JP2007280587A - 温度感知装置を備えた半導体メモリ素子及びその駆動方法 - Google Patents

温度感知装置を備えた半導体メモリ素子及びその駆動方法 Download PDF

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Abstract

【課題】従来技術に係る温度感知装置は、実際には、半導体メモリ素子の温度変動を反映させることができないため、保存された温度値が有効か否かを知らせる半導体メモリ素子の温度感知装置を提供することを目的とする。
【解決方法】本発明の半導体メモリ素子の温度感知装置は、駆動信号に応答して温度を感知する温度感知手段と、該温度感知手段の出力を保存した後、これを温度値として出力する保存手段と、前記駆動信号がアクティブになってから周期的に前記保存手段に保存された値が初期化されるように制御する初期化制御手段とを備える。
【選択図】図4

Description

本発明は、半導体設計技術に関し、特に、温度感知装置を備えた半導体メモリ素子に関する。
通常、半導体メモリ素子は、データを保存するセルとしてスイッチの役割を果すトランジスタ及び電荷(データ)を保存するキャパシタを備える。データの保存は、キャパシタに電荷が蓄積されていることを意味するため、原理的には電力消費がない。しかし、MOSトランジスタのPN結合などにおいて漏れ電流があり、保存された初期の電荷量が消滅されるためにデータが消失され得る。これを防止するためにデータを失う前にメモリセル内のデータを読み出し、その読み出した情報に合わせて再び初期の電荷量に再充電しなければならない。
この動作を周期的に反復しなければデータの記憶を維持することができない。このようなセル電荷の再充電過程をリフレッシュ(refresh)動作と称し、リフレッシュ制御は、DRAMコントローラで行われる。そのようなリフレッシュ動作を必要とするため、DRAMではリフレッシュ電力が消費される。より低電力が求められるバッテリーオペレイトシステム(battery operated system)において、電力消費を低減させることは非常に重要、かつ、クリティカル(critical)な課題である。
リフレッシュに必要な電力消費を低減させるための方法の1つは、リフレッシュ周期を温度に応じて変化させることである。DRAMにおけるデータ保持時間は、温度が低くなるほど長くなる。したがって、温度領域を様々な領域に分割しておき、低い温度領域ではリフレッシュクロックの周波数を相対的に低くすれば、電力の消費は低減されるはずである。ここで、リフレッシュクロックとは、リフレッシュ動作の際、イネーブルされる信号である。したがって、DRAM内の温度を正確に感知し、感知した温度の情報を出力することのできる装置が必要である。
また、半導体メモリ装置は、その集積レベル及び動作速度が増加するにつれて、半導体メモリ装置自体から多くの熱を発生する。このように発生した熱は、半導体メモリ装置の内部温度を上昇させ、正常な動作を妨げ、ややもすれば半導体メモリ装置の不良をもたらしたり、半導体メモリ装置自体を破損させる原因として作用する。したがって、半導体メモリ装置の温度を正確に感知し、感知した温度の情報を出力することのできる装置が必要である。
図1は、従来技術に係る半導体メモリ素子内の温度感知装置を示すブロック構成図である。
同図に示すように、従来技術に係る温度感知装置は、駆動信号ODTS_ENに応答して温度を感知する温度感知部10、温度感知部10の出力値TM_VAL[0:N]を保存し、出力アクティブ信号RD_ODTSに応答して保存された値を出力するMPRレジスタ20、及びMPRレジスタ20の出力値MPR[0:N]を温度値ODTS_DT[0:N]としてドライブする出力ドライバー30を備える。
図2は、図1のMPRレジスタ20の内部を示す回路図である。
図2に示すように、MPRレジスタ20は、温度感知部10の出力値TM_VAL[0:N]を各ビット単位で保存する複数の保存素子を備える。ここで、複数の保存素子は、同じ回路にて実現可能なため、そのうち1つを例として説明する。
第1保存素子は、温度感知部10の出力信号TM_VAL[0]をラッチするラッチ素子22、及び出力アクティブ信号RD_ODTSに応答してラッチ素子22の出力データを伝達するトランスファーゲートTG1を備える。
前述したMPRレジスタ20は、温度感知部10の出力値TM_VAL[0:N]を各ビット単位で保存し、出力アクティブ信号RD_ODTSに応答して保存したデータMPR[0:N]を出力する。
図3は、図1〜図2に示す温度感知装置の動作タイミングチャートであって、同図を参照して駆動及び問題点を説明する。参考に、TEMPは、半導体メモリ素子の温度変化を示す。
まず、N番目に印加された駆動信号ODTS_EN[N]がアクティブになると、温度感知部10がこれに応答して現在の温度「T」を感知する。
続いて、MPRレジスタ20は、N番目の温度値[N]th ODTS Dataとして温度感知部10の出力値「T」を保存する。ここで、MPRレジスタ20は、温度感知部10による新たに値が印加されるまで、前の駆動による温度値[N−1]th ODTS Dataを持続的に保存して維持していることが分かる。
その後、N番目の駆動信号ODTS_EN[N]の印加から一定時間が過ぎた後、出力アクティブ信号RD_ODTSが印加される。したがって、MPRレジスタ20は、出力アクティブ信号RD_ODTSに応答して保存された値MPR[0:N]を出力し、出力ドライバー30は、これを温度値ODTS_DT[0:N]「T」にドライブする。
一方、温度感知装置は、温度値ODTS_DT[0:N]として「T」を出力するが、出力アクティブ信号RD_ODTSが印加された時点で、半導体メモリ素子の現在の温度は、図示したように「T+2」である。
すなわち、前述したように、温度感知装置は、現在の温度を反映していない。
具体的に、JEDECスペックによれば、素子の温度が85℃未満の場合は、64ms周期でリフレッシュを行わなければならず、85℃以上の場合は、32ms周期でリフレッシュを行わなければならない。
しかし、N番目の温度感知部10の駆動によってMPRレジスタに83℃が保存され、現在の温度が85℃以上に上昇したと仮定する。この場合、チップセット(chipset)は、出力アクティブ信号RD_ODTSを介して温度感知装置から83℃という温度情報を得した後、64ms周期でリフレッシュを行わなければならない。しかし、実際の温度は85℃以上で、34ms周期でリフレッシュを行わなければならない。このように、有効でない温度値によってリフレッシュを適切に行うことができなければ、データが削除される可能性がある。
上述したように、従来技術に係る温度感知装置は、実際には、半導体メモリ素子の温度変動を反映させることができない。これは、温度感知装置がMPRレジスタに保存された温度値を新たに駆動信号が印加されるまで維持するからであり、チップセットは、温度感知装置の温度値が有効か否かを確認することができない。
特開2005−196934
本発明は、前記のような従来技術の問題を解決するためになされたものであって、その目的は、保存された温度値が有効か否かを知らせる半導体メモリ素子の温度感知装置を提供することにある。
上記の技術的課題を達成するための本発明の半導体メモリ素子の温度感知装置は、駆動信号に応答して温度を感知する温度感知手段と、該温度感知手段の出力を保存した後、これを温度値として出力する保存手段と、前記駆動信号がアクティブになってから周期的に前記保存手段に保存された値が初期化されるように制御する初期化制御手段とを備える。
本発明の他の側面に係る半導体メモリ素子の駆動方法は、温度感知回路を備えた半導体メモリ装置の駆動方法において、外部から駆動信号の印加を受けて前記温度感知回路を駆動する第1ステップと、該第1ステップの駆動時間後、周期的に前記温度感知回路を初期化する第2ステップと、前記温度感知装置の保存値を外部に出力する第3ステップとを含む。
より具体的には、(1)本発明は、駆動信号に応答して温度を感知する温度感知手段と、該温度感知手段の出力を保存した後、これを温度値として出力する保存手段と、前記駆動信号がアクティブになってから周期的に前記保存手段に保存された値が初期化されるように制御する初期化制御手段とを備えたことを特徴とする半導体メモリ素子の温度感知装置を提供する。また、(2)本発明は、前記初期化制御手段が、前記駆動信号に応答して自体の出力信号をセットし、リセット信号に応答して前記自体の出力信号をリセットするラッチと、該ラッチの出力信号がアクティブになっている間、周期信号を生成する周期信号生成部と、該周期信号のアクティブ回数をカウントするカウンタと、該カウンタの出力信号に応答して初期化信号及び前記リセット信号をアクティブにする初期化信号生成部とを備えたことを特徴とする半導体メモリ素子の温度感知装置を提供する。また、(3)本発明は、前記ラッチが、前記駆動信号を反転させる第1インバータと、該第1インバータの出力信号を1入力とする第1NANDゲートと、前記リセット信号を1入力とする第2NANDゲートとがクロスカップリングされて実現されることを特徴とする半導体メモリ素子の温度感知装置を提供する。また、(4)本発明は、前記周期信号生成部が、前記ラッチの出力信号と前記周期信号とを入力とする第3NANDゲートと、該第3NANDゲートの出力信号を遅延させて前記周期信号として出力する第1インバータチェーンとを備えたことを特徴とする半導体メモリ素子の温度感知装置を提供する。また、(5)本発明は、前記初期化信号生成部が、前記カウンタの複数の出力信号を入力とする第4NANDゲートと、該第4NANDゲートの出力信号を反転させ、前記初期化信号として出力する第2インバータと、前記第4NANDゲートの出力信号を反転させる第3インバータと、前記第4NANDゲートの出力信号を遅延させる第2インバータチェーンと、前記第3インバータ及び前記第2インバータチェーンの出力信号を入力として前記リセット信号を出力する第5NANDゲートとを備えたことを特徴とする半導体メモリ素子の温度感知装置を提供する。また、(6)本発明は、前記カウンタが、前記周期信号のアクティブ回数をカウントして該当出力信号をアクティブにし、反転された前記リセット信号に応答して前記該当出力信号を初期化させることを特徴とする半導体メモリ素子の温度感知装置を提供する。また、(7)本発明は、前記保存手段が、前記温度感知部の出力値を保存して出力アクティブ信号に応答して保存した値を出力し、前記初期化制御手段の初期化信号に応答して前記保存された値を初期化させるレジスタと、該レジスタの出力値を前記温度値にドライブする出力ドライバーとを備えたことを特徴とする半導体メモリ素子の温度感知装置を提供する。また、(8)本発明は、前記レジスタが、前記温度感知手段の出力値を各ビット単位で保存する複数のラッチ部を備えたことを特徴とする半導体メモリ素子の温度感知装置を提供する。また、(9)本発明は、前記ラッチ部が、前記温度感知手段の該当出力信号をラッチし、前記初期化信号に応答してリセットするラッチ素子と、前記出力アクティブ信号に応答して前記ラッチ素子の出力データを伝達するトランスファーゲートとを備えたことを特徴とする半導体メモリ素子の温度感知装置を提供する。また、(10)本発明は、前記温度感知手段が、前記駆動信号に応答して温度を感知する温度センサと、上限電圧値及び下限電圧値を供給する電圧供給部と、前記駆動信号に応答して前記温度センサのアナログ出力値を前記上限電圧値及び前記下限電圧値を基準としてデジタル値に変換して出力するアナログ−デジタル変換部とを備えたことを特徴とする半導体メモリ素子の温度感知装置を提供する。また、(11)本発明は、前記アナログ−デジタル変換部が、ループを介して1ビット単位で前記温度センサの出力値をトラッキングして前記デジタル値に変換するトラッキングADCを備えたことを特徴とする半導体メモリ素子の温度感知装置を提供する。
さらに、(12)本発明は、温度感知回路を備えた半導体メモリ装置の駆動方法において、外部から駆動信号の印加を受けて前記温度を感知する第1ステップと、該第1ステップの感知した温度値を保存する第2ステップと、該感知した温度値を出力アクティブ信号に応答して出力する第3ステップと、駆動信号がアクティブになった後、周期的に前記感知した温度値を初期化する第4ステップとを含むことを特徴とする半導体メモリ装置の駆動方法を提供する。また、(13)本発明は、温度感知回路を備えた半導体メモリ装置の駆動方法において、外部から駆動信号の印加を受けて前記温度感知回路を駆動する第1ステップと、該第1ステップの駆動時間後、周期的に前記温度感知回路を初期化する第2ステップと、前記温度感知装置の保存値を外部に出力する第3ステップとを含むことを特徴とする半導体メモリ装置の駆動方法を提供する。
さらに、(14)本発明は、駆動信号に応答して温度を感知して保存する温度感知手段と、前記駆動信号がアクティブになってから一定の時間がすぎた後、前記温度感知装置に保存された値が初期化されるように制御する初期化制御手段とを備えたことを特徴とする半導体メモリ素子を提供する。また、(15)本発明は、前記温度感知装置が、駆動信号に応答して温度を感知して保存する温度感知手段と、該温度感知手段の出力を保存した後、これを温度値として出力する保存手段とを備えたことを特徴とする半導体メモリ素子を提供する。
本発明に係る温度感知装置は、駆動してから一定時間が過ぎると、温度値の代わりに再駆動要請信号を出力し、現在の温度が反映されていないことを伝える。言い換えれば、温度感知装置は、一定時間後、MPRレジスタ値を初期化する初期化制御部をさらに備え、温度値を初期化し、これを再駆動要請信号として出力する。
したがって、本発明に係る温度感知装置から現在の温度が反映された温度値の印加を受けた半導体メモリ素子は、リフレッシュなどのように温度に関する駆動を安定的に行うため、素子の信頼性が向上する。
以下、本発明の最も好ましい実施形態を添付した図面を参照しながら説明する。
図4は、本発明の実施形態に係る温度感知装置のブロック構成図である。
同図に示すように、本発明に係る温度感知装置は、駆動信号ODTS_ENに応答して温度を感知する温度感知部100、温度感知部100の出力TM_VAL[0:N]を保存した後、これを温度値ODTS_DT[0:N]として出力する保存部200、300、及び駆動信号ODTS_ENがアクティブになってから一定時間後、保存部200、300に保存された値が初期化されるように制御する初期化制御部400を備える。
そして、保存部200、300は、温度感知部100の出力値ODST_ENを保存して出力アクティブ信号RD_ODTSに応答して出力し、初期化制御部400の初期化信号RSTに応答して保存された値を初期化させるMPRレジスタ200、及びMPRレジスタ200の出力値MPR[0:N]を温度値ODTS_DT[0:N]にドライブする出力ドライバー300を備える。
したがって、本発明に係る温度感知装置は、初期化制御部400をさらに備えることにより、温度感知部100の駆動のための駆動信号ODTS_ENがアクティブになってから一定時間が経過すれば、保存された温度値が初期化されるようにする。このように、初期化された温度値を介して、チップセットに現在の温度が反映されていないことを伝え、新たな駆動信号を印加することができるようにする。言い換えれば、温度感知装置は、初期化された値を介してチップセットに再駆動を要請する。
次に各ブロックの回路的実現を説明する。
図5は、図4の温度感知部100の内部を示す回路図である。
同図に示すように、温度感知部100は、駆動信号ODTS_ENに応答して温度を感知する温度センサ120、上限電圧値VU_LMT及び下限電圧値VL_LMTを供給する電圧供給部140、及び、駆動信号ODTS_ENに応答して温度センサ120のアナログ出力値Vtmpを上限電圧値VU_LMT及び下限電圧値VL_LMTを基準としてデジタル値TM_VAL[0:N]に変換して出力するアナログ−デジタル変換部160を備える。
ここで、アナログ−デジタル変換部160は、ループを介して1ビット単位に温度センサ120の出力値Vtmpをトラッキングしてデジタル値TM_VAL[0:N]に変換するトラッキングADCを備える。
動作を簡略に説明すれば、駆動信号ODTS_ENのアクティブ化に応答して温度センサ120が現在の温度を感知する。続いて、アナログ−デジタル変換部160は、温度センサ120の出力値Vtmpをデジタル値に変換し、上限電圧値VU_LMT及び下限電圧値VL_LMTは、変換時の基準として用いられる。
図6は、図4の初期化制御部400の内部を示す回路図である。
同図に示すように、初期化制御部400は、駆動信号ODTS_ENに応答して出力信号Aをセットして、リセット信号Eに応答して出力信号Aをリセットするラッチ420、ラッチ420の出力信号Aがアクティブになっている間に周期信号Bを生成する周期信号生成部440、周期信号Bのアクティブ回数をカウントするカウンタ460、及びカウンタ460の出力信号C[0:N]に応答して初期化信号RST及びリセット信号Eをアクティブにする初期化信号生成部480を備える。
そして、ラッチ420は、駆動信号ODTS_ENを反転させるインバータI2、インバータI2の出力信号を1入力とする第1NANDゲートND1、リセット信号Eを1入力とする第2NANDゲートND2がクロスカップリングされて実現される。
周期信号生成部440は、ラッチ420の出力信号A及び周期信号Bを入力とするNANDゲートND3、並びにNANDゲートND3の出力信号を遅延させて周期信号Bとして出力するインバータチェーン442を備える。
カウンタ460は、周期信号Bのアクティブ回数をカウントして当該出力信号C[0:N]をアクティブにして、インバータI1によって反転されたリセット信号に応答して出力信号C[0:N]を初期化する。
初期化信号生成部480は、カウンタ460の複数の出力信号C[0:N]を入力とするNANDゲートND4、NANDゲートND4の出力信号Dを反転させて初期化信号RSTとして出力するインバータI3、NANDゲートND4の出力信号Dを反転させるインバータI4、NANDゲートND4の出力信号Dを遅延させるインバータチェーン482、並びに、インバータI4及びインバータチェーン482の出力信号を入力としてリセット信号Eとして出力するNANDゲートND5を備える。
図7は、図6に示した初期化制御部400の動作タイミングチャートであって、同図を参照して動作を説明する。
まず、駆動信号ODTS_ENがアクティブになると、これをセット信号として受信するラッチ420が出力信号Aをアクティブにする。
続いて、周期信号生成部440は、ラッチ420の出力信号Aがアクティブになっている間に一定周期を有する周期信号Bを生成する。このとき、カウンタ460は、周期信号Bのアクティブ回数をカウントして当該出力信号C[0:N]をアクティブにする。そして、初期化信号生成部480内のNANDゲートND4は、カウンタ460の全ての出力信号C[0:N]を入力として有するため、カウンタ460の出力信号C[0:N]が全てアクティブになるとき、自体の出力信号Dをアクティブにし、インバータI2は、これを反転させて初期化信号RSTをアクティブにする。また、NANDゲートND4の出力信号がアクティブになった時点からインバータチェーン482が有する遅延時間後、リセット信号Eがアクティブになる。
続いて、ラッチ420がリセット信号Eに応答して自体の出力信号Aを非アクティブにさせるため、周期信号生成部440の駆動が終了する。また、カウンタ460は、反転されたリセット信号に応答して初期化される。
参考に、カウンタ460のN番目の出力信号C[N]がアクティブになるとき、初期化信号RSTがアクティブになるが、これは、カウンタ460内に設定された最大カウント回数を意味するものである。したがって、駆動信号ODTS_ENがアクティブになってから初期化信号RSTがアクティブになるまでの時間間隔は、周期信号Bの周期及びカウンタ460の最大カウント回数の設定を利用して調節することができる。
図8は、図4のMPRレジスタ200の内部を示した回路図である。
同図に示すように、MPRレジスタ200は、温度感知部100の出力値TM_VAL[0:N]を各ビット単位で保存する複数のラッチ部210〜250を備える。ここで、ラッチ部210〜250は、同じ回路にて実現可能なため、1つだけを例として説明する。
ラッチ部210は、温度感知部100の出力信号TM_VAL[0]をラッチし、初期化信号RSTに応答してリセットするラッチ素子212及び、出力アクティブ信号RD_ODTSに応答してラッチ素子212の出力データを伝達するトランスファーゲートTG2を備える。
すなわち、MPRレジスタ200は、温度感知部100の出力信号TM_VAL[0:N]をラッチし、出力アクティブ信号RD_ODTSに応答してラッチされた値MPR[0:N]を出力する。また、初期化信号RSTがアクティブになる際にMPRレジスタ200内の全てのラッチ部210〜250は、保存された値をリセットする。
図9は、図4〜図8に示した温度感知装置の動作タイミングチャートであって、同図を参照して動作を説明する。
まず、N番目に印加された駆動信号ODTS_EN[N]がアクティブになると、温度感知部100が、これに応答して現在の温度「T」を感知する。
続いて、MPRレジスタ200は、N番目の温度値[N]th ODTS Dataとして温度感知部100の出力値「T」を保存する。
また、初期化制御部400は、駆動信号ODTS_ENから一定時間後に初期化信号RST/STをアクティブにし、MPRレジスタ200が初期化するようにする。したがって、データの有効区間は、MPRレジスタ200が新たな温度値を保存した時点から初期化信号RST/STがアクティブになるまでとなる。
その後、出力アクティブ信号RD_ODTSが印加されると、MPRレジスタ200及び出力ドライバー300は、出力アクティブ信号RD_ODTSに応答して温度値ODTS_DT[0:N]として初期化された値、すなわち、再駆動要請信号を出力する。
したがって、温度値ODTS_DT[0:N]でない再駆動要請信号が印加されたチップセットは、駆動信号ODTS_ENを再び印加することによって、温度感知装置が再駆動されてMPRレジスタ200に新たな温度値を保存する。その後、出力アクティブ信号RD_ODTSを印加して現在の温度が反映された新たな温度値が印加される。
上述のように、本発明に係る温度感知装置は、駆動してから一定時間が過ぎると、温度値の代わりに再駆動要請信号を出力し、現在の温度が反映されていないことを伝える。言い換えれば、温度感知装置は、一定時間後、MPRレジスタ値を初期化する初期化制御部をさらに備え、温度値を初期化し、これを再駆動要請信号として出力する。
したがって、本発明に係る温度感知装置から現在の温度が反映された温度値の印加を受けた半導体メモリ素子は、リフレッシュなどのように温度に関する駆動を安定的に行うため、素子の信頼性が向上する。
一方、上述の本発明では、MPRレジスタが出力アクティブ信号に応答して保存された値を出力する場合を例に挙げたが、出力ドライバーが出力アクティブ信号に応答してアクティブとなって、MPRレジスタに保存された値を温度値としてドライブすることもできるので、このため、本発明は上記実施形態に限定されない。
また、上述の本発明の初期化制御部は、駆動信号がアクティブになる時点を基準に初期化信号をアクティブにするが、駆動信号ばかりでなく、温度感知部駆動の開始又は終了時点を基準として一定時間後、初期化信号をアクティブにすることもでき、このため、本発明は上記実施形態に限定されない。
上述の本発明は、所定時間の経過後は、温度値の代わりに初期化した値を介して再駆動要請信号を出力することによって、現在の温度が反映されないことを防止し、素子の信頼性を向上させる効果がある。
尚、本発明は、上記した実施形態に限定されるものではなく、本発明に係る技術的思想の範囲内から逸脱しない範囲内で様々な変更が可能であり、それらも本発明の技術的範囲に属する。
従来技術に係る温度感知装置を示すブロック構成図である。 図1のMPRレジスタの内部を示す回路図である。 図1に示した温度感知装置の動作タイミングチャートである。 本発明の実施形態に係る温度感知装置のブロック構成図である。 図4の温度感知部の内部を示す回路図である。 図4の初期化制御部の内部を示す回路図。 図6に示した初期化制御部の動作タイミングチャートである。 図4のMPRレジスタの内部を示す回路図である。 図4〜図8に示した温度感知装置の動作タイミングチャートである。
符号の説明
100 温度感知部
200 MPRレジスタ
300 出力ドライバー
400 初期化制御部

Claims (15)

  1. 駆動信号に応答して温度を感知する温度感知手段と、
    該温度感知手段の出力を保存した後、これを温度値として出力する保存手段と、
    前記駆動信号がアクティブになってから周期的に前記保存手段に保存された値が初期化されるように制御する初期化制御手段と
    を備えたことを特徴とする半導体メモリ素子の温度感知装置。
  2. 前記初期化制御手段が、
    前記駆動信号に応答して自体の出力信号をセットし、リセット信号に応答して前記自体の出力信号をリセットするラッチと、
    該ラッチの出力信号がアクティブになっている間、周期信号を生成する周期信号生成部と、
    該周期信号のアクティブ回数をカウントするカウンタと、
    該カウンタの出力信号に応答して初期化信号及び前記リセット信号をアクティブにする初期化信号生成部と
    を備えたことを特徴とする請求項1に記載の半導体メモリ素子の温度感知装置。
  3. 前記ラッチが、
    前記駆動信号を反転させる第1インバータと、
    該第1インバータの出力信号を1入力とする第1NANDゲートと、前記リセット信号を1入力とする第2NANDゲートとがクロスカップリングされて実現されることを特徴とする請求項2に記載の半導体メモリ素子の温度感知装置。
  4. 前記周期信号生成部が、
    前記ラッチの出力信号と前記周期信号とを入力とする第3NANDゲートと、
    該第3NANDゲートの出力信号を遅延させて前記周期信号として出力する第1インバータチェーンと
    を備えたことを特徴とする請求項3に記載の半導体メモリ素子の温度感知装置。
  5. 前記初期化信号生成部が、
    前記カウンタの複数の出力信号を入力とする第4NANDゲートと、
    該第4NANDゲートの出力信号を反転させ、前記初期化信号として出力する第2インバータと、
    前記第4NANDゲートの出力信号を反転させる第3インバータと、
    前記第4NANDゲートの出力信号を遅延させる第2インバータチェーンと、
    前記第3インバータ及び前記第2インバータチェーンの出力信号を入力として前記リセット信号を出力する第5NANDゲートと
    を備えたことを特徴とする請求項4に記載の半導体メモリ素子の温度感知装置。
  6. 前記カウンタが、前記周期信号のアクティブ回数をカウントして該当出力信号をアクティブにし、反転された前記リセット信号に応答して前記該当出力信号を初期化させることを特徴とする請求項5に記載の半導体メモリ素子の温度感知装置。
  7. 前記保存手段が、
    前記温度感知部の出力値を保存して出力アクティブ信号に応答して保存した値を出力し、前記初期化制御手段の初期化信号に応答して前記保存された値を初期化させるレジスタと、
    該レジスタの出力値を前記温度値にドライブする出力ドライバーと
    を備えたことを特徴とする請求項2〜6のいずれかに記載の半導体メモリ素子の温度感知装置。
  8. 前記レジスタが、前記温度感知手段の出力値を各ビット単位で保存する複数のラッチ部を備えたことを特徴とする請求項7に記載の半導体メモリ素子の温度感知装置。
  9. 前記ラッチ部が、
    前記温度感知手段の該当出力信号をラッチし、前記初期化信号に応答してリセットするラッチ素子と、
    前記出力アクティブ信号に応答して前記ラッチ素子の出力データを伝達するトランスファーゲートと
    を備えたことを特徴とする請求項8に記載の半導体メモリ素子の温度感知装置。
  10. 前記温度感知手段が、
    前記駆動信号に応答して温度を感知する温度センサと、
    上限電圧値及び下限電圧値を供給する電圧供給部と、
    前記駆動信号に応答して前記温度センサのアナログ出力値を前記上限電圧値及び前記下限電圧値を基準としてデジタル値に変換して出力するアナログ−デジタル変換部と
    を備えたことを特徴とする請求項9に記載の半導体メモリ素子の温度感知装置。
  11. 前記アナログ−デジタル変換部が、
    ループを介して1ビット単位で前記温度センサの出力値をトラッキングして前記デジタル値に変換するトラッキングADCを備えたことを特徴とする請求項10に記載の半導体メモリ素子の温度感知装置。
  12. 温度感知回路を備えた半導体メモリ装置の駆動方法において、
    外部から駆動信号の印加を受けて前記温度を感知する第1ステップと、
    該第1ステップの感知した温度値を保存する第2ステップと、
    該感知した温度値を出力アクティブ信号に応答して出力する第3ステップと、
    駆動信号がアクティブになった後、周期的に前記感知した温度値を初期化する第4ステップと
    を含むことを特徴とする半導体メモリ装置の駆動方法。
  13. 温度感知回路を備えた半導体メモリ装置の駆動方法において、
    外部から駆動信号の印加を受けて前記温度感知回路を駆動する第1ステップと、
    該第1ステップの駆動時間後、周期的に前記温度感知回路を初期化する第2ステップと、
    前記温度感知装置の保存値を外部に出力する第3ステップと
    を含むことを特徴とする半導体メモリ装置の駆動方法。
  14. 駆動信号に応答して温度を感知して保存する温度感知手段と、
    前記駆動信号がアクティブになってから一定の時間がすぎた後、前記温度感知装置に保存された値が初期化されるように制御する初期化制御手段と
    を備えたことを特徴とする半導体メモリ素子。
  15. 前記温度感知装置が、
    駆動信号に応答して温度を感知して保存する温度感知手段と、
    該温度感知手段の出力を保存した後、これを温度値として出力する保存手段と
    を備えたことを特徴とする請求項14に記載の半導体メモリ素子。
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