JP5178262B2 - 熱式流量計およびその初期調整方法と初期調整装置 - Google Patents
熱式流量計およびその初期調整方法と初期調整装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5178262B2 JP5178262B2 JP2008071381A JP2008071381A JP5178262B2 JP 5178262 B2 JP5178262 B2 JP 5178262B2 JP 2008071381 A JP2008071381 A JP 2008071381A JP 2008071381 A JP2008071381 A JP 2008071381A JP 5178262 B2 JP5178262 B2 JP 5178262B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- temperature
- resistance value
- heat generation
- flow meter
- thermal
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Measuring Volume Flow (AREA)
Description
前記発熱素子および前記温度検出素子の各抵抗値から前記発熱素子の発熱温度を求め、この発熱温度に応じて前記温度検出素子に直列に接続された固定抵抗の抵抗値を調整して前記熱式流量計のセンサ感度を設定する調整工程を備えることを特徴としている。
前記調整工程は、前記発熱素子の抵抗値と前記温度検出素子の抵抗値との比率を求め、基準となる熱式流量計において予め求められている前記発熱素子の抵抗値と前記温度検出素子の抵抗値との比率と前記発熱素子の発熱温度との関係を参照して前記抵抗値の比率から前記発熱素子の発熱温度を求め、前記基準となる熱式流量計において予め求められている前記発熱素子の発熱温度と前記抵抗ブリッジ回路における第2の固定抵抗の抵抗値との関係を参照して前記発熱温度にて所定のセンサ感度が得られる前記第2の固定抵抗の抵抗値を求めて該第2の固定抵抗の抵抗値を調整する工程として実現される。
前記ヒータ回路を、前記発熱素子とこの発熱素子に直列接続された第1の固定抵抗、および前記温度検出素子とこの温度検出素子に直列接続された第2の固定抵抗を用いて形成される抵抗ブリッジ回路と、この抵抗ブリッジ回路の出力に応じて該ブリッジ回路の駆動電圧を制御する増幅器とにより構成したものであって、
前記第2の固定抵抗は、前記ヒータ回路における前記温度検出素子と前記発熱素子との抵抗値比から求められる前記発熱素子の発熱温度に応じて調整されて、所定のセンサ感度が得られる抵抗値に設定されていることを特徴としている。
<a> 基準となる熱式流量計において予め求められている前記発熱素子の抵抗値と前記温度検出素子の抵抗値との比率と前記発熱素子の発熱温度との関係を記述した第1のテーブルと、
<b> 前記基準となる熱式流量計において予め求められている、所定のセンサ感度を得る上での前記発熱素子の発熱温度と前記第2の固定抵抗の抵抗値との関係を記述した第2のテーブルと、
<c> 調整対象とする熱式流量計の前記発熱素子の抵抗値と前記温度検出素子の抵抗値との比率を求める比率検出手段と、
<d> 前記第1のテーブルを参照して前記比率検出手段にて求められた前記抵抗値の比率に相当する前記発熱素子の発熱温度を求める発熱温度検出手段と、
<e> 前記第2のテーブルを参照して前記発熱温度検出手段にて求められた発熱温度において前記所定のセンサ感度を設定するに必要な前記第2の固定抵抗の抵抗値を求める抵抗値算出手段と、
<f> この抵抗値算出手段にて求められた抵抗値に従って前記第2の固定抵抗の抵抗値を調整する、若しくは抵抗値の調整を指示する手段と
を具備したことを特徴としている。
尚、前記第2の固定抵抗の抵抗値の調整は、前記第2の固定抵抗に調整用抵抗を並列接続して、若しくは前記第2の固定抵抗をトリミングして行われる。また前記感度調整は、ガスを通流させることなく実行される。
3 ヒータ回路
4 センサ回路
Rh 発熱素子
Rr 温度検出素子
R1,R2 固定抵抗
Ru,Rd 感熱素子
Rx,Ry 固定抵抗
10 初期調整装置
Claims (6)
- ガスの通流方向に発熱素子を挟んで一対の感熱素子を設けた熱式流量センサと、前記ガスの温度を検出する温度検出素子と、この温度検出素子の出力に応じて前記発熱素子の発熱温度を制御するヒータ回路と、前記一対の感熱素子の出力から前記ガスの流量を求めるセンサ回路とを備えた熱式流量計の初期調整方法であって、
前記ヒータ回路は、前記発熱素子とこの発熱素子に直列接続された第1の固定抵抗、および前記温度検出素子とこの温度検出素子に直列接続された第2の固定抵抗を用いて形成される抵抗ブリッジ回路と、この抵抗ブリッジ回路の出力に応じて該ブリッジ回路の駆動電圧を制御する増幅器とからなり、
前記発熱素子の抵抗値と前記温度検出素子の抵抗値との比率を求め、基準となる熱式流量計において予め求められている前記発熱素子の抵抗値と前記温度検出素子の抵抗値との比率と前記発熱素子の発熱温度との関係を参照して前記抵抗値の比率から前記発熱素子の発熱温度を求め、前記基準となる熱式流量計において予め求められている前記発熱素子の発熱温度と前記抵抗ブリッジ回路における第2の固定抵抗の抵抗値との関係を参照して前記発熱温度にて所定のセンサ感度が得られる前記第2の固定抵抗の抵抗値を求めて該第2の固定抵抗の抵抗値を調整して前記熱式流量計のセンサ感度を設定する調整工程を備えることを特徴とする熱式流量計の初期調整方法。 - 前記第2の固定抵抗の抵抗値の調整は、前記第2の固定抵抗に調整用抵抗を並列接続して、若しくは前記第2の固定抵抗をトリミングして行われるものである請求項1に記載の熱式流量計の初期調整方法。
- 前記調整工程は、ガスを通流させることなく実行されるものである請求項1又は2に記載の熱式流量計の初期調整方法。
- ガスの通流方向に発熱素子を挟んで一対の感熱素子を設けた熱式流量センサと、前記ガスの温度を検出する温度検出素子と、この温度検出素子の出力に応じて前記発熱素子の発熱温度を制御するヒータ回路と、前記一対の感熱素子の出力から前記ガスの流量を求めるセンサ回路とを備えた熱式流量計であって、
前記ヒータ回路は、前記発熱素子とこの発熱素子に直列接続された第1の固定抵抗、および前記温度検出素子とこの温度検出素子に直列接続された第2の固定抵抗を用いて形成される抵抗ブリッジ回路と、この抵抗ブリッジ回路の出力に応じて該ブリッジ回路の駆動電圧を制御する増幅器とからなり、
前記第2の固定抵抗は、前記発熱素子の抵抗値と前記温度検出素子の抵抗値との比率を求め、基準となる熱式流量計において予め求められている前記発熱素子の抵抗値と前記温度検出素子の抵抗値との比率と前記発熱素子の発熱温度との関係を参照して前記抵抗値の比率から前記発熱素子の発熱温度を求め、前記基準となる熱式流量計において予め求められている前記発熱素子の発熱温度と前記第2の固定抵抗の抵抗値との関係を参照して前記発熱温度にて所定のセンサ感度が得られる抵抗値に設定されていることを特徴とする熱式流量計。 - ガスの通流方向に発熱素子を挟んで一対の感熱素子を設けた熱式流量センサと、前記ガスの温度を検出する温度検出素子と、この温度検出素子の出力に応じて前記発熱素子の発熱温度を制御するヒータ回路と、前記一対の感熱素子の出力から前記ガスの流量を求めるセンサ回路とを備え、
前記ヒータ回路を、前記発熱素子とこの発熱素子に直列接続された第1の固定抵抗、および前記温度検出素子とこの温度検出素子に直列接続された第2の固定抵抗を用いて形成される抵抗ブリッジ回路と、この抵抗ブリッジ回路の出力に応じて該ブリッジ回路の駆動電圧を制御する増幅器とにより構成した熱式流量計のセンサ感度を調整する初期調整装置であって、
基準となる熱式流量計において予め求められている前記発熱素子の抵抗値と前記温度検出素子の抵抗値との比率と、前記発熱素子の発熱温度との関係を記述した第1のテーブルと、
前記基準となる熱式流量計において予め求められている、所定のセンサ感度を得る上での前記発熱素子の発熱温度と前記第2の固定抵抗の抵抗値との関係を記述した第2のテーブルと、
調整対象とする熱式流量計の前記発熱素子の抵抗値と前記温度検出素子の抵抗値との比率を求める比率検出手段と、
前記第1のテーブルを参照して前記比率検出手段にて求められた前記抵抗値の比率に相当する前記発熱素子の発熱温度を求める発熱温度検出手段と、
前記第2のテーブルを参照して前記発熱温度検出手段にて求められた発熱温度において前記所定のセンサ感度を設定するに必要な前記第2の固定抵抗の抵抗値を求める抵抗値算出手段と、
この抵抗値算出手段にて求められた抵抗値に従って前記第2の固定抵抗の抵抗値を調整する、若しくは抵抗値の調整を指示する手段と
を具備したことを特徴とする熱式流量計の初期調整装置。 - ガスの通流方向に発熱素子を挟んで一対の感熱素子を設けた熱式流量センサと、前記ガスの温度を検出する温度検出素子と、この温度検出素子の出力に応じて前記発熱素子の発熱温度を制御するヒータ回路と、前記一対の感熱素子の出力から前記ガスの流量を求めるセンサ回路とを備え、
前記ヒータ回路を、前記発熱素子とこの発熱素子に直列接続された第1の固定抵抗、および前記温度検出素子とこの温度検出素子に直列接続された第2の固定抵抗を用いて形成される抵抗ブリッジ回路と、この抵抗ブリッジ回路の出力に応じて該ブリッジ回路の駆動電圧を制御する増幅器とにより構成した熱式流量計であって、
請求項5に記載の熱式流量計の初期調整装置を一体に組み込んだことを特徴とする熱式流量計。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008071381A JP5178262B2 (ja) | 2008-03-19 | 2008-03-19 | 熱式流量計およびその初期調整方法と初期調整装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008071381A JP5178262B2 (ja) | 2008-03-19 | 2008-03-19 | 熱式流量計およびその初期調整方法と初期調整装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009229095A JP2009229095A (ja) | 2009-10-08 |
JP5178262B2 true JP5178262B2 (ja) | 2013-04-10 |
Family
ID=41244686
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008071381A Expired - Fee Related JP5178262B2 (ja) | 2008-03-19 | 2008-03-19 | 熱式流量計およびその初期調整方法と初期調整装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5178262B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5418119B2 (ja) | 2009-09-30 | 2014-02-19 | 日立工機株式会社 | 作業機械 |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2599854B2 (ja) * | 1991-12-12 | 1997-04-16 | 三菱電機株式会社 | 感熱式流量センサの設定方法 |
JP2929950B2 (ja) * | 1994-10-21 | 1999-08-03 | 株式会社日立製作所 | 内燃機関の制御装置 |
JPH10148557A (ja) * | 1996-11-15 | 1998-06-02 | Murata Mfg Co Ltd | 流量センサ回路およびそのセンサ出力の調整方法 |
JP2003106887A (ja) * | 2001-09-28 | 2003-04-09 | Yamatake Corp | 流量計測装置 |
-
2008
- 2008-03-19 JP JP2008071381A patent/JP5178262B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2009229095A (ja) | 2009-10-08 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN101652591B (zh) | 用于测量质量流控制器中的气体的温度的方法和装置 | |
US8225652B2 (en) | Thermal flow meter measuring flow rate based on temperature difference measurement and driving energy of the heater | |
JP2631481B2 (ja) | 質量流量計とその計測方法 | |
EP2827112B1 (en) | Temperature-compensation module for a fluid flow transducer | |
US10337904B2 (en) | Apparatus and method for determining flow of a medium | |
JP2011209152A (ja) | 流量計 | |
WO2003029759A1 (fr) | Instrument de mesure de debit | |
JP3726261B2 (ja) | 熱式流量計 | |
JP5178262B2 (ja) | 熱式流量計およびその初期調整方法と初期調整装置 | |
JP3893115B2 (ja) | マスフローコントローラ | |
JP5178263B2 (ja) | 熱式流量計およびその初期調整方法と初期調整装置 | |
JP2004020306A (ja) | マスフローコントローラの校正方法及びその装置 | |
JP5159383B2 (ja) | 熱式流量計およびその初期調整方法と初期調整装置 | |
JP3706283B2 (ja) | フローセンサ回路 | |
JP5178261B2 (ja) | 熱式流量計 | |
JP2009229092A (ja) | 熱式流量計およびその初期調整方法 | |
JP2016217812A (ja) | 熱式マスフローコントローラ及びその傾斜誤差改善方法 | |
JP2003097990A (ja) | 熱式流量計 | |
JP6434238B2 (ja) | 流量計および補正値算出方法 | |
JP2003090751A (ja) | フローセンサ式流量計及びその校正方法 | |
JP2008046143A (ja) | 熱式流体センサ及びフローセンサ | |
JP3523105B2 (ja) | フローセンサのヒータ制御装置 | |
JPH07261846A (ja) | マスフローコントローラ | |
JP4820017B2 (ja) | フローセンサを用いた流量計測装置 | |
JPH11287685A (ja) | フローセンサ |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20101020 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20120913 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20120919 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20121119 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20121212 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20130108 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |