CN103270421A - 加速度传感器 - Google Patents
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Abstract
本发明提供一种即便在气氛温度发生了变化时加速度检测精度也难以下降、且制造容易的加速度传感器。压电基板(11)包括被极化的中央部(11A)、第1端部(11B)和第2端部(11C)。第1电极(12a)在压电基板11的第1主面(11a)之上被形成为从第1端部(11B)至第2端部(11C)。第2电极(13a)在压电基板11的内部被形成为遍及第2端部(11C)和中央部(11A)。第2电极(13a)在中央部(11A)于厚度方向和第1电极(12a)对置。支承部件(30)夹持第2端部(11C)。压电基板(11)被构成为第2端部(11C)中的第1电极(12a)与第2电极(13a)之间的距离变得大于中央部(11A)中的第1电极(12a)与第2电极(13a)之间的距离。
Description
技术领域
本发明涉及加速度传感器。尤其是，本发明涉及采用了压电元件的加速度传感器。
背景技术
以往，作为加速度传感器，公知一种采用了压电元件的加速度传感器。例如，在下述的专利文献1中记载了这种加速度传感器的一例。图3示出专利文献1所记载的加速度传感器的示意性剖视图。
如图3所示，加速度传感器100具备：支承部件101；和压电元件110，其被配置在支承部件101内，并由支承部件101夹持其端部。压电元件110具有：压电基板111；和第1以及第2电极112a、112b，分别被设置在压电基板111内以及压电基板111的表面，并于压电基板111的厚度方向上对置。
如果对该加速度传感器100施加加速度，则压电元件110会根据加速度而变形。由此，在第1以及第2电极112a、112b之间产生了与所施加的加速度的大小相应的高度的电压。通过测量该电压的大小能够检测加速度。
另外，在加速度传感器100中，压电基板111之中的、没有被支承部件101夹持的部分、即于厚度方向上第1以及第2电极112a、112b相对置的部分被极化。压电基板111之中的、被支承部件101夹持的端部没有被极化。因而，即便在配置有加速度传感器的气氛的温度发生了变化时，也能够高精度地检测加速度。
即，如果配置有加速度传感器的气氛的温度上升，则热量会经由保持部件而传递到被压电基板的保持部件夹持的部分。因而，如果被压电基板的保持部件夹持的部分被极化，则根据热电效应会产生电荷，从加速度传感器取出比与施加于加速度传感器的加速度的大小对应的电压更高的电压。因此，无法高精度地检测加速度。
相对于此，在加速度传感器100中，被压电基板111的支承部件101夹持的部分没有被极化。因而，在压电基板111中，即便在配置有加速度传感器100的气氛的温度上升了的情况下，根据热电效应也难以产生电荷。因此，根据加速度传感器100，与配置有加速度传感器100的气氛的温度变化无关，能够高精度地检测加速度。
在专利文献1中，作为上述加速度传感器100的制造方法而记载了如下那样的方法。即，记载了如下方法：首先形成多个第1电极112a之中的、形成在压电基板111的表面之上的电极112a1、112a2当中的、位于夹持部的部分以外的部分、和第2电极112b；其次，进行压电基板111的极化；然后，形成电极112a1、112a2的其余部分。
-在先技术文献-
-专利文献-
专利文献1：WO2007/132588A1号公报
发明内容
-发明要解决的课题-
然而，在加速度传感器100中却需要分两次形成电极112a1、112a2。因而，存在制造工序变得复杂这一问题。
此外，从提高加速度传感器100的灵敏度的观点出发，优选增大压电基板111的被极化的部分。因而，优选在除压电基板111的夹持部以外的整个部分之上形成了电极的状态下进行极化。然而，在该情况下，如果电极的形成精度低、或者压电元件110向支承部件101组装的组装精度低，则压电基板111的已被极化的部分的一部分有时也会被支承部件101夹持。因此，加速度传感器100存在制造困难这一问题。
本发明正是鉴于上述问题点而完成的，其目的在于提供一种即便在气氛温度发生了变化时加速度检测精度也难以下降、且制造容易的加速度传感器。
-用于解决课题的技术方案-
本发明所涉及的加速度传感器具备压电元件、支承部件、第1外部电极和第2外部电极。压电元件具有压电基板、第1电极和第2电极。压电基板具有第1以及第2主面。压电基板包括：第1方向上的中央部、在第1方向上位于中央部的一侧的第1端部、和在第1方向上位于中央部的另一侧的第2端部。中央部被极化。第1电极在压电基板的第1主面之上被形成为从第1端部至第2端部。第2电极在压电基板的内部被形成为遍及第2端部和中央部。第2电极在中央部于压电基板的厚度方向和第1电极对置。支承部件夹持第2端部。在支承部件形成了容纳有压电元件的内部空间。第1外部电极被形成在支承部件的外表面之上。在第1外部电极电连接了第1电极。第2外部电极被形成在支承部件的外表面之上。在第2外部电极电连接了第2电极。压电基板被构成为第2端部中的第1电极与第2电极之间的距离变得大于中央部中的第1电极与第2电极之间的距离。
在本发明所涉及的加速度传感器的某特定方面，第2端部的位于第1电极与第2电极之间的部分的厚度，大于中央部的位于第1电极与第2电极之间的部分的厚度。
在本发明所涉及的加速度传感器的其他特定方面，第2端部的位于第1电极与第2电极之间的部分的厚度，为中央部的位于第1电极与第2电极之间的部分的厚度的1.5倍以上。
在本发明所涉及的加速度传感器的某特定方面，支承部件具有：在第1方向的另一侧端部夹持第2端部的一对板状部件、和通过连接一对板状部件来划分形成内部空间的连接部件。
在本发明所涉及的加速度传感器的其他特定方面，第1端部为自由端。
-发明效果-
根据本发明，能够提供一种即便在气氛温度发生了变化时加速度检测精度也难以下降、且制造容易的加速度传感器。
附图说明
图1是第1实施方式所涉及的加速度传感器的示意性剖视图。
图2是第2实施方式所涉及的加速度传感器的示意性剖视图。
图3是专利文献1所记载的加速度传感器的示意性剖视图。
具体实施方式
以下，对实施了本发明的优选方式的一例进行说明。其中，以下的实施方式为简单的例示。本发明并未限定于以下的实施方式。
(第1实施方式)
图1是本实施方式所涉及的加速度传感器的示意性剖视图。如图1所示，加速度传感器1具有压电元件10和支承部件30。
压电元件10包括：具有第1主面11a以及第2主面11b的压电基板11、和第1以及第2电极12、13。压电基板11能够由适当的压电体形成。压电基板11例如能够由锆钛酸铅(PZT)等形成。在本实施方式中，压电基板11由多个压电体层11c的层叠体构成。
压电基板11具有：x方向上的中央部11A；在x方向上位于中央部11A的x1侧的第1端部11B；和在x方向上位于中央部11A的x2侧的第2端部11C。
第1电极12包括电极12a～12c。电极12a被形成在第1主面11a之上。详细而言，电极12a被形成为从第1主面11a的第1端部11B经过中央部11A而至第2端部11C。电极12a被形成为至第1主面11a的x1侧端面，而被形成为不至x2侧端面。
电极12b被形成在第2主面11b之上。详细而言，电极12b被形成为从第2主面11b的第1端部11B经由中央部11A而至第2端部11C。电极12b被形成为至第2主面11b的x1侧端面，而被形成为未至x2侧端面。
电极12c在压电基板11的内部被形成为与第1以及第2主面11a、11b平行。电极12c被形成在第1端部11B和中央部11A。电极12c没有形成在第2端部11C。
电极12a～12c通过形成在压电基板11的第1端部11B的侧面之上的电极14而被相互连接。
第2电极13包括电极13a、13b。电极13a、13b的每一个在压电基板11的内部被形成为与第1以及第2主面11a、11b平行。电极13a在厚度方向上位于电极12a与电极12c之间。电极13b在厚度方向上位于电极12b与电极12c之间。电极13a、13b被形成在中央部11A和第2端部11C。因而，电极13a、13b在中央部11A于厚度方向上和电极12a～12c对置。电极13a、13b被引出到压电基板11的x2侧端部和两侧面。
在本实施方式中，压电基板11被构成为：第2端部11C中的电极12a与电极13a之间的距离变得大于中央部11A中的电极12a与电极13a之间的距离、且第2端部11C中的电极12b与电极13b之间的距离变得大于中央部11A中的电极12b与电极13b之间的距离。具体而言，仅在第2端部11C进一步设置压电体层11c1、11c2。由此，第2端部11C的位于电极12a与电极13a之间的部分的厚度变得大于中央部11A的位于电极12a与电极13a之间的部分的厚度。其结果，第2端部11C中的电极12a与电极13a之间的距离变得大于中央部11A中的电极12a与电极13a之间的距离。此外，第2端部11C的位于电极12b与电极13b之间的部分的厚度变得大于中央部11A的位于电极12b与电极13b之间的部分的厚度。其结果，第2端部11C中的电极12b与电极13b之间的距离变得大于中央部11A中的电极12b与电极13b之间的距离。
另外，优选第2端部11C中的电极12a与电极13a之间的距离为中央部11A中的电极12a与电极13a之间的距离的1.5倍以上，更优选为2倍以上，进一步优选为3倍以上。优选第2端部11C中的电极12b与电极13b之间的距离为中央部11A中的电极12b与电极13b之间的距离的1.5倍以上，更优选为2倍以上，进一步优选为3倍以上。
压电元件10被设置在支承部件30内。具体而言，压电元件10被容纳在支承部件30内所形成的内部空间30a。压电元件10在设置有第2端部11C的部分，被支承部件30夹持，由此被固定到支承部件30。压电元件10的中央部11A以及第1端部11B与支承部件30不接触。因而，在本实施方式中，压电元件10以单支撑梁方式被安装到支承部件30，以使第1端部11B成为自由端。当然，在本发明中，压电元件也可以双支撑梁方式安装到支承部件。
在本实施方式中，支承部件30具有第1以及第2支承部件片34、35、和连接部件36。在第1以及第2支承部件片34、35的每一个的周缘部以框状的方式设置突部，配置第1以及第2支承部件片34、35以使这些突部面对面。而且，由该第1以及第2支承部件片34、35的突部的各一部来夹持第2端部11C。第1以及第2支承部件片34、35的突部的夹持第2端部11C的部分以外的部分通过连接部件36而被连接。连接部件36的材质例如可以为与压电元件10相同的材质，也可以为与压电元件10不同的材质。
支承部件30的材质只要是能支承压电元件10且具有绝缘性的材质，便没有特别限定。支承部件30例如也可由陶瓷、树脂形成。也可由被实施过绝缘涂覆的金属部件构成。
压电元件10和支承部件30通过导电性粘接剂层31进行粘接。由此，电极12a、12b与形成在支承部件30的内面之上的电极32a、32b电连接。电极32a、32b与形成在支承部件30的外表面上的第1外部电极33a连接。另外，电极12c也通过电极14而与电极12a、12b连接，因此经由电极12a、12b、导电性粘接剂层31以及电极32a、32b而与第1外部电极33a连接。
另一方面，电极13a、13b与被形成在支承部件30的外表面上的第2外部电极33b连接。
另外，电极12～14、32a、32b、33a、33b只要由导电材料构成，便没有特别限定。电极12～14、32a、32b、33a、33b例如能够由铝或银等金属、合金形成。
其次，对本实施方式的加速度传感器1的制造方法的一例进行说明。
首先，制作压电元件10。压电元件10例如能够通过公知的方法制作。压电元件10例如能够通过在表面适当地层叠形成有导电性膏剂层的陶瓷生片并进行烧成而形成。另外，电极12a、12b可以通过混合烧制来形成，也可以通过后烧制来形成。即，也可在形成了内部具有电极12c、13a、13b的压电基板11之后，涂敷导电性膏剂并进行烧成，由此来形成电极12a、12b。
另外，在本实施方式中，虽然对通过设置压电体层11c1、11c2而将第2端部11C形成得薄于第1端部11B、中央部11A的例子进行说明，但是也可通过切割等去除所形成的压电基板的表面的一部分而使得第2端部薄于第1端部、中央部。
其次，在电极12、13之间施加电压，进行压电基板11的极化。由此，进行中央部11A的极化。由此使压电元件10完成。另外，也可在将压电元件10组合到支承部件30之后再进行压电基板11的极化。
其次，采用导电性粘接剂来粘接形成有电极32a、32b的第1以及第2支承部件片34、35和压电元件10。作为导电性粘接剂，例如能够采用由包含导电性粒子的树脂构成的各向异性导电性粘接剂、焊锡等。
最后，通过形成第1以及第2外部电极33a、33b而使加速度传感器1完成。另外，第1以及第2外部电极33a、33b例如能够通过导电性膏剂的涂敷、溅射、镀覆等而形成。
如以上说明过的那样，在本实施方式中，在被支承部件30夹持的第2端部11C，电极12a、12b与电极13a、13b之间的距离变长。因而，即便在形成了电极12a、12b的整体之后再进行压电基板11的极化的情况下，第2端部11C也没有像中央部11A那样被极化得那么大。即、第2端部11C的极化度变小。因此，即便在配置有加速度传感器1的气氛的温度上升、且第2端部11C的温度上升了的情况下，在第2端部11C也难以发生因热电效应所引起的电荷的产生。因此，在加速度传感器1中，气氛温度发生了变化时的加速度检测精度的下降被抑制。从更有效地抑制气氛温度发生了变化时的加速度检测精度的下降的观点出发，优选第2端部11C中的电极12a与电极13a之间的距离为中央部11A中的电极12a与电极13a之间的距离的1.5倍以上，更优选为2倍以上，进一步优选为3倍以上。优选第2端部11C中的电极12b与电极13b之间的距离为中央部11A中的电极12b与电极13b之间的距离的1.5倍以上，更优选为2倍以上，进一步优选为3倍以上。
此外，如果是加速度传感器1，则能够在极化之前一次形成电极12a、12b。进而，被要求的电极12a、12b的形成精度低。因此，加速度传感器1可以容易地制造。
以下，对实施了本发明的优选方式的其他例进行说明。在以下的说明中，利用共同的符号来参照与上述第1实施方式实质上具有相同功能的部件，并省略说明。
(第2实施方式)
图2是第2实施方式所涉及的加速度传感器的示意性剖视图。
如图2所示，在加速度传感器2中，第1以及第2支承部件片34、35的每一个被形成为平板状。因而，能够容易地制作第1以及第2支承部件片34、35。
符号说明
1、2…加速度传感器
10…压电元件
11…压电基板
11A…中央部
11B…第1端部
11C…第2端部
11a…第1主面
11b…第2主面
11c1、11c2…压电体层
12～14、32a、32b…电极
30…支承部件
30a…内部空间
31…导电性粘接剂层
33a…第1外部电极
33b…第2外部电极
34…第1支承部件片
35…第2支承部件片
36…连接部件
Claims (5)
1.一种加速度传感器，具备：
压电元件，具有压电基板、第1电极和第2电极，所述压电基板具有第1以及第2主面，所述压电基板包括第1方向上的中央部、在所述第1方向上位于所述中央部的一侧的第1端部、和在所述第1方向上位于所述中央部的另一侧的第2端部，所述压电基板的所述中央部被极化，所述第1电极在所述压电基板的所述第1主面之上被形成为从所述第1端部至所述第2端部，所述第2电极在所述压电基板的内部被形成为遍及所述第2端部和所述中央部，所述第2电极在所述中央部于所述压电基板的厚度方向上和所述第1电极对置；
支承部件，夹持所述第2端部，并形成了容纳有所述压电元件的内部空间；
第1外部电极，被形成在所述支承部件的外表面之上，并电连接了所述第1电极；和
第2外部电极，被形成在所述支承部件的外表面之上，并电连接了所述第2电极，
所述压电基板被构成为所述第2端部中的所述第1电极与所述第2电极之间的距离变得大于所述中央部中的所述第1电极与所述第2电极之间的距离。
2.根据权利要求1所述的加速度传感器，其中，
所述第2端部的位于所述第1电极与所述第2电极之间的部分的厚度，大于所述中央部的位于所述第1电极与所述第2电极之间的部分的厚度。
3.根据权利要求2所述的加速度传感器，其中，
所述第2端部的位于所述第1电极与所述第2电极之间的部分的厚度，为所述中央部的位于所述第1电极与所述第2电极之间的部分的厚度的1.5倍以上。
4.根据权利要求1～3中的任一项所述的加速度传感器，其中，
所述支承部件具有：在所述第1方向的另一侧端部夹持所述第2端部的一对板状部件；和通过连接所述一对板状部件来划分形成所述内部空间的连接部件。
5.根据权利要求1～4中的任一项所述的加速度传感器，其中，
所述第1端部为自由端。
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|---|---|---|---|---|
| CN1178326A (zh) * | 1996-08-13 | 1998-04-08 | 株式会社村田制作所 | 加速度传感器 |
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