JP2003097990A - 熱式流量計 - Google Patents
熱式流量計Info
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Abstract
定される計測許容範囲を越えて流量を計測することがで
き、実質的な流量計測範囲を拡大することのできる熱式
流量計を提供する。 【解決手段】 温度センサにより計測される温度差信号
Vtにゼロ点調整量Vadjを加えてセンサ出力信号Vout
を生成するセンサ出力調整手段と、センサ出力信号Vou
tが所定の許容範囲内から外れるとき、該センサ出力信
号Voutが上記所定の許容範囲内に収まるようなゼロ点
操作量Vsiftを生成し、このゼロ点操作量Vsiftをゼロ
点補正基準量Vrefに加えて前記ゼロ点調整量Vadjを求
めるゼロ点操作量生成手段と、前記センサ出力信号Vou
tと前記ゼロ点操作量Vsiftとに従って流量Qを算出す
る流量算出手段とを備える。
Description
のヒータ素子を間にして流体の通流方向にそれぞれ設け
られた第1および第2の温度センサとを具備し、特にそ
の計測可能範囲を容易に拡大することのできる熱式流量
計に関する。
ローセンサは、例えば図5に示すようにシリコン基台B
上に設けた発熱抵抗体からなるヒータ素子Rhを間にし
て、流体の通流方向Fに測温抵抗体からなる一対の温度
センサRu,Rdを設けた素子構造を有する。そして熱
式流量計は、上記ヒータ素子Rhから発せられる熱の拡
散度合い(温度分布)が前記流体の通流によって変化す
ることを利用し、前記温度センサRu,Rdの熱による
抵抗値変化から前記流体の流量Qを検出する如く構成さ
れる。
熱が流体の流量Qに応じて下流側の温度センサRdに加
わることで、該温度センサRdの熱による抵抗値の変化
が上流側の温度センサRuよりも大きいこと利用して上
記流量Qを計測するものとなっている。尚、図中Rr
は、前記ヒータ素子Rhから離れた位置に設けられた測
温抵抗体からなる温度センサであって、周囲温度の計測
に用いられる。
いた熱式流量計の概略構成を示している。即ち、ヒータ
素子Rhの駆動回路は、該ヒータ素子Rhと周囲温度計
測用の温度センサRr、および一対の固定抵抗R1,R
2を用いてブリッジ回路1を形成し、所定の電源から供
給される電圧VccをトランジスタQを介して前記ブリッ
ジ回路1に印加すると共に、該ブリッジ回路1のブリッ
ジ出力電圧を差動増幅器2にて求め、そのブリッジ出力
電圧が零となるように前記トランジスタQを帰還制御し
て前記ブリッジ回路1に加えるヒータ駆動電圧を調整す
るように構成される。このように構成されたヒータ駆動
回路により、前記ヒータ素子Rhの発熱温度が、その周
囲温度よりも常に一定温度差だけ高くなるように制御さ
れる。
熱による抵抗値変化から前記マイクロフローセンサに沿
って通流する流体の流量Qを検出する流量検出回路は、
上記一対の温度センサRu,Rdと一対の固定抵抗Rx,
Ryを用いて流量計測用のブリッジ回路3を形成し、温
度センサRu,Rdの抵抗値の変化に応じたブリッジ出
力電圧を差動増幅器4を介して検出するように構成され
る。そして前記ヒータ駆動回路によりヒータ素子Rhの
発熱量を一定化した条件下において、差動増幅器4を介
して検出されるブリッジ出力電圧から前記マイクロフロ
ーセンサに沿って通流する流体の流量Qを求めるものと
なっている。
出力電圧(センサ出力)を演算処理装置(CPU)に取
り込むことによって行われる。また温度センサRu,R
dや固定抵抗Rx,Ryの抵抗値精度のバラツキに起因
する誤差を打ち消すべく、前記流体の流量Qがゼロ
(0)のときに前記ブリッジ出力電圧(センサ出力)が
ゼロ(0)となるように該ブリッジ出力電圧に所定のゼ
ロ点補正基準量を加えてCPUに取り込むセンサ出力信
号をオフセットすることも行われる。
取り込み得る信号の入力レベルの範囲は、該CPUが備
えるAD変換器のダイナミックレンジ等により制限され
る。そこでCPUにおいては、予め設定された流量計測
範囲(許容範囲)を規定する上限値および下限値と前述
したブリッジ出力電圧(センサ出力信号)とを比較し、
該センサ出力が上記流量計測範囲(許容範囲)から外れ
るような場合には、例えばその旨をエラーメッセージと
して表示して流量計測を中止する等の異常処理を実行す
るものとなっている。この為、センサ出力信号が所定の
流量計測範囲(許容範囲)を外れるような場合には、上
記センサ出力信号から流量Qを求めることができないと
言う問題がある。
えるような場合、CPUに入力するセンサ出力信号のレ
ベルを[1/2]に減衰させる等して、所定の流量計測
範囲内に収めることが考えられる。しかしながらこのよ
うにしてセンサ出力信号のレベルを調整した場合、その
計測分解能(計測精度)が低下すると言う新たな問題が
生じる。これ故、計測分解能(計測精度)を高く維持し
ながら、その流量計測範囲を十分に大きく設定すること
ができないと言う問題があった。
たもので、その目的は、予め定められた上限値および下
限値により規定される計測許容範囲を越えて流量を計測
することができ、その計測分解能(計測精度)を高く維
持しながら流量計測範囲を拡大することのできる熱式流
量計を提供することにある。
べく本発明に係る熱式流量計は、ヒータ素子と、このヒ
ータ素子を間にして流体の通流方向にそれぞれ設けられ
た第1および第2の温度センサとを備えたものであっ
て、特に 第1および第2の温度センサによりそれぞれ計測さ
れる温度の差に相当する温度差信号Vtに、該温度差信
号Vtをオフセットするゼロ点調整量Vadjを加えてセン
サ出力信号Vout(=Vt+Vadj)を生成するセンサ出
力調整手段と、 このセンサ出力信号Voutが所定の許容範囲(流量
計測可能範囲)内にあるか否かを判定し、前記センサ出
力信号Voutが所定の許容範囲内から外れるときには該
センサ出力信号Voutが上記所定の許容範囲内に収まる
ようなゼロ点操作量Vsiftを生成し、このゼロ点操作量
Vsiftを前記温度差信号をゼロ点補正するゼロ点補正基
準量Vrefに加えて前記ゼロ点調整量Vadj(=Vref+
Vsift)を求めるゼロ点操作量生成手段と、 前記センサ出力信号Voutと前記ゼロ点操作量Vsif
tとに従って流体の流量Qを算出する流量算出手段と、 を具備したことを特徴としている。
点補正基準量Vrefは、流体の流量Qがゼロ(0)のと
きに前記センサ出力信号Voutが一定値Voとなるように
補正するものであって、流量Qがゼロ(0)のときの温
度差信号がVtとして与えられるとき、Vref=Vo−V
tとして設定される。このようなゼロ点補正基準量Vref
によって温度センサや固定抵抗等の抵抗値精度のバラツ
キに起因する計測誤差が補正される。
量生成手段は、前記センサ出力信号Voutが前記所定の
許容範囲を規定する上限値Vmaxまたは下限値Vminとな
るゼロ点操作量Vsiftを生成するように構成される。具
体的には前記ゼロ点操作量生成手段は、前記センサ出力
信号Voutが上限値Vmaxを越える場合には(Vmax−Vo
ut)なるゼロ点操作量Vsiftを生成し、逆に前記センサ
出力信号Voutが下限値Vminを下回る場合には(Vmin
−Vout)なるゼロ点操作量Vsiftを生成するように構
成される。
差信号Vtに加えたセンサ出力信号Voutによれば、流量
計測可能範囲において上記センサ出力信号Voutに相当
する流体の流量qを求めることができ、この流量から前
記ゼロ点操作量Vsiftに相当する流量分Qsiftを加算す
ることによって上記流体の真の流量Qを容易に求めるこ
とが可能となる。しかも前記ゼロ点操作量Vsiftに相当
する流量分だけ、実質的にその流量計測可能範囲を拡大
することが可能となる。
限値Vminは、流体の逆流時における限界値として設定
される。また前記ゼロ点操作量生成手段は、前記センサ
出力調整手段が出力する前記センサ出力信号Voutが前
記所定の許容範囲内にあるときには、前記ゼロ点操作量
Vsiftを徐々にゼロ(0)に近付けるゼロ点操作量調整
手段を備えことが好ましい。
作量範囲を外れるとき、異常信号を発生するゼロ点操作
量判定手段を備えることが好ましい。
実施形態に係る熱式流量計について詳細に説明する。図
1はこの実施形態に係る熱式流量計の要部概略構成図を
示している。この熱式流量計は、図5に示した素子構造
のマイクロフローセンサを用い、基本的にはヒータ駆動
回路および流量検出回路を図6に示すように構成して実
現される。即ち、ヒータ素子Rhの駆動回路は、該ヒー
タ素子Rhと周囲温度計測用の温度センサRr、および
一対の固定抵抗R1,R2を用いてブリッジ回路1を形
成し、所定の電源電圧VccをトランジスタQを介して前
記ブリッジ回路1に印加すると共に、該ブリッジ回路1
のブリッジ出力電圧を差動増幅器2にて求め、そのブリ
ッジ出力電圧が零となるように前記トランジスタQを帰
還制御するように構成される。
ッチ素子としてのトランジスタSWは、前記ヒータ素子
Rhに印加されるヒータ駆動電圧Vh(ブリッジ駆動電
圧)が予め設定されている許容最大値(基準電圧)を越
えるときに導通(ON)されて前記ヒータ素子Rhの通
電駆動を停止させる役割を担う。具体的にはスイッチ素
子Rhを短絡し、ヒータ素子Rhへの上記ヒータ駆動電
圧Vhの印加を停止させることで該ヒータ素子Rhの異
常発熱を防止する役割を担う。
による抵抗値変化を検出する検出回路は、前記一対の温
度センサRu,Rdと一対の固定抵抗Rx,Ryを用いて
流量計測用のブリッジ回路3を形成し、温度センサR
u,Rdの抵抗値の変化に応じたブリッジ出力電圧を差
動増幅器4を介して検出するように構成される。即ち、
この差動増幅器4は前記温度センサRu,Rdによりそ
れぞれ計測される温度の差に相当する温度差信号Vt
を、前記ブリッジ出力電圧として検出するものとなって
いる。そしてこの温度差信号Vtは、センサ出力調整手
段としての減算器5に与えられ、ゼロ点調整量Vadjが
加えられて前記温度差信号Vtをオフセットしたセンサ
出力信号Vout(=Vt+Vadj)として、演算処理部と
してのCPU6に与えられるようになっている。
るCPU6は、基本的には上記センサ出力信号Voutに
相当する流量Qを求める流量算出手段6aや、前記セン
サ出力信号Voutが上記流量算出手段6aの流量計測可
能範囲内にあるか否かを、その上限値および下限値と比
較して判定するセンサ出力の上下限チェック手段6bを
備えている。
固定抵抗Rx,Ry等の抵抗値精度のバラツキに起因す
る計測誤差を補正する為のゼロ点補正基準量Vrefを設
定する手段(図示せず)を備える。このゼロ点補正基準
量Vrefは、前記温度差信号Vtをゼロ点補正し、流体の
流量Qがゼロ(0)のときに前記センサ出力信号Vout
がゼロ(0)となるように補正する役割を担うもので、
通常、流量計の出荷時に調整される。ちなみにゼロ点補
正基準量Vrefは、流量Qが一定値Voのときの温度差信
号がVtとして与えられるとき、Vref=Vo−Vtとして
設定される。
モリ7と表示器8とを備える。メモリ7は、前記センサ
出力信号Voutと流量Qとの関係を示すテーブルや、前
述した如く調整されたゼロ点補正基準量Vref等を記憶
するものである。また表示器8は、流量検出手段6aに
て求められる流体の流量Qを表示したり、後述する各種
のメッセージを表示する役割を担う。
とするところは、前記CPU6が上述した流量検出手段
6aやセンサ出力の上下限チェック手段6bのみなら
ず、前記センサ出力信号Voutが前述した所定の許容範
囲内から外れるとき、該センサ出力信号Voutが上記所
定の許容範囲内に収まるようなゼロ点操作量Vsiftを生
成し、このゼロ点操作量Vsiftを前記ゼロ点補正基準量
Vrefに加えて前記ゼロ点調整量Vadj(=Vref+Vsif
t)を求めるゼロ点操作量生成手段6cを備えている点
にある。そして前記流量検出手段6aにおいては、前記
センサ出力信号Voutと、上記ゼロ点操作量生成手段6
cにて生成されたゼロ点操作量Vsiftとに従ってマイク
ロフローセンサを通流した流体の流量Qを求めるように
構成されている点にある。
は、前記上下限チェック手段6bにて前記センサ出力信
号Voutが所定の許容範囲(流量計測可能範囲)内から
外れていることが判定されたとき、該センサ出力信号V
outが上記所定の許容範囲内に収まるようなゼロ点操作
量Vsiftを生成する。より具体的には、例えば前記セン
サ出力信号Voutが前記所定の許容範囲を規定する上限
値Vmaxまたは下限値Vminとなるゼロ点操作量Vsiftを
生成する。即ち、ゼロ点操作量生成手段6cは、前記セ
ンサ出力信号Voutが上限値Vmaxを越える場合には(V
max−Vout)なるゼロ点操作量Vsiftを生成し、逆に前
記センサ出力信号Voutが下限値Vminを下回る場合には
(Vmin−Vout)なるゼロ点操作量Vsiftを生成するも
のとなっている。
の減算器5には、前記ゼロ点補正基準量Vrefに上述し
たゼロ点操作量Vsiftを加えたゼロ点調整量Vadj(=
Vref+Vsift)が与えられることになる。この結果、
この減算器5からCPU6に与えられるセンサ出力信号
Voutは、温度センサRu,Rdによりそれぞれ計測され
る温度の差に相当する温度差信号Vtに上記ゼロ点調整
量Vadjを加えたもの、つまりゼロ点補正基準量Vrefと
ゼロ点操作量Vsiftとをそれぞれ加えた(差し引いた)
ものとなる。そして前記センサ出力信号Voutは、流量
検出手段6aにおける流量計測可能範囲の上限値または
下限値として生成されることになる。
ーセンサを通流する流体の流量Qが大きく変化した場
合、ゼロ点操作量生成手段6cは前記センサ出力信号V
outが図2(b)に示すように前記所定の許容範囲を規定
する上限値Vmaxまたは下限値Vminとなるようにゼロ点
操作量Vsiftを生成する。そしてそのときのゼロ点操作
量Vsiftは、図2(c)に示すように流量Qが上限値Vma
xまたは下限値Vminから越えた量に相当するものとな
る。
このようにゼロ点操作されたセンサ出力信号Voutと、
前記ゼロ点操作量生成手段6cにて生成されたゼロ点操
作量Vsiftとに従い、例えば前記センサ出力信号Vout
に相当する流体の流量qに前記ゼロ点操作量Vsiftに相
当する流量分Qsiftを加えることによって、マイクロフ
ローセンサを通流した流体の真の流量Qを求めることが
可能となる。従って上記ゼロ点操作量Vsiftに相当する
流量分だけ、図3に示すように流量検出手段6aにおけ
る流量計測範囲をシフトすることになり、実質的にその
流量計測可能範囲を拡大することが可能となる。
能範囲を規定する下限値Vminを、流体の逆流時におけ
る許容限界値として設定しておけば、流体が逆流したと
きでもその流量Qを計測することが可能となり、流量計
の実質的な流量計測可能範囲を拡大することが可能とな
る。即ち、流体の逆流により温度センサRu,Rdによ
りそれぞれ計測される温度の差に相当する温度差信号V
tが負(マイナス)となった場合でも、そのときのゼロ
点操作量Vsiftを求めることでその流量Qを計測するこ
とが可能となる。
は、前記センサ出力信号Voutが前記所定の許容範囲内
にあるときには、該ゼロ点操作量Vsiftを徐々にゼロ
(0)に近付けるように制御することが望ましい(ゼロ
点操作量調整手段)。このようにしてゼロ点操作量Vsi
ftを徐々にゼロ(0)に近付ければ、流体の流量Qの変
化に伴ってその流量Qが流量検出手段6aの流量計測可
能範囲内に戻るとき、これに追従させてゼロ点操作量V
siftを速やかにゼロ(0)にすることができるので、追
従性の良い流量計測が可能となる。
いて前記ゼロ点操作量Vsiftを監視し、ゼロ点操作量V
siftが所定の操作量範囲を外れるときには、その流量Q
が異常であるとして異常信号を発生するようにすること
が望ましい。即ち、流体の流量Qが異常に過大である場
合や、流体の逆流量がその許容限界値を越えるような場
合、エラーメッセージを表示して警告を発し、流量計測
を中止することが望ましい。
6c,6dを備えたCPU6における基本的な処理動作
の流れを示している。但し、この図6に示す処理手順に
おいては、前述したゼロ点補正基準量Vrefをゼロ
(0)と看做し、前記ゼロ点操作量Vsiftをそのままゼ
ロ点調整量Vadjとして用いるものとして示してある。
このCPU6の処理動作について説明すると、先ず前記
センサ出力信号Voutが前述した上限値Vmaxと下限値V
minとにより規定される所定の流量計測可能範囲内にあ
るか否かが判定される[ステップS1]。そしてセンサ
出力信号Voutが流量計測可能範囲内にある場合には、
次に前記ゼロ点操作量Vsiftがゼロ(0)であるか否か
を判定する[ステップS2]。そしてゼロ点操作量Vsi
ftがゼロ(0)である場合には、前記センサ出力信号V
outに従って流体の流量Qを算出する[ステップS
3]。
上限値Vmaxと下限値Vminとにより規定される所定の流
量計測可能範囲から外れる場合には[ステップS1]、
次に前記ゼロ点操作量Vsiftが所定の操作範囲内にある
か否かを判定する[ステップS4]。そしてゼロ点操作
量Vsiftが所定の操作範囲内にある場合には、前記セン
サ出力信号Voutが上限値Vmaxを上回っているか、逆に
下限値Vminを下回っているかを判定する[ステップS
5]。この判定の結果、ゼロ点操作量Vsiftが上限値V
maxを上回っている場合にはゼロ点操作量Vsiftのレベ
ルを1段階高くし[ステップS6]、逆にゼロ点操作量
Vsiftが下限値Vmaxを下回っている場合にはゼロ点操
作量Vsiftのレベルを1段階低くする[ステップS
7]。
を調整した後の前記センサ出力信号Voutが、前記所定
の流量計測可能範囲内に収またったか否かを判定し[ス
テップS8]、センサ出力信号Voutが流量計測可能範
囲内に収まるまで上述したステップS4〜S7の処理に
よる該ゼロ点操作量Vsiftのレベル調整を繰り返す。そ
してセンサ出力信号Voutが流量計測可能範囲内に収ま
り、前記流量計測可能範囲の上限値Vmaxまたは下限値
Vminとなったとき、前記センサ出力信号Vout(上限値
Vmaxまたは下限値Vmin)と前記ゼロ点操作量Vsiftと
に従って流体の流量Qを算出する[ステップS9]。
によって、所定の流量計測可能範囲から外れた流量分に
相当するゼロ点操作量Vsiftが生成され、このゼロ点操
作量Vsiftに従ってセンサ出力信号Voutがオフセット
される。そして流量計測手段5aにおいては、上記セン
サ出力信号Voutから求められる流量qに、上記ゼロ点
操作量Vsiftに相当する流量分を加えることで、流体の
真の流量Qを求めることになる。
範囲内から外れている場合には[ステップS4]、その
ときのセンサ出力信号Voutが上限値Vmaxであるか、或
いは下限値Vminであるかを判定する[ステップS1
0]。そしてセンサ出力信号Voutが上限値Vmaxである
場合には、過大流量による異常事態である旨の警告を発
し[ステップS11]、またセンサ出力信号Voutが下
限値Vminである場合には逆流異常状態が生じている旨
の警告を発する[ステップS12]。
如くゼロ点操作量Vsift(ゼロ点調整量Vadj)を加え
たセンサ出力信号Voutが、正常な流量計測可能範囲に
戻った場合、前述したステップS1においてセンサ出力
信号Voutが正常であると判定される。しかしこの場合
にはセンサ出力信号Voutにゼロ点操作量Vsiftが加え
られているので、次のステップS2においてゼロ点操作
量Vsiftがゼロ(0)出ないと判定される。
siftを、そのゼロ点操作量調整用のバッファ値bとして
セットし[ステップS13]、次に今までの処理が前記
センサ出力信号Voutが上限値Vmaxを上回ったことによ
る処理であったか否かを判定する[ステップS14]。
そして今までの処理が、前記センサ出力信号Voutが上
限値Vmaxを上回ったことによる処理であった場合に、
上記バッファ値bを1段階低減する[ステップS1
5]。尚、今までの処理が、前記センサ出力信号Vout
が下限値Vminを下回ったことによる処理であった場合
には、逆に上記バッファ値bを1段階増加させる[ステ
ップS16]。
らば、次に該バッファ値bがゼロ(0)となったか否か
を判定し[ステップS17]、バッファ値bがゼロ
(0)である場合には、前記ゼロ点操作量Vsiftをゼロ
(0)にリセットする[ステップS18]。そしてこの
状態にて前記センサ出力信号Vout(上限値Vmaxまたは
下限値Vmin)と前記ゼロ点操作量Vsiftとに従って流
体の流量Qを算出する[ステップS9]。
合には、そのときのセンサ出力信号Voutが正常範囲で
あるか否かを判定し[ステップS19]、正常範囲とな
った場合には、上記のように更新されたバッファ値bを
新たなゼロ点操作量Vsiftとする[ステップS20]。
そして更に前記バッファ値bを更新する処理を繰り返し
実行し[ステップS14〜S17]、センサ出力信号V
outが正常範囲からはずれたばあいには、そのときの前
記センサ出力信号Vout(上限値Vmaxまたは下限値Vmi
n)と前記ゼロ点操作量Vsiftとに従って流体の流量Q
を算出する[ステップS9]。
9に示す処理によれば、センサ出力信号Voutが正常範
囲に戻った場合、ゼロ点操作量Vsiftを徐々にゼロ
(0)に近付けることが可能となり、流量Qの正常範囲
への復帰に伴って上記ゼロ点操作量Vsiftを速やかにゼ
ロ(0)に戻すことが可能となる。この結果、センサ出
力信号Voutを所定の流量計測範囲内に維持したまま前
記ゼロ点操作量Vsiftをゼロ(0)に戻すことができ、
従って流量Qの変化に追従させて流量計測範囲をシフト
させながら、流量計測を高精度に行うことが可能とな
る。しかも従来のように計測分解能を低下させることな
く、流量計測範囲の拡大を図ることが可能となる。
るものではない。例えば流量計測範囲の上限値Vmaxや
下限値Vmin、更には前述したゼロ点補正基準量Vrefに
ついては、予めメモリ7に登録しておけば良い。また計
測対象とする流体は特に限定されない。しかし流体の流
量Qとセンサ出力信号Voutとの関係は、流体の種別に
よって異なるので、これらの関係を流体の種別に応じて
前記メモリ7に登録しておくようにすれば良い。その
他、本発明はその要旨を逸脱しない範囲で種々変形して
実施することができる。
1および第2の温度センサによりそれぞれ計測される温
度の差に相当する温度差信号に該温度差信号をオフセッ
トするゼロ点調整量を加えてセンサ出力信号を生成する
と共に、このセンサ出力信号が所定の許容範囲内から外
れるときには上記センサ出力信号が上記所定の許容範囲
内に収まるようなゼロ点操作量を生成し、このゼロ点操
作量を前記温度差信号をゼロ点補正するゼロ点補正基準
量に加えて前記ゼロ点調整量を求め、前記センサ出力信
号と前記ゼロ点操作量とに従って流体の流量を算出する
ので、流量計測範囲を規定する上限値および下限値に拘
わることなしに、流体の流量計測範囲を容易に拡大する
ことができる。しかも計測分解能を犠牲にすることな
く、その計測範囲を拡大することができる等の実用上多
大なる効果を奏し得る。
略構成図。
を模式的に示す図。
調整による流量検出範囲のシフトの様子を示す図。
手順の例を示す図。
の構成例を示す図。
Claims (5)
- 【請求項1】 ヒータ素子と、このヒータ素子を間にし
て流体の通流方向にそれぞれ設けられた第1および第2
の温度センサとを備えた熱式流量計であって、 前記第1および第2の温度センサによりそれぞれ計測さ
れる温度の差に相当する温度差信号に該温度差信号をオ
フセットするゼロ点調整量を加えてセンサ出力信号を生
成するセンサ出力調整手段と、 このセンサ出力信号が所定の許容範囲内にあるか否かを
判定し、前記センサ出力信号が所定の許容範囲内から外
れるときには該センサ出力信号が上記所定の許容範囲内
に収まるようなゼロ点操作量を生成し、このゼロ点操作
量を前記温度差信号をゼロ点補正するゼロ点補正基準量
に加えて前記ゼロ点調整量を求めるゼロ点操作量生成手
段と、 前記センサ出力調整手段から与えられるセンサ出力信号
と前記ゼロ点操作量とに従って流体の流量を算出する流
量算出手段と、を具備したことを特徴とする熱式流量
計。 - 【請求項2】 前記ゼロ点操作量生成手段は、前記セン
サ出力信号が前記所定の許容範囲を規定する上限値また
は下限値となるゼロ点操作量を生成するものである請求
項1に記載の熱式流量計。 - 【請求項3】 前記所定の許容範囲を規定する下限値
は、流体の逆流時における限界値として設定されるもの
である請求項2に記載の熱式流量計。 - 【請求項4】 前記ゼロ点操作量生成手段は、前記セン
サ出力調整手段が出力する前記センサ出力信号が前記所
定の許容範囲内にあるとき、前記ゼロ点操作量を徐々に
ゼロに近付けるゼロ点操作量調整手段を備えるものであ
る請求項1に記載の熱式流量計。 - 【請求項5】 請求項1〜4のいずれかに記載の熱式流
量計において、 更に前記ゼロ点操作量が所定の操作量範囲を外れるとき
に異常信号を発生するゼロ点操作量判定手段を備えるこ
とを特徴とする熱式流量計。
Priority Applications (1)
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---|---|---|---|
JP2001291088A JP3738897B2 (ja) | 2001-09-25 | 2001-09-25 | 熱式流量計 |
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---|---|---|---|
JP2001291088A JP3738897B2 (ja) | 2001-09-25 | 2001-09-25 | 熱式流量計 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
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