GR1004106B - Ολοκληρωμενοι θερμικοι αισθητηρες πυριτιου χαμηλης ισχυος και διαταξεις μικρο-ροης βασισμενοι στην χρηση τεχνολογιας κοιλοτητας αερα σφραγισμενης με μεμβρανη πορωδους πυριτιου ή τεχνολογιας μικρο-καναλιων - Google Patents
Ολοκληρωμενοι θερμικοι αισθητηρες πυριτιου χαμηλης ισχυος και διαταξεις μικρο-ροης βασισμενοι στην χρηση τεχνολογιας κοιλοτητας αερα σφραγισμενης με μεμβρανη πορωδους πυριτιου ή τεχνολογιας μικρο-καναλιωνInfo
- Publication number
- GR1004106B GR1004106B GR20020100037A GR2002100037A GR1004106B GR 1004106 B GR1004106 B GR 1004106B GR 20020100037 A GR20020100037 A GR 20020100037A GR 2002100037 A GR2002100037 A GR 2002100037A GR 1004106 B GR1004106 B GR 1004106B
- Authority
- GR
- Greece
- Prior art keywords
- porous silicon
- cavity
- technology
- formation
- underneath
- Prior art date
Links
- 229910021426 porous silicon Inorganic materials 0.000 title abstract 6
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 title abstract 2
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 title abstract 2
- 239000010703 silicon Substances 0.000 title abstract 2
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract 6
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 abstract 4
- 238000002955 isolation Methods 0.000 abstract 1
- 239000012528 membrane Substances 0.000 abstract 1
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B81—MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
- B81C—PROCESSES OR APPARATUS SPECIALLY ADAPTED FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS
- B81C1/00—Manufacture or treatment of devices or systems in or on a substrate
- B81C1/00015—Manufacture or treatment of devices or systems in or on a substrate for manufacturing microsystems
- B81C1/00023—Manufacture or treatment of devices or systems in or on a substrate for manufacturing microsystems without movable or flexible elements
- B81C1/00055—Grooves
- B81C1/00071—Channels
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
- G01F1/00—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow
- G01F1/68—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using thermal effects
- G01F1/684—Structural arrangements; Mounting of elements, e.g. in relation to fluid flow
- G01F1/6845—Micromachined devices
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01K—MEASURING TEMPERATURE; MEASURING QUANTITY OF HEAT; THERMALLY-SENSITIVE ELEMENTS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01K7/00—Measuring temperature based on the use of electric or magnetic elements directly sensitive to heat ; Power supply therefor, e.g. using thermoelectric elements
- G01K7/02—Measuring temperature based on the use of electric or magnetic elements directly sensitive to heat ; Power supply therefor, e.g. using thermoelectric elements using thermoelectric elements, e.g. thermocouples
- G01K7/028—Measuring temperature based on the use of electric or magnetic elements directly sensitive to heat ; Power supply therefor, e.g. using thermoelectric elements using thermoelectric elements, e.g. thermocouples using microstructures, e.g. made of silicon
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B81—MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
- B81B—MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICAL DEVICES
- B81B2201/00—Specific applications of microelectromechanical systems
- B81B2201/05—Microfluidics
- B81B2201/058—Microfluidics not provided for in B81B2201/051 - B81B2201/054
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B81—MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
- B81B—MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICAL DEVICES
- B81B2203/00—Basic microelectromechanical structures
- B81B2203/01—Suspended structures, i.e. structures allowing a movement
- B81B2203/0127—Diaphragms, i.e. structures separating two media that can control the passage from one medium to another; Membranes, i.e. diaphragms with filtering function
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B81—MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
- B81B—MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICAL DEVICES
- B81B2203/00—Basic microelectromechanical structures
- B81B2203/03—Static structures
- B81B2203/0315—Cavities
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B81—MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
- B81C—PROCESSES OR APPARATUS SPECIALLY ADAPTED FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS
- B81C2201/00—Manufacture or treatment of microstructural devices or systems
- B81C2201/01—Manufacture or treatment of microstructural devices or systems in or on a substrate
- B81C2201/0101—Shaping material; Structuring the bulk substrate or layers on the substrate; Film patterning
- B81C2201/0111—Bulk micromachining
- B81C2201/0114—Electrochemical etching, anodic oxidation
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B81—MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
- B81C—PROCESSES OR APPARATUS SPECIALLY ADAPTED FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS
- B81C2201/00—Manufacture or treatment of microstructural devices or systems
- B81C2201/01—Manufacture or treatment of microstructural devices or systems in or on a substrate
- B81C2201/0101—Shaping material; Structuring the bulk substrate or layers on the substrate; Film patterning
- B81C2201/0111—Bulk micromachining
- B81C2201/0115—Porous silicon
Abstract
συγκεκριμένη εφεύρεση παρέχει έναν ολοκληρωμένο θερμικό αισθητήρα ροής με βελτιωμένα χαρακτηριστικά, βασιζόμενο στην χρήση δύο σειρών ολοκληρωμένων θερμοστοιχείων (6, &) εκατέρωθεν ενός θερμαντήρα(4), όλα ολοκληρωμένα σε μία λεπτή μεμβράνη πορώδους πυριτίου (2) που βρίσκεται πάνω απόκοιλότητα αέρα (3). Η μεμβράνη πορώδους πυριτίου (2) πάνω από την κοιλότητα (3) παρέχει πολύ καλή θερμική μόνωση για τα στοιχεία του αισθητήρα, επομένως η αναγκαία ισχύς για την διατήρηση του θερμαντήρα (4) σε συγκεκριμένη θερμοκρασία είναι πολύ χαμηλή. Η διαδικασία κατασκευής της μεμβράνης πορώδους πυριτίου (2) πάνω από κοιλότητα (3) αποτελεί μία ηλεκτροχημική διεργασία δύο βημάτων. Βασίζεται στο γεγονός ότι όταν το ρεύμα ανοδιώσης είναι μικρότερο από μία κρίσιμη τιμή, παρατηρείται η δημιουργία πορώδους πυριτίου, ενώ για μεγαλύτερο από ορισμένη τιμή ενεργοποιείται η διαδικασία ηλεκτρολείανσης. Η διαδικασία ξεκινάει από χαμηλό ρεύμα για την δημιουργία πορώδους πυριτίου (2) και στην συνέχεια περνάει σε συνθήκες ηλεκρολείανσης για την δημιουργία της κοιλότητας (3). Ποικίλοι τύποι θερμικών αισθηήρων, όπως αισθητήρες ροής αισθητήρες αερίων, ανιχνευτές υπεριώδους ακτινοβολίας, αισθητήρες υγρασίας και θερμοηλεκτρικές γεννήτριες ισχύος, περιγράφονται χρησιμοποιώντας την προτεινόμενη μεθοδολογία. Επιπλέον, η παρούσα εφεύρεση παρέχει την τεχνική για την δημιουργία καναλιών μικρο-ροής (16) κάνοντας χρήση της ίδιας τεχνικής δημιουργίας πορώδους πυριτίου (17) και κοιλότητας (16). ΰ
Priority Applications (6)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
GR20020100037A GR1004106B (el) | 2002-01-24 | 2002-01-24 | Ολοκληρωμενοι θερμικοι αισθητηρες πυριτιου χαμηλης ισχυος και διαταξεις μικρο-ροης βασισμενοι στην χρηση τεχνολογιας κοιλοτητας αερα σφραγισμενης με μεμβρανη πορωδους πυριτιου ή τεχνολογιας μικρο-καναλιων |
EP03700397A EP1467946A1 (en) | 2002-01-24 | 2003-01-16 | "low power silicon thermal sensors and microfluidic devices based on the use of porous silicon sealed air cavity technology or microchannel technology" |
CNA038026139A CN1620402A (zh) | 2002-01-24 | 2003-01-16 | 以多孔硅封气孔技术或微通路技术的使用为基础的低功率硅热传感器和微射流装置 |
US10/502,465 US7233000B2 (en) | 2002-01-24 | 2003-01-16 | Low power silicon thermal sensors and microfluidic devices based on the use of porous sealed air cavity technology or microchannel technology |
JP2003562022A JP2005515081A (ja) | 2002-01-24 | 2003-01-16 | 多孔質シリコンで封止するエアキャビティ技術またはマイクロチャネル技術を用いた低電力シリコン熱センサ及びマイクロ流体デバイス |
PCT/GR2003/000003 WO2003062134A1 (en) | 2002-01-24 | 2003-01-16 | 'low power silicon thermal sensors and microfluidic devices based on the use of porous silicon sealed air cavity technology or microchannel technology' |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
GR20020100037A GR1004106B (el) | 2002-01-24 | 2002-01-24 | Ολοκληρωμενοι θερμικοι αισθητηρες πυριτιου χαμηλης ισχυος και διαταξεις μικρο-ροης βασισμενοι στην χρηση τεχνολογιας κοιλοτητας αερα σφραγισμενης με μεμβρανη πορωδους πυριτιου ή τεχνολογιας μικρο-καναλιων |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
GR1004106B true GR1004106B (el) | 2003-01-13 |
Family
ID=27590113
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
GR20020100037A GR1004106B (el) | 2002-01-24 | 2002-01-24 | Ολοκληρωμενοι θερμικοι αισθητηρες πυριτιου χαμηλης ισχυος και διαταξεις μικρο-ροης βασισμενοι στην χρηση τεχνολογιας κοιλοτητας αερα σφραγισμενης με μεμβρανη πορωδους πυριτιου ή τεχνολογιας μικρο-καναλιων |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7233000B2 (el) |
EP (1) | EP1467946A1 (el) |
JP (1) | JP2005515081A (el) |
CN (1) | CN1620402A (el) |
GR (1) | GR1004106B (el) |
WO (1) | WO2003062134A1 (el) |
Families Citing this family (39)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE10144873A1 (de) * | 2001-09-12 | 2003-03-27 | Bosch Gmbh Robert | Mikromechanischer Wärmeleitfähigkeitssensor mit poröser Abdeckung |
JP4504037B2 (ja) * | 2004-02-02 | 2010-07-14 | 大日本印刷株式会社 | 光学素子 |
DE102004015442A1 (de) * | 2004-03-30 | 2005-10-20 | Bosch Gmbh Robert | Verfahren zum Verschließen von perforierten Membranen |
US20060276008A1 (en) * | 2005-06-02 | 2006-12-07 | Vesa-Pekka Lempinen | Thinning |
CN100348953C (zh) * | 2005-12-19 | 2007-11-14 | 浙江大学 | 一种测热式微型流量传感器 |
DE602006019548D1 (de) * | 2006-03-31 | 2011-02-24 | Sensirion Holding Ag | Durchflusssensor mit Thermoelementen |
DE602006019688D1 (de) * | 2006-03-31 | 2011-03-03 | Sensirion Holding Ag | Durchflusssensor mit durchflussanpassbarem Analog-Digital-Wandler |
US7484886B2 (en) * | 2006-05-03 | 2009-02-03 | International Business Machines Corporation | Bolometric on-chip temperature sensor |
US7872563B2 (en) | 2007-04-09 | 2011-01-18 | The Board Of Trustees Of The University Of Illinois | Variably porous structures |
US20090115060A1 (en) * | 2007-11-01 | 2009-05-07 | Infineon Technologies Ag | Integrated circuit device and method |
CN101237730B (zh) * | 2008-02-27 | 2010-07-21 | 厦门大学 | 一种红外光源及其制备方法 |
US8304785B2 (en) * | 2008-07-29 | 2012-11-06 | Industrial Technology Research Institute | LED structure, manufacturing method thereof and LED module |
US9182411B2 (en) * | 2009-07-14 | 2015-11-10 | Colen Innovations, L.L.C. | Methods and apparatus for the detection and differentiation of non-sialated proteins from sialated proteins in a fluid sample |
US8644693B2 (en) * | 2010-06-08 | 2014-02-04 | Siargo Ltd. | Integrated micromachining proximity switch sensors in air/oil lubricators |
CN102009941B (zh) * | 2010-10-09 | 2013-12-11 | 北京大学 | 微纳米流体系统及其制备方法 |
DE102010043015B4 (de) | 2010-10-27 | 2019-12-19 | Robert Bosch Gmbh | Verfahren zur Konzentration von Probenbestandteilen und Amplifikation von Nukleinsäuren |
US9784605B2 (en) * | 2012-06-15 | 2017-10-10 | Hitachi Automotive Systems, Ltd. | Thermal flow meter including a cover mounted on a housing and where a bypass passage is formed by the cover and a bypass passage trench |
CH707390A2 (de) * | 2012-12-28 | 2014-06-30 | Greenteg Ag | Wärmeflusssensor. |
WO2014176250A1 (en) * | 2013-04-22 | 2014-10-30 | Replenish, Inc. | Flow sensors with modular microfluidic channels and methods of manufacture |
ITTO20130502A1 (it) | 2013-06-18 | 2014-12-19 | St Microelectronics Asia | Dispositivo elettronico con sensore di temperatura integrato e relativo metodo di fabbricazione |
US9366557B2 (en) | 2013-12-04 | 2016-06-14 | Itron, Inc. | Thermal flow sensors having isolated membranes |
KR102195769B1 (ko) | 2014-07-10 | 2020-12-30 | 주식회사 미코바이오메드 | 미세유체 칩, 이의 제조 방법 및 이를 이용한 분석 장치 |
CN104108677A (zh) * | 2014-07-18 | 2014-10-22 | 苏州能斯达电子科技有限公司 | 一种mems硅基微热板及其加工方法 |
US9513242B2 (en) | 2014-09-12 | 2016-12-06 | Honeywell International Inc. | Humidity sensor |
EP3259581B1 (en) | 2015-02-17 | 2020-01-29 | Honeywell International Inc. | Humidity sensor and method for manufacturing the sensor |
EP3239674A1 (en) | 2016-04-25 | 2017-11-01 | Universitat Autònoma De Barcelona | A fluid flow sensor and a method for its manufacturing |
EP3244201B1 (en) | 2016-05-13 | 2021-10-27 | Honeywell International Inc. | Fet based humidity sensor with barrier layer protecting gate dielectric |
CN105928567B (zh) * | 2016-07-13 | 2017-12-19 | 中国电子科技集团公司第四十九研究所 | 集成温湿度传感器的硅基气体敏感芯片及其制作方法 |
EP3542398A4 (en) | 2016-11-21 | 2020-12-02 | 3M Innovative Properties Company | AUTOMATIC REGISTRATION BETWEEN CIRCUIT CHIPS AND INTERCONNECTIONS |
CN110386585A (zh) * | 2018-04-20 | 2019-10-29 | 上海新微技术研发中心有限公司 | 多孔硅基底的制备方法及多孔硅基底 |
CN109250682A (zh) * | 2018-09-25 | 2019-01-22 | 中国电子科技集团公司第四十九研究所 | 一种悬浮梁-膜结构的制备方法 |
JP7248455B2 (ja) * | 2019-03-04 | 2023-03-29 | アズビル株式会社 | 熱式流量計および流量補正方法 |
CN110057415A (zh) * | 2019-05-08 | 2019-07-26 | 苏州新沃微电子有限公司 | 一种微型流量传感器及其制作方法 |
DE102020119246A1 (de) * | 2019-07-23 | 2021-01-28 | Elmos Semiconductor Se | Als Kragarm realisiertes, metalllagenfreies Thermopile in einem Regelkreis |
CN110908419B (zh) * | 2019-11-04 | 2022-03-04 | 北京航空航天大学 | 一种热电制冷与膜透湿联合温湿度控制系统 |
US11262224B2 (en) | 2020-06-19 | 2022-03-01 | Honeywell International Inc. | Flow sensing device |
US20220146292A1 (en) * | 2020-11-06 | 2022-05-12 | Honeywell International Inc. | Flow sensing device |
CN112938892B (zh) * | 2021-01-28 | 2023-12-05 | 青岛芯笙微纳电子科技有限公司 | 一种多孔硅绝热支撑的高温热流传感器及其制备方法 |
CN113023663B (zh) * | 2021-02-20 | 2023-08-29 | 北京航天控制仪器研究所 | 一种全硅结构mems微流道散热器及其加工方法 |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO1998050763A1 (en) * | 1997-05-07 | 1998-11-12 | Ncsr 'demokritos' | Integrated gas flow sensor based on porous silicon micromachining |
CN1251945A (zh) * | 1998-10-21 | 2000-05-03 | 李韫言 | 微细加工热辐射红外传感器 |
Family Cites Families (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3402635B2 (ja) * | 1992-12-08 | 2003-05-06 | キヤノン株式会社 | 微小流路素子 |
US5565084A (en) * | 1994-10-11 | 1996-10-15 | Qnix Computer Co., Ltd. | Electropolishing methods for etching substrate in self alignment |
JP3349012B2 (ja) * | 1995-06-01 | 2002-11-20 | 株式会社東芝 | 半導体光検出装置 |
CN1077283C (zh) * | 1996-08-23 | 2002-01-02 | 李韫言 | 一种微细加工的热式流量传感器及其制造方法 |
NL1010234C1 (nl) * | 1998-03-02 | 1999-09-03 | Stichting Tech Wetenschapp | Werkwijze voor het elektrochemisch etsen van een p-type halfgeleidermateriaal, alsmede substraat van althans gedeeltelijk poreus halfgeleidermateriaal. |
DE10053326A1 (de) * | 2000-10-27 | 2002-05-08 | Bosch Gmbh Robert | Mikromechanisches Bauelement und Herstellungsverfahren |
DE10054484A1 (de) * | 2000-11-03 | 2002-05-08 | Bosch Gmbh Robert | Mikromechanisches Bauelement und entsprechendes Herstellungsverfahren |
DE10064494A1 (de) * | 2000-12-22 | 2002-07-04 | Bosch Gmbh Robert | Verfahren zur Herstellung eines Halbleiterbauelements sowie ein nach dem Verfahren hergestelltes Halbleiterbauelement, wobei das Halbleiterbauelement insbesondere eine bewegliche Masse aufweist |
GR1004040B (el) * | 2001-07-31 | 2002-10-31 | Μεθοδος για την κατασκευη αιωρουμενων μεμβρανων πορωδους πυριτιου και εφαρμογης της σε αισθητηρες αεριων | |
US6759265B2 (en) * | 2001-12-12 | 2004-07-06 | Robert Bosch Gmbh | Method for producing diaphragm sensor unit and diaphragm sensor unit |
-
2002
- 2002-01-24 GR GR20020100037A patent/GR1004106B/el not_active IP Right Cessation
-
2003
- 2003-01-16 US US10/502,465 patent/US7233000B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2003-01-16 CN CNA038026139A patent/CN1620402A/zh active Pending
- 2003-01-16 JP JP2003562022A patent/JP2005515081A/ja active Pending
- 2003-01-16 EP EP03700397A patent/EP1467946A1/en not_active Withdrawn
- 2003-01-16 WO PCT/GR2003/000003 patent/WO2003062134A1/en active Application Filing
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO1998050763A1 (en) * | 1997-05-07 | 1998-11-12 | Ncsr 'demokritos' | Integrated gas flow sensor based on porous silicon micromachining |
CN1251945A (zh) * | 1998-10-21 | 2000-05-03 | 李韫言 | 微细加工热辐射红外传感器 |
US6359276B1 (en) * | 1998-10-21 | 2002-03-19 | Xiang Zheng Tu | Microbolom infrared sensors |
Non-Patent Citations (6)
Title |
---|
ANGELUCCI R ET AL: "Permeated porous silicon for hydrocarbon sensor fabrication", SENSORS AND ACTUATORS A, ELSEVIER SEQUOIA S.A., LAUSANNE, CH, vol. 74, no. 1-3, 20 April 1999 (1999-04-20), pages 95 - 99, XP004188065, ISSN: 0924-4247 * |
DATABASE WPI Section EI Week 200038, Derwent World Patents Index; Class U12, AN 2000-432097, XP002212548 * |
DOBRZANSKI ET AL: "Micromachined silicon thermopile and thermal radiators using porous silicon technology", IEE PROCEEDINGS: OPTOELECTRONICS, INSTITUTION OF ELECTRICAL ENGINEERS, STEVENAGE, GB, vol. 145, no. 5, 16 October 1998 (1998-10-16), pages 307 - 311, XP006011364, ISSN: 1350-2433 * |
KALTSAS G ET AL: "Novel C-MOS compatible monolithic silicon gas flow sensor with porous silicon thermal isolation", SENSORS AND ACTUATORS A, ELSEVIER SEQUOIA S.A., LAUSANNE, CH, vol. 76, no. 1-3, 30 August 1999 (1999-08-30), pages 133 - 138, XP004184426, ISSN: 0924-4247 * |
LAMMEL G ET AL: "Free-standing, mobile 3D porous silicon microstructures", SENSORS AND ACTUATORS A, ELSEVIER SEQUOIA S.A., LAUSANNE, CH, vol. 85, no. 1-3, 25 August 2000 (2000-08-25), pages 356 - 360, XP004214496, ISSN: 0924-4247 * |
TJERKSTRA R W ET AL: "Multi-walled microchannels: free-standing porous silicon membranes for use in mu TAS", JOURNAL OF MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS, DEC. 2000, IEEE, USA, vol. 9, no. 4, pages 495 - 501, XP002212547, ISSN: 1057-7157 * |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
EP1467946A1 (en) | 2004-10-20 |
WO2003062134A1 (en) | 2003-07-31 |
JP2005515081A (ja) | 2005-05-26 |
US20050072926A1 (en) | 2005-04-07 |
US7233000B2 (en) | 2007-06-19 |
CN1620402A (zh) | 2005-05-25 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
GR1004106B (el) | Ολοκληρωμενοι θερμικοι αισθητηρες πυριτιου χαμηλης ισχυος και διαταξεις μικρο-ροης βασισμενοι στην χρηση τεχνολογιας κοιλοτητας αερα σφραγισμενης με μεμβρανη πορωδους πυριτιου ή τεχνολογιας μικρο-καναλιων | |
DE60217359D1 (de) | Verfahren zur herstellung aufgehängter poröser siliziummikrostrukturen und anwendung in gassensoren | |
WO2003025557A3 (de) | Mikromechanischer wärmeleitfähigkeitssensor mit poröser abdeckung | |
WO2006067756A3 (en) | Device for generating steam | |
WO2003102607A8 (en) | Combustible-gas measuring instrument | |
GR1003010B (el) | Ολοκληρωμενος αισθητηρας ροης αεριων χρησιμοποιωντας τεχνολογια πορωδους πυριτιου | |
US11585773B2 (en) | Gas sensing device and a method for sensing gas | |
WO2007025100A3 (en) | Gas sensors | |
WO2002041007A3 (en) | Thermal convection accelerometer with closed-loop heater control | |
Meckes et al. | Microfluidic system for the integration and cyclic operation of gas sensors | |
JP4302611B2 (ja) | 可燃性ガス検出装置及び可燃性ガス検出方法 | |
WO2004042380A3 (en) | Gas sensor | |
SE9902081D0 (sv) | Low power sensor | |
Barrettino et al. | A smart single-chip micro-hotplate-based chemical sensor system in CMOS-technology | |
Kersjes et al. | An invasive catheter flow sensor with on-chip CMOS readout electronics for the on-line determination of blood flow | |
NZ276188A (en) | Moisture gauge; details of structure and method of producing it | |
RU2764241C2 (ru) | Устройство измерения скорости или расхода газа | |
JP2009239039A (ja) | 熱電変換温度センサおよびその製造方法 | |
Lu et al. | Multi-field simulations and characterization of CMOS-MEMS high-temperature smart gas sensors based on SOI technology | |
Emperhoff et al. | Differential Thermal Conductivity Hydrogen Sensor | |
Lucklum et al. | Development and investigation of thermal devices on fully porous silicon substrates | |
Werno et al. | Reduction of heat loss of silicon membranes by the use of trenchetching techniques | |
JPS62239980A (ja) | 培養庫のガス濃度検出装置 | |
Körner et al. | Control of partial pressure of oxygen in the ppm range based on a two metal–oxide buffer system | |
JPH08219898A (ja) | 熱電センサーモジュール |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
ML | Lapse due to non-payment of fees |
Effective date: 20160803 |