DE602006019688D1 - Durchflusssensor mit durchflussanpassbarem Analog-Digital-Wandler - Google Patents
Durchflusssensor mit durchflussanpassbarem Analog-Digital-WandlerInfo
- Publication number
- DE602006019688D1 DE602006019688D1 DE602006019688T DE602006019688T DE602006019688D1 DE 602006019688 D1 DE602006019688 D1 DE 602006019688D1 DE 602006019688 T DE602006019688 T DE 602006019688T DE 602006019688 T DE602006019688 T DE 602006019688T DE 602006019688 D1 DE602006019688 D1 DE 602006019688D1
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- flow
- digital converter
- flow sensor
- adaptable
- analog
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
- G01F1/00—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow
- G01F1/68—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using thermal effects
- G01F1/684—Structural arrangements; Mounting of elements, e.g. in relation to fluid flow
- G01F1/6845—Micromachined devices
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
- G01F1/00—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow
- G01F1/68—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using thermal effects
- G01F1/696—Circuits therefor, e.g. constant-current flow meters
- G01F1/698—Feedback or rebalancing circuits, e.g. self heated constant temperature flowmeters
- G01F1/699—Feedback or rebalancing circuits, e.g. self heated constant temperature flowmeters by control of a separate heating or cooling element
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Fluid Mechanics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Measuring Volume Flow (AREA)
- Analogue/Digital Conversion (AREA)
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
EP06006932A EP1840536B1 (de) | 2006-03-31 | 2006-03-31 | Durchflusssensor mit durchflussanpassbarem Analog-Digital-Wandler |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE602006019688D1 true DE602006019688D1 (de) | 2011-03-03 |
Family
ID=36992540
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE602006019688T Active DE602006019688D1 (de) | 2006-03-31 | 2006-03-31 | Durchflusssensor mit durchflussanpassbarem Analog-Digital-Wandler |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7490511B2 (de) |
EP (1) | EP1840536B1 (de) |
JP (1) | JP4746001B2 (de) |
CN (1) | CN101046401B (de) |
DE (1) | DE602006019688D1 (de) |
Families Citing this family (32)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE602006019548D1 (de) * | 2006-03-31 | 2011-02-24 | Sensirion Holding Ag | Durchflusssensor mit Thermoelementen |
DE602006019688D1 (de) | 2006-03-31 | 2011-03-03 | Sensirion Holding Ag | Durchflusssensor mit durchflussanpassbarem Analog-Digital-Wandler |
EP1965179B1 (de) * | 2007-02-28 | 2017-04-12 | Sensirion Holding AG | Strömungsdetektorvorrichtung mit Eigenüberprüfung |
DE202007003027U1 (de) * | 2007-03-01 | 2007-06-21 | Sensirion Ag | Vorrichtung zur Handhabung von Fluiden mit einem Flußsensor |
DE102008033058A1 (de) * | 2008-07-14 | 2010-02-04 | Continental Automotive Gmbh | Brennkraftmaschine und Verfahren zum Betreiben einer solchen Brennkraftmaschine |
EP2187182B1 (de) * | 2008-11-12 | 2015-08-05 | Sensirion AG | Verfahren zum Betrieb eines Durchflusssensors, der wiederholt einem thermischen und/oder chemischen Reinigungsprozess ausgesetzt ist, und Durchflussmessgerät |
IT1395955B1 (it) * | 2009-06-19 | 2012-11-02 | Parker Hannifin Srl | "procedimento e apparecchio per l'essicazione di gas compresso" |
US9003877B2 (en) | 2010-06-15 | 2015-04-14 | Honeywell International Inc. | Flow sensor assembly |
US8418549B2 (en) * | 2011-01-31 | 2013-04-16 | Honeywell International Inc. | Flow sensor assembly with integral bypass channel |
US8441093B2 (en) * | 2011-04-15 | 2013-05-14 | Excelitas Technologies Singapore Pte. Ltd. | Shared membrane thermopile sensor array |
US8640552B2 (en) | 2011-09-06 | 2014-02-04 | Honeywell International Inc. | MEMS airflow sensor die incorporating additional circuitry on the die |
CN202329848U (zh) * | 2011-11-23 | 2012-07-11 | 艾默生电气公司 | 测温装置 |
US9354095B2 (en) | 2012-10-02 | 2016-05-31 | Honeywell International Inc. | Modular flow sensor |
EP2762864B1 (de) | 2013-01-31 | 2018-08-08 | Sensirion AG | Membranbasierte Sensorvorrichtung und Verfahren zu deren Herstellung |
WO2014137994A1 (en) * | 2013-03-05 | 2014-09-12 | Rosenthal Scott Bruce | Thermocouple circuit based temperature sensor |
US9255826B2 (en) * | 2013-07-16 | 2016-02-09 | Honeywell International Inc. | Temperature compensation module for a fluid flow transducer |
US9612146B2 (en) | 2014-02-07 | 2017-04-04 | Honeywell International, Inc. | Airflow sensor with dust reduction |
EP3029429B1 (de) * | 2014-12-04 | 2020-10-07 | Sensirion AG | Bestimmung einer Flüssigkeitszusammensetzung in einer Massenströmungssteuerung |
EP2930475B1 (de) | 2014-12-22 | 2017-11-15 | Sensirion AG | Durchflusssensoranordnung |
JP6421071B2 (ja) * | 2015-04-01 | 2018-11-07 | 日立オートモティブシステムズ株式会社 | 流量センサ |
EP3118711B1 (de) | 2015-07-17 | 2021-01-13 | Sensirion AG | Gegen eingangsdruckstörung unempfindlicher massendurchflussregler |
DE102015121866A1 (de) * | 2015-12-15 | 2017-06-22 | Jobst Technologies Gmbh | Verfahren zur Bestimmung einer Flussrate bzw. Strömungsgeschwindigkeit eines Mediums |
CN105526983B (zh) * | 2015-12-28 | 2019-01-18 | 上海集成电路研发中心有限公司 | 一种气体流量传感器的结构及其制造方法 |
JP6693182B2 (ja) * | 2016-03-09 | 2020-05-13 | 富士通株式会社 | データ取得指示生成プログラム、データ取得指示生成方法およびデータ取得指示生成装置 |
EP3465102B1 (de) * | 2016-05-27 | 2020-05-13 | Carrier Corporation | Verfahren zum bestimmen eines reduzierten luftstroms in einem transportkühlsystem |
US10890472B2 (en) | 2016-08-25 | 2021-01-12 | Honeywell International Inc. | Low power operational methodology for a flow sensor |
EP3634552A4 (de) | 2017-05-19 | 2021-03-03 | Pneuma Respiratory, Inc. | Vorrichtung zur ausgabe von trockenpulver und verfahren zur verwendung |
EP3421947B1 (de) | 2017-06-30 | 2019-08-07 | Sensirion AG | Betriebsverfahren für eine durchflusssensorvorrichtung |
DE102017119667B4 (de) | 2017-08-28 | 2023-05-25 | Dionex Softron Gmbh | Messung eines Fluidflusses |
WO2019079461A1 (en) | 2017-10-17 | 2019-04-25 | Pneuma Respiratory, Inc. | NASAL MEDICATION DELIVERY APPARATUS AND METHODS OF USE |
US10775217B1 (en) | 2019-04-19 | 2020-09-15 | Honeywell International Inc. | Thermophile-based flow sensing device |
CN111579108B (zh) * | 2020-07-08 | 2022-02-25 | 北京中玮科技有限公司 | 管状热电堆传感器 |
Family Cites Families (27)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4672997A (en) * | 1984-10-29 | 1987-06-16 | Btu Engineering Corporation | Modular, self-diagnostic mass-flow controller and system |
DE3520392A1 (de) * | 1985-06-07 | 1986-12-11 | Robert Bosch Gmbh, 7000 Stuttgart | Abgleichverfahren fuer einen hitzdraht-luftmassenmesser und hitzdraht-luftmassenmesser zur durchfuehrung des verfahrens |
US4884443A (en) * | 1987-12-23 | 1989-12-05 | Siemens-Bendix Automotive Electronics L. P. | Control and detection circuitry for mass airflow sensors |
US4784721A (en) * | 1988-02-22 | 1988-11-15 | Honeywell Inc. | Integrated thin-film diaphragm; backside etch |
JP2666163B2 (ja) * | 1991-12-04 | 1997-10-22 | 山武ハネウエル株式会社 | 流速センサの温度特性補正方法 |
JPH0972763A (ja) * | 1995-09-07 | 1997-03-18 | Ricoh Co Ltd | マイクロセンサ |
JPH11264332A (ja) * | 1997-12-17 | 1999-09-28 | Hitachi Ltd | 電制スロットルボディ一体型空気流量測定装置 |
NL1008665C1 (nl) * | 1998-03-20 | 1999-09-21 | Berkin Bv | Mediumstroommeter. |
JP3433124B2 (ja) * | 1998-12-15 | 2003-08-04 | 株式会社日立製作所 | 熱式空気流量センサ |
EP1144958B1 (de) * | 1998-12-22 | 2004-03-24 | Sensirion AG | Verfahren und sensor zur messung eines massenflusses |
JP4050857B2 (ja) * | 1999-04-27 | 2008-02-20 | 矢崎総業株式会社 | 流体判別装置及び流量計測装置 |
EP1065475B1 (de) | 1999-05-31 | 2017-07-12 | Sensirion Holding AG | Verfahren zum Messen eines Gasflusses |
EP1252714B1 (de) * | 2000-02-04 | 2003-11-12 | Sensirion AG | A/d-wandler mit lookup-tabelle |
AU2001232162A1 (en) * | 2000-02-25 | 2001-09-03 | Sensirion Ag | Sensor and sigma-delta converter |
CH695166A5 (de) * | 2000-04-25 | 2005-12-30 | Sensirion Ag | Verfahren und Vorrichtung zum Messen des Flusses einer Flüssigkeit. |
EP1279008B1 (de) * | 2000-05-04 | 2005-08-10 | Sensirion AG | Flusssensor für flüssigkeiten |
CH694474A5 (de) | 2000-06-23 | 2005-01-31 | Sensirion Ag | Gaszähler und Verwendung des Gaszählers. |
GR1004106B (el) * | 2002-01-24 | 2003-01-13 | Εκεφε "Δημοκριτος" Ινστιτουτο Μικροηλεκτρονικης | Ολοκληρωμενοι θερμικοι αισθητηρες πυριτιου χαμηλης ισχυος και διαταξεις μικρο-ροης βασισμενοι στην χρηση τεχνολογιας κοιλοτητας αερα σφραγισμενης με μεμβρανη πορωδους πυριτιου ή τεχνολογιας μικρο-καναλιων |
EP1351039A1 (de) * | 2002-04-03 | 2003-10-08 | Sensirion AG | Strömungssensor und zugehöriges Herstellungsverfahren |
EP1426740B1 (de) * | 2002-11-27 | 2014-11-19 | Sensirion Holding AG | Vorrichtung zur Messung des Flusses und mindestens eines Materialparameters eines Fluids |
JP3718198B2 (ja) * | 2003-02-26 | 2005-11-16 | 株式会社日立製作所 | 流量センサ |
NL1025617C2 (nl) * | 2003-05-13 | 2004-11-18 | Berkin Bv | Massadebietmeter. |
JP4292026B2 (ja) * | 2003-05-30 | 2009-07-08 | 株式会社日立製作所 | 熱式流量センサ |
CN1297802C (zh) * | 2004-02-12 | 2007-01-31 | 李韫言 | 一种全硅集成流量传感器及其制造方法 |
DE602006019688D1 (de) | 2006-03-31 | 2011-03-03 | Sensirion Holding Ag | Durchflusssensor mit durchflussanpassbarem Analog-Digital-Wandler |
DE602006019548D1 (de) * | 2006-03-31 | 2011-02-24 | Sensirion Holding Ag | Durchflusssensor mit Thermoelementen |
EP1873499A1 (de) | 2006-06-30 | 2008-01-02 | Sensirion AG | Thermischer Durchflusssensor für hohe Fließgeschwindigkeiten |
-
2006
- 2006-03-31 DE DE602006019688T patent/DE602006019688D1/de active Active
- 2006-03-31 EP EP06006932A patent/EP1840536B1/de active Active
-
2007
- 2007-02-22 US US11/710,193 patent/US7490511B2/en active Active
- 2007-03-30 JP JP2007094034A patent/JP4746001B2/ja active Active
- 2007-03-30 CN CN2007100898147A patent/CN101046401B/zh active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US7490511B2 (en) | 2009-02-17 |
EP1840536B1 (de) | 2011-01-19 |
CN101046401B (zh) | 2011-08-24 |
CN101046401A (zh) | 2007-10-03 |
JP4746001B2 (ja) | 2011-08-10 |
EP1840536A1 (de) | 2007-10-03 |
JP2007282218A (ja) | 2007-10-25 |
US20070227242A1 (en) | 2007-10-04 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
DE602006019688D1 (de) | Durchflusssensor mit durchflussanpassbarem Analog-Digital-Wandler | |
DE602006019548D1 (de) | Durchflusssensor mit Thermoelementen | |
NL300828I2 (nl) | albutrepenonacog alfa | |
FI20065391A (fi) | Anturointijärjestely | |
DK2010883T3 (da) | Forbindelseskomponent med temperaturbestandigt sensorelement | |
DE602007006739D1 (de) | Regensensor | |
BRPI0815935A2 (pt) | sensor de posição | |
DE602007012253D1 (de) | Analog-digital-wandler | |
DE502006008419D1 (de) | Bedienelement mit Näherungssensor | |
DE602006008348D1 (de) | Time-to-digital converter mit kalibrierungspuls | |
SE0801894L (sv) | Sensoranordning | |
BRPI0915747A2 (pt) | conversor de fluxo | |
DK2527713T3 (da) | Blender med stigningsgrad | |
DE602006013887D1 (de) | Parabolsolarrinnensysteme mit dreh-nachführungsmittel | |
DE102008054533B8 (de) | Ultraschallsensor | |
DE502007000940D1 (de) | Vertikales hall-sensorelement | |
DE602007002205D1 (de) | Analog/digital Wandler | |
DK3006812T3 (da) | Elektronisk flowsensor | |
DE502007004319D1 (de) | Fühler | |
DE502007001650D1 (de) | Turbolader mit katalytische beschichtung | |
DE502007001743D1 (de) | Molch mit verbesserter dichtwirkung | |
ATE481625T1 (de) | Chirurgisches system mit nicht-invasivem durchflusssensor | |
DE502007007044D1 (de) | tsmaschinen mit Nebenstromkonfiguration | |
DE602006007844D1 (de) | Analog-Digital Wandler | |
DE112008001742A5 (de) | Sensoranordnung |