JP2008046057A5 - - Google Patents

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  1. 角速度検出素子と加速度検出素子を有する複合検出素子を備え、
    前記加速度検出素子は、錘部と、前記錘部に連結され前記錘部の可動に起因して撓むアー
    ムとを有し、前記錘部の可動に起因して撓むアームの状態変化に基づき加速度を検出して
    おり、
    前記角速度検出素子と前記加速度検出素子とを互いに積層配置するとともに前記加速度検
    出素子の錘部と離隔させて前記加速度検出素子の上方に前記角速度検出素子を配置し、か
    つ、前記角速度検出素子には前記加速度検出素子の錘部の上方可動を抑制する抑制手段を
    設けた複合センサ。
  2. 前記角速度検出素子は、駆動振動用のアームと、コリオリ力に起因して撓むアームとを有し、コリオリ力に起因して撓むアームの状態変化に基づき角速度を検出する
    請求項１に記載の複合センサ。
  3. 前記角速度検出素子は、前記加速度検出素子の錘部と対向する対向面に、前記加速度検出
    素子の錘部と離隔させる凹部を設けるとともに、前記凹部の少なくとも一部は前記錘部の
    可動範囲を超えない深さを有する請求項１又は２に記載の複合センサ。
  4. 前記角速度検出素子は、第１アームを第２アームに略直交方向に連結して形成した２つの
    直交アームと、２つの前記第１アームを支持した支持部と、前記第１アームに第３アーム
    を略直交方向に連結して形成した２つの直交アームとを有し、前記第３アームにて前記加
    速度検出素子に固定し、前記第３アームの厚みよりも前記錘部および前記第１、第２アー
    ムの厚みを薄くするとともに前記第３アームの一部を切り欠いて前記凹部を設け、前記第
    ３アームの一部に設けた前記凹部は前記加速度検出素子の錘部の可動範囲を超えない深さ
    を有する請求項３記載の複合センサ。
  5. 前記加速度検出素子は、前記錘部に連結され前記錘部の可動に起因して撓むアームを連結
    するとともに実装基板に固定する固定用アームを有し、前記加速度検出素子の固定用アー
    ム上に前記角速度検出素子の第３アームを積層配置して固定した請求項４記載の複合セン
    サ。
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Families Citing this family (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008190931A (ja) * 2007-02-02 2008-08-21 Wacoh Corp 加速度と角速度との双方を検出するセンサ
JP5789737B2 (ja) * 2009-11-24 2015-10-07 パナソニックＩｐマネジメント株式会社 加速度センサ
CN101865933A (zh) * 2010-06-07 2010-10-20 瑞声声学科技(深圳)有限公司 差分电容式加速度传感器
JP5505193B2 (ja) * 2010-08-17 2014-05-28 シンフォニアテクノロジー株式会社 複合センサ、センサユニット
WO2012098901A1 (ja) * 2011-01-20 2012-07-26 パナソニック株式会社 加速度センサ
KR101299731B1 (ko) * 2012-05-29 2013-08-22 삼성전기주식회사 각속도 센서
KR101388814B1 (ko) * 2012-09-11 2014-04-23 삼성전기주식회사 각속도 센서
KR101366990B1 (ko) * 2012-12-28 2014-02-24 삼성전기주식회사 각속도 센서
KR101531093B1 (ko) * 2013-07-31 2015-06-23 삼성전기주식회사 가속도 센서 및 각속도 센서
JP6464749B2 (ja) 2015-01-06 2019-02-06 セイコーエプソン株式会社 物理量センサー、電子機器および移動体
JP6372361B2 (ja) * 2015-01-16 2018-08-15 株式会社デンソー 複合センサ
JP5833790B2 (ja) * 2015-07-03 2015-12-16 株式会社トライフォース・マネジメント 発電素子
EP3358357A4 (en) * 2015-09-30 2019-11-06 Hitachi Automotive Systems, Ltd. SENSOR OF INERTIA
US11164197B2 (en) * 2018-04-13 2021-11-02 Shopper Scientist Llc Shopping time allocated to product exposure in a shopping environment
CN111780899B (zh) * 2019-04-04 2022-04-12 武汉杰开科技有限公司 复合传感器及其制作方法

Family Cites Families (17)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH09196682A (ja) * 1996-01-19 1997-07-31 Matsushita Electric Ind Co Ltd 角速度センサと加速度センサ
JPH10239064A (ja) * 1997-02-27 1998-09-11 Matsushita Electric Ind Co Ltd 角速度と加速度の複合センサ
JP2001074767A (ja) 1999-09-03 2001-03-23 Matsushita Electric Ind Co Ltd 加速度センサおよびその製造方法
JP2001208546A (ja) 1999-11-16 2001-08-03 Matsushita Electric Ind Co Ltd 角速度センサ
JP2002005951A (ja) * 2000-06-26 2002-01-09 Denso Corp 半導体力学量センサ及びその製造方法
CN1287733C (zh) * 2001-03-06 2006-12-06 微石有限公司 身体动作检测装置
JP2003014778A (ja) * 2001-04-26 2003-01-15 Samsung Electronics Co Ltd 垂直変位測定及び駆動構造体とその製造方法
US6725719B2 (en) * 2002-04-17 2004-04-27 Milli Sensor Systems And Actuators, Inc. MEMS-integrated inertial measurement units on a common substrate
CN1227535C (zh) * 2002-07-02 2005-11-16 中国科学院合肥智能机械研究所 一种双e型圆膜片十字梁结构的六轴加速度传感器
US7335971B2 (en) * 2003-03-31 2008-02-26 Robert Bosch Gmbh Method for protecting encapsulated sensor structures using stack packaging
JP2005098891A (ja) * 2003-09-25 2005-04-14 Matsushita Electric Works Ltd 静電容量式センサ
JP2005283393A (ja) * 2004-03-30 2005-10-13 Fujitsu Media Device Kk 慣性センサ
JP2006125887A (ja) * 2004-10-26 2006-05-18 Fujitsu Media Device Kk 加速度センサ
JP2006133004A (ja) * 2004-11-04 2006-05-25 Matsushita Electric Ind Co Ltd 角速度センサ
JP4774733B2 (ja) * 2004-12-03 2011-09-14 パナソニック株式会社 複合センサ
JP4702942B2 (ja) * 2005-10-14 2011-06-15 Ｎｅｃトーキン株式会社 振動ジャイロ用素子及び振動ジャイロ
JP2007248328A (ja) * 2006-03-17 2007-09-27 Matsushita Electric Ind Co Ltd 複合センサ

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