JPS604815A - 流量測定装置 - Google Patents
流量測定装置Info
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- JPS604815A JPS604815A JP58113978A JP11397883A JPS604815A JP S604815 A JPS604815 A JP S604815A JP 58113978 A JP58113978 A JP 58113978A JP 11397883 A JP11397883 A JP 11397883A JP S604815 A JPS604815 A JP S604815A
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- JP
- Japan
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- flow rate
- junction
- group
- heater
- substrate
- Prior art date
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
- G01F1/00—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow
- G01F1/68—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using thermal effects
- G01F1/684—Structural arrangements; Mounting of elements, e.g. in relation to fluid flow
- G01F1/6845—Micromachined devices
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
- G01F1/00—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow
- G01F1/68—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using thermal effects
- G01F1/684—Structural arrangements; Mounting of elements, e.g. in relation to fluid flow
- G01F1/688—Structural arrangements; Mounting of elements, e.g. in relation to fluid flow using a particular type of heating, cooling or sensing element
- G01F1/6888—Thermoelectric elements, e.g. thermocouples, thermopiles
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
- G01F1/00—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow
- G01F1/68—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using thermal effects
- G01F1/696—Circuits therefor, e.g. constant-current flow meters
- G01F1/698—Feedback or rebalancing circuits, e.g. self heated constant temperature flowmeters
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
この発明は、流量測定装置に関し、例えばエンジンの吸
入空気流量を測定する装置に関する。
入空気流量を測定する装置に関する。
従来自動車用エンジンの吸入導管に流量測定管を設けこ
の流量測定管内に白金抵抗線からなる電熱ヒータと温度
依存抵抗を設け、これらの出力信号により吸入空気（被
測定流体）流量を測定するようにした装置が提案されて
いる。
の流量測定管内に白金抵抗線からなる電熱ヒータと温度
依存抵抗を設け、これらの出力信号により吸入空気（被
測定流体）流量を測定するようにした装置が提案されて
いる。
この装置は、小型かつ簡単な構造で正確に流量を測定し
得るという利点があるが、従来においては温度依存抵抗
に非常に細い白金抵抗線を使用し、しかも吸気流中に浮
かせて使用していたため、バンクファイアにより白金抵
抗線に衝撃が加わった際には強度上の問題が生じる。
得るという利点があるが、従来においては温度依存抵抗
に非常に細い白金抵抗線を使用し、しかも吸気流中に浮
かせて使用していたため、バンクファイアにより白金抵
抗線に衝撃が加わった際には強度上の問題が生じる。
また電気的には電熱ヒータの上流と下流に設置した温度
依存抵抗と２つの固定抵抗によりブリッジ回路を構成し
、前記上流と下流の温度により前記温度依存抵抗の抵抗
値の変化を電圧で検出して流量を測定している。しかし
この場合ブリッジを構成する２つの温度依存抵抗と２つ
の固定抵抗の相対温度係数が非常に小さいことが要求さ
れる。
依存抵抗と２つの固定抵抗によりブリッジ回路を構成し
、前記上流と下流の温度により前記温度依存抵抗の抵抗
値の変化を電圧で検出して流量を測定している。しかし
この場合ブリッジを構成する２つの温度依存抵抗と２つ
の固定抵抗の相対温度係数が非常に小さいことが要求さ
れる。
そのため調整工数がかかり、コストアップになる。
この発明は、上記の点に鑑みてなされたもので複数個の
薄膜集積化した熱電対を用いることによりブリッジを構
成する２つの固定抵抗をなくすことと強度を向上させる
ことを目的とする。
薄膜集積化した熱電対を用いることによりブリッジを構
成する２つの固定抵抗をなくすことと強度を向上させる
ことを目的とする。
以下、この発明を図に示す実施例により説明する。第１
図において、エンジン１は自動車駆動用の火花点火式エ
ンジンで燃焼用の空気をエアクリーナ２、吸入導管３及
び吸気弁を経て吸入する。
図において、エンジン１は自動車駆動用の火花点火式エ
ンジンで燃焼用の空気をエアクリーナ２、吸入導管３及
び吸気弁を経て吸入する。
燃料は吸入導管に報知された電磁式燃料噴射弁５から噴
射供給される。
射供給される。
吸入導管３には運転者により任意に操作されるスロット
ル弁６が設けられており、またエアクリーナ２との連結
部には空気流を整流する電流格子７が設けられている。
ル弁６が設けられており、またエアクリーナ２との連結
部には空気流を整流する電流格子７が設けられている。
吸入導管３において整流格子７とスロ７）ル弁６の間に
は、導管３の軸方向とほぼ平行に小型の流量測定管９が
支柱８により設置されている。この流量測定管９の中央
には検出基板９が空気の流れ方向に平行に固定されてい
る。
は、導管３の軸方向とほぼ平行に小型の流量測定管９が
支柱８により設置されている。この流量測定管９の中央
には検出基板９が空気の流れ方向に平行に固定されてい
る。
第２図に検出基板９の構造を示す。検出基＠９は０．２
＊ｍの厚さのセラミック板である。Ｍ１〜Ｍ＋００は
白金薄膜線状体であり、蒸着により基板９上に形成され
、熱電対手段を構成している。第２の金属からなる薄膜
線状体Ｎ１の一端はスルポール１１に接続され、他端は
第２接合群１０Ｂ内の接合１００Ｂで第１金属線状体Ｍ
＋の一端と接合されている。第１金属線状体Ｍ＋の他端
は第１接合群１０Ａ内の接合１００Ａで第２金属線状体
Ｎ２の一端と接合される。第２金属線状体Ｎ２の他端は
第２接合群１０Ｂ内の接合１０１Ｂで第１金属線状体Ｍ
２に接合される。このようにして第１金属線状体Ｍと第
２金属線状体Ｎは直列に接合される。
＊ｍの厚さのセラミック板である。Ｍ１〜Ｍ＋００は
白金薄膜線状体であり、蒸着により基板９上に形成され
、熱電対手段を構成している。第２の金属からなる薄膜
線状体Ｎ１の一端はスルポール１１に接続され、他端は
第２接合群１０Ｂ内の接合１００Ｂで第１金属線状体Ｍ
＋の一端と接合されている。第１金属線状体Ｍ＋の他端
は第１接合群１０Ａ内の接合１００Ａで第２金属線状体
Ｎ２の一端と接合される。第２金属線状体Ｎ２の他端は
第２接合群１０Ｂ内の接合１０１Ｂで第１金属線状体Ｍ
２に接合される。このようにして第１金属線状体Ｍと第
２金属線状体Ｎは直列に接合される。
第２金属線状体Ｎ１００の他端は第２接合群１０Ｂ内の
接合１９９Ｂで第１金属線状体Ｍｌ（、。
接合１９９Ｂで第１金属線状体Ｍｌ（、。
と接合される。第１金属線状体Ｍ １０ ｏの他端は第
１接合群１０Ａ内の接合１９９Ａで第２金属線状体Ｎｌ
０Ｉの一端と接合される。第２金属線状体Ｎｌ０Ｉの他
端はスルーホール１２に接続される。スルーボール１１
は裏面にて金の線状体で端子１３に接続される。同様に
スルーホール１２は裏面にて金の線状体によた端子１４
に接続される。
１接合群１０Ａ内の接合１９９Ａで第２金属線状体Ｎｌ
０Ｉの一端と接合される。第２金属線状体Ｎｌ０Ｉの他
端はスルーホール１２に接続される。スルーボール１１
は裏面にて金の線状体で端子１３に接続される。同様に
スルーホール１２は裏面にて金の線状体によた端子１４
に接続される。
以」二のようにして白金とロジウムからなる薄膜線状体
群は第１接合群１０Ａ及び第２接合群１０Ｂでそれぞれ
１００個の接合部を持つ。なお検出基板９は端子１３，
１４，１５．１６を除いて両面とも１μの厚さの窒化シ
リコンでコーティングされている。
群は第１接合群１０Ａ及び第２接合群１０Ｂでそれぞれ
１００個の接合部を持つ。なお検出基板９は端子１３，
１４，１５．１６を除いて両面とも１μの厚さの窒化シ
リコンでコーティングされている。
１７は白金蒸着体である。白金蒸着体１７の一端はスル
ーホール３１に他端はスルーホール３２に接続される。
ーホール３１に他端はスルーホール３２に接続される。
スルーホール１８は裏面にて端子パターン１５に、スル
ーホール］９は裏面にて端子パターン１６にそれぞれ金
の線状体により接続される。
ーホール］９は裏面にて端子パターン１６にそれぞれ金
の線状体により接続される。
ここで、端子１５と１６から白金蒸着体１７に電流を流
ずことによりこれば電熱ヒータとして作動する。一方矢
印のように検出基板９に平行に空気が流れるとヒータ１
７により熱せられた空気は下流の第２接合群１０Ｂに影
響を与え、上流の第１接合群１０Ａには影響を与えない
ので第２接合群１０Ｂと第１接合群１０Ａの間には温度
差が生じる。
ずことによりこれば電熱ヒータとして作動する。一方矢
印のように検出基板９に平行に空気が流れるとヒータ１
７により熱せられた空気は下流の第２接合群１０Ｂに影
響を与え、上流の第１接合群１０Ａには影響を与えない
ので第２接合群１０Ｂと第１接合群１０Ａの間には温度
差が生じる。
白金−白金合金（１０％ロジウム含有）接合では１℃温
度差当り０．００６４５ｍＶの電圧を出力するので金属
線状体の１００個の接合部がある場合には１００倍とな
り、１℃当り０．６４５ｍＶの起電力を出力する。
度差当り０．００６４５ｍＶの電圧を出力するので金属
線状体の１００個の接合部がある場合には１００倍とな
り、１℃当り０．６４５ｍＶの起電力を出力する。
第３図にセンサ制御回路２０を示す。このセンサ制御回
路２０は概略的には増幅回路２０ａ、差動増幅回路２０
ｂ１電力増幅回路２０ｃ及び出力抵抗２０ｅから構成さ
れている。
路２０は概略的には増幅回路２０ａ、差動増幅回路２０
ｂ１電力増幅回路２０ｃ及び出力抵抗２０ｅから構成さ
れている。
増幅回路２０ａはバッファ回路と増幅回路で構成されて
おる。オペアンプ２１の非反転入力は前記検出基板９の
端子１４に接続してあり、反転入力は出力に接続しであ
る。オペアンプ２１の出力番よ抵抗２２を介してオペア
ンプ２４の非反転入力に接続しである。オペアンプ２４
の反転入力は抵抗２３と２５の一端が共通にして接続し
である。
おる。オペアンプ２１の非反転入力は前記検出基板９の
端子１４に接続してあり、反転入力は出力に接続しであ
る。オペアンプ２１の出力番よ抵抗２２を介してオペア
ンプ２４の非反転入力に接続しである。オペアンプ２４
の反転入力は抵抗２３と２５の一端が共通にして接続し
である。
抵抗２３の他端は接地してあり、抵抗２５の他端はオペ
アンプ２４の出力に接続しである。バッファを構成する
オヘアンブ２１により白金−ロジウムににる起電力を高
いインピーダンスで変換し、１１９幅器を構成するオペ
アンプ２４で増幅する。増輸率は抵抗２５と抵抗２３の
比率で決まる。
アンプ２４の出力に接続しである。バッファを構成する
オヘアンブ２１により白金−ロジウムににる起電力を高
いインピーダンスで変換し、１１９幅器を構成するオペ
アンプ２４で増幅する。増輸率は抵抗２５と抵抗２３の
比率で決まる。
差動増幅回路２０ｂは、入力抵抗２６．２７、コンデン
サ３０、基準電圧源２８およびオペアンプ２９から構成
されており、増幅回路２４の出力電圧と基準電圧源２８
の一定基準電圧Ｖｒとを差動増幅して出力する。コンデ
ンサ３０は本回路の発振防止用に設けである。
サ３０、基準電圧源２８およびオペアンプ２９から構成
されており、増幅回路２４の出力電圧と基準電圧源２８
の一定基準電圧Ｖｒとを差動増幅して出力する。コンデ
ンサ３０は本回路の発振防止用に設けである。
電力増幅回路２０ｅ１抵抗３１及びパワートランジスタ
３２から構成されており、パワートランジスタ３２には
バッテリ３３から電力が供給されており、差動増幅回路
２０ｄの出力電圧を増幅し、その出力を検出基板９の端
子１４に印加して、電熱ヒータ１７を発熱させる。
３２から構成されており、パワートランジスタ３２には
バッテリ３３から電力が供給されており、差動増幅回路
２０ｄの出力電圧を増幅し、その出力を検出基板９の端
子１４に印加して、電熱ヒータ１７を発熱させる。
出力抵抗２０ｄの一端は検出基板９の端子１６に、他端
はバッテリ３３の負極に接続される。出力抵抗２０ｄの
一端の電圧が出力信号として燃料制御回路３０に入力さ
れる。
はバッテリ３３の負極に接続される。出力抵抗２０ｄの
一端の電圧が出力信号として燃料制御回路３０に入力さ
れる。
」１記構成において作動を説明する。スロットル弁６の
開度により決定されるある量の空気は、エアクリーナ２
から吸入導管３を通りエンジン１に吸入される。この総
吸入空気の・うちある一定割合の空気が流量測定管９内
を通過してエンジン１に吸入される。
開度により決定されるある量の空気は、エアクリーナ２
から吸入導管３を通りエンジン１に吸入される。この総
吸入空気の・うちある一定割合の空気が流量測定管９内
を通過してエンジン１に吸入される。
そして、流量測定管９内においてヒータ１７の影響を受
けない位置にある第１接合１〇八は吸入空気の温度のみ
の影響を受け、他方ヒータ１７の下流に配置された第２
接合１０Ｂは吸入空気の温度とヒータ１７の発熱量、つ
まりヒータ１７により加熱された空気の温度の影響を受
ける。
けない位置にある第１接合１〇八は吸入空気の温度のみ
の影響を受け、他方ヒータ１７の下流に配置された第２
接合１０Ｂは吸入空気の温度とヒータ１７の発熱量、つ
まりヒータ１７により加熱された空気の温度の影響を受
ける。
この結果用１．第２接合１０Ａ、ＩＯＢの間にはヒータ
１７に供給した電力量Ｐ （Ｗ）と吸入空気流量Ｇ（ｇ
／５ｅｃ）に関係した温度差へＴが生じる。ここで１）
、Ｇ１ΔＴには次式のような関係がある。
１７に供給した電力量Ｐ （Ｗ）と吸入空気流量Ｇ（ｇ
／５ｅｃ）に関係した温度差へＴが生じる。ここで１）
、Ｇ１ΔＴには次式のような関係がある。
ＫＩ・ΔＴ＝Ｐ／Ｇ・・・（１）（ただし、Ｋｌは定数
）しかして、第１接合１０Ａと第２接合１０Ｂの両端の
起電力Δ■と温度差Δ′Ｆとの関係は（２）式となる。
）しかして、第１接合１０Ａと第２接合１０Ｂの両端の
起電力Δ■と温度差Δ′Ｆとの関係は（２）式となる。
Δ］”−に２・Δ■・・・（２）（ただし、Ｋ２は定数
）従って、（１）式及び（２）式から次式のような関係
式が得られる。
）従って、（１）式及び（２）式から次式のような関係
式が得られる。
Ｋ３・ΔＶ＝Ｐ／Ｇ・・・（３）（ただし、Ｋ３は定数
）したがって、ヒータ１７の供給電力Ｐを制御して熱電
対の起電力Δ■を一定値にすれば、吸入空気流量Ｇ、供
給電力Ｐの関係は次式となる。
）したがって、ヒータ１７の供給電力Ｐを制御して熱電
対の起電力Δ■を一定値にすれば、吸入空気流量Ｇ、供
給電力Ｐの関係は次式となる。
Ｇ ＝ Ｋ ４・Ｐ・・・（４）（ただし、Ｋ４は定数
）ここで、出力抵抗２０ｄの抵抗値をヒータ１７の抵抗
値に比べて小さな値とし、ヒータ１７に流れる電流を１
とすると Ｐ＝Ｋｓ・■２・・・（５）（ただし、Ｋ５は定数）が
得られる。（４）と（５）式により Ｇ＝Ｋ Ｉ ２・・・（７） となる。出力抵抗２０ｄの抵抗値が温度により変わらな
いとし、両端の電圧を■とするとＧ＝に’Ｖ２・・・（
８）（ただし、Ｋ′は定数）しかして、吸入空気流量Ｇ
は、電流Ｉ （又は電圧■）の２乗の関数となる。ここ
で（７）式、（８）式は近似式ではあるが、測定上影響
が出ない程度のものであり、実用上はとんど問題はない
。
）ここで、出力抵抗２０ｄの抵抗値をヒータ１７の抵抗
値に比べて小さな値とし、ヒータ１７に流れる電流を１
とすると Ｐ＝Ｋｓ・■２・・・（５）（ただし、Ｋ５は定数）が
得られる。（４）と（５）式により Ｇ＝Ｋ Ｉ ２・・・（７） となる。出力抵抗２０ｄの抵抗値が温度により変わらな
いとし、両端の電圧を■とするとＧ＝に’Ｖ２・・・（
８）（ただし、Ｋ′は定数）しかして、吸入空気流量Ｇ
は、電流Ｉ （又は電圧■）の２乗の関数となる。ここ
で（７）式、（８）式は近似式ではあるが、測定上影響
が出ない程度のものであり、実用上はとんど問題はない
。
そこで、センサ制御回路２０はヒータ１７の発熱量を制
御してΔ■を一定値に制御する。つまり、吸入空気量が
増大すると、ヒータ１７により加熱される空気の温度上
昇が減少し、第１．第２接合群１０Δ、１０８間の温度
差へＴは小さくなり、起電力Δ■も小さくなる。このた
め増幅回路２０ａの出力は■１は小さくなり （Ｖｒ−
Ｖ＋）に応じた電圧を発生する差動増幅回路２０ｂの出
力電圧は大きくなる。これにより電力増幅回路２０Ｃは
ヒータ１７への供給電流を増加させ、ヒータ１′ｔの発
熱量を増大させる。
御してΔ■を一定値に制御する。つまり、吸入空気量が
増大すると、ヒータ１７により加熱される空気の温度上
昇が減少し、第１．第２接合群１０Δ、１０８間の温度
差へＴは小さくなり、起電力Δ■も小さくなる。このた
め増幅回路２０ａの出力は■１は小さくなり （Ｖｒ−
Ｖ＋）に応じた電圧を発生する差動増幅回路２０ｂの出
力電圧は大きくなる。これにより電力増幅回路２０Ｃは
ヒータ１７への供給電流を増加させ、ヒータ１′ｔの発
熱量を増大させる。
従って、第１、第２接合群１０Ａ、１０８間の温度差Δ
Ｔが増大して起電力ΔＶが基準電圧Ｖｒと等しくなった
状態でシステム全体としては平衡状態に達する。
Ｔが増大して起電力ΔＶが基準電圧Ｖｒと等しくなった
状態でシステム全体としては平衡状態に達する。
吸入空気流量が減少すると、今度は逆に八Ｔが増大して
起電力Δ■が大きくなるのでヒータ１７への供給電流を
減少させ、その発熱量を減少させる。従って温度差ΔＴ
が減少して起電力Δ■が小さくなり、起電力ΔＶが基準
電圧Ｖｒと等しくなる。
起電力Δ■が大きくなるのでヒータ１７への供給電流を
減少させ、その発熱量を減少させる。従って温度差ΔＴ
が減少して起電力Δ■が小さくなり、起電力ΔＶが基準
電圧Ｖｒと等しくなる。
このようにして第１、第２接合群１０Ａ、１０Ｂの起電
力Δ■は吸入空気流量によらず常に一定値Ｖｒに保持さ
れ、（７）式が成立して吸入空気流量Ｇはヒータ１７を
流れる電流Ｉの２乗の関数で表される。
力Δ■は吸入空気流量によらず常に一定値Ｖｒに保持さ
れ、（７）式が成立して吸入空気流量Ｇはヒータ１７を
流れる電流Ｉの２乗の関数で表される。
この電流Ｉは、出力抵抗２０ｄをも流れるため、電流■
と出力抵抗２０ｄの両端電圧■とは比例し、この電圧■
の２乗は吸入流量Ｇに比例する。
と出力抵抗２０ｄの両端電圧■とは比例し、この電圧■
の２乗は吸入流量Ｇに比例する。
この出力電圧を燃料制御回路３０により直線化される。
燃料制御回路３０はこの信号に基いて燃料噴射弁５を開
弁させる噴射パルス信号を出力する。これによりエンジ
ン１には正確な空燃比Ａ／Ｆの空気と燃料が供給され、
エンジン１の排気ガス浄化性、出力、燃費などが向上す
る。
弁させる噴射パルス信号を出力する。これによりエンジ
ン１には正確な空燃比Ａ／Ｆの空気と燃料が供給され、
エンジン１の排気ガス浄化性、出力、燃費などが向上す
る。
なお検出基板９の電熱ヒータ用としての白金線状体を温
度係数のないニッケルクロムで構成すると、出力抵抗２
０ｄは不要になる。ニッケルクロム線状体の抵抗値をＲ
１印加される電圧■とすると（４）式は次式となる。
度係数のないニッケルクロムで構成すると、出力抵抗２
０ｄは不要になる。ニッケルクロム線状体の抵抗値をＲ
１印加される電圧■とすると（４）式は次式となる。
Ｇ＝Ｋ”・■２・・・（９）（ただしに＝に’／Ｒ）（
９）式から空気流ｆｆ１Ｇは正確に印加電圧■の２乗に
比例することになる。
９）式から空気流ｆｆ１Ｇは正確に印加電圧■の２乗に
比例することになる。
なお検出基板としてセラミックを用いたが、雲母１Ｋを
用いても良い。
用いても良い。
また熱電対材料としての金属パターンに白金と白金ロジ
ウムを用いたが、他の材料を用いても良いことは当然で
ある。
ウムを用いたが、他の材料を用いても良いことは当然で
ある。
また接合数を１００組にしたが、これは組数が多い方が
良いが構造的寸法とパターンの極細技術により制約され
る。
良いが構造的寸法とパターンの極細技術により制約され
る。
以」二述べたように本発明によれば、
本発明は基板上に熱雷対としての２種類の金属綿状体を
交互に直列に複数個接合し、その第１の接合群と第２の
接合群に分類し、第１の接合群を電熱ヒータ１７の上流
に、第２の接合群を下流に配置し、第１の接合群と第２
の接合群との温度差を直接熱起電力信号として取出こと
により、従来のよ・）に温度差を抵抗変化として出し、
ブリッジ回路を介して電力変化として取出す必要がなく
なり、回１１８を簡素化できるという優れた効果がある
。
交互に直列に複数個接合し、その第１の接合群と第２の
接合群に分類し、第１の接合群を電熱ヒータ１７の上流
に、第２の接合群を下流に配置し、第１の接合群と第２
の接合群との温度差を直接熱起電力信号として取出こと
により、従来のよ・）に温度差を抵抗変化として出し、
ブリッジ回路を介して電力変化として取出す必要がなく
なり、回１１８を簡素化できるという優れた効果がある
。
また、基板上にと熱電対としての２種類の金属パターン
を配設することにより、バンクファイア等の衝撃波に対
して強くなり、信頼性を大きく向上させることが可能と
なる。
を配設することにより、バンクファイア等の衝撃波に対
して強くなり、信頼性を大きく向上させることが可能と
なる。
第１図はこの発明の一実施例を示す全体構成図、第２図
は第１図図示の検出基板を示す平面図、第３図は第１図
図示のセンサ制御回路を示す回路図である。 ９・・・基板、ＩＯＡ・・・第１の接合群、ＩＯＢ・・
・第２の接合群、１７−・・ヒータ、Ｍ ＋ 〜Ｍ ＋
ｏ ｏ 、Ｎ １〜Ｎ１００・・・薄膜線状体。 代理人弁理士 岡 部 隆 第 １ 図 第 ２ 図
は第１図図示の検出基板を示す平面図、第３図は第１図
図示のセンサ制御回路を示す回路図である。 ９・・・基板、ＩＯＡ・・・第１の接合群、ＩＯＢ・・
・第２の接合群、１７−・・ヒータ、Ｍ ＋ 〜Ｍ ＋
ｏ ｏ 、Ｎ １〜Ｎ１００・・・薄膜線状体。 代理人弁理士 岡 部 隆 第 １ 図 第 ２ 図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 ＋１１流路内に設けられた基板と、この基板上に設りら
れた電熱ヒータと、前記流路内に設けられた熱電対手段
とを備え、この熱電対手段は交互に直列に第１の接合群
と第２の接合群において接合された２種の熱起電力材料
からなる複数の薄膜線状体を具備し、前記第１の接合群
を前記電熱ヒータの上流に配置し、前記第２の接合群を
下流に配置したことを特徴とする流量測定装置。 （２）前記金属線状体が設けられている基板上に前記電
熱ヒータが設けられている特許請求の範囲第１項記載の
流量測定装置。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58113978A JPS604815A (ja) | 1983-06-23 | 1983-06-23 | 流量測定装置 |
| US06/622,554 US4587843A (en) | 1983-06-23 | 1984-06-20 | Thermocouple-type gas-flow measuring apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58113978A JPS604815A (ja) | 1983-06-23 | 1983-06-23 | 流量測定装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS604815A true JPS604815A (ja) | 1985-01-11 |
Family
ID=14625980
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58113978A Pending JPS604815A (ja) | 1983-06-23 | 1983-06-23 | 流量測定装置 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4587843A (ja) |
| JP (1) | JPS604815A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH04115125A (ja) * | 1990-09-05 | 1992-04-16 | Anritsu Corp | 熱流量センサ |
Families Citing this family (17)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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| CN1009579B (zh) * | 1986-11-18 | 1990-09-12 | 张开逊 | 一个与温度变化有关量的pn结传感器 |
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| US6813944B2 (en) | 2000-05-04 | 2004-11-09 | Sensirion Ag | Flow sensor |
| DE10191688B4 (de) * | 2000-05-04 | 2010-09-16 | Sensirion Holding Ag | Sensorbaustein und ein Verfahren zu dessen Herstellung |
| US6382024B1 (en) | 2000-06-28 | 2002-05-07 | The United States Of America As Represented By The Administrator Of The National Aeronautics And Space Administration | Thermocouple boundary layer rake |
| US6631638B2 (en) | 2001-01-30 | 2003-10-14 | Rosemount Aerospace Inc. | Fluid flow sensor |
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| DE602006019548D1 (de) * | 2006-03-31 | 2011-02-24 | Sensirion Holding Ag | Durchflusssensor mit Thermoelementen |
| US11587839B2 (en) | 2019-06-27 | 2023-02-21 | Analog Devices, Inc. | Device with chemical reaction chamber |
| US11712516B2 (en) | 2020-04-17 | 2023-08-01 | Analog Devices, Inc. | Fluid delivery device |
| US11604084B2 (en) | 2021-04-15 | 2023-03-14 | Analog Devices, Inc. | Sensor package |
| US11796367B2 (en) | 2021-05-07 | 2023-10-24 | Analog Devices, Inc. | Fluid control system |
Family Cites Families (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US2197818A (en) * | 1938-12-27 | 1940-04-23 | Robert E Tozier | Flowmeter |
| US2594618A (en) * | 1945-08-11 | 1952-04-29 | Atomic Energy Commission | Thermal flowmeter |
| US2786354A (en) * | 1950-01-07 | 1957-03-26 | Gen Motors Corp | Thermal type flowmeter |
| NL177629C (nl) * | 1979-07-09 | 1985-10-16 | Brooks Instr Bv | Richtingsgevoelige stroomsnelheidsmeter. |
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| JPS56142414A (en) * | 1980-04-09 | 1981-11-06 | Nippon Soken Inc | Device for measuring gas flow quantity |
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-
1983
- 1983-06-23 JP JP58113978A patent/JPS604815A/ja active Pending
-
1984
- 1984-06-20 US US06/622,554 patent/US4587843A/en not_active Expired - Fee Related
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Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US4587843A (en) | 1986-05-13 |
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