JP2007535150A - メモリ・アレイ、メモリ・アレイを形成する方法、及びビット線に対するコンタクトを形成する方法 - Google Patents
メモリ・アレイ、メモリ・アレイを形成する方法、及びビット線に対するコンタクトを形成する方法 Download PDFInfo
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Abstract
Description
メモリ・アレイは、プログラム可能なデータ記憶のために利用される。例えば、ダイナミック・ランダム・アクセス・メモリ(DRAM)は、一般に、プログラム可能なメモリ記憶のために利用される。DRAMは、典型的には、各セルが1つのトランジスタと1つのメモリス記憶装置を備える個々のメモリ・セルのアレイとして形成される。これらのメモリ記憶装置は典型的にはキャパシタである。トランジスタはDRAMアレイにまたがって延びるワード線内に形成される。また、一連のビット線もDRAMアレイにまたがって設けられる。情報のビットは、ワード線とビット線の特定の組合せをアクティブにすることにより、個々のDRAMセルのメモリ記憶装置に書き込まれ、又はそこから読み取られる。したがって、DRAMアレイの各メモリ・デバイスは、ワード線とビット線の適切な組合せを用いて詳細にアドレス指定することが可能である。
DRAMアレイは、一般的に半導体基板に関連する集積回路として製造される。半導体デバイス処理の継続した目標は、集積化の規模を増大させ、処理を簡単にし、コストを削減することである。このような1つ又は複数の継続した目標に向かって処理を行うためにDRAMアレイを形成する新しい方法を創造することが望ましい。
好ましい実施の形態の詳細な説明
本発明の一態様は、DRAMアレイの形成に関する。アレイは、ストレージ・ノード・コンタクト位置とビット線コンタクト位置とを含む。エッチング停止層を利用して、ビット線コンタクト位置に延びるトレンチの形成期間にストレージ・ノード・コンタクト位置を保護する。その後、導電材料がトレンチ内に形成されて、ビット線コンタクト位置に延びるビット線相互接続が形成される。導電材料はトレンチ内での導電材料の形成によって導電線に整形される。特定の態様においては、導電材料の形成は、DRAMアレイに関連するビット線相互接続の製造のための方法へのダマスク模様プロセスの組込みに対応するものと考えることができる。
メモリ・デバイス408はメモリ・モジュールに対応する。例えば、シングル・インライン・メモリ・モジュール(SIMM)とデューアル・インライン・メモリ・モジュール(DIMM)を本発明の教示を利用した実装形態において使用することができる。メモリ・デバイスを、デバイスのメモリ・セルとの間で読み取り・書き込みを行う異なる方法を提供する様々な設計のうちの任意のものに組み込むことができる。このような1つの方法がページ・モード動作である。DRAMにおけるページ・モード動作は、メモリ・セル・アレイの行にアクセスし、アレイの異なる列にランダムにアクセスする方法によって定義される。行と列の交差部に記憶されたデータは、列がアクセスされる間に読取られて出力される。
Claims (96)
- メモリ・アレイのためのビット線コンタクトを形成する方法であって、
第1の組の導電ノード及び第2の組の導電ノードを有する半導体基板を設けるステップと、
前記第2の組の導電ノード上にエッチング停止層を形成するステップと、
前記エッチング停止層上及び前記第1の組の導電ノード上に電気絶縁材料を形成するステップと、
前記電気絶縁材料を完全に通って延びるが前記エッチング停止層を通っては延びないトレンチをエッチングするステップと、
前記トレンチ内に、前記第1の組の導電ノードと電気的に接触する導電材料を設けるステップと、
前記第2の組の導電ノードと電気的に接触するメモリ記憶装置を形成するステップと、
前記導電材料と電気的に接触するビット線を形成するステップと、
を備える方法。 - 前記基板が複数のトランジスタ構造を支持し、前記各トランジスタ構造が、前記第1の導電ノードのうちの1つを前記第2の導電ノードのうちの1つとゲート接続するゲートを備え、前記エッチング停止層が前記ゲートの高さ方向上側にある、請求項1に記載の方法。
- 前記トランジスタ構造ゲートが、それぞれ1つ又は複数の導電材料上の電気絶縁キャップを含むワード線スタックによって構成され、前記エッチング停止層が、前記ワード線スタックの少なくとも一部の前記電気絶縁キャップに物理的に接触するように形成される、請求項2に記載の方法。
- 前記トランジスタ構造ゲートが前記半導体基板の半導体材料上に形成され、前記トランジスタ構造が、前記半導体材料内に延びるソース/ドレイン領域を備え、導電ペデスタルが、前記ソース/ドレイン領域上に、前記ソース/ドレイン領域と電気的に接続して形成され、前記第1及び第2の導電ノードが、前記導電ペデスタルの最上部表面によって構成される、請求項2に記載の方法。
- 前記エッチング停止層が酸化アルミニウムを含む、請求項1に記載の方法。
- 前記エッチング停止層が、シリコンと、酸素及び窒素のうちの一方又は両方とを含む、請求項1に記載の方法。
- 前記エッチング停止層が二酸化ケイ素を含む、請求項1に記載の方法。
- 前記エッチング停止層が窒化ケイ素を含む、請求項1に記載の方法。
- 前記エッチング停止層が酸窒化ケイ素を含む、請求項1に記載の方法。
- 前記電気絶縁材料が、ドープされた酸化物と低誘電率誘電体材料とのうちの一方又は両方を含む、請求項1に記載の方法。
- 前記メモリ記憶装置がキャパシタ構造であり、前記メモリ・アレイがDRAMアレイである、請求項1に記載の方法。
- 前記メモリ・アレイがフラッシュ・メモリ・アレイである、請求項1に記載の方法。
- 前記メモリ・アレイが相変化メモリ・アレイである、請求項1に記載の方法。
- 前記メモリ・アレイが抵抗変化メモリ・アレイである、請求項1に記載の方法。
- DRAMアレイのためのビット線コンタクトを形成する方法であって、
第1の組の導電ノード及び第2の組の導電ノードを有する半導体基板を設けるステップと、
前記基板上に前記第2の組の導電ノードを覆い、前記第1の組の導電ノードまで延びる開口を有するパターン化されたエッチング停止層を形成するステップと、
前記パターン化されたエッチング停止層上に電気絶縁材料を形成するステップと、
前記電気絶縁材料を完全に通って延び、前記パターン化されたエッチング停止層まで延び、前記パターン化されたエッチング停止層中の開口を通って前記第1の組の導電ノードまで延びるトレンチをエッチングするステップと、
前記トレンチ内に、前記第1の組の導電ノードと電気的に接触する導電材料を設けるステップと、
前記第2の組の導電ノードと電気的に接触するストレージ・ノードを有するキャパシタを形成するステップと、
前記導電材料と電気的に接触するビット線を形成するステップと
を含む方法。 - 前記基板が複数のトランジスタ構造を支持し、前記各トランジスタ構造が、前記第1の導電ノードのうちの1つを前記第2の導電ノードのうちの1つとゲート接続するゲートを備え、前記パターン化されたエッチング停止層が前記ゲートの高さ方向上側にある、請求項15に記載の方法。
- 前記トランジスタ構造ゲートが、それぞれ1つ又は複数の導電材料上の電気絶縁キャップを含むワード線スタックによって構成され、前記パターン化されたエッチング停止層が、前記ワード線スタックの少なくとも一部の前記電気絶縁キャップに物理的に接触するように形成される、請求項16に記載の方法。
- 電気絶縁側壁スペーサが前記ワード線スタックの側壁に沿って延び、前記パターン化されたエッチング停止層が、前記電気絶縁側壁スペーサの少なくとも一部に物理的に接触するように形成される、請求項17に記載の方法。
- 前記トランジスタ構造ゲートが前記半導体基板の半導体材料上に形成され、前記トランジスタ構造が、前記半導体材料内に延びるソース/ドレイン領域を備え、導電ペデスタルが、前記ソース/ドレイン領域上に、前記ソース/ドレイン領域と電気的に接続して形成され、前記第1及び第2の導電ノードが、前記導電ペデスタルの最上部表面によって構成される、請求項16に記載の方法。
- 前記パターン化されたエッチング停止層が酸化アルミニウムを含む、請求項15に記載の方法。
- 前記パターン化されたエッチング停止層が、シリコンと、酸素及び窒素のうちの一方又は両方とを含む、請求項15に記載の方法。
- 前記パターン化されたエッチング停止層が二酸化ケイ素を含む、請求項21に記載の方法。
- 前記パターン化されたエッチング停止層が窒化ケイ素を含む、請求項21に記載の方法。
- 前記パターン化されたエッチング停止層が酸窒化ケイ素を含む、請求項21に記載の方法。
- 前記電気絶縁材料が、ドープされた酸化物と低誘電率誘電体材料とのうちの一方又は両方を含む、請求項15に記載の方法。
- 前記トレンチ内に前記導電材料を設けるステップが、
窒化タンタルを形成して前記トレンチを部分的に充填するステップと、
前記部分的に充填されたトレンチ内に銅を形成して前記トレンチを完全に充填するステップと、
を含む、請求項15に記載の方法。 - 前記トレンチ内に前記導電材料を設けるステップが、
Tiと、窒化チタン及び窒化タングステンのうちの一方又は両方との導電スタックを形成して、前記トレンチを部分的に充填するステップと、
前記部分的に充填されたトレンチ内にタングステンを形成して前記トレンチを完全に充填するステップと
を含む、請求項15に記載の方法。 - 前記電気絶縁材料が最上部表面を有し、前記タングステン及び導電スタックが、前記電気絶縁材料の前記最上部表面を横切って延び、前記タングステン及び導電スタックの平坦化を更に含み、前記タングステン及び導電スタックの高さをほぼ前記電気絶縁材料の前記最上部表面の高さまで減少させ、それによって前記トレンチ内の前記導電スタック及びタングステンから複数の導電線を形成する、請求項27に記載の方法。
- 前記トレンチが深さを有し、前記線が前記トレンチの前記深さの約2分の1以下まで充填するようにするために、前記トレンチ内の前記導電線の高さを減少させるステップを更に含む、請求項28に記載の方法。
- 基板が、メモリ・アレイ領域と、前記メモリ・アレイ領域の周辺の別の領域とを備え、前記トレンチが、前記メモリ・アレイ領域を横切って、また前記メモリ・アレイ領域の周辺の前記領域の少なくとも一部分を横切って延び、前記導電線の前記高さを減少させる前記ステップが、前記メモリ・アレイ領域上にある前記トレンチの部分においてのみ行われ、前記メモリ・アレイ領域の周辺の前記領域上にある前記トレンチの部分においては行われない、請求項29に記載の方法。
- 前記トレンチ内の前記導電線上に電気絶縁キャップを形成するステップを更に含む、請求項29に記載の方法。
- 前記導電線の前記高さを減少させる前記ステップの後に、前記電気絶縁キャップの形成に先立って、前記電気絶縁材料のエッチングを用いて前記トレンチの上部領域を拡大するステップを更に含む、請求項31に記載の方法。
- 前記電気絶縁キャップを形成する前記ステップが、前記トレンチ内の前記導電線上に窒化ケイ素を形成して前記トレンチを完全に充填し、その後に前記窒化ケイ素の最上部表面を平坦化するステップを含む、請求項31に記載の方法。
- 前記電気絶縁キャップに対して自己整列されるエッチングを用いて前記絶縁材料とパターン化されたエッチング停止層とをエッチングして、前記第2の組の導電ノードまで延びる開口を形成するステップと、
前記開口内に前記キャパシタ・ストレージ・ノードを形成するステップと
を更に含む、請求項31に記載の方法。 - ビット線とのコンタクトを形成する方法であって、
複数のストレージ・ノード・コンタクト位置と複数のビット線コンタクト位置とを含む半導体構造を設けるステップと、
前記ストレージ・ノード・コンタクト位置上にあり、前記ビット線コンタクト位置上にはないエッチング停止層を形成するステップと、
前記エッチング停止層上に電気絶縁材料を形成するステップと、
前記電気絶縁材料を完全に通って前記ビット線コンタクト位置まで、また前記エッチング停止層まで延びるトレンチを前記電気絶縁材料においてエッチングするステップと、
前記トレンチ内に、前記ビット線コンタクト位置と電気的に接触する導電線を形成するステップと、
前記導電線を形成した後に、前記エッチング停止層を通って前記ストレージ・ノード・コンタクト位置まで延びる開口を形成するステップと、
前記エッチング停止層を通って延びる前記開口中に、前記ストレージ・ノード・コンタクト位置と電気的に接触するキャパシタ・ストレージ・ノードを形成するステップと、
前記導電線と電気的に接触するビット線を形成するステップと、
を含む方法。 - 前記導電線を形成する前記ステップが、少なくとも2つの導電材料で前記トレンチを充填するステップを含む、請求項35に記載の方法。
- 前記導電線を形成する前記ステップが、
少なくとも2つの導電材料で前記トレンチを充填するステップと、
前記トレンチが前記少なくとも2つの導電材料で完全に充填されるよりも少なくするよう、前記トレンチ内の前記導電材料の量を減少させるステップと、
を含む、請求項35に記載の方法。 - 前記電気絶縁材料が第1の電気絶縁材料であり、
前記トレンチが第1のトレンチであり、
前記導電線を形成する前記ステップが、
少なくとも2つの導電材料で前記第1のトレンチを充填するステップと、
前記第1のトレンチ内の前記導電材料の量を減少させて、前記導電材料上に第2のトレンチを形成するステップと、
を含み、
前記量を減少させる前記ステップが、前記導電線中に前記導電材料を形成し、前記導電線が第1の横方向幅を有し、
前記エッチング停止層を通って延びる前記開口を形成する前記ステップが、
前記トレンチ内に第2の電気絶縁材料を形成して、前記導電線の前記第1の横方向幅よりも幅の広い第2の横方向幅を有する電気絶縁キャップを形成するステップと、
エッチング中に前記電気絶縁キャップをマスクとして使用して、前記第1の電気絶縁材料及びエッチング停止層を通って前記ストレージ・ノード・コンタクト位置まで延びる開口を形成するステップと、
を含む、請求項35に記載の方法。 - 前記キャパシタ・ストレージ・ノード上に誘電体材料を形成するステップと、
前記誘電体材料上に、誘電体材料及びストレージ・ノードと共にキャパシタに組み込まれるキャパシタ電極材料を形成するステップと、
を更に含む、請求項38に記載の方法。 - 前記エッチング停止層が酸化アルミニウムを含む、請求項35に記載の方法。
- 前記エッチング停止層が、シリコンと、酸素及び窒素のうちの一方又は両方とを含む、請求項35に記載の方法。
- 前記エッチング停止層が二酸化ケイ素を含む、請求項41に記載の方法。
- 前記エッチング停止層が窒化ケイ素を含む、請求項41に記載の方法。
- 前記エッチング停止層が酸窒化ケイ素を含む、請求項41に記載の方法。
- 前記エッチング停止層が、シリコンと、酸素及び窒素のうちの一方又は両方とから実質的に構成される、請求項35に記載の方法。
- 前記エッチング停止層が酸化アルミニウムから実質的に構成される、請求項35に記載の方法。
- 前記エッチング停止層が酸化アルミニウムから構成される、請求項35に記載の方法。
- 前記エッチング停止層が、シリコンと、酸素及び窒素のうちの一方又は両方とから構成される、請求項35に記載の方法。
- 前記エッチング停止層が窒化ケイ素から構成される、請求項48に記載の方法。
- 前記エッチング停止層が酸窒化ケイ素から構成される、請求項48に記載の方法。
- 前記エッチング停止層が二酸化ケイ素から構成される、請求項48に記載の方法。
- 前記導電線が、タングステン、チタン、銅、窒化タンタル、窒化タングステン及び窒化チタンのうちの1つ又は複数を含む、請求項35に記載の方法。
- 前記電気絶縁材料が、ドープされた酸化物を含む、請求項35に記載の方法。
- 前記電気絶縁材料が、ドープされた酸化物を含み、前記エッチング停止層が、ドープされない酸化物を含む、請求項35に記載の方法。
- 前記ビット線コンタクト位置及びストレージ・ノード・コンタクト位置が、導電ペデスタルの上部表面を含み、前記電気絶縁材料が、ドープされた酸化物を含み、前記エッチング停止層が、ドープされない酸化物を含む、請求項35に記載の方法。
- DRAMアレイのためのストレージ・ノードを形成する方法であって、
複数のストレージ・ノード・コンタクト位置を含む半導体構造を設けるステップと、
前記ストレージ・ノード・コンタクト位置上にスタックを形成するステップであって、前記スタックが、
前記ストレージ・ノード位置上の第1の電気絶縁材料と、
前記第1の電気絶縁材料上の、それぞれが1対の対向する横方向エッジと前記対向する横方向エッジ間の第1の横方向幅とを有する複数の間隔の空けられた導電線と、
前記間隔の空けられた導電線間の間隔を充填する第2の電気絶縁材料と、
前記導電線のすぐ上にあり、前記導電線と一対一に対応する、それぞれが対向する横方向エッジと、前記対向する横方向エッジ間の、前記第1の横方向幅よりも大きい第2の横方向幅とを有する複数の間隔が空けられた電気絶縁線と、
を備えるステップと、
前記第1及び第2の電気絶縁材料を完全に通って前記ストレージ・ノード位置まで延び、前記間隔の空けられた電気絶縁線の前記横方向エッジと位置合わせされる開口をエッチングするステップと、
前記開口内に前記ストレージ・ノード・コンタクト位置と電気的に接触するストレージ・ノードを有するキャパシタを形成するステップと、
を含む方法。 - 前記間隔の空けられた導電線がビット線相互接続である、請求項56に記載の方法。
- 前記間隔の空けられた導電線が2つ以上の導電材料を含む、請求項56に記載の方法。
- 前記導電材料がタングステンと少なくとも1つの窒化金属とを含む、請求項58に記載の方法。
- 前記第1の電気絶縁材料が、二酸化ケイ素、窒化ケイ素及び酸窒化ケイ素のうちの少なくとも1つから実質的に構成される、請求項56に記載の方法。
- 前記第2の電気絶縁材料が、ドープされた二酸化ケイ素から実質的に構成される、請求項60に記載の方法。
- 前記空間の空けられた電気絶縁線が窒化ケイ素から実質的に構成され、前記第1の電気絶縁材料が二酸化ケイ素から構成され、前記第2の電気絶縁材料が、ドープされた二酸化ケイ素から実質的に構成される、請求項56に記載の方法。
- DRAMアレイを形成する方法であって、
複数のストレージ・ノード・コンタクト位置とビット線コンタクト位置とを含む半導体構造を設けるステップと、
前記ストレージ・ノード・コンタクト位置上にエッチング停止層を形成するステップと、
前記エッチング停止層上に第1の電気絶縁材料を形成するステップと、
前記第1の電気絶縁材料を完全に通って延び、前記ビット線コンタクト位置まで延び、また前記ストレージ・ノード・コンタクト位置上の前記エッチング停止層まで延びるトレンチをエッチングするステップと、
前記トレンチ内に、前記ビット線コンタクト位置と電気的に接触する導電材料を形成するステップであって、前記トレンチ内の前記導電材料が、複数の間隔の空けられた導電線を定義し、前記各導電線が、1対の対向した横方向エッジと、前記対向する横方向エッジ間の第1の横方向幅とを有するステップと、
前記導電線のすぐ上に、前記導電線と一対一に対応して、それぞれ前記対向した横方向エッジと、前記対向した横方向エッジ間の、前記第1の横方向幅よりも大きな第2の横方向幅とを有し、第2の電気絶縁材料を含む複数の間隔の空けられた電気絶縁線を形成するステップと、
前記第1の電気絶縁材料及びエッチング停止層を完全に通って前記ストレージ・ノード位置まで延び、前記間隔の空けられた電気絶縁線の前記横方向エッジと位置合わせされている開口をエッチングするステップと、
前記開口内にストレージ・ノードを有するキャパシタを形成するステップと、
を含む方法。 - 前記半導体構造が、半導体材料に関連する複数のトランジスタ構造を含み、前記トランジスタ構造が、前記半導体材料内に延びるソース/ドレイン領域と前記半導体材料上のゲートとを備え、導電ペデスタルが、前記ソース/ドレイン領域上に、また前記ソース/ドレイン領域と電気的に接続して形成され、前記ストレージ・ノード・コンタクト位置及びビット線コンタクト位置が、前記導電ペデスタルの最上部表面によって構成される、請求項63に記載の方法。
- 前記エッチング停止層が酸化アルミニウムを含む、請求項63に記載の方法。
- 前記エッチング停止層が、シリコンと、酸素及び窒素のうちの一方又は両方とを含む、請求項63に記載の方法。
- 前記エッチング停止層が二酸化ケイ素を含む、請求項66に記載の方法。
- 前記エッチング停止層が窒化ケイ素を含む、請求項66に記載の方法。
- 前記エッチング停止層が酸窒化ケイ素を含む、請求項66に記載の方法。
- 前記第1の電気絶縁材料が、ドープされた酸化物と低誘電率誘電体材料とのうちの一方又は両方を含む、請求項63に記載の方法。
- 前記トレンチ内に前記導電材料を形成する前記ステップが、
Tiと、窒化チタン及び窒化タングステンのうちの一方又は両方との導電スタックを形成して、前記トレンチを部分的に充填するステップと、
前記部分的に充填されたトレンチ内にタングステンを形成して、前記トレンチを完全に充填するステップと、
前記トレンチ内の前記導電スタック及びタングステンの高さを減少させて、前記導電スタック及びタングステンを、前記トレンチを部分的にのみ充填する導電線に形成するステップと、
を含む、請求項63に記載の方法。 - 基板が、DRAMアレイ領域と前記DRAMアレイ領域の周辺の別の領域を含み、前記トレンチが、前記DRAMアレイ領域を横切って、また前記DRAMアレイ領域の周辺の前記領域の少なくとも一部分を横切って延び、前記導電スタック及びタングステンが、前記DRAMアレイ領域上、及び前記DRAMアレイ領域の周辺の前記領域上の前記トレンチ内に形成され、
前記導電スタック及びタングステンの前記高さを減少させる前記ステップが、前記DRAMアレイ領域上にある前記トレンチの部分においてのみ行われ、前記DRAMアレイ領域の周辺の前記領域上にある前記トレンチの部分においては行われない、請求項71に記載の方法。 - 前記部分的に充填されたトレンチが前記導電線上の開口を有し、前記開口が第1の横方向幅を有し、前記電気絶縁材料が第1の電気絶縁材料であり、前記間隔の空けられた電気絶縁線が第2の電気絶縁材料を含み、
前記複数の間隔の空けられた電気絶縁線を形成する前記ステップが、
前記開口の前記横方向幅を第2の横方向幅まで拡大するエッチングに前記第1の電気絶縁材料をさらすステップと、
前記エッチングに前記第1の電気絶縁材料をさらした後に、前記開口内に前記第2の電気絶縁材料を形成するステップと、
を含む、請求項71に記載の方法。 - 前記第1の電気絶縁材料が、低誘電率材料とドープされた酸化ケイ素とのうちの一方又は両方を含み、前記第2の電気絶縁材料が窒化ケイ素を含む、請求項73に記載の方法。
- DRAMアレイであって、
半導体基板と、
前記基板によって支持される複数のトランジスタ構造であって、各トランジスタ構造が、トランジスタ・ゲートと一対のソース/ドレイン領域とを備え、各対のソース/ドレイン領域がビット線コンタクトのソース/ドレイン領域とストレージ・ノード・コンタクト・ソース/ドレイン領域とを備えるトランジスタ構造と、
前記ビット線コンタクトのソース/ドレイン領域に電気的に接続され、酸化アルミニウム、窒化ケイ素、酸窒化ケイ素、及びドープされない二酸化ケイ素のうちの1つ又は複数を含む、少なくとも1層の電気絶縁層によって前記ストレージ・ノード・コンタクトのソース/ドレイン領域から分離されている、前記基板上の複数のビット線相互接続スタックであって、それぞれのビット線相互接続スタックが、
第1の横方向幅を有し、上部表面、底部表面、並びに前記上部表面と底部表面との間に延びる側壁表面を有する導電ビット線相互接続線と、
前記導電ビット線相互接続線上の、前記第1の横方向幅よりも大きい第2の横方向幅を有する電気絶縁キャップと、
前記導電ビット線相互接続線の前記側壁をカバーする1対の電気絶縁側壁スペーサと、
を備えるビット線相互接続スタックと、
前記電気絶縁層を通って延び、前記ストレージ・ノード・コンタクト・ソース/ドレイン領域と電気的に接触するストレージ・ノードを有する複数のキャパシタ構造と、
を備えるDRAMアレイ。 - 前記ビット線相互接続スタックが前記トランジスタ・ゲート上に存在する、請求項75に記載のDRAMアレイ。
- 前記電気絶縁層が酸化アルミニウムから実質的に構成される、請求項75に記載のDRAMアレイ。
- 前記電気絶縁層が酸化アルミニウムから構成される、請求項75に記載のDRAMアレイ。
- 前記電気絶縁層が窒化ケイ素から実質的に構成される、請求項75に記載のDRAMアレイ。
- 前記電気絶縁層が窒化ケイ素から構成される、請求項75に記載のDRAMアレイ。
- 前記電気絶縁層が酸窒化ケイ素から実質的に構成される、請求項75に記載のDRAMアレイ。
- 前記電気絶縁層が酸窒化ケイ素から構成される、請求項75に記載のDRAMアレイ。
- 前記電気絶縁層が、ドープされない二酸化ケイ素から構成される、請求項75に記載のDRAMアレイ。
- 前記電気絶縁キャップが窒化ケイ素から実質的に構成される、請求項75に記載のDRAMアレイ。
- 前記電気絶縁キャップが窒化ケイ素から構成される、請求項75に記載のDRAMアレイ。
- 前記電気絶縁側壁スペーサが、ドープされた酸化ケイ素から構成される、請求項85に記載のDRAMアレイ。
- 前記トランジスタ・ゲートが、それぞれ1つ又は複数の導電材料上に導電材料を含むワード線スタックによって構成され、前記電気絶縁層が、前記ワード線スタックの少なくとも一部の前記電気絶縁材料に物理的に接触する、請求項75に記載のDRAMアレイ。
- 前記ワード線スタックが、対になった対向する側壁を有し、前記ワード線スタックの前記側壁に沿って延びる第2の電気絶縁側壁スペーサを更に含み、前記電気絶縁層が、前記第2の電気絶縁側壁スペーサの少なくとも一部に物理的に接触するように形成されている、請求項87に記載のDRAMアレイ。
- 半導体基板が半導体材料を含み、前記トランジスタ・ゲートが前記半導体基板の前記半導体材料上に形成され、前記トランジスタ構造が、前記半導体材料内に延びるソース/ドレイン領域を備え、前記構造が、前記ソース/ドレイン領域上の、前記ソース/ドレイン領域と電気的に接続した導電ペデスタルを更に備え、前記ビット線相互接続スタックが、前記導電ペデスタルの一部の最上部表面に物理的に接触し、前記キャパシタ構造の前記ストレージ・ノードが、前記導電ペデスタルの一部の最上部表面に物理的に接触する、請求項75に記載のDRAMアレイ。
- 前記導電ビット線相互接続線が、互いに異なる化学組成を有する少なくとも2層の導電層のスタックを備える、請求項75に記載のDRAMアレイ。
- 前記導電ビット線相互接続線が、互いに異なる化学組成を有する少なくとも3層の導電層のスタックを備える、請求項75に記載のDRAMアレイ。
- 前記導電ビット線相互接続線が銅と窒化タンタルとのスタックを備える、請求項75に記載のDRAMアレイ。
- 前記導電ビット線相互接続線が、窒化チタン又は窒化タングステンを含む第1の層、Tiを含む第2の層、及びタングステンを含む第3の層のスタックを備える、請求項75に記載のDRAMアレイ。
- 前記第1の層が窒化チタン又は窒化タングステンから実質的に構成され、前記第2の層がTiから実質的に構成され、前記第3の層がタングステンから実質的に構成される、請求項93に記載のDRAMアレイ。
- 前記第1の層が窒化チタン又は窒化タングステンから構成され、前記第2の層がTiから構成され、前記第3の層がタングステンから構成される、請求項93に記載のDRAMアレイ。
- 請求項75に記載のDRAMアレイを備える電子システム。
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