JP6421071B2 - 流量センサ - Google Patents
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Description
200a,200b・・・温度差センサ
300・・・加熱抵抗体
400・・・温度差センサ信号取り出し配線
500・・・増幅器
10・・・シリコン基板
20・・・シリコン酸化膜
21・・・CVD絶縁膜
22・・・CVD絶縁膜
23・・・CVD絶縁膜
30・・・ポリシリコン
35・・・チタンシリサイド
40・・・タングステン
50・・・アルミ
Claims (1)
- 基板に薄肉部が形成され前記薄肉部に電流を流すことにより発熱する抵抗体と、前記発熱抵抗体よりも流体の流れ方向の上流側と下流側に熱電対が配置され、前記上流側熱電対と下流側熱電対の熱起電力の差を流量信号とした流量センサにおいて、
前記熱電対は、ポリシリコンと金属の接点で構成され、
前記発熱抵抗体は、前記ポリシリコンよりも抵抗率が低く、チタンシリサイド、タングステンシリサイド、ニッケルシリサイド、モリブデンシリサイドのいずれかまたは、これらの組み合わせで形成し、前記熱電対を構成するポリシリコン層をシリサイド化して形成することを特徴とする流量センサ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2015074749A JP6421071B2 (ja) | 2015-04-01 | 2015-04-01 | 流量センサ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015074749A JP6421071B2 (ja) | 2015-04-01 | 2015-04-01 | 流量センサ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2016194463A JP2016194463A (ja) | 2016-11-17 |
JP6421071B2 true JP6421071B2 (ja) | 2018-11-07 |
Family
ID=57322945
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2015074749A Active JP6421071B2 (ja) | 2015-04-01 | 2015-04-01 | 流量センサ |
Country Status (1)
Country | Link |
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-
2015
- 2015-04-01 JP JP2015074749A patent/JP6421071B2/ja active Active
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