JP2007336685A5 - - Google Patents

Download PDF

Info

Publication number
JP2007336685A5
JP2007336685A5 JP2006165345A JP2006165345A JP2007336685A5 JP 2007336685 A5 JP2007336685 A5 JP 2007336685A5 JP 2006165345 A JP2006165345 A JP 2006165345A JP 2006165345 A JP2006165345 A JP 2006165345A JP 2007336685 A5 JP2007336685 A5 JP 2007336685A5
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
surface portion
electrode
liquid
reinforcing plate
vibrating body
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
JP2006165345A
Other languages
English (en)
Japanese (ja)
Other versions
JP2007336685A (ja
Filing date
Publication date
Application filed filed Critical
Priority to JP2006165345A priority Critical patent/JP2007336685A/ja
Priority claimed from JP2006165345A external-priority patent/JP2007336685A/ja
Publication of JP2007336685A publication Critical patent/JP2007336685A/ja
Publication of JP2007336685A5 publication Critical patent/JP2007336685A5/ja
Withdrawn legal-status Critical Current

Links

JP2006165345A 2006-06-14 2006-06-14 振動体、圧電アクチュエータ、電子機器、および振動体の製造方法 Withdrawn JP2007336685A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2006165345A JP2007336685A (ja) 2006-06-14 2006-06-14 振動体、圧電アクチュエータ、電子機器、および振動体の製造方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2006165345A JP2007336685A (ja) 2006-06-14 2006-06-14 振動体、圧電アクチュエータ、電子機器、および振動体の製造方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2007336685A JP2007336685A (ja) 2007-12-27
JP2007336685A5 true JP2007336685A5 (enExample) 2009-07-30

Family

ID=38935612

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2006165345A Withdrawn JP2007336685A (ja) 2006-06-14 2006-06-14 振動体、圧電アクチュエータ、電子機器、および振動体の製造方法

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2007336685A (enExample)

Families Citing this family (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009254198A (ja) 2008-04-10 2009-10-29 Sharp Corp 超音波モータおよび超音波振動子
JP2013101020A (ja) 2011-11-08 2013-05-23 Seiko Epson Corp センサー素子、力検出装置およびロボット
TWI574439B (zh) 2011-12-30 2017-03-11 晶緻材料科技私人有限公司 多樁式致動器及其製造方法及使用該多樁式致動器的衍生設備、壓電式馬達、微型馬達
JP6774222B2 (ja) * 2016-05-24 2020-10-21 キヤノン株式会社 振動波モータ及び振動波モータを用いた光学装置
JP6954007B2 (ja) * 2017-10-30 2021-10-27 セイコーエプソン株式会社 圧電駆動装置、圧電モーター、ロボット、電子部品搬送装置、プリンターおよびプロジェクター

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3102481B1 (ja) * 1998-06-08 2000-10-23 セイコーエプソン株式会社 インクジェット式記録ヘッド及びインクジェット式記録装置
JP2001308401A (ja) * 2000-04-19 2001-11-02 Tokin Ceramics Corp 圧電セラミック部品
JP2004320980A (ja) * 2003-04-03 2004-11-11 Seiko Epson Corp 稼働装置および電気機器
JP3988676B2 (ja) * 2003-05-01 2007-10-10 セイコーエプソン株式会社 塗布装置、薄膜の形成方法、薄膜形成装置及び半導体装置の製造方法

Similar Documents

Publication Publication Date Title
TWI520389B (zh) Piezoelectric actuators, piezoelectric vibrators and mobile terminals
TWI545968B (zh) Piezoelectric actuators, piezoelectric vibrators and mobile terminals
JP2008516787A5 (enExample)
WO2009011148A1 (ja) 圧電薄膜共振素子及びこれを用いた回路部品
JP2012024564A5 (enExample)
JP2008539473A5 (enExample)
EP2182560A3 (en) Method for manufacturing piezoelectric device
JP6004123B2 (ja) 圧電センサの製造方法
JP2011004035A5 (enExample)
JP2007336685A5 (enExample)
JP5964947B2 (ja) 圧電アクチュエータ、インクジェットヘッド及び圧電アクチュエータの製造方法
JP2014116904A5 (enExample)
JP6052434B2 (ja) 圧電センサの製造方法
JP2010119846A5 (enExample)
JP2009212906A5 (enExample)
JP2007287910A (ja) 積層型圧電バイモルフ素子
KR101685104B1 (ko) 압전 장치 및 그 제조 방법
JP3994758B2 (ja) チップ型電子部品の製造方法
JPH11307835A (ja) 積層構造の剪断型圧電素子の製造方法
JP2014030290A (ja) 振動体及び振動波アクチュエータ
CN108206236A (zh) 压电振子及其制备方法
JPWO2022130670A5 (enExample)
CN103270421B (zh) 加速度传感器
JP2009056756A5 (enExample)
JP5754879B2 (ja) 振動体