JP2007312361A5 - - Google Patents

Claims (11)

1. 光又は放射線を電気信号に変換する変換素子とスイッチ素子とを有する画素が行及び列方向に複数配置されたセンサアレーと、列方向の複数の前記スイッチ素子に接続された信号配線と、前記信号配線に接続された読み出し回路部と、を有する撮像装置であって、
   前記読み出し回路部は、第１の電源電圧が供給された第１の増幅回路と、前記第１の増幅回路の後段に接続されており、第２の電源電圧が供給された第２の増幅回路とを有し、
   前記第１の電源電圧が、前記第２の電源電圧より大きいことを特徴とする撮像装置。
2. 前記第１の増幅回路は前記信号配線に接続され、積分容量Ｃｆを有し、
   前記スイッチ素子はゲート電極、ソース電極及びドレイン電極を有し、
   前記信号配線は列方向の複数の前記スイッチ素子のソース電極又はドレイン電極の一方に接続されており、
   前記スイッチ素子のゲート及びソース間の寄生容量をＣｇｓ、前記スイッチ素子のオン電圧をＶｏｎ、前記スイッチ素子のオフ電圧をＶｏｆｆとすると、前記第１の電源電圧であるＶ１は、
   Ｖ１＞Ｃｇｓ×（Ｖｏｎ−Ｖｏｆｆ）／Ｃｆ
   の関係を満たすことを特徴とする請求項１に記載の撮像装置。
3. 前記第１の電源電圧であるＶ１は、
   Ｖ１／２≧Ｃｇｓ×（Ｖｏｎ−Ｖｏｆｆ）／Ｃｆ
   の関係を満たすことを特徴とする請求項２に記載の撮像装置。
4. 前記第１の増幅回路及び前記第２の増幅回路は、同一の結晶シリコン基板に形成された集積回路であることを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載の撮像装置。
5. 前記第１の増幅回路は、一方の入力端子が前記信号配線に接続された演算増幅器を有することを特徴とする請求項１〜４のいずれか１項に記載の撮像装置。
6. 前記演算増幅器は、積分容量が接続された電荷読み出しアンプを構成することを特徴とする請求項５に記載の撮像装置。
7. 前記読み出し回路部は、前記第２の電源電圧が供給されたＡ／Ｄ変換器を有していることを特徴とする請求項１〜６のいずれか１項に記載の撮像装置。
8. 前記Ａ／Ｄ変換器は、前記信号配線に対応した数だけ設けられていることを特徴とする請求項７に記載の撮像装置。
9. さらに、前記第１の電源電圧と前記第２の電源電圧のうちの少なくとも一方を変化させることが可能な制御部を有することを特徴とする請求項１〜８のいずれか１項に記載の撮像装置。
10. 請求項１〜９のいずれか１項に記載の撮像装置と、放射線を発生する放射線発生手段と、を有することを特徴とする放射線撮像システム。
11. 光又は放射線を電気信号に変換する変換素子とスイッチ素子とを有する画素が行及び列方向に複数配置されたセンサアレーと、列方向の複数の前記スイッチ素子に接続された信号配線と、前記信号配線に接続された読み出し回路部と、を有する撮像装置の制御方法であって、
    前記読み出し回路部は、第１の増幅回路と、前記第１の増幅回路の後段に接続された第２の増幅回路とを有しており、
    前記第２の増幅回路に供給されている電源電圧よりも大きい電源電圧が前記第１の増幅回路に供給されていることを特徴とする撮像装置の制御方法。