GR1003010B - Ολοκληρωμενος αισθητηρας ροης αεριων χρησιμοποιωντας τεχνολογια πορωδους πυριτιου - Google Patents

Ολοκληρωμενος αισθητηρας ροης αεριων χρησιμοποιωντας τεχνολογια πορωδους πυριτιου

Info

Publication number
GR1003010B
GR1003010B GR970100176A GR970100176A GR1003010B GR 1003010 B GR1003010 B GR 1003010B GR 970100176 A GR970100176 A GR 970100176A GR 970100176 A GR970100176 A GR 970100176A GR 1003010 B GR1003010 B GR 1003010B
Authority
GR
Greece
Prior art keywords
membrane
porous silicon
gas flow
flow sensor
polysilicon
Prior art date
Application number
GR970100176A
Other languages
English (en)
Inventor
Original Assignee
"����������"
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by "����������" filed Critical "����������"
Publication of GR1003010B publication Critical patent/GR1003010B/el

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
    • G01F1/00—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow
    • G01F1/68—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using thermal effects
    • G01F1/684—Structural arrangements; Mounting of elements, e.g. in relation to fluid flow
    • G01F1/6845—Micromachined devices
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
    • G01F1/00—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow
    • G01F1/68—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using thermal effects
    • G01F1/684—Structural arrangements; Mounting of elements, e.g. in relation to fluid flow
    • G01F1/688—Structural arrangements; Mounting of elements, e.g. in relation to fluid flow using a particular type of heating, cooling or sensing element
    • G01F1/6888—Thermoelectric elements, e.g. thermocouples, thermopiles

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Fluid Mechanics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Measuring Volume Flow (AREA)
  • Micromachines (AREA)
  • Pressure Sensors (AREA)
GR970100176A 1997-05-07 1997-05-07 Ολοκληρωμενος αισθητηρας ροης αεριων χρησιμοποιωντας τεχνολογια πορωδους πυριτιου GR1003010B (el)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
GR97100176 1997-05-07

Publications (1)

Publication Number Publication Date
GR1003010B true GR1003010B (el) 1998-11-20

Family

ID=10942968

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
GR970100176A GR1003010B (el) 1997-05-07 1997-05-07 Ολοκληρωμενος αισθητηρας ροης αεριων χρησιμοποιωντας τεχνολογια πορωδους πυριτιου

Country Status (2)

Country Link
GR (1) GR1003010B (el)
WO (1) WO1998050763A1 (el)

Families Citing this family (17)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100434537B1 (ko) * 1999-03-31 2004-06-05 삼성전자주식회사 다공질 실리콘 혹은 다공질 산화 실리콘을 이용한 두꺼운 희생층을 가진 다층 구조 웨이퍼 및 그 제조방법
DE19924320A1 (de) * 1999-05-27 2000-12-07 Bosch Gmbh Robert Isoliervorrichtung und Verfahren zur Herstellung eines isolierten Bereiches
GR1003448B (el) * 1999-07-30 2000-10-05 "����������", ���������� ����������������� Διαταξη ολοκληρωμενης μπαταριας "επαφης" σε ψηφιδα πυριτιου
KR100331226B1 (ko) * 2000-02-23 2002-04-26 이상헌 다공성 산화 실리콘 기둥을 이용하여 형성한 초고주파용 소자
DE10053326A1 (de) * 2000-10-27 2002-05-08 Bosch Gmbh Robert Mikromechanisches Bauelement und Herstellungsverfahren
DE10058009A1 (de) 2000-11-23 2002-06-06 Bosch Gmbh Robert Strömungssensor
EP1223411A1 (en) * 2001-01-12 2002-07-17 Lidact GmbH Universal sensor for measuring shear stress, mass flow or velocity of a fluid or gas, for determining a number of drops, or detecting drip or leakage
US6631638B2 (en) 2001-01-30 2003-10-14 Rosemount Aerospace Inc. Fluid flow sensor
DE10117486A1 (de) 2001-04-07 2002-10-17 Bosch Gmbh Robert Verfahren zur Herstelung eines Halbleiterbauelements sowie ein nach dem Verfahren hergestelltes Halbleiterbauelement
DE10136164A1 (de) 2001-07-25 2003-02-20 Bosch Gmbh Robert Mikromechanisches Bauelement
GR1004040B (el) * 2001-07-31 2002-10-31 Μεθοδος για την κατασκευη αιωρουμενων μεμβρανων πορωδους πυριτιου και εφαρμογης της σε αισθητηρες αεριων
GR1004106B (el) * 2002-01-24 2003-01-13 Εκεφε "Δημοκριτος" Ινστιτουτο Μικροηλεκτρονικης Ολοκληρωμενοι θερμικοι αισθητηρες πυριτιου χαμηλης ισχυος και διαταξεις μικρο-ροης βασισμενοι στην χρηση τεχνολογιας κοιλοτητας αερα σφραγισμενης με μεμβρανη πορωδους πυριτιου ή τεχνολογιας μικρο-καναλιων
US7191645B2 (en) * 2003-08-14 2007-03-20 Fluid Components International Llc Dynamic mixed gas flowmeter
ITTO20130502A1 (it) * 2013-06-18 2014-12-19 St Microelectronics Asia Dispositivo elettronico con sensore di temperatura integrato e relativo metodo di fabbricazione
JP6438706B2 (ja) * 2014-08-22 2018-12-19 日立オートモティブシステムズ株式会社 センサ装置
JP7112373B2 (ja) * 2019-05-24 2022-08-03 Ｍｍｉセミコンダクター株式会社 フローセンサチップ
CN113049053B (zh) * 2021-03-15 2022-12-30 青岛芯笙微纳电子科技有限公司 一种高性能mems流量传感器及其制备方法

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS61170618A (ja) * 1985-01-24 1986-08-01 Toyota Central Res & Dev Lab Inc 流速検出用半導体センサ
CN1018844B (zh) * 1990-06-02 1992-10-28 中国科学院兰州化学物理研究所 防锈干膜润滑剂
DE4041578C2 (de) * 1990-12-22 1997-07-17 Bosch Gmbh Robert Verfahren zur Herstellung eines Sensors zur Messung der Geschwindigkeit bzw. der Durchflußmenge eines strömenden Mediums
US5231878A (en) * 1991-12-23 1993-08-03 Ford Motor Company Mass air flow sensor
DE4303423C2 (de) * 1993-02-05 1996-07-18 Fraunhofer Ges Forschung Sensor und Verfahren zu dessen Herstellung
DE4418207C1 (de) * 1994-05-25 1995-06-22 Siemens Ag Thermischer Sensor/Aktuator in Halbleitermaterial
DE19520777C1 (de) * 1995-06-07 1996-08-29 Inst Physikalische Hochtech Ev Temperaturkompensierter Mikroströmungssensor

Also Published As

Publication number Publication date
WO1998050763A1 (en) 1998-11-12

Similar Documents

Publication Publication Date Title
GR1003010B (el) Ολοκληρωμενος αισθητηρας ροης αεριων χρησιμοποιωντας τεχνολογια πορωδους πυριτιου
GR1004106B (el) Ολοκληρωμενοι θερμικοι αισθητηρες πυριτιου χαμηλης ισχυος και διαταξεις μικρο-ροης βασισμενοι στην χρηση τεχνολογιας κοιλοτητας αερα σφραγισμενης με μεμβρανη πορωδους πυριτιου ή τεχνολογιας μικρο-καναλιων
CA2193646A1 (en) Resistive gas sensing, especially for detection of ozone
DE69612576D1 (de) Mikrobearbeiteter symmetrischer Differentialdrucksensor mit Polysilizium
DE3887617D1 (de) Ozonfühler und Gasmessvorrichtung mit dem Ozonfühler.
DE58902558D1 (de) Reifendruck- und temperatursensor.
DE69927433D1 (de) Keramisches Heizelement und dasselbe benützender Sauerstoffühler
DK0750744T3 (da) Miniaturiseret gennemstrømningsmålekammer med integrerede kemo- og/eller biosensorelementer
EA200300140A1 (ru) Дифференциальный датчик давления
DK390985A (da) Termisk diffusionsfluidstroemningsfoeler
DE69700422D1 (de) Berührungssensor ohne Kissen
ATE441934T1 (de) Drucksensor in folienbauweise
DE3860434D1 (de) Temperatur- und druckaufnehmer.
RU97111800A (ru) Внутренняя регистрация потока газа/воздуха и другой текучей среды в организме
DE3679663D1 (de) Druckempfindlicher durchflusssensor.
ATE244999T1 (de) Brotröster
NO873542L (no) Gasstroemningshastighetssensor basert paa akustisk overflateboelgeteknikk og med selvoppvarming.
JPS6491062A (en) Mass air flow sensor
KR900012782U (ko) 감열식 유량센서
DE69633087D1 (de) Thermistor mit positivem Temperaturkoeffizient des Widerstandes
DE69841837D1 (de) Thermistorelement und Temperatursensor
DE60118872D1 (de) Planarer Gassensor mit gemustertem Heizelement
NZ276188A (en) Moisture gauge; details of structure and method of producing it
TR199802211A3 (tr) Sensor elektrodu ile sicaklik sinirlayici
DK155060C (da) Varmeloft med temperaturfoeler i skorstensorgan

Legal Events

Date Code Title Description
ML Lapse due to non-payment of fees

Effective date: 20111202