JP2007248328A - 複合センサ - Google Patents
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Abstract
【課題】本発明は、角速度センサの特性を維持しながら、一つのパッケージに角速度センサ素子と加速度センサ素子を収納することができる複合センサを提供することを目的とするものである。
【解決手段】角速度センサ素子1と、加速度センサ素子2と、前記加速度センサ素子1および加速度センサ素子2からの信号を処理する信号処理IC3と、前記角速度センサ素子1、加速度センサ素子2および信号処理IC3を収容する内装パッケージ4と、この内装パッケージ4に接続されるとともに弾性変形することが可能な連結部材7と、この連結部材7に接続され、かつこの連結部材7を介して前記内装パッケージ4を保持する固定部材8とを備え、前記加速度センサ素子2および信号処理IC3のいずれか一方を前記内装パッケージ4の中央よりも右側に配置し、かつ他方を前記内装パッケージ4の中央よりも左側に配置したものである。
【選択図】図1
【解決手段】角速度センサ素子1と、加速度センサ素子2と、前記加速度センサ素子1および加速度センサ素子2からの信号を処理する信号処理IC3と、前記角速度センサ素子1、加速度センサ素子2および信号処理IC3を収容する内装パッケージ4と、この内装パッケージ4に接続されるとともに弾性変形することが可能な連結部材7と、この連結部材7に接続され、かつこの連結部材7を介して前記内装パッケージ4を保持する固定部材8とを備え、前記加速度センサ素子2および信号処理IC3のいずれか一方を前記内装パッケージ4の中央よりも右側に配置し、かつ他方を前記内装パッケージ4の中央よりも左側に配置したものである。
【選択図】図1
Description
本発明は、主として自動車等の車両用のナビゲーションシステムや、車両の各種制御用、あるいはカメラ等の手ブレ検知システム等に用いられる角速度および加速度の検出を行う複合センサに関するものである。
1つのパッケージに角速度センサ素子と加速度センサ素子を収容した複合センサは、知られている(特許文献1参照)。
また、角速度センサを搭載した機器を車両に傾けて取り付ける場合において、角速度センサの検出軸が鉛直方向に一致するように、機器内で角速度センサを傾けて取り付ける構成のものも知られている(特許文献2参照)。
さらに、質量部であるマス部と片持ち梁部である弾性変形部との厚みが異なることによりマス部の重心が弾性変形部と平行な面内に位置しない構成の加速度センサにおいて、検出しようとする方向に対する垂直成分の加速度の影響を少なくすることを目的として、加速度センサ素子を傾ける構成のものも知られている(特許文献3参照)。
特開2003−4450号公報
特開平11−281361号公報
特開平7−225242号公報
このような複合センサにおいて、1つのパッケージに角速度センサと加速度センサを収納し、そして加速度センサはダイレクトに加速度が伝わる方が好ましいため、パッケージにダンパー等を設けない構成にした場合には、角速度センサは角速度センサ素子の検出軸回りに角速度を検知するものであるため、外部衝撃などの外乱の影響により検出精度が悪化してしまうという課題を有していた。
本発明は上記従来の課題を解決するもので、角速度センサの特性を維持しながら、一つのパッケージに角速度センサ素子と加速度センサ素子を収納することができる複合センサを提供することを目的とするものである。
上記目的を達成するために、本発明は以下の構成を有するものである。
本発明の請求項1に記載の発明は、角速度センサ素子と、加速度センサ素子と、前記角速度センサ素子および加速度センサ素子からの信号を処理する信号処理ICと、前記角速度センサ素子、加速度センサ素子および信号処理ICを収容する内装パッケージと、この内装パッケージに接続されるとともに弾性変形することが可能な連結部材と、この連結部材に接続され、かつこの連結部材を介して前記内装パッケージを保持する固定部材とを備え、前記加速度センサ素子および信号処理ICのいずれか一方を前記内装パッケージの中央よりも右側に配置し、かつ他方を前記内装パッケージの中央よりも左側に配置したもので、この構成によれば、加速度検出素子および信号処理ICのいずれか一方を内装パッケージの中央よりも右側に配置し、かつ他方を前記内装パッケージの中央よりも左側に配置しているため、内装パッケージ内で重量の重い構成要素が左右に振り分けられることになり、これにより、重量バランスが向上するため、角速度の検出信号にノイズ成分が混入するのを防止することができ、これにより、角速度の検出精度が悪化するのを防ぐことができるという作用効果を有するものである。
本発明の請求項2に記載の発明は、特に、連結部材を撓むことによって弾性変形をするもので構成し、かつ角速度センサ素子を駆動振動させてコリオリの力を利用して角速度を検出するもので構成するとともに、前記角速度センサ素子の駆動振動方向を前記連結部材の撓み方向に対して垂直方向にし、さらに加速度センサ素子の検出方向を前記駆動振動方向と平行にしたもので、この構成によれば、加速度センサ素子の検出軸方向は、連結部材の撓み方向に対して垂直な方向となって、撓み性が小さい方向であるため、複合センサに印加された加速度はほぼ直接加速度センサ素子に伝わることになり、これにより、検出精度の低下を防止することができるという作用効果を有するものである。
本発明の請求項3に記載の発明は、特に、角速度センサ素子および加速度センサ素子を内装パッケージ内で傾けて構成したもので、この構成によれば、複合センサを搭載した機器が車両等の内部で傾けて取り付けられていても、角速度センサ素子の検出軸を鉛直方向に、かつ加速度センサ素子の検出軸を車両の進行方向にすることができるため、検出精度の維持を図ることができるという作用効果を有するものである。
以上のように本発明の複合センサは、加速度検出素子および信号処理ICのいずれか一方を内装パッケージの中央よりも右側に配置し、かつ他方を内装パッケージの中央よりも左側に配置しているため、内装パッケージ内で重量の重い構成要素が左右に振り分けられることになり、これにより、重量バランスが向上するため、角速度の検出信号にノイズ成分が混入するのを防止することができ、その結果、角速度の検出精度が悪化するのを防ぐことができるという優れた効果を奏するものである。
(実施の形態1)
以下、実施の形態1を用いて、本発明の特に請求項1および2に記載の発明について説明する。
以下、実施の形態1を用いて、本発明の特に請求項1および2に記載の発明について説明する。
図1は本発明の実施の形態1における複合センサの平面断面図、図2は図1のA−A線断面図、図3は図1のB−B線断面図である。
図1〜図3において、1は音叉形状を有する角速度センサ素子、2は略直方体の外形形状を有する加速度センサ素子である。3は角速度センサ素子1および加速度センサ素子2からの信号を処理する信号処理ICで、この信号処理IC3は一方のICである第1のIC部3aと、他方のICである第2のIC部3bとを積層することにより構成されているものである。4は前記角速度センサ素子1、加速度センサ素子2および信号処理IC3を収容する内装パッケージで、この内装パッケージ4は内壁面5の一部に前記信号処理IC3を取り付け、さらに別の内壁面6の一部に前記加速度センサ素子1を取り付けている。7は内装パッケージ4に接続された連結部材で、この連結部材7は図1の紙面前後方向に撓むことによって弾性変形をするものから構成されており、さらにこの連結部材7は、図1に示すように内装パッケージ4の左右と下側に取り付けられている。8は連結部材7に接続されている固定部材で、この固定部材8は前記連結部材7を介して内装パッケージ4を保持するものである。
図1中のX軸は角速度センサ素子1の検出軸方向を表し、そして角速度センサ素子1はこのX軸と平行な軸を中心とする回転の角速度を検出するものである。図1においてX軸は紙面上向きの軸である。また、Y軸は加速度センサ素子2の検出軸方向を表し、そして加速度センサ素子2はこのY軸と平行な方向の加速度の検出をするものである。図1においてY軸は右方向の軸である。また、X軸とY軸は直交している。
図4は本発明の実施の形態1における複合センサのうちの角速度センサ素子を示す平面図である。この図4において、10はSiで構成された音叉形状を有する音叉基体で、この音叉基体10の先端部分には一対の脚11を設けている。12は一対の脚11のそれぞれの上面の端に2箇所ずつ形成された駆動電極である。13は一対の脚11の上面にそれぞれ2箇所形成されている駆動電極12の間に形成された検出電極である。そして前記駆動電極12および検出電極13はともに音叉基体10上に積層されたグランド電極(図示せず)およびPZT層(図示せず)上に形成されているものである。
図5は本発明の実施の形態1における複合センサのうちの加速度センサ素子を示す分解斜視図、図6は同加速度センサ素子の縦断面図を示したもので、この加速度センサ素子は図1における加速度センサ素子2を向きをそのままにして断面で示したものである。
図5、図6において、14はSiで構成された枠体部、15は枠体部14と一体的に形成された2本の梁部、16は2本の梁部15に支持された質量部、17は質量部16の表面および裏面に形成された可動電極である。18は前記枠体部14の表面および裏面の両方に位置し、かつ中央部に開口が形成されているスペーサで、この2つのスペーサ18のそれぞれの外側には平板19が設けられている。20は可動電極17と対向するように平板19に形成された固定電極である。
以上のように構成された本発明の実施の形態1における複合センサの動作について、以下に説明する。
本発明の複合センサにおける角速度の検出に関しては、角速度センサ素子1が角速度の検出を行う。角速度センサ素子1の駆動電極12に所定の周期の電圧を印加して、圧電体であるPZT層(図示せず)を変形させることにより、一対の脚11を図4における紙面左右方向に振動させる。この状態で、X軸を回転中心とする角速度を印加すると、コリオリの力により一対の脚11が図4における紙面前後方向への力を受け、これによるPZT層(図示せず)の電位変化を検出電極13で検出し、そしてこの検出した信号を信号処理IC3で所定の処理を行うことにより角速度を検出することができる。
また、本発明の複合センサにおける加速度の検出に関しては、加速度センサ素子2が加速度の検出を行う。
例えば、図6において、紙面の左方向への正の加速度が印加された場合、慣性の関係で質量部16が加速度センサ素子2の中で相対的に右に移動する。このとき、右側の可動電極17と固定電極20との間隔が狭まり、一方、これとは反対に左側の可動電極17と固定電極20との間隔が広がる。これにより、これらの電極間の静電容量に変化が現れるため、これによる信号を信号処理IC3で所定の処理を行うことにより加速度を検出することができる。
このような複合センサにおいて、外部から衝撃が加えられた場合について、以下に説明する。
例えば、図1において紙面前後方向の衝撃が加わった場合、連結部材7に保持された内装パッケージ4は連結部材7がある程度の衝撃を吸収するものの、幾分かの衝撃は内装パッケージ4に伝わることになり、そしてこの内装パッケージ4が若干であっても固定部材8内で図1において紙面前後方向に移動する。このとき、内装パッケージ4内の重量バランスに偏りがあると、内装パッケージ4は平行に前後に移動するのではなく、内装パッケージ4の右端は手前に移動しているときに左端が奥に移動する、といった運動をしてしまい、そしてこのような運動は、図1における紙面上下方向を軸とする加速度を印加したときと同様の運動になるためノイズ成分として加速度の検出信号に付加されてしまい、検出精度を悪化させることになる。この現象は、図1における紙面前後方向の衝撃のみならず、紙面上下方向や左右方向の衝撃が加わった場合にも同様なことが起こるものである。
しかしながら、本発明の実施の形態1における複合センサにおいては、内装パッケージ4内で信号処理IC3を中央よりも左側に配置し、かつ加速度センサ素子2を中央よりも右側に配置した構成としているため、内装パッケージ4内で重量の重いこれらの構成要素が左右に振り分けられることになり、これにより、重量バランスが向上するため、角速度の検出信号にノイズ成分が混入するのを防止することができ、これにより、角速度の検出精度が悪化するのを防ぐことができるものである。
また、本発明の実施の形態1においては、連結部材7を撓むことによって弾性変形をするもので構成し、かつ角速度センサ素子1の駆動振動方向を前記連結部材7の撓み方向に対して垂直方向にし、さらに加速度センサ素子2の検出方向を前記駆動振動方向と平行にしているため、加速度センサ素子2の検出軸方向は、連結部材7の撓み方向に対して垂直な方向となって、撓み性が小さい方向であるため、複合センサに印加された加速度はほぼ直接加速度センサ素子2に伝わることになり、これにより、検出精度の低下を防止することができるものである。
(実施の形態2)
以下、実施の形態2を用いて、本発明の特に請求項3に記載の発明について説明する。
以下、実施の形態2を用いて、本発明の特に請求項3に記載の発明について説明する。
図7は本発明の実施の形態2における複合センサの平面断面図を示したもので、この図7においては、上記した本発明の実施の形態1における構成部品と同じものについては同一番号を付しており、その詳細は省略する。なお、図7におけるX軸とY軸とは直交しているものである。
本発明の実施の形態2における複合センサが、上記した本発明の実施の形態1における複合センサと異なる点は、角速度センサ素子1および加速度センサ素子2を内装パッケージ4内で斜めに傾けて構成するとともに、連結部材7をS字形状に構成したものである。
本発明の実施の形態2における複合センサは、上記した本発明の実施の形態1における複合センサと比較すると、X軸とY軸を傾けているため、角速度センサ素子1および角速度センサ素子2の検出軸はともに傾いたものとなる。このため、複合センサを車両などの移動体に傾けて取り付ける時の検出精度の向上を図ることができる。これについて以下、説明をする。
複合センサを自動車に取り付ける場合、車内のセンターコンソールに取り付けることがあり、この場合、センターコンソールは使用者の操作性や寸法の関係で操作面が斜め上を向くように斜めに傾いていることが多い。このため、複合センサも斜めに取り付けられることになる。ここで、自動車において、角速度センサ素子1は鉛直方向を、加速度センサ素子2は自動車の進行方向を検出軸とするような構成であることがそれぞれ求められ、検出軸がこれらの方向からずれると検出精度が劣化する。このため、自動車に取り付けた際にX軸が鉛直方向を、Y軸が自動車の進行方向を向くように複合センサ内で、角速度センサ素子1および加速度センサ素子2をそれぞれ傾けて取り付けておけば、複合センサが自動車のセンターコンソールに傾けて取り付けられても検出精度を維持することができるものである。
また、上記本発明の実施の形態2においては、連結部材7をS字形状に構成しているため、連結部材7を設ける限られた空間内において連結部材7の延伸距離を確保することができ、これにより、複合センサの小型化が図れるものである。
本発明に係る角速度センサは、加速度検出素子および信号処理ICのいずれか一方を内装パッケージの中央よりも右側に配置し、かつ他方を内装パッケージの中央よりも左側に配置したことにより、角速度センサの特性を維持しながら、一つのパッケージに角速度センサ素子と加速度センサ素子を収納することができるという効果を有するものであり、特に車両用等のデジタルカメラ等の各種検知センサに適用して有用なものである。
1 角速度センサ素子
2 加速度センサ素子
3 信号処理IC
4 内装パッケージ
7 連結部材
8 固定部材
2 加速度センサ素子
3 信号処理IC
4 内装パッケージ
7 連結部材
8 固定部材
Claims (3)
- 角速度センサ素子と、加速度センサ素子と、前記角速度センサ素子および加速度センサ素子からの信号を処理する信号処理ICと、前記角速度センサ素子、加速度センサ素子および信号処理ICを収容する内装パッケージと、この内装パッケージに接続されるとともに弾性変形することが可能な連結部材と、この連結部材に接続され、かつこの連結部材を介して前記内装パッケージを保持する固定部材とを備え、前記加速度センサ素子および信号処理ICのいずれか一方を前記内装パッケージの中央よりも右側に配置し、かつ他方を前記内装パッケージの中央よりも左側に配置した複合センサ。
- 連結部材を撓むことによって弾性変形をするもので構成し、かつ角速度センサ素子を駆動振動させてコリオリの力を利用して角速度を検出するもので構成するとともに、前記角速度センサ素子の駆動振動方向を前記連結部材の撓み方向に対して垂直方向にし、さらに加速度センサ素子の検出方向を前記駆動振動方向と平行にした請求項1記載の複合センサ。
- 角速度センサ素子および加速度センサ素子を内装パッケージ内で傾けて構成した請求項1または2記載の複合センサ。
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