジオグラフィのX線スペクトルの特性曲線を示すダイアグラム
符号の説明
1 基板
2 担持体
3 シンチレータ
4 保護層
5 接着剤
6 X線放射
100 一般的なラジオグラフィのX線スペクトル特性曲線
200 1000μmの層厚を有するアルミニウムの透過特性曲線
300 2000μmの層厚を有するアモルファス炭素の透過特性曲線
400 300μmのアルミニウムと1000μmの炭素繊維強化プラスチックとからなる複合体の透過特性曲線

Claims (9)

  1. X線透過性および湿気不透過性の基板(1)と、基板(1)に結合されているX線透過性の担持体(2)と、基板(1)上に設けられているシンチレータ(3)と、シンチレータ(3)を覆う光透過性および湿気不透過性の保護膜(4)とを有することを特徴とするX線変換素子。
  2. 基板(1)がアルミニウムからなることを特徴とする請求項1記載のX線変換素子。
  3. 基板(1)が20μm〜600μmの層厚を有することを特徴とする請求項1又は2記載のX線変換素子。
  4. 担持体(2)が炭素繊維強化プラスチックからなることを特徴とする請求項1乃至3の1つに記載のX線変換素子。
  5. 担持体(2)が500μm〜2500μmの層厚を有することを特徴とする請求項1乃至4の1つに記載のX線変換素子。
  6. 基板(1)と担持体(2)とがX線透過性の接着剤(5)によって結合されていることを特徴とする請求項1乃至5の1つに記載のX線変換素子。
  7. 接着剤(5)が10μm〜200μmの層厚を有することを特徴とする請求項6記載のX線変換素子。
  8. シンチレータ(3)が、CsI:Tl、CsI:Na、NaI:Tlまたは少なくともアルカリハロゲン化物を含む類似材料からなることを特徴とする請求項1記載のX線変換素子。
  9. シンチレータ(3)が500μmの層厚を有することを特徴とする請求項1乃至8の1つに記載のX線変換素子。
JP2007213409A 2006-08-21 2007-08-20 X線変換素子 Pending JP2008051814A (ja)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE102006038969A DE102006038969B4 (de) 2006-08-21 2006-08-21 Röntgenkonverterelement und Verfahren zu dessen Herstellung

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2008051814A true JP2008051814A (ja) 2008-03-06

Family

ID=38973218

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2007213409A Pending JP2008051814A (ja) 2006-08-21 2007-08-20 X線変換素子

Country Status (4)

Country Link
US (1) US7718974B2 (ja)
JP (1) JP2008051814A (ja)
CN (1) CN101131433B (ja)
DE (1) DE102006038969B4 (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2010103917A1 (ja) * 2009-03-13 2010-09-16 コニカミノルタエムジー株式会社 放射線検出装置
JP2011033563A (ja) * 2009-08-05 2011-02-17 Konica Minolta Medical & Graphic Inc 放射線画像検出装置およびその製造方法

Families Citing this family (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5004848B2 (ja) * 2007-04-18 2012-08-22 キヤノン株式会社 放射線検出装置及び放射線検出システム
DE102008033759B4 (de) * 2008-07-18 2011-01-20 Siemens Aktiengesellschaft Szintillatorplatte
JP2011137665A (ja) * 2009-12-26 2011-07-14 Canon Inc シンチレータパネル及び放射線撮像装置とその製造方法、ならびに放射線撮像システム
JP5827856B2 (ja) * 2011-09-28 2015-12-02 富士フイルム株式会社 カセッテ
DE102012211909A1 (de) 2012-07-09 2014-01-09 Siemens Aktiengesellschaft Strahlungsdetektor
US9702986B2 (en) * 2013-05-24 2017-07-11 Teledyne Dalsa B.V. Moisture protection structure for a device and a fabrication method thereof
TWI514565B (zh) * 2013-12-16 2015-12-21 Au Optronics Corp 有機發光裝置及其製作方法
JP6487263B2 (ja) * 2015-04-20 2019-03-20 浜松ホトニクス株式会社 放射線検出器及びその製造方法
US11156727B2 (en) * 2015-10-02 2021-10-26 Varian Medical Systems, Inc. High DQE imaging device
CN106409955B (zh) * 2016-11-03 2018-08-03 上海卫星工程研究所 星载射线能纳米电池

Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH11249243A (ja) * 1998-03-03 1999-09-17 Konica Corp 輝尽性蛍光体プレート及び輝尽性蛍光体パネル
JP2002131499A (ja) * 2000-10-26 2002-05-09 Konica Corp 放射線画像変換パネル
JP2003248093A (ja) * 2002-02-22 2003-09-05 Konica Corp 放射線画像変換パネル
JP2003262700A (ja) * 2002-03-08 2003-09-19 Konica Corp 放射線画像変換パネル及び放射線画像変換パネルの作製方法
JP2003287571A (ja) * 2002-03-28 2003-10-10 Canon Inc シンチレーターパネルおよびその製造方法
JP2004012413A (ja) * 2002-06-11 2004-01-15 Konica Minolta Holdings Inc 放射線画像変換パネル及び放射線画像変換パネルの製造方法
JP2006052982A (ja) * 2004-08-10 2006-02-23 Canon Inc 放射線検出装置、その製造方法、シンチレータパネル、及び放射線検出システム
JP2006078471A (ja) * 2004-08-10 2006-03-23 Canon Inc 放射線検出装置、シンチレータパネル、これらの製造方法及び放射線検出システム

Family Cites Families (36)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CA1106993A (en) * 1976-05-26 1981-08-11 Martin M. Sackoff Method for making a pressure sensitive adhesive coated laminate
JPS58182572A (ja) * 1982-04-20 1983-10-25 Toshiba Corp 二次元放射線検出器
DE3942232A1 (de) * 1989-12-21 1991-06-27 Beiersdorf Ag Schmelzhaftkleber auf acrylatbasis
JP3805031B2 (ja) * 1995-10-20 2006-08-02 キヤノン株式会社 光電変換装置
US5804832A (en) * 1996-11-26 1998-09-08 Sterling Diagnostic Imaging, Inc. Digital array for radiographic imaging
JP3486515B2 (ja) * 1996-12-13 2004-01-13 キヤノン株式会社 ガラス基板保持構造及び放射線撮影装置
US7019301B2 (en) * 1997-02-14 2006-03-28 Hamamatsu Photonics K.K. Radiation detection device and method of making the same
JP3815766B2 (ja) * 1998-01-28 2006-08-30 キヤノン株式会社 二次元撮像装置
JP4011734B2 (ja) * 1998-06-02 2007-11-21 キヤノン株式会社 2次元光センサ、それを用いた放射線検出装置及び放射線診断システム
US6172371B1 (en) * 1998-06-15 2001-01-09 General Electric Company Robust cover plate for radiation imager
WO1999066349A1 (fr) * 1998-06-18 1999-12-23 Hamamatsu Photonics K.K. Panneau de scintillateur, capteur d'image radiologique et procede de fabrication
AU4168199A (en) * 1998-06-18 2000-01-05 Hamamatsu Photonics K.K. Scintillator panel, radiation image sensor, and method for producing the same
US7034306B2 (en) * 1998-06-18 2006-04-25 Hamamatsu Photonics K.K. Scintillator panel and radiation image sensor
EP1211521B1 (en) * 1999-04-16 2005-12-07 Hamamatsu Photonics K.K. Scintillator panel and radiation image sensor
DE19961673A1 (de) * 1999-12-21 2001-06-28 Philips Corp Intellectual Pty Flacher Röntgendetektor mit Alkalihalogenid-Scintillator
JP4293584B2 (ja) * 2000-02-25 2009-07-08 浜松ホトニクス株式会社 X線像撮像装置及びその製造方法
JP4532782B2 (ja) * 2000-07-04 2010-08-25 キヤノン株式会社 放射線撮像装置及びシステム
US6800836B2 (en) * 2000-07-10 2004-10-05 Canon Kabushiki Kaisha Image pickup device, radiation image pickup device and image processing system
JP4283427B2 (ja) * 2000-08-03 2009-06-24 浜松ホトニクス株式会社 放射線検出器およびシンチレータパネル
AU2001284525A1 (en) * 2000-09-11 2002-03-26 Hamamatsu Photonics K.K. Scintillator panel, radiation image sensor and methods of producing them
EP1879050A3 (en) * 2000-09-11 2008-03-26 Hamamatsu Photonics K.K. Scintillator panel, radiation image sensor and methods of producing them
US6504158B2 (en) * 2000-12-04 2003-01-07 General Electric Company Imaging array minimizing leakage currents
DE20021660U1 (de) * 2000-12-20 2002-05-02 Alanod Al Veredlung Gmbh Verbundmaterial
US6847041B2 (en) * 2001-02-09 2005-01-25 Canon Kabushiki Kaisha Scintillator panel, radiation detector and manufacture methods thereof
JP2002333848A (ja) * 2001-05-10 2002-11-22 Sharp Corp 複合アクティブマトリクス基板、その製造方法、及び電磁波撮像装置
US6770885B2 (en) * 2001-08-29 2004-08-03 General Electric Company Systems and methods for detecting ionizing radiation with an imaging system
FR2831671B1 (fr) * 2001-10-26 2004-05-28 Trixell Sas Detecteur de rayonnement x a l'etat solide
CN1678454A (zh) * 2002-07-03 2005-10-05 高压制图公司 用于植绒制品的印花和模塑的方法
US7473903B2 (en) * 2003-02-12 2009-01-06 General Electric Company Method and apparatus for deposited hermetic cover for digital X-ray panel
JP2004301516A (ja) * 2003-03-28 2004-10-28 Canon Inc 放射線検出装置
US7355184B2 (en) * 2003-04-07 2008-04-08 Canon Kabushiki Kaisha Radiation detecting apparatus and method for manufacturing the same
US7112802B2 (en) * 2003-04-11 2006-09-26 Canon Kabushiki Kaisha Scintillator panel, radiation detecting apparatus, and radiation detection system
JP2005091221A (ja) * 2003-09-18 2005-04-07 Fuji Photo Film Co Ltd 放射線像変換器
US7019304B2 (en) * 2003-10-06 2006-03-28 General Electric Company Solid-state radiation imager with back-side irradiation
JP4012182B2 (ja) * 2004-08-19 2007-11-21 キヤノン株式会社 カセッテ型x線画像撮影装置
JP4464260B2 (ja) * 2004-11-24 2010-05-19 キヤノン株式会社 半導体装置、放射線撮像装置、及びその製造方法

Patent Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH11249243A (ja) * 1998-03-03 1999-09-17 Konica Corp 輝尽性蛍光体プレート及び輝尽性蛍光体パネル
JP2002131499A (ja) * 2000-10-26 2002-05-09 Konica Corp 放射線画像変換パネル
JP2003248093A (ja) * 2002-02-22 2003-09-05 Konica Corp 放射線画像変換パネル
JP2003262700A (ja) * 2002-03-08 2003-09-19 Konica Corp 放射線画像変換パネル及び放射線画像変換パネルの作製方法
JP2003287571A (ja) * 2002-03-28 2003-10-10 Canon Inc シンチレーターパネルおよびその製造方法
JP2004012413A (ja) * 2002-06-11 2004-01-15 Konica Minolta Holdings Inc 放射線画像変換パネル及び放射線画像変換パネルの製造方法
JP2006052982A (ja) * 2004-08-10 2006-02-23 Canon Inc 放射線検出装置、その製造方法、シンチレータパネル、及び放射線検出システム
JP2006078471A (ja) * 2004-08-10 2006-03-23 Canon Inc 放射線検出装置、シンチレータパネル、これらの製造方法及び放射線検出システム

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2010103917A1 (ja) * 2009-03-13 2010-09-16 コニカミノルタエムジー株式会社 放射線検出装置
US8723127B2 (en) 2009-03-13 2014-05-13 Konica Minolta Business Technologies, Inc. Radiation detector
JP2011033563A (ja) * 2009-08-05 2011-02-17 Konica Minolta Medical & Graphic Inc 放射線画像検出装置およびその製造方法

Also Published As

Publication number Publication date
US7718974B2 (en) 2010-05-18
DE102006038969B4 (de) 2013-02-28
CN101131433A (zh) 2008-02-27
US20080043915A1 (en) 2008-02-21
CN101131433B (zh) 2012-05-30
DE102006038969A1 (de) 2008-02-28

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2008051814A (ja) X線変換素子
JP5623281B2 (ja) 撮像装置用シンチレータ、シンチレータモジュール、該シンチレータ付き撮像装置およびシンチレータ製造方法
RU2408901C1 (ru) Устройство для обнаружения излучения и система для обнаружения излучения
JP5911274B2 (ja) 放射線検出装置及び放射線撮像システム
JP5031172B2 (ja) シンチレータパネル、放射線イメージセンサおよびそれらの製造方法
JP4800434B2 (ja) シンチレータパネル、放射線イメージセンサの製造方法
JP2008533484A (ja) 画素内処理回路を有するx線検出器
JPH0973144A (ja) 放射線検出装置
JP5117584B2 (ja) シンチレータプレート
JP2001066369A (ja) 電磁放射の検出器
JPH0727865A (ja) 放射線検出器
JP2010096648A (ja) 放射線−光変換素子、放射線検出器
JP2004317300A (ja) 放射線平面検出器及びその製造方法
JP4770773B2 (ja) 放射線用シンチレータパネルの製造方法、及び放射線画像撮影装置
JP6740943B2 (ja) 放射線変換パネルおよびタルボ撮影装置
JP2002311149A (ja) X線画像撮影装置
CN112773385A (zh) 放射线摄像装置和放射线摄像系统
JPWO2008117589A1 (ja) 放射線用シンチレータパネル及び放射線画像撮影装置
JP2002071815A (ja) X線画像撮影装置
JPH10160852A (ja) 放射線検出器
KR20150046624A (ko) 엑스선 검출장치
WO2021256011A1 (ja) シンチレータパネル及び放射線検出器
US6737656B2 (en) Screen for converting X-rays into light photons
JP2008107134A (ja) 放射線画像検出器
JP2015144746A (ja) 放射線撮影装置及び放射線撮影システム

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20100728

RD03 Notification of appointment of power of attorney

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7423

Effective date: 20100728

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20101130

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20110224

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20111213

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20120306

A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20120807