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  1. 基板(1) と、
    前記基板(1) 上に配置されたヒータ(4) と、
    流量を測定する流体の前記ヒータ(4) の上流位置と下流位置との間の温度差を測定して感知信号（ΔＴ）を発生する少なくとも第１および第２の感知用熱電対(6a,6b) と、
    前記ヒータから上流と下流に配置されて監視信号（ＴＰ）を発生する少なくとも第１および第２の監視用熱電対(12a,12b) と、
    制御回路（18）とを具備し、
    前記感知用熱電対(6a,6b) は前記基板上に配置され、前記ヒータ(4) に最も接近しているそれら感知用熱電対の接合部は、前記ヒータ(4) から第１の距離に配置され、
    前記監視用熱電対(12a,12b) は前記基板上に配置され、前記ヒータ(4) に最も接近している前記監視用熱電対(12a,12b) の接合部は前記ヒータ(4) から第２の距離に配置され、この第２の距離は前記第１の距離よりも小さく、
    前記制御回路（18）は、前記ヒータによる前記感知用熱電対(6a,6b) の流量に依存した加熱から前記ヒータ(4) および前記感知用熱電対(6a,6b) 上を流れる流量を測定するように構成されており、
    前記感知用熱電対(6a,6b) は前記監視用熱電対(12a,12b) と平行して延在している流量測定装置。
  2. さらに、前記感知信号（ΔＴ）と前記監視用信号（ＴＰ）との比に比例する信号を生成する手段(16, 18)を具備している請求項１記載の装置。
  3. 前記感知信号（ΔＴ）は前記温度差に比例している請求項１または２記載の装置。
  4. 前記監視用信号（ＴＰ）は、第１および第２の監視熱電対からの電圧の和に対応している請求項３記載の装置。
  5. 前記基板(1) は測定領域と調整領域とに分割され、前記測定領域における熱電対熱伝導は前記調整領域における熱電対熱伝導よりも低く、前記ヒータ(4) と、前記感知用熱電対(6a,6b) と、前記監視用熱電対(12a,12b) とは前記測定領域に少なくとも部分的に配置されている請求項１乃至４のいずれか１項記載の装置。
  6. 前記第１および第２の感知用熱電対(6a,6b) のそれぞれの接合部(10)の幾つかは前記調整領域上に配置されている請求項５記載の装置。
  7. 前記監視用熱電対(12a,12b) のそれぞれの第１の接合部(9', 9a, 9b)は前記測定領域上に配置され、前記監視用熱電対(12a,12b) のそれぞれの第２の接合部(10', 10a, 10b) は前記調整領域上に配置されている請求項５または６のいずれか１項記載の装置。
  8. 前記監視用熱電対(12a,12b) のそれぞれの両方の接合部(9', 10') は前記測定領域上に配置されている請求項５または６のいずれか１項記載の装置。
  9. 前記基板中に穴または凹部(2) およびその穴または凹部(2) 上に延在する薄膜構造(3) を備えており、前記測定領域は前記薄膜構造(3) によって規定されている請求項５乃至８のいずれか１項記載の装置。
  10. さらに、前記監視用信号（ＴＰ）を一定に維持するために、前記ヒータ(4) を流れる電流を制御する制御ループ(17)を備えている請求項１乃至９のいずれか１項記載の装置。
  11. さらに、前記感知信号（ΔＴ）を変換するアナログ・デジタル変換器(16)を備え、
    このアナログ・デジタル変換器(16)は基準入力を有し、その基準入力における信号（Ｖref)により正規化された前記感知信号（ΔＴ）のデジタル値を生成し、
    前記監視信号（ＴＰ）が前記基準入力に供給される請求項１乃至１０のいずれか１項記載の装置。
  12. 前記監視用熱電対(12a,12b) は前記ヒータの縦軸に関して対称に配置されている請求項１乃至１１のいずれか１項記載の装置。
  13. 前記ヒータ(4) に最も接近している前記監視用熱電対(12a,12b) の接合部(9', 9a, 9b)は、前記ヒータ(4) の温度を測定するように構成されている請求項１乃至１２のいずれか１項記載の装置。
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